JP2011121817A - 接合ガラスの切断方法、パッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 - Google Patents

Abstract

【課題】接合ガラスの切断時におけるクラッシュやチッピングの発生を抑制して、接合ガラスを所定サイズ毎に切断することができる接合ガラスの切断方法、パッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】ウエハ接合体６０の吸収波長のレーザー光を輪郭線に沿って照射して、リッド基板用ウエハ５０にスクライブラインＭ’を形成するスクライブ工程と、スクライブラインＭ’に沿って割断応力を加えてウエハ接合体６０を切断することで、ウエハ接合体６０を複数の圧電振動子に個片化するブレーキング工程とを有し、切断工程は、ウエハ接合体６０をシリコンラバー７１上に載置し、リッド基板用ウエハ５０の外側端面５０ｂをシリコンラバー７１に向けた状態で行うことを特徴とする。
【選択図】図１３

Description

本発明は、接合ガラスの切断方法、パッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計に関するものである。

近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子（パッケージ）が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが知られているが、その１つとして、表面実装（ＳＭＤ）型の圧電振動子が知られている。この種の圧電振動子としては、例えば互いに接合されたベース基板及びリッド基板と、両基板の間に形成されたキャビティと、キャビティ内に気密封止された状態で収納された圧電振動片（電子部品）とを備えている。

続いて、上述した圧電振動子の製造方法について簡単に説明する。
まずリッド基板用ウエハにキャビティ用の凹部を形成する一方、ベース基板用ウエハ上に圧電振動片をマウントした後、接合層（接合材）を介して両ウエハを陽極接合し、複数のパッケージがウエハの行列方向に形成されたウエハ接合体とする。その後、ウエハ接合体を切断予定線に沿って行列方向に切断することで、ウエハ接合体を複数の圧電振動子に個片化するようになっている。

ここで、例えば特許文献１では、液晶パネル等に用いられる比較的大型のガラス基板を切断分離するための技術が開示されている。具体的には、ガラス基板の表面に、ガラス基板の切断予定線に沿ってスクライブライン（溝）を形成し、ガラス基板に対してケミカル処理を施した後にスクライブラインに対して機械的または熱的応力を加えて、ガラス基板を切断分離するようになっている。
また、ガラス基板に機械的応力を加えて切断する方法としては、スクライブラインが形成されたガラス基板を金属ステージ上にセットした後、アンコと呼ばれるシリコンゴム製の切断刃をスクライブラインに沿って自重落下または制御落下させる。これにより、スクライブラインに沿って荷重が付与され、ガラス基板が切断されるようになっている。

特許３５７７４９２号公報

ところで、圧電振動子は微小な電子部品であるため、ウエハ接合体から複数の圧電振動子を所望のサイズに個片化するためには、高い切断精度が要求される。しかしながら、上述したように金属ステージ上でウエハ接合体の切断を行うと、以下のような問題がある。
まず、ウエハ接合体のスクライブラインに切断刃を落下させて荷重を付与すると、スクライブライン以外の領域にも大きな荷重が作用する。その結果、切断時においてウエハ接合体が粉々に破損（クラッシュ）する虞がある。
また、スクライブライン以外の位置からウエハ接合体にクラックが入り、ウエハ接合体が斜めに割れるという問題もある。その結果、最悪の場合にはキャビティと外部とが連通してキャビティ内の気密を保てなくなるという問題がある。

さらに、ウエハ接合体を複数の圧電振動子に個片化する際には、ウエハ接合体を格子状（行列方向）に切断していく必要があるが、この際、特に切断線の交差部分、すなわち圧電振動子の角部となる部位同士が接触して欠けてしまう（チッピングが発生する）虞もある。この場合、チッピングをきっかけにしてウエハ接合体が割れやすく、また切断面も粗くなる。

このような理由から、圧電振動子のような微小な電子部品の製造において、金属ステージ上で切断を行うことが難しく、１枚のウエハ接合体から取り出される良品の数が減少し、歩留まりが低下するという問題がある。

そこで、本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、接合ガラスの切断時におけるクラッシュやチッピングの発生を抑制して、接合ガラスを所定サイズ毎に切断することができる接合ガラスの切断方法、パッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供するものである。

上述した課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明に係る接合ガラスの切断方法は、複数のガラス基板の接合面同士が接合材を介して接合されてなる接合ガラスを、切断予定線に沿って切断する接合ガラスの切断方法であって、前記接合ガラスの吸収波長のレーザー光を前記切断予定線に沿って照射して、前記切断予定線に沿って前記接合ガラスの一方の面に溝を形成する溝形成工程と、前記切断予定線に沿って前記接合ガラスの他方の面に切断刃を押し当てて割断応力を加えることで、前記切断予定線に沿って前記接合ガラスを切断する切断工程とを有し、前記切断工程は、前記接合ガラスを弾性シート上に載置し、前記接合ガラスの前記一方の面を前記弾性シートに向けた状態で行うことを特徴としている。

この構成によれば、切断予定線に沿って接合ガラスの他方の面に切断刃を押し当てることで、弾性シートが弾性変形し、接合ガラスが弾性シートの弾性変形に倣って弾性シートに向かって湾曲するように僅かに撓み変形する。これにより、接合ガラスに付与される割断応力が溝の底頂部に集中し易くなる。
その結果、接合ガラスに対して割断応力を加えた場合に、溝の底頂部がクラック発生の起点となり、接合ガラスの一方の面から他方の面に向かってクラックが進行しやすくなって、接合ガラスが溝に沿って折れるように切断されることになる。
したがって、接合ガラスを切断予定線に沿ってよりスムーズ、かつ容易に切断することができる。そのため、クラッシュの発生を抑えるとともに、チッピングの発生も抑え、残留応力の痕跡がない、良好な切断面を得ることができる。これにより、接合ガラスを所望のサイズに切断することができる。その結果、１枚の接合ガラスから良品として取り出される接合ガラス片の数を増加することができ、歩留まりを向上させることができる。

また、前記弾性シートは透明材料からなり、前記切断工程では、前記弾性シートを間に挟んで前記接合ガラスの反対側から撮像手段によって前記溝の位置を検出し、前記撮像手段による検出結果に基づいて、前記接合ガラス上における前記切断刃の刃先の位置合わせを行うことを特徴としている。
この構成によれば、溝と切断刃とを位置合わせすることで、切断予定線に沿って確実に割断応力を付与することができるので、接合ガラスをよりスムーズ、かつ容易に切断することができる。

また、前記切断工程では、前記接合ガラスの一方の面側に保護シートが貼り付けられた状態で前記接合ガラスを切断することを特徴としている。
この構成によれば、接合ガラスと弾性シートとの間に保護シートが介在することになるので、仮に接合ガラスの切断時に微小な塵埃が発生した場合等には、塵埃等を保護シートにより捕捉することができる。そのため、弾性シート上への塵埃等の付着を防止し、弾性シート上を常に塵埃の付着のない良好な状態に維持することができる。
その結果、弾性シート上に載置される接合ガラスが塵埃等に当接して傷付くことを防止できる。また、接合ガラスを常に弾性シートに密着させた状態で載置することができるので、接合ガラスの載置時におけるガタツキ等を防止し、接合ガラスを厚さ方向に沿って確実に切断することができる。

また、前記切断工程では、前記接合ガラスの他方の面に粘着シートが貼り付けられた状態で、前記接合ガラスを切断し、前記切断工程の後段で、前記接合ガラスの面方向に沿って前記粘着シートを延伸することで、前記接合ガラスが切断されてなる複数の接合ガラス片の間隔を広げるエクスパンド工程を有していることを特徴としている。
この構成によれば、エクスパンド工程において隣接する接合ガラス片同士を分離することができるため、エクスパンド工程後に粘着シートから接合ガラス片を取り出す際、個片化された接合ガラス片を認識し易くなる（認識精度が向上する）。その結果、各接合ガラス片を容易に取り出すことができる。
また、エクスパンド工程後に粘着シートから接合ガラス片を取り出す際、隣接する接合ガラス片との接触等を防ぎ、接合ガラス片同士の接触によるチッピングの発生等を防止して、接合ガラス片の割れを防ぐことができる。よって、１枚の接合ガラスから良品として取り出される接合ガラス片の数を増加することができ、歩留まりを向上させることができる。

また、前記粘着シートは、シート材と、前記シート材を前記接合ガラスに接着する紫外線硬化型の粘着層とを有し、前記エクスパンド工程の後段で、前記粘着シートの前記粘着層に対して紫外線を照射して、前記粘着層の粘着力を低下させる紫外線照射工程を有することを特徴としている。
この構成によれば、粘着層の粘着力を低下させることで、個片化された接合ガラス片を取り出し易くすることができる。

また、本発明に係るパッケージの製造方法は、上記本発明の接合ガラスの切断方法を使用して、前記接合ガラスの内側に電子部品を封入可能なキャビティを備えたパッケージを製造する方法であって、前記切断工程では、複数の前記パッケージの形成領域を隔する前記切断予定線に沿って前記接合ガラスを切断することを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明の接合ガラスの切断方法を使用してパッケージを製造することで、ウエハ接合体のクラッシュやチッピングの発生を抑え、パッケージの割れを防ぐことができる。よって、１枚の接合ガラスから良品として取り出されるパッケージの数を増加することができ、歩留まりを向上させることができる。

また、本発明に係るパッケージは、上記本発明の接合ガラスの切断方法を使用して形成され、前記接合ガラスの内側に電子部品を封入可能なキャビティを備えたパッケージであって、前記接合ガラスが切断されてなる接合ガラス片の前記一方の面に、前記溝が割断されてなる面取り部を有していることを特徴としている。
この構成によれば、切断されたパッケージを取り出す際に、仮にパッケージを取り出すための器具がパッケージの角部に接触した場合であっても、接触によるチッピングの発生を抑制することができるので、チッピングをきっかけにパッケージが割れることがない。これにより、キャビティ内の気密を確保することができ、信頼性の高いパッケージを提供することができる。
なお、面取り部は、レーザーにより溝を形成した後、溝（切断予定線）に沿って接合ガラスを切断することで自動的に形成することができるので、切断後のパッケージに別工程としてそれぞれ面取り部を形成する必要がない。その結果、面取り部を別工程で形成する場合に比べてコスト上昇を抑制するとともに、作業効率を向上させることができる。

また、本発明に係る圧電振動子は、上記本発明のパッケージの前記キャビティ内に、圧電振動片が気密封止されてなることを特徴としている。
この構成によれば、キャビティ内の気密性を確保し、振動特性に優れた信頼性の高い圧電振動子を提供することができる。

また、本発明に係る発振器は、上記本発明の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴としている。

また、本発明に係る電子機器は、上記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴としている。

また、本発明に係る電波時計は、上記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴としている。

本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計においては、上述した圧電振動子を備えているので、圧電振動子と同様に信頼性の高い製品を提供することができる。

本発明に係る接合ガラスの切断方法によれば、接合ガラスを切断予定線に沿ってよりスムーズ、かつ容易に切断することができる。そのため、クラッシュの発生を抑えるとともに、チッピングの発生も抑え、残留応力の痕跡がない、良好な切断面を得ることができる。これにより、接合ガラスを所望のサイズに切断することができる。その結果、１枚の接合ガラスから良品として取り出される接合ガラス片の数を増加することができ、歩留まりを向上させることができる。
また、本発明に係るパッケージの製造方法によれば、上記本発明の接合ガラスの切断方法を使用してパッケージを形成することで、ウエハ接合体のクラッシュを防ぐとともに、隣接するパッケージ同士の接触によるチッピングの発生を抑え、パッケージの割れを防ぐことができる。よって、１枚の接合ガラスから良品として取り出されるパッケージの数を増加することができ、歩留まりを向上させることができる。
また、本発明に係るパッケージによれば、上記本発明の接合ガラスの切断方法を使用してパッケージが形成されているので、キャビティ内の気密が確保することができ、信頼性の高いパッケージを提供することができる。
また、本発明に係る圧電振動子によれば、キャビティ内の気密性を確保し、振動特性に優れた信頼性の高い圧電振動子を提供することができる。
本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計においては、上述した圧電振動子を備えているので、圧電振動子と同様に信頼性の高い製品を提供することができる。

本発明に係る圧電振動子の一実施形態を示す外観斜視図である。 図１に示す圧電振動子の内部構成図であって、リッド基板を取り外した状態で圧電振動片を上方から見た図である。 図２に示すＡ−Ａ線に沿った圧電振動子の断面図である。 図１に示す圧電振動子の分解斜視図である。 図１に示す圧電振動子を製造する際の流れを示すフローチャートである。 図５に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、圧電振動片をキャビティ内に収容した状態でベース基板用ウエハとリッド基板用ウエハとが陽極接合されたウエハ接合体の分解斜視図である。 個片化工程の流れを示すフローチャートである。 個片化工程を説明するための図であって、ウエハ接合体がマガジンに保持された状態を示す断面図である。 個片化工程を説明するための図であって、ウエハ接合体がマガジンに保持された状態を示す断面図である。 個片化工程を説明するための図であって、ウエハ接合体がマガジンに保持された状態を示す断面図である。 個片化工程を説明するための図であって、ウエハ接合体がマガジンに保持された状態を示す断面図である。 個片化工程を説明するための図であって、ウエハ接合体がマガジンに保持された状態を示す断面図である。 個片化工程を説明するための図であって、ウエハ接合体がマガジンに保持された状態を示す断面図である。 トリミング工程を説明するための説明図であり、ウエハ接合体のリッド基板用ウエハを取り外した状態を示すベース基板用ウエハの平面図である。 厚さ１ｍｍｔのシリコンラバーを用いてブレーキングを行った場合における圧電振動子の側面図である。 厚さ１ｍｍｔのシリコンラバーを用いてブレーキングを行った場合におけるウエハ接合体におけるベース基板用ウエハ側の平面図である。 厚さ２ｍｍｔのシリコンラバーを用いてブレーキングを行った場合における圧電振動子の側面図である。 本発明に係る発信器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電子機器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電波時計の一実施形態を示す構成図である。

以下、図面に基づいて、本発明の実施形態を説明する。
（圧電振動子）
図１は、本実施形態における圧電振動子の外観斜視図であり、図２は圧電振動子の内部構成図であって、リッド基板を取り外した状態で圧電振動片を上方から見た図ある。また、図３は図２に示すＡ−Ａ線に沿った圧電振動子の断面図であり、図４は圧電振動子の分解斜視図である。
図１〜図４に示すように、圧電振動子１は、ベース基板２とリッド基板３とで２層に積層された箱状に形成されており、内部のキャビティＣ内に圧電振動片５が収納された表面実装型の圧電振動子１である。そして、圧電振動片５とベース基板２の外側に設置された外部電極６，７とが、ベース基板２を貫通する一対の貫通電極８，９によって電気的に接続されている。

ベース基板２は、ガラス材料、例えばソーダ石灰ガラスからなる透明な絶縁基板で板状に形成されている。ベース基板２には、一対の貫通電極８，９が形成される一対のスルーホール２１，２２が形成されている。スルーホール２１，２２は、ベース基板２の外側端面（図３中下面）から内側端面（図３中上面）に向かって漸次径が縮径した断面テーパ形状をなしている。

リッド基板３は、ベース基板２と同様に、ガラス材料、例えばソーダ石灰ガラスからなる透明の絶縁基板であり、ベース基板２に重ね合わせ可能な大きさの板状に形成されている。そして、リッド基板３のベース基板２が接合される接合面側には、圧電振動片５が収容される矩形状の凹部３ａが形成されている。
この凹部３ａは、ベース基板２及びリッド基板３が重ね合わされたときに、圧電振動片５を収容するキャビティＣを形成する。そして、リッド基板３は、凹部３ａをベース基板２側に対向させた状態でベース基板２に対して後述する接合層２３を介して陽極接合されている。なお、リッド基板３の上部周縁には、圧電振動子１の製造工程における後述するスクライブ工程時において、リッド基板３の角部が面取りされた面取り部９０が形成されている。

圧電振動片５は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
この圧電振動片５は、平行に配置された一対の振動腕部２４，２５と、一対の振動腕部２４，２５の基端側を一体的に固定する基部２６とからなる音叉型で、一対の振動腕部２４，２５の外表面上には、振動腕部２４，２５を振動させる図示しない一対の第１の励振電極と第２の励振電極とからなる励振電極と、第１の励振電極及び第２の励振電極と後述する引き回し電極２７，２８とを電気的に接続する一対のマウント電極とを有している（何れも不図示）。

このように構成された圧電振動片５は、図３，図４に示すように、金等のバンプＢを利用して、ベース基板２の内側端面に形成された引き回し電極２７，２８上にバンプ接合されている。より具体的には、圧電振動片５の第１の励振電極が、一方のマウント電極及びバンプＢを介して一方の引き回し電極２７上にバンプ接合され、第２の励振電極が他方のマウント電極及びバンプＢを介して他方の引き回し電極２８上にバンプ接合されている。これにより、圧電振動片５は、ベース基板２の内側端面から浮いた状態で支持されるとともに、各マウント電極と引き回し電極２７，２８とがそれぞれ電気的に接続された状態となっている。

そして、ベース基板２の内側端面側（リッド基板３が接合される接合面側）には、導電性材料（例えば、アルミニウム）からなる陽極接合用の接合層２３が形成されている。この接合層２３は、膜厚が例えば３０００Å〜５０００Å程度に形成され、リッド基板３に形成された凹部３ａの周囲を囲むようにベース基板２の周縁に沿って形成されている。そして、ベース基板２とリッド基板３とは、凹部３ａをベース基板２の接合面側に対向させた状態でベース基板２に対して接合層２３を介して陽極接合されている。

また、外部電極６，７は、ベース基板２の外側端面における長手方向の両端に設置されており、各貫通電極８，９及び各引き回し電極２７，２８を介して圧電振動片５に電気的に接続されている。より具体的には、一方の外部電極６は、一方の貫通電極８及び一方の引き回し電極２７を介して圧電振動片５の一方のマウント電極に電気的に接続されている。また、他方の外部電極７は、他方の貫通電極９及び他方の引き回し電極２８を介して、圧電振動片５の他方のマウント電極に電気的に接続されている。

貫通電極８，９は、焼成によってスルーホール２１，２２に対して一体的に固定された筒体３２及び芯材部３１によって形成されたものであり、スルーホール２１，２２を完全に塞いでキャビティＣ内の気密を維持しているとともに、外部電極６，７と引き回し電極２７，２８とを導通させる役割を担っている。具体的に、一方の貫通電極８は、外部電極６と基部２６との間で引き回し電極２７の下方に位置しており、他方の貫通電極９は、外部電極７と振動腕部２５との間で引き回し電極２８の下方に位置している。

筒体３２は、ペースト状のガラスフリットが焼成されたものである。筒体３２は、両端が平坦で且つベース基板２と略同じ厚みの円筒状に形成されている。そして、筒体３２の中心には、芯材部３１が筒体３２の中心孔を貫通するように配されている。また、本実施形態ではスルーホール２１，２２の形状に合わせて、筒体３２の外形が円錐状（断面テーパ状）となるように形成されている。そして、この筒体３２は、スルーホール２１，２２内に埋め込まれた状態で焼成されており、これらスルーホール２１，２２に対して強固に固着されている。
上述した芯材部３１は、金属材料により円柱状に形成された導電性の芯材であり、筒体３２と同様に両端が平坦で、かつベース基板２の厚みと略同じ厚さとなるように形成されている。
なお、貫通電極８，９は、導電性の芯材部３１を通して電気導通性が確保されている。

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、ベース基板２に形成された外部電極６，７に対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片５の各励振電極に電流を流すことができ、一対の振動腕部２４，２５を接近・離間させる方向に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部２４，２５の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。

（圧電振動子の製造方法）
次に、上述した圧電振動子の製造方法について、図５に示すフローチャートを参照しながら説明する。
初めに、図５に示すように、圧電振動片作製工程を行って図１〜図４に示す圧電振動片５を作製する（Ｓ１０）。また、圧電振動片５を作製した後、共振周波数の粗調を行っておく。なお、共振周波数をより高精度に調整する微調に関しては、マウント後に行う。

（第１のウエハ作成工程）
図６は、圧電振動片をキャビティ内に収容した状態で、ベース基板用ウエハとリッド基板用ウエハとが陽極接合されたウエハ接合体の分解斜視図である。
次に、図５，図６に示すように、後にリッド基板３となるリッド基板用ウエハ５０を、陽極接合を行う直前の状態まで作製する第１のウエハ作製工程を行う（Ｓ２０）。具体的には、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチング等により最表面の加工変質層を除去した円板状のリッド基板用ウエハ５０を形成する（Ｓ２１）。次いで、リッド基板用ウエハ５０の内側端面５０ａ（図６における下面）に、エッチング等により行列方向にキャビティＣ用の凹部３ａを複数形成する凹部形成工程を行う（Ｓ２２）。
次に、後述するベース基板用ウエハ４０との間の気密性を確保するために、ベース基板用ウエハ４０との接合面となるリッド基板用ウエハ５０の少なくとも内側端面５０ａ側を研磨する研磨工程（Ｓ２３）を行い、内側端面５０ａを鏡面加工する。以上により、第２のウエハ作成工程（Ｓ２０）が終了する。

（第２のウエハ作成工程）
次に、上記工程と同時或いは前後のタイミングで、後にベース基板２となるベース基板用ウエハ４０を、陽極接合を行う直前の状態まで作製する第１のウエハ作製工程を行う（Ｓ３０）。まず、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチング等により最表面の加工変質層を除去した円板状のベース基板用ウエハ４０を形成する（Ｓ３１）。次いで、例えばプレス加工等により、ベース基板用ウエハ４０に一対の貫通電極８，９を配置するためのスルーホール２１，２２を複数形成するスルーホール形成工程を行う（Ｓ３２）。具体的には、プレス加工等によりベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂから凹部を形成した後、ベース基板用ウエハ４０の少なくとも内側端面４０ａ側から研磨することで、凹部を貫通させ、スルーホール２１，２２を形成することができる。

続いて、スルーホール形成工程（Ｓ３２）で形成されたスルーホール２１，２２内に貫通電極８，９を形成する貫通電極形成工程（Ｓ３３）を行う。これにより、スルーホール２１，２２内において、芯材部３１がベース基板用ウエハ４０の両端面４０ａ，４０ｂ（図６における上下面）に対して面一な状態で保持される。以上により、貫通電極８，９を形成することができる。

次に、ベース基板用ウエハ４０の内側端面４０ａに導電性材料をパターニングして、接合層２３を形成する接合層形成工程を行う（Ｓ３４）とともに、引き回し電極形成工程を行う（Ｓ３５）。なお、接合層２３はベース基板用ウエハ４０におけるキャビティＣの形成領域以外の領域、すなわちリッド基板用ウエハ５０の内側端面５０ａとの接合領域の全域に亘って形成する。このようにして、第２のウエハ製作工程（Ｓ３０）が終了する。

次に、第２のウエハ作成工程（Ｓ３０）で作成されたベース基板用ウエハ４０の各引き回し電極２７，２８上に、圧電振動片作成工程（Ｓ１０）で作成された圧電振動片５を、それぞれ金等のバンプＢを介してマウントする（Ｓ４０）。そして、上述した各ウエハ４０，５０の作成工程で作成されたベース基板用ウエハ４０及びリッド基板用ウエハ５０を重ね合わせる、重ね合わせ工程を行う（Ｓ５０）。具体的には、図示しない基準マーク等を指標としながら、両ウエハ４０，５０を正しい位置にアライメントする。これにより、マウントされた圧電振動片５が、リッド基板用ウエハ５０に形成された凹部３ａとベース基板用ウエハ４０とで囲まれるキャビティＣ内に収納された状態となる。

重ね合わせ工程後、重ね合わせた２枚のウエハ４０，５０を図示しない陽極接合装置に入れ、図示しない保持機構によりウエハの外周部分をクランプした状態で、所定の温度雰囲気で所定の電圧を印加して陽極接合する接合工程を行う（Ｓ６０）。具体的には、接合層２３とリッド基板用ウエハ５０との間に所定の電圧を印加する。すると、接合層２３とリッド基板用ウエハ５０との界面に電気化学的な反応が生じ、両者がそれぞれ強固に密着して陽極接合される。これにより、圧電振動片５をキャビティＣ内に封止することができ、ベース基板用ウエハ４０とリッド基板用ウエハ５０とが接合したウエハ接合体６０（例えば、厚さ０．４ｍｍｔ〜０．９ｍｍｔ程度）を得ることができる。そして、本実施形態のように両ウエハ４０，５０同士を陽極接合することで、接着剤等で両ウエハ４０，５０を接合した場合に比べて、経時劣化や衝撃等によるずれや、ウエハ接合体６０の反り等を防ぎ、両ウエハ４０，５０をより強固に接合することができる。

その後、一対の貫通電極８，９にそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極６，７を形成し（Ｓ７０）、圧電振動子１の周波数を微調整する（Ｓ８０）。

（個片化工程）
図７は、ウエハ接合体の個片化工程の手順を示すフローチャートである。また、図８〜図１３はウエハ接合体がマガジンに保持された状態を示す断面図であり、個片化工程を説明するための工程図である。
周波数の微調が終了後、接合されたウエハ接合体６０を切断して個片化する個片化工程を行う（Ｓ９０）。
個片化工程（Ｓ９０）では、図７，図８に示すように、まずＵＶテープ８０及びリングフレーム８１を用いて、ウエハ接合体６０を保持するためのマガジン８２を作成する（Ｓ９１）。リングフレーム８１は、その内径がウエハ接合体６０の直径よりも大径に形成されたリング状の部材であり、厚さ（軸方向における長さ）がウエハ接合体６０と同等に形成されている。また、ＵＶテープ８０はポリオレフィンからなるシート材に紫外線硬化樹脂、例えばアクリル系の粘着剤（粘着層）が塗布されたものであり、具体的には電気化学工業製のＵＨＰ−１５２５Ｍ３や、リンテック製のＤ５１０Ｔ等が好適に用いられている。また、ＵＶテープ８０は、比較的厚さの厚いものを用いることが好ましく、具体的には厚さが１６０μｍ以上１８０μｍ以下程度のものを用いることが好ましい。本実施形態では、例えば１７５μｍ程度のＵＶテープ８０が好適に用いられている。

マガジン８２は、リングフレーム８１の一方の面８１ａから、貫通孔８１ｂを塞ぐようにＵＶテープ８０を貼り付けることで作成することができる。そして、リングフレーム８１の中心軸とウエハ接合体６０の中心軸とを一致させた状態で、ＵＶテープ８０の粘着面にウエハ接合体６０を貼着する（Ｓ９２）。具体的には、ベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂ側（外部電極側）を、ＵＶテープ８０の粘着面に貼着する。これにより、ウエハ接合体６０がリングフレーム８１の貫通孔８１ｂ内にセットされた状態となる。この状態で、ウエハ接合体６０をレーザースクライブ装置（不図示）に搬送する（Ｓ９３）。

図１４は、トリミング工程を説明するための説明図であり、ウエハ接合体のリッド基板用ウエハを取り外した状態を示すベース基板用ウエハの平面図である。
ここで、図９，図１４に示すように、リッド基板用ウエハ５０とベース基板用ウエハ４０とを接合している接合層２３を剥離するトリミング工程を行う（Ｓ９４）。トリミング工程（Ｓ９４）では、接合層２３の吸収帯域波長の光を出射するレーザー、例えば波長が５３２ｎｍの第２高調波レーザーからなる第１レーザー８７を用い、レーザー光Ｒ１の照射領域の接合層２３を溶融させる。この場合、第１レーザー８７から出射されたレーザー光Ｒ１は、ビームスキャナ（ガルバノメーター）によって反射された後、Ｆθレンズを介して集光される。そして、集光されたレーザー光Ｒ１をウエハ接合体６０におけるリッド基板用ウエハ５０の外側端面（他方の面）５０ｂ側から照射しながら、レーザー光Ｒ１とウエハ接合体６０とを平行に相対移動させる。具体的には、各キャビティＣを仕切る隔壁上、すなわち圧電振動子１の輪郭線（切断予定線）Ｍ（図６参照）に沿って第１レーザー８７を走査する。

なお、トリミング工程（Ｓ９４）におけるレーザー光Ｒ１のスポット径は、例えば１０μｍ以上３０μｍ以下程度に設定されている。また、トリミング工程（Ｓ９４）のその他の条件としては、例えば第１レーザー８７の加工点平均出力が１．０Ｗ、周波数変調が２０ｋＨｚ、走査速度が２００ｍｍ／ｓｅｃ程度に設定することが好ましい。
これにより、輪郭線Ｍ上の接合層２３がレーザー光Ｒ１を吸収して加熱されることで、接合層２３が溶融し、レーザー光Ｒ１の照射領域（輪郭線Ｍ）より外側へ収縮する。その結果、両ウエハ４０，５０の接合面（リッド基板用ウエハ５０の内側端面５０ａ及びベース基板用ウエハ４０の内側端面４０ａ）上に、接合面から接合層２３が剥離されてなるトリミングラインＴが形成される。

次に、図１０に示すように、リッド基板用ウエハ５０における外側端面５０ｂの表層部分にレーザー光Ｒ２を照射し、ウエハ接合体６０にスクライブラインＭ’を形成する（Ｓ９５：スクライブ工程）。スクライブ工程（Ｓ９５）では、リッド基板用ウエハ５０（ソーダ石灰ガラス）の吸収帯域波長の光を出射するレーザー、例えば波長が２６６ｎｍのＵＶ−Ｄｅｅｐレーザーからなる第２レーザー８８を用い、レーザー照射領域のリッド基板用ウエハ５０の表層部分を溶融させる。具体的には、トリミング工程（Ｓ９４）と同様に、第２レーザー８８とウエハ接合体６０とを平行に相対移動させ、圧電振動子１の輪郭線Ｍに沿って第２レーザー８８を走査する。すると、リッド基板用ウエハ５０の表層部分がレーザー光Ｒ２を吸収して加熱されることで、リッド基板用ウエハ５０が溶融し、Ｖ溝状のスクライブラインＭ’が形成される。なお、上述したように第１レーザー８７と第２レーザー８８とは、各圧電振動子１の輪郭線Ｍに沿って走査される。これにより、接合層２３が剥離されたトリミングラインＴとスクライブラインＭ’とは、ウエハ接合体６０を厚さ方向からみて重なるように配置されることになる。

本実施形態のスクライブラインＭ’は、幅寸法が１４μｍ程度、深さ寸法が１１μｍ程度に形成されている。なお、幅寸法Ｗに対する深さ寸法Ｄの倍率を同等に設定することがより好ましい。なお、スクライブ工程（Ｓ９５）のその他の条件としては、例えば第２レーザー８８の加工点出力が２５０ｍＷ〜６００ｍＷ、パルスエネルギーが１００μＪ、加工閾値フルーエンスが３０Ｊ／（ｃｍ２・ｐｕｌｓｅ）、走査速度が４０ｍｍ／ｓｅｃ〜６０ｍｍ／ｓｅｃ、アパーチャーが１０ｍｍ、周波数が６５ｋＨｚ程度に設定することが好ましい。

次に、スクライブラインＭ’が形成されたウエハ接合体６０を、１つ１つの圧電振動子１に切断する切断工程を行う（Ｓ１００）。
切断工程（Ｓ１００）では、まず図１１に示すように、リングフレーム８１の他方の面８１ｃに、貫通孔８１ｂを塞ぐようにセパレーター（保護シート）８３を貼り付ける（Ｓ１０１）。セパレーター８３は、ブレーキング工程（Ｓ１０３）において、リッド基板用ウエハ５０の外側端面５０ｂを保護するとともに、ＵＶテープ８０とセパレーター８３とによってリングフレーム８１を塞ぐことで、ブレーキング時に発生する微小な塵埃等が後述するブレーキング装置７９内へ飛散することを防ぐためのものである。このようなセパレーター８３は、例えばポリエチレンテレフタレートフィルム（いわゆる、ＰＥＴ材）等によって、厚さが２０μｍ以上３０μｍ以下に形成されており、本実施形態では厚さ２５μｍのセパレーター８３を用いている。セパレーター８３の厚さが２０μｍよりも薄いと、後述するブレーキング工程（Ｓ１０３）において、セパレーター８３がウエハ接合体６０とともに切断される虞があるため好ましくない。一方、セパレーター８３の厚さが３０μｍよりも厚いと、セパレーター８３からウエハ接合体６０に作用する割断応力がセパレーター８３で緩和され、ウエハ接合体６０がスムーズに切断されず、切断面の表面精度が低下する虞があるため好ましくない。

そして、ウエハ接合体６０は、ＵＶテープ８０とセパレーター８３とにより挟持された状態で、リングフレーム８１の貫通孔８１ｂ内に保持される。この状態でウエハ接合体６０をブレーキング装置７９内に搬送する（Ｓ１０２）。

ブレーキング装置７９は、ウエハ接合体６０を載置するためのステージ７５と、ウエハ接合体６０を切断するための切断刃７０と、ステージ７５の下方（ウエハ接合体６０の載置面とは反対側）に配置されたＣＣＤカメラ（撮像手段）７４とを備えている。ステージ７５は石英ガラス等の透明材料からなるベース部７３（例えば、厚さ１０ｍｍｔ）と、ベース部７３上に配置されたシリコンラバー（弾性シート）７１とを備えている。シリコンラバー７１は、透明材料からなり、例えば厚さが２ｍｍｔ程度に形成されている。また、切断刃６０は、刃渡りの長さがウエハ接合体６０の直径よりも長く形成され、刃先角度θが例えば６０度〜９０度程度に形成されている。
この場合、ブレーキング装置７９内では、リッド基板用ウエハ５０の外側端面５０ｂ（一方の面）をステージ７５に向けた状態でウエハ接合体６０がセットされる。すなわち、ベース部７３上にシリコンラバー７１及びセパレーター８３を介してウエハ接合体６０が載置されることになる。

そして、ブレーキング装置７９内でセットされたウエハ接合体６０に対して、割断応力を加えるブレーキング工程を行う（Ｓ１０３）。ブレーキング工程（Ｓ１０３）では、まず切断刃７０がスクライブラインＭ’（トリミングラインＴ）上に配置されるように位置合わせを行う。具体的には、ステージ７５の下方に配置されたＣＣＤカメラ７４により、リッド基板用ウエハ５０上におけるスクライブラインＭ’の位置を検出し、この検出結果に基づいて切断刃７０をウエハ接合体６０の面方向に移動させる。これにより、切断刃７０の位置合わせを行うことができる。その後、切断刃７０をウエハ接合体６０の厚さ方向に移動（下降）させ、切断刃７０の刃先をベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂに押し当てる。その後、ウエハ接合体６０の厚さ方向に沿って押し込むように、所定のストローク（例えば、５０μｍ程度）で切断刃７０を移動させる。この際、ウエハ接合体６０に所定の荷重（例えば、１０ｋｇ／ｉｎｃｈ）が付与される。

これにより、ウエハ接合体６０には、厚さ方向に沿ってクラックが発生し、ウエハ接合体６０がリッド基板用ウエハ５０上に形成されたスクライブラインＭ’に沿って折れるように切断される。この際、本実施形態のブレーキング装置７９は、ウエハ接合体６０がステージ７５のシリコンラバー７１上にセットされているため、切断刃７０をウエハ接合体６０に押し込むことで、シリコンラバー７１が弾性変形する。これに伴い、ウエハ接合体６０がシリコンラバー７１の表面に倣ってステージ７５に向かって湾曲するように僅かに撓み変形する。これにより、ウエハ接合体６０に付与される割断応力がスクライブラインＭ’の底頂部に集中し易くなる。さらに、切断刃７０とウエハ接合体６０との接触点以外に作用する、切断刃７０による荷重がシリコンラバー７１に逃げる（吸収または減衰する）ことになる。

これにより、ウエハ接合体６０に対して荷重を加えた場合に、スクライブラインＭ’の底頂部がクラック発生の起点となり、ウエハ接合体６０にはリッド基板用ウエハ５０の外側端面５０ａからベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂに向かって厚さ方向に沿ってクラックが進行し易くなる。その結果、ウエハ接合体６０が溝に沿って折れるように切断されることになる。また、上述した割断応力とはスクライブラインＭ’から離間する方向（各圧電振動子１が離間する方向）に発生する引張応力である。

ここで、本願発明者は、ベース部７３上に配置されたシリコンラバー７１の厚さを変えてそれぞれブレーキング工程を行い、ウエハ接合体６０の切断面（圧電振動子１の側面）を観察する試験を行った。なお、各ブレーキング工程におけるＵＶテープ８０は何れも厚さが１７５μｍのものを用い、またスクライブラインＭ’を形成するための第２レーザー８８の条件は加工点出力が４５０ｍＷ、走査速度が４０ｍｍ／ｓｅｃ、アパーチャーが１０ｍｍ、周波数が６５ｋＨｚに設定されている。
図１５は、厚さ１ｍｍｔのシリコンラバー７１を用いてブレーキングを行った場合における圧電振動子１の側面図である。
図１５に示すように、厚さが１ｍｍｔのシリコンラバー７１を用いてブレーキングを行うと、圧電振動子１の側面の複数箇所（例えば、図１５中領域Ｎ１〜Ｎ３）において、残留応力が発生して歪として残ってしまっていることがわかる。これは、シリコンラバー７１が薄すぎると、ウエハ接合体６０に作用する割断応力がスクライブラインＭ’の底頂部に効率的に集中しておらず、スクライブラインＭ’以外の部位にも大きな荷重が作用することで、ウエハ接合体６０がスムーズに切断されなかったためと考えられる。
図１６は、厚さ１ｍｍｔのシリコンラバー７１を用いてブレーキングを行った場合におけるウエハ接合体６０におけるベース基板用ウエハ４０側の平面図である。
また、図１６に示すように、厚さが１ｍｍｔのシリコンラバー７１を用いてブレーキングを行うと、スクライブラインＭ’とは異なる位置からウエハ接合体６０にクラックが入り、ウエハ接合体６０が斜めに割れる場合があった（図１６中符号Ｌ参照）。なお、シリコンラバー７１が１ｍｍｔの場合には、特に切断線の交差部分、すなわち圧電振動子１の角部となる部位同士が接触してチッピングが発生することもあった。

図１７は厚さ２ｍｍｔのシリコンラバー７１を用いてブレーキングを行った場合における圧電振動子１の側面図である。
上述した結果に対して、本実施形態のように厚さが２ｍｍｔのシリコンラバー７１を用いてブレーキングを行うと、図１７に示すように、圧電振動子１の側面は残留応力の痕跡もなく、良好な面に形成されていることがわかる。この場合、圧電振動子１の角部等においてチッピングの発生もほとんどないことがわかる。これは上述したように、厚さが２ｍｍｔのシリコンラバー７１では、ウエハ接合体６０に付与される割断応力がスクライブラインＭ’の底頂部に集中し易くなるとともに、切断刃７０とウエハ接合体６０との接触点以外に作用する切断刃７０による荷重がシリコンラバー７１に効果的に逃げる（吸収または緩和する）ことになるため、より良好な切断面を得ることができると考えられる。

なお、図示しないが、厚さが３ｍｍｔのシリコンラバー７１を用いて同じようにブレーキングを行うと、ウエハ接合体６０がクラッシュしてしまう現象が発生した。これは、厚さが３ｍｍｔのシリコンラバー７１はクッション性が高すぎるため、ウエハ接合体６０を切断する際に比較的大きな荷重を付与することが必要になる。そして、この荷重がスクライブラインＭ’以外の領域にも作用する結果、切断時においてウエハ接合体６０が粉々に破損してしまうためと考えられる。
以上の結果から、ブレーキング装置７９のステージ７５に用いるシリコンラバー７１の厚さは２ｍｍが好ましい。

そして、図１１に戻り、上述した方法により各スクライブラインＭ’毎に切断刃７０を押し当てることで、ウエハ接合体６０を輪郭線Ｍ毎のパッケージに一括して分離することができる。その後、ウエハ接合体６０に貼り付けられたセパレーター８３を剥離する（Ｓ１０４）。

次に、個片化された圧電振動子１を取り出すためのピックアップ工程を行う（Ｓ１１０）。ピックアップ工程（Ｓ１１０）では、まずマガジン８２のＵＶテープ８０に対してＵＶ照射し、ＵＶテープ８０の粘着力を僅かに低下させる（Ｓ１１１）。なお、この状態では、ウエハ接合体６０は未だＵＶテープ８０に貼り付いた状態である。

次に、後述するエクスパンド工程（Ｓ１１３）を行うために、図１２に示すように、ウエハ接合体６０をエクスパンド装置９１内に搬送する（Ｓ１１２）。そこで、まずエクスパンド装置９１について説明する。
エクスパンド装置９１は、リングフレーム８１がセットされる円環状のベースリング９２と、ベースリング９２の内側に配置され、ウエハ接合体６０よりも大径に形成された円板状のヒーターパネル９３とを備えている。ヒーターパネル９３は、ウエハ接合体６０がセットされるベースプレート９４に伝熱型のヒーター（不図示）が搭載されたものであり、ヒーターパネル９３の中心軸がベースリング９２の中心軸に一致するように配置されている。また、ヒーターパネル９３は、図示しない駆動手段によって軸方向に沿って移動可能に構成されている。なお、図示しないがエクスパンド装置９１は、ベースリング９２上にセットされるリングフレーム８１を、ベースリング９２との間で挟持する押え部材も備えている。

このような装置を用いてエクスパンド工程（Ｓ１１３）を行うには、まずウエハ接合体６０をエクスパンド装置９１にセットする前に、後述するグリップリング８５のうち、内側リング８５ａをヒーターパネル９３の外側にセットする。この時、内側リング８５ａは、ヒーターパネル９３に固定され、ヒーターパネル９３の移動時にともに移動するようにセットされる。なお、グリップリング８５は、内径がヒーターパネル９３の外径よりも大きく、リングフレーム８１の貫通孔８１ｂの内径よりも小さく形成された樹脂製のリングであり、内側リング８５ａと、内径が内側リング８５ａの外径と同等に形成された外側リング８５ｂ（図１３参照）とで構成されている。すなわち、内側リング８５ａは外側リング８５ｂの内側に嵌まり込むようになっている。

その後、マガジン８２に固定されたウエハ接合体６０をエクスパンド装置９１にセットする。この時、ＵＶテープ８０側をヒーターパネル９３及びベースリング９２に向けてウエハ接合体６０をセットする。具体的に、ウエハ接合体６０の外側端面４０ｂとヒーターパネル９３とを対向させるとともに、リングフレーム８１の一方の面８１ａとベースリング９２とを対向させた状態で、ウエハ接合体６０をエクスパンド装置９１にセットする。これにより、ヒーターパネル９３上にＵＶテープ８０を介してウエハ接合体６０がセットされる。そして、図示しない押え部材によってリングフレーム８１をベースリング９２との間に挟持する。

次に、ヒーターパネル９３のヒーターによってＵＶテープ８０を５０℃以上に加熱する。ＵＶテープ８０を５０℃以上に加熱することで、ＵＶテープ８０が軟化して延伸し易くなる。そして、図１３に示すように、ＵＶテープ８０を加熱した状態でヒーターパネル９３を内側リング８５ａとともに上昇させる（図１３中矢印参照）。この時、リングフレーム８１はベースリング９２と押え部材との間で挟持されているので、ＵＶテープ８０がウエハ接合体６０の径方向外側に向かって延伸する。これにより、ＵＶテープ８０に貼着された圧電振動子１同士が離間し、隣接する圧電振動子１間のスペースが拡大する。そして、この状態で内側リング８５ａの外側に外側リング８５ｂをセットする。具体的には、内側リング８５ａと外側リング８５ｂとの間にＵＶテープ８０を挟んだ状態で、両者を嵌め合わせる。これにより、ＵＶテープ８０が延伸された状態でグリップリング８５に保持される。そして、グリップリング８５の外側のＵＶテープ８０を切断し、リングフレーム８１とグリップリング８５とを分離する（Ｓ１１４）。

その後、ＵＶテープ８０に対して再びＵＶ照射し、ＵＶテープ８０の粘着力をさらに低下させる（Ｓ１１５：紫外線照射工程）。これにより、ＵＶテープ８０から圧電振動子１が剥離される。その後、画像認識等により各圧電振動子１の位置を把握して、ノズル等により吸引することで、ＵＶテープ８０から剥離された圧電振動子１を取り出していく。このように、ＵＶテープ８０にＵＶ照射してＵＶテープ８０から圧電振動子１を剥離することで、個片化された圧電振動子１を取り出し易くすることができる。なお、本実施形態では上述したブレーキング工程（Ｓ１０３）おいて、リッド基板用ウエハ５０のスクライブラインＭ’に沿って個片化を行うため、個片化された圧電振動子１のリッド基板３の上部周縁にはスクライブラインＭ’によってＣ面取りが施された面取り部９０が形成される。
以上により、互いに陽極接合されたベース基板２とリッド基板３との間に形成されたキャビティＣ内に圧電振動片５が封止された、図１に示す２層構造式表面実装型の圧電振動子１を一度に複数製造することができる。

その後、図５に示すように、内部の電気特性検査を行う（Ｓ１２０）。すなわち、圧電振動片５の共振周波数、共振抵抗値、ドライブレベル特性（共振周波数及び共振抵抗値の励振電力依存性）等を測定してチェックする。また、絶縁抵抗特性等を併せてチェックする。そして、最後に圧電振動子１の外観検査を行って、寸法や品質等を最終的にチェックする。これをもって圧電振動子１の製造が終了する。

このように、本実施形態では、ステージ７５のシリコンラバー７１上にウエハ接合体６０をセットした状態でブレーキング工程を行う構成とした。
この構成によれば、スクライブラインＭ’に沿ってウエハ接合体６０に切断刃７０を押し当てることで、シリコンラバー７１が弾性変形し、ウエハ接合体６０がシリコンラバー７１の弾性変形に倣ってシリコンラバー７１に向かって湾曲するように僅かに撓み変形する。これにより、ウエハ接合体６０に付与される割断応力がスクライブラインＭ’の底頂部に集中し易くなる。
その結果、ウエハ接合体６０に対して割断応力を加えた場合に、スクライブラインＭ’の底頂部がクラック発生の起点となり、ウエハ接合体６０におけるリッド基板用ウエハ５０の外側端面５０ａからベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂに向かってクラックが進行しやすくなって、ウエハ接合体６０がスクライブラインＭ’に沿って折れるように切断されることになる。
したがって、ウエハ接合体６０をスクライブラインＭ’に沿ってよりスムーズ、かつ容易に切断することができる。そのため、クラッシュの発生を抑えるとともに、チッピングの発生も抑え、残留応力の痕跡がない、良好な切断面を得ることができる。これにより、ウエハ接合体６０から圧電振動子１を所望のサイズに切断することができる。その結果、１枚のウエハ接合体６０から良品として取り出される圧電振動子１の数を増加することができ、歩留まりを向上させることができる。

また、ブレーキング工程において、切断刃７０の先端をベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂに接触させた状態で、ウエハ接合体６０の厚さ方向に沿って押し込むように切断刃７０を移動させることで、スクライブラインＭ’に沿って確実に割断応力を加えることができる。そのため、ウエハ接合体６０の厚さ方向へのクラック進行を促進することができる。また、従来のようにウエハ接合体に対して切断刃を落下させる場合に比べて、切断刃とウエハ接合体６０との衝突によるチッピングの発生等を防止することができる。したがって、より良好な切断面を得ることができる。

さらに、本実施形態ではウエハ接合体６０に切断刃７０を接触させる際、ＣＣＤカメラ７４により検出されたスクライブラインＭ’の位置に基づいて切断刃７０を位置合わせする構成とした。
この構成によれば、スクライブラインＭ’と切断刃７０とを位置合わせすることで、スクライブラインＭ’に沿って確実に割断応力を付与することができるので、ウエハ接合体６０をよりスムーズ、かつ容易に切断することができる。

本実施形態では、マガジン８２のセパレーター８３がウエハ接合体６０とシリコンラバー７１との間に介在することになるので、仮にウエハ接合体６０の切断時に微小な塵埃等が飛散した場合には、塵埃等をシリコンラバー７１により捕捉することができる。
その結果、シリコンラバー７１上に載置されるウエハ接合体６０が塵埃等に当接して傷付くことを防止できる。また、ウエハ接合体６０を常にシリコンラバー７１に密着させた状態で載置することができるので、ウエハ接合体６０の載置時におけるガタツキ等を防止し、ウエハ接合体６０を厚さ方向に沿って確実に切断することができる。

しかも、本実施形態では、ウエハ接合体６０を個片化した後、エクスパンド工程（Ｓ１１３）を行うことで、隣接する各圧電振動子１の間隔を均等に広げることができるので、隣接する圧電振動子１同士を確実に分離することができる。したがって、エクスパンド工程（Ｓ１１３）後にＵＶテープ８０から圧電振動子１を取り出す際、個片化された圧電振動子１を認識し易くなるので（認識精度が向上するので）、各圧電振動子１を容易に取り出すことができる。
また、エクスパンド工程（Ｓ１１３）後にＵＶテープ８０から圧電振動子１を取り出す際、隣接する圧電振動子１との接触等を防ぎ、圧電振動子１同士の接触によるチッピングの発生等を防止して、圧電振動子１の割れを防ぐことができる。よって、１枚のウエハ接合体６０から良品として取り出される圧電振動子１の数を増加することができ、歩留まりを向上させることができる。

また、上述したようにエクスパンド工程（Ｓ１１３）においてＵＶテープ８０が破断等を起こす虞がないので、スクライブ工程（Ｓ９５）等で使用したＵＶテープ８０を交換することなく、そのままエクスパンド工程（Ｓ１１３）で用いることができる。すなわち、エクスパンド工程（Ｓ１１３）に先立って、ＵＶテープ８０の張替え工程等を行う必要がないので、製造効率の低下及び製造コストの増加を防止することができる。
一方、厚さが１８０μｍ以下に形成されたＵＶテープ８０を用いることで、ＵＶテープ８０を延伸させるために必要な力を抑制することができるので、製造効率を向上させることができる。また、市場において容易に調達することができるので、ＵＶテープ８０に要する材料コストを低下させることができる。

なお、スクライブ工程（Ｓ９５）に先立って輪郭線Ｍ上の接合層２３を剥離してトリミングラインＴを形成することで、ブレーキング時にウエハ接合体６０の厚さ方向へのクラック進行を促進するとともに、ウエハ接合体６０の面方向へのクラック進行を防ぐことができる。

また、本実施形態の圧電振動子１のリッド基板３は、その周縁部に面取り部９０が形成されている構成とした。
この構成によれば、ピックアップ工程（Ｓ１１０）において、仮に個片化された圧電振動子１を取り出す際に、圧電振動子１を取り出すための器具が、圧電振動子１の角部に接触した場合であっても、接触によるチッピングの発生を抑制することができる。そのため、チッピングをきっかけに圧電振動子１が割れることがない。
これにより、キャビティＣ内の気密が確保することができ、振動特性に優れた信頼性の高い圧電振動子１を提供することができる。
なお、面取り部９０は、第２レーザー８８によりスクライブラインＭ’を形成した後、スクライブラインＭ’に沿って切断することで自動的に形成することができるので、切断後の圧電振動子１にそれぞれ面取り部９０を形成する必要がない。その結果、面取り部を別工程で形成する場合に比べてコスト上昇を抑制し、作業効率を向上させることができる。

（発振器）
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１８を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１００は、図１８に示すように、圧電振動子１を、集積回路１０１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１００は、コンデンサ等の電子部品１０２が実装された基板１０３を備えている。基板１０３には、発振器用の上述した集積回路１０１が実装されており、この集積回路１０１の近傍に、圧電振動子１が実装されている。これら電子部品１０２、集積回路１０１及び圧電振動子１は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。

このように構成された発振器１００において、圧電振動子１に電圧を印加すると、この圧電振動子１内の圧電振動片５が振動する。この振動は、圧電振動片５が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１０１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１０１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子１が発振子として機能する。
また、集積回路１０１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。

上述したように、本実施形態の発振器１００によれば、高品質化された圧電振動子１を備えているので、発振器１００自体も同様に高品質化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定した高精度な周波数信号を得ることができる。

（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１９を参照して説明する。なお電子機器として、上述した圧電振動子１を有する携帯情報機器１１０を例にして説明する。始めに本実施形態の携帯情報機器１１０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。

次に、本実施形態の携帯情報機器１１０の構成について説明する。この携帯情報機器１１０は、図１９に示すように、圧電振動子１と、電力を供給するための電源部１１１とを備えている。電源部１１１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１１１には、各種制御を行う制御部１１２と、時刻等のカウントを行う計時部１１３と、外部との通信を行う通信部１１４と、各種情報を表示する表示部１１５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１１６とが並列に接続されている。そして、電源部１１１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。

制御部１１２は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１１２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。

計時部１１３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子１とを備えている。圧電振動子１に電圧を印加すると圧電振動片５が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１１２と信号の送受信が行われ、表示部１１５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。

通信部１１４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９、増幅部１２０、音声入出力部１２１、電話番号入力部１２２、着信音発生部１２３及び呼制御メモリ部１２４を備えている。
無線部１１７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１２５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１１８は、無線部１１７又は増幅部１２０から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部１２０は、音声処理部１１８又は音声入出力部１２１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。

また、着信音発生部１２３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１１９は、着信時に限って、音声処理部１１８に接続されている増幅部１２０を着信音発生部１２３に切り替えることによって、着信音発生部１２３において生成された着信音が増幅部１２０を介して音声入出力部１２１に出力される。
なお、呼制御メモリ部１２４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２２は、例えば、０から９の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。

電圧検出部１１６は、電源部１１１によって制御部１１２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１１２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１１４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１１６から電圧降下の通知を受けた制御部１１２は、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９及び着信音発生部１２３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１１７の動作停止は、必須となる。さらに、表示部１１５に、通信部１１４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。

すなわち、電圧検出部１１６と制御部１１２とによって、通信部１１４の動作を禁止し、その旨を表示部１１５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１１５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部１１４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部１２６を備えることで、通信部１１４の機能をより確実に停止することができる。

上述したように、本実施形態の携帯情報機器１１０によれば、高品質化された圧電振動子１を備えているので、携帯情報機器自体も同様に高品質化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定した高精度な時計情報を表示することができる。

次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図２０を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１３０は、図２０に示すように、フィルタ部１３１に電気的に接続された圧電振動子１を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。

（電波時計）
以下、電波時計１３０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１３２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１３３によって増幅され、複数の圧電振動子１を有するフィルタ部１３１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子１は、上述した搬送周波数と同一の４０ｋＨｚ及び６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部１３８、１３９をそれぞれ備えている。

さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１３４により検波復調される。
続いて、波形整形回路１３５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１３６でカウントされる。ＣＰＵ１３６では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１３７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１３８、１３９は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。

なお、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計１３０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子１を必要とする。

上述したように、本実施形態の電波時計１３０によれば、高品質化された圧電振動子１を備えているので、電波時計自体も同様に高品質化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定して高精度に時刻をカウントすることができる。

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、上述した実施形態では、音叉型の圧電振動片５を例に挙げて説明したが、音叉型に限られるものではない。例えば、厚み滑り振動片としても構わない。

また、上述した実施形態では、ブレーキング工程においてリッド基板用ウエハ５０の外側端面５０ｂにスクライブラインＭ’を形成する一方、ベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂから切断刃７０を押し当てる場合について説明したが、これに限られない。例えば、ベース基板用ウエハ４０の外側端面４０ｂにスクライブラインＭ’を形成する一方、リッド基板用ウエハ５０の外側端面５０ｂから切断刃７０を押し当ててもよい。
さらに、ベース基板用ウエハ４０に凹部３ａを形成してもよく、両ウエハ４０，５０に凹部３ａをそれぞれ形成してもよい。

１…圧電振動子（パッケージ，接合ガラス片） ２…ベース基板（ガラス基板） ３…リッド基板（ガラス基板） ４…圧電振動片（電子部品） ２３…接合膜（接合材） ６０…ウエハ接合体（接合ガラス） ７０…切断刃 ７１…シリコンラバー（弾性シート） ７４…ＣＣＤカメラ（撮像手段） ８０…ＵＶテープ（粘着シート） ８３…保護シート １００…発振器 １１０…携帯情報機器（電子機器） １３０…電波時計 Ｃ…キャビティ Ｍ’…スクライブライン（溝）

Claims (11)

1. 複数のガラス基板の接合面同士が接合材を介して接合されてなる接合ガラスを、切断予定線に沿って切断する接合ガラスの切断方法であって、
   前記接合ガラスの吸収波長のレーザー光を前記切断予定線に沿って照射して、前記切断予定線に沿って前記接合ガラスの一方の面に溝を形成する溝形成工程と、
   前記切断予定線に沿って前記接合ガラスの他方の面に切断刃を押し当てて割断応力を加えることで、前記切断予定線に沿って前記接合ガラスを切断する切断工程とを有し、
   前記切断工程は、前記接合ガラスを弾性シート上に載置し、前記接合ガラスの前記一方の面を前記弾性シートに向けた状態で行うことを特徴とする接合ガラスの切断方法。
2. 前記弾性シートは透明材料からなり、
   前記切断工程では、前記弾性シートを間に挟んで前記接合ガラスの反対側から撮像手段によって前記溝の位置を検出し、前記撮像手段による検出結果に基づいて、前記接合ガラス上における前記切断刃の刃先の位置合わせを行うことを特徴とする請求項１記載の接合ガラスの切断方法。
3. 前記切断工程では、前記接合ガラスの一方の面側に保護シートが貼り付けられた状態で前記接合ガラスを切断することを特徴とする請求項１または請求項２記載の接合ガラスの切断方法。
4. 前記切断工程では、前記接合ガラスの他方の面に粘着シートが貼り付けられた状態で、前記接合ガラスを切断し、
   前記切断工程の後段で、前記接合ガラスの面方向に沿って前記粘着シートを延伸することで、前記接合ガラスが切断されてなる複数の接合ガラス片の間隔を広げるエクスパンド工程を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の接合ガラスの切断方法。
5. 前記粘着シートは、シート材と、前記シート材を前記接合ガラスに接着する紫外線硬化型の粘着層とを有し、
   前記エクスパンド工程の後段で、前記粘着シートの前記粘着層に対して紫外線を照射して、前記粘着層の粘着力を低下させる紫外線照射工程を有することを特徴とする請求項４記載の接合ガラスの切断方法。
6. 請求項１ないし請求項５の何れか１項に記載の接合ガラスの切断方法を使用して、前記接合ガラスの内側に電子部品を封入可能なキャビティを備えたパッケージを製造する方法であって、
   前記切断工程では、複数の前記パッケージの形成領域を隔する前記切断予定線に沿って前記接合ガラスを切断することを特徴とするパッケージの製造方法。
7. 請求項１ないし請求項５の何れか１項に記載の接合ガラスの切断方法を使用して形成され、前記接合ガラスの内側に電子部品を封入可能なキャビティを備えたパッケージであって、
   前記接合ガラスが切断されてなる接合ガラス片の前記一方の面に、前記溝が割断されてなる面取り部を有していることを特徴とするパッケージ。
8. 請求項７記載のパッケージの前記キャビティ内に、圧電振動片が気密封止されてなることを特徴とする圧電振動子。
9. 請求項８記載の前記圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
10. 請求項８記載の前記圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
11. 請求項８記載の前記圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。