JP2011119900A - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板上に形成されており、異なる電位に接続される電極3,4を有するIDT電極2と、圧電基板上に形成された第1,第2の電極9,10を有する放電誘発電極7とを備え、圧電基板11の放電誘発電極が設けられている領域において圧電基板表面に金属拡散層11aが形成されている、弾性波装置1。
【選択図】図2
Description
2…IDT電極
3…第1のくし歯電極
3a…電極指
3b…バスバー
4…第2のくし歯電極
4a…電極指
5…入力端子
6…出力端子
7…第1の放電誘発電極
8…第2の放電誘発電極
9…第1の放電誘発電極の第1の電極
9a…電極指
10…第1の放電誘発電極の第2の電極
10a…電極指
11…圧電基板
11a…金属拡散層
12,13…第1,第2の電極層
12a…電極指
14,15…第1,第2の電極層
16…絶縁層
19…第2の放電誘発電極の第1の電極
19a…電極指
20…第2の放電誘発電極の第2の電極
20a…電極指
21…バリア層
30…グラウンド端子
G1,G2…ギャップ
R1,R2…抵抗値
Claims (11)
- 圧電基板と、圧電基板上に形成されており、異なる電位に接続される複数の電極を有するIDT電極とを備え、前記IDT電極により弾性波素子が構成されており、該弾性波素子の入力端子と出力端子と、グラウンド電位に接続される端子とを備える弾性波装置であって、
前記入力端子または出力端子の少なくとも一方の端子と前記グラウンド電位に接続される端子との間に接続されており、かつ前記圧電基板上において、ギャップを隔てて配置された第1,第2の電極を有する放電誘発電極をさらに備え、該放電誘発電極が設けられている領域において前記圧電基板表面に金属拡散層が形成されている、弾性波装置。 - 前記金属拡散層が設けられている部分における圧電基板の表面抵抗値が、前記弾性波素子のIDT電極を含む電極が形成されている部分における圧電基板の表面抵抗値よりも小さい、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記放電誘発電極の前記圧電基板と接している部分の電極構成金属が前記圧電基板に拡散されて前記金属拡散層が形成されている、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1,第2の電極がそれぞれくし歯電極であり、第1,第2のくし歯電極が複数本の電極指を有し、放電誘発電極における隣り合う第1,第2の電極間抵抗が、前記IDT電極の異なる電位に接続される電極間抵抗よりも小さい、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記放電誘発電極の第1,第2の電極間のギャップのうちの最小のギャップが、前記IDT電極における異なる電位に接続される電極間のギャップのうちの最小のギャップよりも大きくされている、請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記弾性波素子が構成されている領域において、前記IDT電極と前記圧電基板との間に絶縁物または半導体からなるバリア層が形成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の前記圧電基板と接する部分の電極構成金属と、前記放電誘発電極の前記圧電基板に接している電極構成金属が同一である、請求項6に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の前記圧電基板と接する部分の電極構成金属と、前記放電誘発電極の前記圧電基板に接している電極構成金属が異なる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の前記圧電基板に接している部分の電極構成金属の圧電基板への拡散係数よりも、前記放電誘発電極の圧電基板に接している電極構成金属の圧電基板への拡散係数が高い、請求項1〜5及び8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板に複数の前記弾性波素子が構成されており、少なくとも1つの弾性波素子において、圧電基板にIDT電極が接している部分のIDT電極の電極構成金属が圧電基板に拡散されており、残りの弾性波素子において、IDT電極の圧電基板に接している部分の電極構成金属が圧電基板に拡散されていない、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板に前記弾性波素子が複数構成されており、少なくとも1つの弾性波素子におけるIDT電極の異なる電位に接続される電極間のギャップのうちの最小のギャップが、残りの弾性波素子のIDT電極における異なる電位に接続される電極間のギャップのうちの最小のギャップと異なっており、前記最もギャップが狭いIDT電極を有する弾性波素子における電極間抵抗が、残りの弾性波素子のIDT電極の電極間抵抗よりも小さくされている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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JP5413160B2 JP5413160B2 (ja) | 2014-02-12 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015159470A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-09-03 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 弾性表面波素子 |
US10644671B2 (en) | 2014-05-07 | 2020-05-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005191744A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタ |
JP2006101082A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置および通信装置 |
-
2009
- 2009-12-02 JP JP2009274431A patent/JP5413160B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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