JP2011119294A - Coating apparatus and method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、塗布装置および塗布方法に関する。 The present invention relates to a coating apparatus and a coating method.
半導体製造装置において、ペーストをリードフレーム等に塗布する工程がある。この塗布装置には、転写ピンを用いたものがある(特許文献1及び特許文献2)。このような転写ピンを用いたものは、図10と図11に示すように塗布装置である。
In a semiconductor manufacturing apparatus, there is a step of applying a paste to a lead frame or the like. Some of these coating apparatuses use transfer pins (
この塗布装置は、基台1に配置されるXYZステージ2と、このXYZステージ2に付設される転写ピン3とを備える。XYZステージ2は、リニアガイド機構5を介して基台1上をX軸方向に往復動する第1テーブル6と、リニアガイド機構7を介して第1テーブル6上をY軸方向に往復動する第2テーブル8と、リニアガイド機構9を介して第2テーブル8上をZ軸方向に往復動する第3テーブル10とを備える。第3テーブル10に転写ピン3が付設されている。
The coating apparatus includes an
この場合、第1テーブル6には、鉛直方向に延びる第1部11aとこの第1部11aの下端から水平方向に延びる第2部11bとからなるL字状のアーム11が連設され、このアーム11の第2部11bに、ペーストが溜められるペースト皿12が設けられている。
In this case, an L-
次にこのような塗布装置を用いて、ワーク(被塗布部)13にペーストを塗布する方法を説明する。まず、転写ピン3をペースト皿12上に位置させた状態とし、図12に示すように、この状態から転写ピン3を下降させて、転写ピン3の下端をペースト皿12のペーストに浸漬した後、転写ピン3を矢印Aのように上昇させる。これによって、転写ピン3にペーストが付着する。この状態で、転写ピン3を矢印B方向に水平移動させ、ワーク13の上方に位置させる。その後、転写ピン3を矢印Cのように下降させて、転写ピン3に付着したペーストPをワーク13に表面に転写することによって塗布する。その後は、転写ピン3を上昇させた後、矢印Bと反対方向に水平方向に移動させて、初期状態に戻す。この動作を繰り返すことになる。
Next, a method for applying a paste to the workpiece (application portion) 13 using such an application apparatus will be described. First, the transfer pin 3 is placed on the
このように、図10と図11に示す装置では、転写ピン3をペースト皿12とワーク13との間を往復動させる必要がある。しかしながら、ペースト皿12上からワーク13上への移動は、転写ピン3にペーストPが付着しているので、高速で移動させた場合、ペーストPが転写ピン3から飛散するおそれがある。そのため、あまり高速で移動させることができず、塗布作業時間が大となり、生産性に劣ることになる。
Thus, in the apparatus shown in FIGS. 10 and 11, it is necessary to reciprocate the transfer pin 3 between the
そこで、このような装置を2機並設することによって、作業時間の短縮を図ることを提案できる。しかしながら、2機並設すれば、装置全体が大型化するとともに、コスト高となっていた。 Therefore, it can be proposed to shorten the working time by arranging two such devices in parallel. However, if two machines are installed side by side, the entire apparatus becomes large and the cost is high.
そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、生産性の向上を図ることができ、しかも、装置全体としても大型化せず、低コスト化を達成できる塗布装置および塗布方法を提供しようとするものである。 Therefore, in view of such circumstances, the present invention is intended to provide a coating apparatus and a coating method that can improve productivity and can achieve cost reduction without increasing the size of the entire apparatus. is there.
本発明の塗布装置は、ペースト状の塗布剤を被塗布部に塗布するための一対の転写ピンを備えた塗布装置であって、第1の転写ピンがペースト状の塗布剤が溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第2の転写ピンが被塗布部の上方に対応する第1状態と、第2の転写ピンがペースト状の塗布剤が溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第1の転写ピンが被塗布部の上方に対応する第2状態とに交互に変位させる状態変位手段と、第1状態及び第2状態において各転写ピンを上下方向であるZ軸方向に移動させるZ軸方向移動手段とを備えたものである。 The coating device of the present invention is a coating device including a pair of transfer pins for applying a paste-like coating agent to an application portion, and the first transfer pin is a coating agent in which a paste-like coating agent is stored. A first state corresponding to the upper part of the reservoir and the second transfer pin corresponding to the upper part of the application part, and a second transfer pin corresponding to the upper part of the application agent reservoir for storing the paste-like application agent. In addition, state displacement means for alternately displacing the first transfer pin to the second state corresponding to the upper part of the application portion, and each transfer pin in the first state and the second state are moved in the Z-axis direction which is the vertical direction. And Z-axis direction moving means.
本発明の塗布装置によれば、第1状態と第2状態とが状態変位手段にて交互に変位することができる。しかも、第1の転写ピンが塗布剤溜り部の上方に対応するときには、第2の転写ピンが被塗布部の上方に位置し、第2の転写ピンが塗布剤溜り部の上方に対応するときには、第1の転写ピンが被塗布部の上方に位置する。そして、第1状態又は第2状態において、各転写ピンをZ軸方向移動手段を介して下降させることによって、第1の転写ピン(又は第2の転写ピン)が塗布剤溜り部から塗布剤を受け取ることができ、第2の転写ピン(又は第1の転写ピン)からワークの被塗布部に塗布剤を転写させることができる。すなわち、一の転写ピンにて塗布剤溜り部から塗布剤を受け取っている間に、他の転写ピンにて塗布剤を塗布することができる。このため、従来の装置の2倍の作業性の向上を図ることができる。 According to the coating apparatus of the present invention, the first state and the second state can be alternately displaced by the state displacement means. In addition, when the first transfer pin corresponds to the upper part of the coating agent reservoir, the second transfer pin is located above the application part, and when the second transfer pin corresponds to the upper part of the coating agent reservoir. The first transfer pin is located above the portion to be coated. Then, in the first state or the second state, the first transfer pin (or the second transfer pin) removes the coating agent from the coating agent reservoir by lowering each transfer pin via the Z-axis direction moving means. The coating agent can be transferred from the second transfer pin (or the first transfer pin) to the coated portion of the workpiece. That is, while the coating agent is received from the coating agent reservoir with one transfer pin, the coating agent can be applied with another transfer pin. For this reason, the workability can be improved twice as much as that of the conventional apparatus.
前記状態変位手段は、XYZステージである変位ステージに設けられ、前記Z軸方向移動手段をこの変位ステージのZ軸方向移動機構にて構成することができる。このように構成することによって、変位ステージのZ軸方向移動機構にて状態変位手段を上下方向に移動させることができ、安定して、一の転写ピンにて塗布剤溜り部から塗布剤を受け取っている間に、他の転写ピンにて塗布剤を塗布することができる。 The state displacement means may be provided on a displacement stage that is an XYZ stage, and the Z-axis direction moving means may be configured by a Z-axis direction moving mechanism of the displacement stage. With this configuration, the state displacement means can be moved in the vertical direction by the Z-axis direction moving mechanism of the displacement stage, and the coating agent is stably received from the coating agent reservoir with one transfer pin. Meanwhile, the coating agent can be applied with another transfer pin.
Z軸方向移動手段は各転写ピンをそれぞれ独立してZ軸方向に変位させる移動機構を備え、前記状態変位手段がXYステージである変位ステージに配置されたものであってもよい。各転写ピンをそれぞれ独立してZ軸方向に変位させることができるので、塗布剤溜り部と被塗布部との高さ位置が相違していたとしても、これらの高さ位置に対応するように各転写ピンを上下動させることができる。 The Z-axis direction moving means may include a moving mechanism for independently displacing each transfer pin in the Z-axis direction, and the state displacing means may be arranged on a displacement stage that is an XY stage. Since each transfer pin can be independently displaced in the Z-axis direction, even if the height positions of the coating agent reservoir portion and the portion to be coated are different, they correspond to these height positions. Each transfer pin can be moved up and down.
ペースト皿が前記変位ステージに設けられるのが好ましい。このように、ペースト皿が変位ステージに設けられれば、ペースト皿と被塗布部との距離が大となるのを防止できる。 A paste dish is preferably provided on the displacement stage. Thus, if the paste dish is provided on the displacement stage, it is possible to prevent the distance between the paste dish and the portion to be coated from increasing.
前記状態変位手段は、前記一対の転写ピンが付設されるベルト部材と、このベルト部材を走行させる駆動機構と、この駆動機構を制御して、第1の転写ピンと第2の転写ピンとを交互に第1状態と第2状態とに変位させる制御手段とを備えたもので構成できる。 The state displacing means includes a belt member provided with the pair of transfer pins, a drive mechanism for driving the belt member, and the drive mechanism to control the first transfer pin and the second transfer pin alternately. It can comprise with the control means which displaces to a 1st state and a 2nd state.
このような状態変位手段では、制御手段にて制御しつつ、駆動機構にてベルト部材を走行させることによって、第1の転写ピンと第2の転写ピンとを交互に第1状態と第2状態とに安定して変位させることができる。 In such a state displacing unit, the first transfer pin and the second transfer pin are alternately switched between the first state and the second state by running the belt member with the driving mechanism while being controlled by the control unit. It can be displaced stably.
転写ピンがペースト状の塗布剤を受け取る受取位置(塗布剤溜り部の位置)が、塗布剤を転写する被塗布部よりも高位であったり、被塗布部よりも低位であったり、受取位置と被塗布部とが同一高さであったりする。 The receiving position where the transfer pin receives the paste-like coating agent (the position of the coating agent reservoir) is higher than the applied portion to which the coating agent is transferred, lower than the applied portion, The coated part may be the same height.
前記状態変位手段のベルト部材を前記受取位置と被塗布部とに対応して水平面に対して傾斜して配設することができる。これによって、第1の転写ピンと第2の転写ピンとの上下方向長さを同一に設定できるとともに、Z軸方向のストロークも同一とすることができる。 The belt member of the state displacing means can be disposed to be inclined with respect to a horizontal plane corresponding to the receiving position and the portion to be coated. Accordingly, the vertical lengths of the first transfer pin and the second transfer pin can be set to be the same, and the stroke in the Z-axis direction can also be made the same.
前記状態変位手段による前記一対の転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、転写ピンが被塗布部の上方に位置する状態では、この転写ピンを前記移動軌跡の交点に近接する終点上に位置させるようにできる。ここで、終点とは転写ピンの折り返し点(転写ピンが塗布剤溜り部側へ戻る点)である。移動軌跡の交点に近接する終点には、交点よりも塗布剤溜り部側及び交点よりも反塗布剤溜り部側を含むものとする。近接とは、この終点上の転写ピンを上下方向に沿って下降させた場合に被塗布部に転写できる範囲内とする。 The movement trajectory of the pair of transfer pins by the state displacing means has a square shape in a plan view, and when the transfer pin is positioned above the portion to be coated, the transfer pin is close to the intersection of the movement trajectories. It can be positioned on the end point. Here, the end point is the folding point of the transfer pin (the point at which the transfer pin returns to the coating agent reservoir). It is assumed that the end point close to the intersection of the movement trajectory includes the coating agent reservoir side of the intersection and the anti-coating agent reservoir side of the intersection. Proximity refers to a range in which the transfer pin on the end point can be transferred to the application portion when it is lowered along the vertical direction.
前記状態変位手段による前記一対の転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、転写ピンが被塗布部の上方に位置する状態では、この転写ピンを前記移動軌跡の交点上に位置させるようにするのが好ましい。 The movement trajectory of the pair of transfer pins by the state displacing means has a square shape in a plan view, and when the transfer pin is located above the portion to be coated, the transfer pin is placed on the intersection of the movement trajectories. It is preferable to be positioned.
ところで、前記したように状態変位手段として、一対の転写ピンが付設されるベルト部材を用いる場合、塗布剤を転写する際の両転写ピンの位置が、第1状態と第2状態とに変位する方向と直交する方向に必然的にずれる。このため、このような場合、第1の転写ピンにて転写するときと、第2の転写ピンにて転写するときには、このずれを吸収する方向に転写ピンを変位させる必要がある。これに対して、一対の転写ピンがそれぞれ平面視においてハの字状の移動軌跡をなすものでは、転写ピンで被塗布部に塗布剤を転写する際には、移動軌跡の交点乃至その近傍を通る鉛直方向(上下方向)に沿って各転写ピンを下降させることができる。このため、第1の転写ピンで転写する場合であっても、第2の転写ピンで転写する場合であっても、同一の部位乃至ほぼ同一の部位に転写することができ、前記したような転写ピンの位置調整の必要がない。 By the way, when the belt member provided with a pair of transfer pins is used as the state displacement means as described above, the positions of both transfer pins when transferring the coating agent are displaced between the first state and the second state. It inevitably deviates in a direction perpendicular to the direction. For this reason, in such a case, when transferring with the first transfer pin and when transferring with the second transfer pin, it is necessary to displace the transfer pin in a direction to absorb this deviation. On the other hand, when the pair of transfer pins has a C-shaped movement trajectory in plan view, when the coating agent is transferred to the application portion with the transfer pin, the intersection of the movement trajectory or the vicinity thereof is set. Each transfer pin can be lowered along the vertical direction (vertical direction). For this reason, even when transferring with the first transfer pin or when transferring with the second transfer pin, the transfer can be made to the same part or almost the same part. There is no need to adjust the position of the transfer pin.
前記状態変位手段は、前記一対の転写ピンをそれぞれ支持する支持アームと、各支持アームの前記移動軌跡に沿った移動をガイドするアームガイド機構と、一方の支持アームが塗布剤溜り部側から被塗布部側へ移動する際に他方の支持アームが被塗布部側から塗布剤溜り部側へ移動し、一方の支持アームが被塗布部側から塗布剤溜り部側へ移動する際に他方の支持アームが塗布剤溜り部側から被塗布部側へ移動するように前記アームガイド機構を制御するアーム制御機構とを備えたものとできる。 The state displacing means includes a support arm that supports the pair of transfer pins, an arm guide mechanism that guides the movement of each support arm along the movement trajectory, and one of the support arms from the coating agent reservoir side. The other support arm moves from the coated part side to the coating agent reservoir side when moving to the coating part side, and the other support arm moves when the one supporting arm moves from the coated part side to the coating agent reservoir part side An arm control mechanism that controls the arm guide mechanism so that the arm moves from the coating agent reservoir portion side to the coated portion side can be provided.
支持アームとアームガイド機構とアーム制御機構とを備えたものであれば、各転写ピンは、ハの字状の移動軌跡を安定して移動して正確にこの移動軌跡の交点上に位置することができる。 If a support arm, an arm guide mechanism, and an arm control mechanism are provided, each transfer pin stably moves along the C-shaped movement trajectory and is accurately positioned on the intersection of the movement trajectories. Can do.
本発明の塗布方法は、ペースト状の塗布剤を被塗布部に塗布する塗布方法であって、第1の転写ピンの先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤を受け取ると同時に、第2の転写ピンに付着した塗布剤を被塗布部に転写して塗布する第1工程と、第2の転写ピンの先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤を受け取ると同時に、第1の転写ピンに付着した塗布剤を被塗布部に転写して塗布するこの第2工程とを備え、第1工程と第2工程とを交互に行うものである。ここで、浸漬状乃至接触状とは、転写ピンの先端が塗布剤に浸漬された状態や転写ピンの先端が塗布剤の接触した状態をいい、この転写ピンの先端に塗布剤が付着することが可能な状態(転写ピンの先端面、又は先端面から先端面近傍の先端部に塗布剤が付着することが可能な状態)である。 The coating method of the present invention is a coating method in which a paste-like coating agent is applied to a portion to be coated, and when the tip of the first transfer pin is immersed or contacted with the paste-like coating agent, the coating agent is received. At the same time, a first step of transferring and applying the coating agent adhering to the second transfer pin to the application portion, and applying the coating agent with the tip of the second transfer pin immersed or contacted in a paste-like coating agent At the same time, the second step of transferring and applying the coating agent adhering to the first transfer pin to the portion to be coated is applied, and the first step and the second step are alternately performed. Here, the immersion or contact state means a state where the tip of the transfer pin is immersed in the coating agent or a state where the tip of the transfer pin is in contact with the coating agent, and the coating agent adheres to the tip of the transfer pin. (A state in which the coating agent can adhere to the tip surface of the transfer pin or the tip portion near the tip surface from the tip surface).
本発明の塗布方法によれば、一の転写ピンにて塗布剤溜り部から塗布剤を受け取っている間に、他の転写ピンにて塗布剤を塗布することができる。このため、従来の方法の2倍の作業性の向上を図ることができる。 According to the coating method of the present invention, while the coating agent is received from the coating agent reservoir with one transfer pin, the coating agent can be coated with another transfer pin. For this reason, the workability can be improved twice as much as the conventional method.
この方法において、第1工程と第2工程とを交互に行うときの各転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、塗布剤を被塗布部に転写して塗布するときの転写ピンを前記移動軌跡の交点に近接する終点上に位置させるようにできる。 In this method, when the first step and the second step are alternately performed, the movement trajectory of each transfer pin has a square shape in a plan view, and when the coating agent is transferred to the application portion and applied. The transfer pin can be positioned on the end point close to the intersection of the movement trajectories.
また、第1工程と第2工程とを交互に行うときの各転写ピンの移動軌跡は、平面視においてハの字状をなし、塗布剤を被塗布部に転写して塗布するときの転写ピンを前記移動軌跡の交点上に配置するのが好ましい。 In addition, the movement trajectory of each transfer pin when the first step and the second step are alternately performed has a cross-section in plan view, and the transfer pin when the coating agent is transferred to the application portion and applied. Is preferably arranged on the intersection of the movement trajectories.
これらによって、第1の転写ピンで転写する場合であっても、第2の転写ピンで転写する場合であっても、同一の部位乃至ほぼ同一の部位に転写することができる。 Thus, it is possible to transfer to the same site or almost the same site, regardless of whether the transfer is performed with the first transfer pin or the second transfer pin.
本発明の塗布装置および塗布方法では、従来の装置や方法の2倍の作業性の向上を図ることができ、生産性に優れる。しかも、装置全体としてはコンパクト化を図ることができて低コスト化を達成できる。 In the coating apparatus and the coating method of the present invention, the workability can be improved twice as much as the conventional apparatuses and methods, and the productivity is excellent. In addition, the overall apparatus can be made compact and the cost can be reduced.
Z軸方向移動手段をこの変位ステージのZ軸方向移動機構にて構成すれば、第1の転写ピンと第2の転写ピンとを同時に上下動させることができ、作業時間の一層の短縮化を図ることができる。しかも、軸数を減少させることができて、低コストを図ることができる。 If the Z-axis direction moving means is constituted by the Z-axis direction moving mechanism of the displacement stage, the first transfer pin and the second transfer pin can be moved up and down simultaneously, and the working time can be further shortened. Can do. In addition, the number of axes can be reduced, and the cost can be reduced.
転写ピンをそれぞれ独立してZ軸方向に変位させることができるものでは、塗布剤溜り部と被塗布部との高さ位置に対応するように各転写ピンを上下動させることができる。これにより、塗布剤の安定した取り出しと、塗布剤の安定した塗布が可能である。 In the case where the transfer pins can be displaced independently in the Z-axis direction, the transfer pins can be moved up and down so as to correspond to the height positions of the coating agent reservoir portion and the coated portion. Thereby, it is possible to stably take out the coating agent and stably apply the coating agent.
ペースト皿が変位ステージに設けられれば、ペースト皿と被塗布部との距離が大となるのを防止でき、転写ピンの移動量を小さくできて移動時間が大となるのを有効に防止できて、生産性の向上を図ることができる。 If the paste plate is provided on the displacement stage, the distance between the paste plate and the coated part can be prevented from becoming large, and the movement amount of the transfer pin can be reduced and the movement time can be effectively prevented from increasing. , Productivity can be improved.
ペースト皿が変位ステージに設けられることによって、ペースト皿を、塗布剤を転写する被塗布部よりも高位に配置することができる。これによって、被塗布部のワーク上にペースト皿を位置させることが可能となって、塗布剤を転写すべき全ワークの被塗布部に塗布剤を安定して塗布することができる。 By providing the paste dish on the displacement stage, the paste dish can be arranged at a higher position than the application portion to which the coating agent is transferred. Thereby, it becomes possible to position the paste pan on the workpiece of the coated portion, and the coating agent can be stably applied to the coated portion of all the workpieces to which the coating agent is to be transferred.
状態変位手段が、ベルト部材と駆動機構と制御手段とを備えたものであれば、第1の転写ピンと第2の転写ピンとを交互に第1状態と第2状態とに安定して変位させることができ、簡単な構成でもって、安定した塗布作業を行うことができ、低コストで構成できる。 If the state displacing means includes a belt member, a drive mechanism, and a control means, the first transfer pin and the second transfer pin can be stably displaced alternately between the first state and the second state. It is possible to perform a stable coating operation with a simple configuration, and it can be configured at low cost.
状態変位手段のベルト部材を前記受取位置と被塗布部とに対応して水平面に対して傾斜して配設するようにすれば、第1の転写ピンと第2の転写ピンとの上下方向長さを同一に設定できるとともに、Z軸方向のストロークも同一かつ小ストロークとすることができ、Z軸が1軸で済み低コスト化が図れる。特に、この塗装装置では、ベルト部材等を備えた状態変位手段を追加することよって、定点移動でよくなる。このため、位置決め等が容易となって、前記状態変位手段を安価な部材(ベルト部材等)で構成でき、低コスト化を達成できる。 If the belt member of the state displacing means is disposed to be inclined with respect to the horizontal plane corresponding to the receiving position and the coated portion, the vertical lengths of the first transfer pin and the second transfer pin can be increased. In addition to being able to set the same, the stroke in the Z-axis direction can also be made the same and a small stroke, and only one Z-axis is required, and the cost can be reduced. In particular, in this coating apparatus, it is possible to move at a fixed point by adding a state displacement means including a belt member or the like. For this reason, positioning etc. become easy, the said state displacement means can be comprised with an inexpensive member (belt member etc.), and cost reduction can be achieved.
一対の転写ピンがそれぞれ平面視においてハの字状の移動軌跡をなすものでは、第1の転写ピンで転写する場合であっても、第2の転写ピンで転写する場合であっても、同一の部位乃至ほぼ同一の部位に転写することができ、転写動作の安定化を図ることができ、転写の高精度化を達成できる。しかも、第1状態から第2状態に変位させた場合でも、第2状態から第1状態で変位させた場合でも、転写ピンのX方向やY方向の調整を必要とせず、制御性に優れる。 A pair of transfer pins each having a C-shaped movement locus in plan view is the same regardless of whether the transfer is performed with the first transfer pin or the second transfer pin. The transfer operation can be stabilized, and high transfer accuracy can be achieved. In addition, even when displaced from the first state to the second state or when displaced from the second state to the first state, adjustment of the transfer pin in the X direction or Y direction is not required, and the controllability is excellent.
支持アームとアームガイド機構とアーム制御機構とを備えたものであれば、各転写ピンは、ハの字状の移動軌跡を安定して移動して正確にこの移動軌跡の交点上に位置することができ、高精度の塗布作業を行うことができる。 If a support arm, an arm guide mechanism, and an arm control mechanism are provided, each transfer pin stably moves along the C-shaped movement trajectory and is accurately positioned on the intersection of the movement trajectories. And high-precision coating work can be performed.
以下本発明の実施の形態を図1〜図9に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
図1と図2は本発明にかかる塗布装置を示し、この塗布装置は、ぺースト状の塗布剤PをワークWの被塗布部20に塗布するための一対の転写ピン21、22を備えたものである。ぺースト状の塗布剤Pとしては、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などの樹脂接着剤や、銀ペーストなどである。転写ピン21、22は、その先端面、又は先端面から先端面近傍の先端部に塗布剤Pが付着するものである。 1 and 2 show a coating apparatus according to the present invention, and this coating apparatus includes a pair of transfer pins 21 and 22 for applying a paste-like coating agent P to a portion to be coated 20 of a workpiece W. Is. Examples of the paste-like coating agent P include resin adhesives such as epoxy resins and polyimide resins, and silver paste. The transfer pins 21 and 22 are ones on which the coating agent P adheres to the tip surface thereof or the tip portion near the tip surface from the tip surface.
転写ピン21、22は、状態変位手段25にてその状態(位置)の変位が可能とされている。状態変位手段25は、図4に示すように、前記一対の転写ピン21,22が付設されるベルト部材26と、このベルト部材26を走行させる駆動機構27と、この駆動機構27を制御して、第1の転写ピン21と第2の転写ピン22とを交互に第1状態と第2状態とに変位させる制御手段28とを備える。
The transfer pins 21 and 22 can be displaced in the state (position) by the state displacement means 25. As shown in FIG. 4, the state displacing means 25 controls the
駆動機構27は、例えば、図2に示すように、サーボモータ等のベルト駆動モータMと、このモータMの回転駆動力をベルト部材26に伝達する伝達機構(図示省略)とを備える。また、この走行はリニアガイド機構30にて案内される。リニアガイド機構30は、ガイドレール31と、このガイドレール31に沿って走行する走行ブロック32a,32bとを備える。一方の走行ブロック32aに第1の転写ピン21が付設され、他方の走行ブロック32bに第2の転写ピン22が付設されている。制御手段28は、例えばマイクロコンピュータ等からなる。
For example, as shown in FIG. 2, the
ベルト部材26はエンドレスベルトであって、図3(a)(b)に示すように、長円形状に配設され、走行ブロック32a,32bが、それぞれ、長辺26a、26bの内面側に付設されている。この場合、図3(a)に示す状態では、第1の走行ブロック32aが一方の円弧辺26c側に位置するとともに、第2の走行ブロック32bが他方の円弧辺26d側に位置する。また、図3(b)に示す状態では、第1の走行ブロック32aが他方の円弧辺26d側に位置するとともに、第2の走行ブロック32bが一方の円弧辺26c側に位置する。
The
図3(a)に示す状態を第1状態と呼び、図3(b)に示す状態を第2状態と呼ぶことができ、この第1状態と第2状態とに交互に変位する。すなわち、第1状態から第2状態への変位は、図3(a)に示す状態から、ベルト部材26が矢印E方向に図3(b)に示す状態となるまで走行し、第2状態から第1状態への変位は、図3(b)に示す状態から、ベルト部材26が矢印F方向に図3(a)に示す状態となるまで走行する。
The state illustrated in FIG. 3A can be referred to as a first state, and the state illustrated in FIG. 3B can be referred to as a second state. The first state and the second state are alternately displaced. That is, the displacement from the first state to the second state is performed from the state shown in FIG. 3A until the
この状態変位手段のベルト部材26は、図1と図2に示すようなXYZステージからなる変位ステージ35に付設される。変位ステージ35は、リニアガイド機構37を介して基台36上をX軸方向に往復動する第1テーブル38と、リニアガイド機構39を介して第1テーブル38上をY軸方向に往復動する第2テーブル40と、リニアガイド機構41を介して第2テーブル40の鉛直壁42に沿ってZ軸方向に往復動する第3テーブル43とを備える。
The
リニアガイド機構37は、X軸方向に沿って延びる平行な一対のガイドレール45、45と、各ガイドレール45、45上を走行する走行体46,46とを備える。ガイドレール45、45が基台36の上面に配置され、各走行体46,46が第1テーブル38の下面に連結されている。このため、走行体46,46のガイドレール45,45に沿った走行に伴って、第1テーブル38がX軸方向に走行する。
The
リニアガイド機構39は、Y軸方向に沿って延びる平行な一対のガイドレール47、47と、各ガイドレール47、47上を走行する走行体48,48とを備える。ガイドレール47、47が第1テーブル38の上面に配置され、各走行体48,48が第2テーブル40の下面に連結されている。このため、走行体48,48のガイドレール47,47に沿った走行に伴って、第2テーブル40がY軸方向に走行する。
The
リニアガイド機構41は、Z軸方向に沿って延びる平行な一対のガイドレール49、49と、各ガイドレール49、49上を走行する走行体50,50とを備える。ガイドレール49、49が第2テーブル40の鉛直壁42にの表面(外面)に配置され、各走行体50,50が第3テーブル43の裏面(内面)に連結されている。このため、走行体50,50のガイドレール49,49に沿った走行に伴って、第3テーブル43がZ軸方向に走行する。そして、この第3テーブル43の傾斜アーム51に、走行ブロック32a,32bをガイドするガイドレール31、31が配置されている。このため、図2に示すように、ベルト部材26が傾斜アーム51に沿って傾斜して配設されている。走行ブロック32a,32bのガイドレール31、31に沿った走行に伴ってベルト部材26が図3(a)(b)に示すような矢印E、Fの走行が可能となる。
The
ところで、各走行体46、48、50は、自走式であっても、他の動力源からの動力付与によって、走行するものであってもよい。他の動力源からの動力付与する場合、走行体46、48、50に直接的に付与しても、各テーブル38、40、43にシリンダ機構等のアクチュエータにて付与するものであってもよい。
By the way, each traveling
このように、ベルト部材26はZ軸方向の変位が可能であり、このZ軸方向移動手段として、XYZステージである変位ステージ35のZ軸方向移動機構にて構成することができる。すなわち、第3テーブル43がリニアガイド機構41にガイドされつつZ軸方向に沿って上下動すれば、ベルト部材26に付設されている各転写ガイド21,22が軸方向に沿って上下動する。
Thus, the
第2テーブル40の鉛直壁42には、水平テーブル52が設けられ、この水平テーブル52に塗布剤Pが溜められるペースト皿53が配置されている。ところで、このペースト皿53は、塗布剤Pを塗布すべきワークWの被塗布部位よりも高位に配置されている。このため、前記したように、ベルト部材26は水平面に対して所定角度で傾斜している。すなわち、図3(a)に示す第1状態とした場合に、第1の転写ピン21がペースト皿53上に配置されるとともに、第2の転写ピン22が塗布位置に配置されているワークW上に配置される。図3(b)に示す第2状態とした場合に、第2の転写ピン22がペースト皿53上に配置されるとともに、第1の転写ピン21が塗布位置に配置されているワークW上に配置される。
A horizontal table 52 is provided on the
次に図1及び図2に装置を用いた塗布剤Pの塗布方法を説明する。なお、ワークWは半導体チップであり、図示省略のXYテーブルに複数枚のワークWが載置されている。そして、変位ステージ35を介してベルト部材26をX軸方向及び/又はY軸方向に移動させて、塗布剤Pを塗布すべきワークW上に、第2の転写ピン22を位置させる。
Next, the coating method of the coating agent P using the apparatus in FIGS. 1 and 2 will be described. The workpiece W is a semiconductor chip, and a plurality of workpieces W are placed on an XY table (not shown). Then, the
すなわち、図3(a)に示す第1状態として、第1の転写ピン21をペースト皿53上に配置するとともに、第2の転写ピン22を塗布位置に配置されているワークW上に配置する。この状態で、ベルト部材26をZ軸方向に沿って下降させる。この下降によって、第1の転写ピン21の先端がペースト皿53の塗布剤Pに浸漬状乃至接触状となると同時に、(第2の転写ピン22の先端に付着していれば、)この第2の転写ピン22からワークWの被塗布部(塗布剤付着部)20に転写されて塗布される。ここで、浸漬状乃至接触状とは、転写ピンの先端が塗布剤に浸漬された状態や転写ピンの先端が塗布剤の接触した状態をいい、この転写ピンの先端に塗布剤が付着することが可能な状態(転写ピンの先端面、又は先端面から先端面近傍の先端部に塗布剤が付着することが可能な状態)である。
なお、塗布剤溜り部(ペースト皿53であって、塗布剤Pの受取位置)とワークWの被塗布部20との高低差としては、例えば、5mm程度とされ、第1状態では、第1の転写ピン21の下端と塗布剤溜り部との差、および第2の転写ピン22の下端とワークWの被塗布部20との差をそれぞれ5mm程度とされる。
That is, as the first state shown in FIG. 3A, the
The height difference between the coating agent reservoir (the
次に、ベルト部材26をZ軸方向に沿って上昇させた後、ベルト部材26を図3(a)に示す第1状態から矢印E方向に走行させるとともに、変位ステージ35を介してベルト部材26をX軸方向及び/又はY軸方向に移動させて、第1の転写ピン21を塗布剤Pを塗布すべき次のワークW上に配置して第2状態とする。すなわち、この第2状態では、第2の転写ピン22がペースト皿53上に配置されるとともに、第1の転写ピン21が塗布位置に配置されているワークW上に配置される。第2状態では、第2の転写ピン22の下端と塗布剤溜り部との差、および第1の転写ピン21の下端とワークWの被塗布部20との差をそれぞれ5mm程度とされる。
Next, after raising the
その後、ベルト部材26をZ軸方向に沿って下降させる。この下降によって、第2の転写ピン22の先端がペースト皿53の塗布剤Pに浸漬状乃至接触状となると同時に、この第1の転写ピン21からワークWの被塗布部20に転写されて塗布される。
Thereafter, the
次に、ベルト部材26をZ軸方向に沿って上昇させる。この上昇によって、図3(b)に示すような第2状態となる。そして、この第2状態から、ベルト部材26を矢印F方向に走行させるとともに、変位ステージ35を介してベルト部材26をX軸方向及び/又はY軸方向に移動させて、第2の転写ピン22を塗布剤Pを塗布すべき次のワークW上に配置して、図3(a)に示す第1状態に戻す。なお、矢印F方向にベルト部材26の移動量と、前記矢印E方向の移動量を同一とする。
Next, the
このように第1状態に戻した後は、再度、Z軸方向に沿って下降させる。この下降によって、第1の転写ピン21の先端がペースト皿53の塗布剤Pに浸漬状乃至接触状となると同時に、この第2の転写ピン22からワークWの被塗布部(塗布剤付着部)20に転写されて塗布される。
Thus, after returning to a 1st state, it is made to descend | fall along a Z-axis direction again. By this descending, the tip of the
以後、順次前記工程が繰替えされて、XYテーブル上の全ワークWに対する塗布剤Pの塗布作業が終了する。すなわち、この塗布方法は、第1の転写ピン21の先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤を受け取ると同時に、第2の転写ピン22に付着した塗布剤Pを被塗布部20に転写して塗布する第1工程と、第2の転写ピン22の先端をペースト状の塗布剤Pに浸漬状乃至接触状として塗布剤Pを受け取ると同時に、第1の転写ピン21に付着した塗布剤Pを被塗布部20に転写して塗布するこの第2工程とを備えるものであって、第1工程と第2工程とを交互に行うことになる。
Thereafter, the above steps are sequentially repeated, and the coating operation of the coating agent P on all the workpieces W on the XY table is completed. That is, in this coating method, the tip of the
本発明の塗布装置によれば、第1状態と第2状態とが状態変位手段にて交互に変位することができる。しかも、第1の転写ピン21が塗布剤溜り部(ペースト皿53であって、塗布剤Pの受取位置)の上方に対応するときには、第2の転写ピン22が被塗布部20の上方に位置し、第2の転写ピン22が塗布剤溜り部(ペースト皿53であって、塗布剤Pの受取位置)の上方に対応するときには、第1の転写ピン21が被塗布部20の上方に位置する。すなわち、一の転写ピン21(22)にて塗布剤溜り部から塗布剤Pを受け取っている間に、他の転写ピン22(21)にて塗布剤Pを塗布することができる。このため、従来の装置の2倍の作業性の向上を図ることができ、生産性に優れる。しかも、装置全体としてはコンパクト化を図ることができて低コスト化を達成できる。
According to the coating apparatus of the present invention, the first state and the second state can be alternately displaced by the state displacement means. In addition, when the
転写ピン21、22をZ軸方向に移動させるためのZ軸方向移動手段を、変位ステージ35のZ軸方向移動機構にて構成しているので、第1の転写ピン21と第2の転写ピン22とを同時に上下動させることができ、移動時間の一層の短縮化を図ることができる。
Since the Z-axis direction moving means for moving the transfer pins 21 and 22 in the Z-axis direction is constituted by the Z-axis direction moving mechanism of the
ペースト皿53が変位ステージ35上、具体的には変位ステージ35の第2テーブル40に付設されている。このため、ペースト皿53と被塗布部との距離が大となるのを防止でき、転写ピン21(22)の移動量を小さくできて移動時間が大となるのを有効に防止している。
A
また、状態変位手段25が、ベルト部材26と駆動機構27と制御手段28とを備えたものであれば、第1の転写ピン21と第2の転写ピン22とを交互に第1状態と第2状態とに安定して変位させることができ、簡単な構成でもって、安定した塗布作業を行うことができ、低コストで構成できる。
If the state displacing means 25 includes the
転写ピン21(22)がペースト状の塗布剤Pを受け取る受取位置(塗布剤溜り部に位置)が、塗布剤Pを転写する被塗布部20よりも高位であるので、被塗布部のワーク上にペースト皿を位置させることが可能となって、塗布剤を転写すべき全ワークの被塗布部に塗布剤を安定して塗布することができる。
Since the receiving position (position in the coating agent reservoir) where the transfer pin 21 (22) receives the paste-like coating agent P is higher than the
状態変位手段25のベルト部材26を前記受取位置と被塗布部20とに対応して水平面に対して傾斜して配設するようにしているので、第1の転写ピン21と第2の転写ピン22との上下方向長さを同一に設定できるとともに、Z軸方向のストロークも同一かつ小ストローク化することができ、Z軸が1軸で済み低コスト化が図れる。特に、この塗装装置では、ベルト部材26等を備えた状態変位手段25を追加することよって、定点移動でよくなる。このため、位置決め等が容易となって、前記状態変位手段25を安価な部材(ベルト部材等)で構成でき、低コスト化を達成できる。
Since the
次に図5と図6は他の実施形態を示し、この場合、ベルト部材26を図6に示すように、水平状に配置している。このため、第1の転写ピン21と第2の転写ピン22とが、それぞれ独立したZ軸方向の往復動が可能とされている。
5 and 6 show another embodiment. In this case, the
この変位ステージ35は、XYステージで構成される。すなわち、図1に示すXYZステージにおいて、リニアガイド機構41及び第3テーブル43等に代えて、支持基板60等配置している。そして、この支持基板60に、ガイドレール31、31が配置されるガイド板63が連設されている。
The
走行ブロック32a,32bはそれぞれピン支持ブロック61、62に支持され、このピン支持ブロック61、62にそれぞれ転写ピン21、22が支持されている。そして、転写ピン21、22は、それぞれ、例えばVCM等のリニアモータ65a、65bを備えた移動機構を介してZ軸方向に沿って往復動する。また。移動機構は、マイクロコンピュータ等からなる図示省略の制御手段にて制御される。
The travel blocks 32a and 32b are supported by pin support blocks 61 and 62, respectively, and the transfer pins 21 and 22 are supported by the pin support blocks 61 and 62, respectively. The transfer pins 21 and 22 reciprocate along the Z-axis direction via a moving mechanism including
また、このピン支持ブロック61、62が、図3に示す場合と同様に、ベルト部材26に付設される。この場合のベルト部材26は図6に示すように水平方向に沿って配設されている。そして、第1の走行ブロック32aに代えてピン支持ブロック61をベルト部材26に付設し、第2の走行ブロック32bに代えてピン支持ブロック62をベルト部材26に付設したものである。このため、この実施形態であっても、第1の転写ピン21がペースト状の塗布剤Pが溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第2の転写ピン22が被塗布部20の上方に対応する第1状態と、第2の転写ピン22がペースト状の塗布剤Pが溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第1の転写ピン21が被塗布部20の上方に対応する第2状態とに交互に変位させることができる。
Further, the pin support blocks 61 and 62 are attached to the
次にこの図5と図6に示す塗布装置を用いた塗布方法を説明する。この場合も、第1の転写ピン21と第2の転写ピン22とを第1状態とする。すなわち、第1の転写ピン21をペースト皿53上に配置するとともに、第2の転写ピン22を塗布位置に配置されているワークW上に配置する。
Next, a coating method using the coating apparatus shown in FIGS. 5 and 6 will be described. Also in this case, the
この第1状態において、第1の転写ピン21と第2の転写ピン22とをそれぞれZ軸方向に沿って下降させる。この際、第1の転写ピン21の下降量は、この転写ピン21の先端が塗布剤Pに浸漬状乃至接触状となって、塗布剤Pの受け取りが可能となる量である。また、第2の転写ピン22の下降量は、この転写ピン22の先端に付着している塗布剤Pが被塗布部20に塗布剤Pを転写可能となる量である。
In this first state, the
これによって、第1の転写ピン21がペースト皿53から塗布剤Pを受け取り、第2の転写ピン22がワークWの被塗布部20に塗布剤Pを転写することができる。その後は、各転写ピン21、22をそれぞれ上昇させて第1状態に戻す。この場合、ベルト部材26の走行で、各転写ピン21、22がペースト皿53等に接触しないように上昇させる必要がある。次に、この第1状態からベルト部材26を走行させるとともに、変位ステージ35を介してベルト部材26をX軸方向及び/又はY軸方向に移動させて第2状態とする。すなわち、第2の転写ピン22がペースト皿53上に配置されるとともに、第1の転写ピン21が塗布位置に配置されているワークW上に配置される。
As a result, the
この状態で、各転写ピン21,22をZ軸方向に沿って下降させる。この際、第2の転写ピン22の下降量は、この転写ピン22の先端が塗布剤Pに浸漬状乃至接触状となって、塗布剤Pの受け取りが可能となる量である。また、第1の転写ピン21の下降量は、この転写ピン21の先端に付着している塗布剤Pが被塗布部20に塗布剤Pを転写可能となる量である。
In this state, the transfer pins 21 and 22 are lowered along the Z-axis direction. At this time, the lowering amount of the
このように、この塗布装置であっても、第1の転写ピン21の先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤Pを受け取ると同時に、第2の転写ピン22に付着した塗布剤Pを被塗布部20に転写して塗布する第1工程と、第2の転写ピン22の先端をペースト状の塗布剤Pに浸漬状乃至接触状として塗布剤Pを受け取ると同時に、第1の転写ピン21に付着した塗布剤Pを被塗布部20に転写して塗布するこの第2工程とを、交互に行うことになる。以後、順次前記工程が繰替えされて、XYテーブル上の全ワークWに対する塗布剤Pの塗布作業が終了する。
As described above, even in this coating apparatus, the tip of the
このため、この図5と図6に示す塗布装置であっても、従来の装置の2倍の作業性の向上を図ることができ、生産性に優れる。しかも、装置全体としてはコンパクト化を図ることができて低コスト化を達成できる。特に、各転写ピン21,22をそれぞれ独立してZ軸方向に変位させることができるものであれば、塗布剤溜り部(ペースト皿53)と被塗布部20との高さ位置が相違していたとしても、これらの高さ位置に対応するように各転写ピン21,22を上下動させることができる。
For this reason, even with the coating apparatus shown in FIGS. 5 and 6, the workability can be improved twice that of the conventional apparatus, and the productivity is excellent. In addition, the overall apparatus can be made compact and the cost can be reduced. In particular, if the transfer pins 21 and 22 can be displaced independently in the Z-axis direction, the height positions of the coating agent reservoir (paste dish 53) and the
ところで、前記実施形態では、ベルト部材26を、変位ステージ35を介してX軸方向及び/又はY軸方向に移動させて、転写ピン21(22)を塗布剤Pが塗布されるワーク上に配置するものであったが、ワークWが載置されたテーブルをX軸方向及び/又はY軸方向に移動させて、転写ピン21(22)を塗布剤Pが塗布されるワーク上に配置するものであってもよい。
By the way, in the said embodiment, the
前記各実施形態では、第1状態から第2状態へ変更したり、または第2状態から第1状態へ変更したりする場合、転写ピン21、22は、平面視において、図3に示すように、
移動する方向に対して直交する方向に所定間隔に隔たれた状態で移動することになる。このため、第1の転写ピン21にて転写するときと、第2の転写ピン22にて転写するときには、このずれを吸収する方向に転写ピン21,22を変位させる必要がある。
In each of the above-described embodiments, when changing from the first state to the second state, or when changing from the second state to the first state, the transfer pins 21 and 22 are as shown in FIG. ,
It moves in a state spaced at a predetermined interval in a direction orthogonal to the moving direction. Therefore, when transferring with the
そこで、図7〜図9に示す状態変位手段25は、一対の転写ピン21,22の移動軌跡L1、L2を、平面視においてハの字状をなすようにしている。そして、転写ピン21,22が被塗布部20の上方に位置する状態では、この転写ピン21,22を移動軌跡L1、L2の交点O上に位置させるようにしている。
Accordingly, the state displacing means 25 shown in FIGS. 7 to 9 is configured so that the movement trajectories L1 and L2 of the pair of transfer pins 21 and 22 have a square shape in plan view. In the state where the transfer pins 21 and 22 are located above the
状態変位手段25は、前記一対の転写ピン21,22をそれぞれ支持する支持アーム71,72と、各支持アーム71,72の移動軌跡L1、L2に沿った移動をガイドするアームガイド機構73、74と、一方(第1)の支持アーム71が塗布剤溜り部(ペースト皿)側から被塗布部側へ移動する際に他方(第2)の支持アーム72が被塗布部側から塗布剤溜り部側へ移動し、一方の支持アーム71が被塗布部側から塗布剤溜り部側へ移動する際に他方の支持アーム72が塗布剤溜り部側から被塗布部側へ移動するように前記アームガイド機構73,74を制御するアーム制御機構75とを備える。
The state displacing means 25 includes
アームガイド機構73、74は、基盤77の傾斜側面78,78に設けられるガイドレール80、80と、ガイドレール80、80に沿って走行する走行ブロック81、81とを備え、この走行ブロック81,81に支持体82,82を介して支持アーム71,72が固着される。
The
基盤77は、基端第1部77aと、この基端第1部77aから延びる先端側第2部77aとからなり、先端側第2部77aの側面が前記傾斜側面78,78を形成する。この基盤77は、基端側から先端側に向かって下傾している(図8参照)。また、傾斜側面78,78は、基端側から先端側に向かって順次接近するように傾斜している。なお、図8においては、支持アーム71,72の図示を省略している。
The
このため、この傾斜側面に設けられるガイドレール80、80も基端側から先端側に向かって順次接近するように配置される。したがって、このガイドレール80,80に沿って走行する走行ブロック81、81に付設される支持アーム71,72は、このガイドレール80,80にガイドされつつスライドすることになる。また、この支持アーム71,72の先端の転写ピン支持部83、83には転写ピン21,22が付設されている。これによって、支持アーム71,72の走行によって転写ピン21,22は前記移動軌跡L1、L2に沿って移動することになる。なお、基盤77は基端側から先端側に向かって下傾しているが、支持アーム71,72は、図9に示すように、水平方向に延びている。
For this reason, the guide rails 80, 80 provided on the inclined side surfaces are also arranged so as to approach sequentially from the proximal end side toward the distal end side. Therefore, the
アーム制御機構75は、基盤77の基端第1部77aの裏面側に配置される駆動用モータ(図示省略)と、基盤77の基端第1部77aの表面側に配設される揺動バー85と、揺動バー85の一方の端部と一方の支持アーム71の支持体82とを連結する連結体86aと、揺動バー85の他方の端部と他方の支持アーム72の支持体82とを連結する連結体86bとを備える。
The
そして、駆動用モータの駆動軸が揺動バー85の中心部87に連結されている。また、揺動バー85における中心部87と一方の端部との間の部位と、一方の支持体82とが仮想線で示すようにスプリング88aにて連結され、揺動バー85における中心部87と他方の端部との間の部位と、他方の支持体82とが仮想線で示すようにスプリング88bにて連結されている。なお、スプリング88aは連結体86aよりも上位に配置され、スプリング88bは連結体86bよりも上位に配置されている。
The drive shaft of the drive motor is connected to the
また、図7(c)に示すように、基盤77の先端第2部77bの先端側下方には、ペースト皿53が配置されている。このペースト皿53は、前記実施形態のように、第2テーブル40の鉛直壁42(図1等参照)に取付ければよい。
Further, as shown in FIG. 7C, a
駆動用モータの駆動によって、図7(b)に示す中立状態(基盤77の長手方向と直交する方向に沿って揺動バー85が配置されている状態)から図7(a)に示すように、揺動バー85を矢印H1方向に回転させれば、連結体86bにて他方の支持アーム72の支持体82が基端側へ引っ張られるとともに、連結体86aにて一方の支持アーム71の支持体82が先端側へ押圧される。これによって、支持アーム71に付設されている転写ピン21が移動軌跡L1に沿って、塗布剤溜り部側(ペースト皿側)から被塗布部側へ移動する。この際、転写ピン21は移動軌跡L1と移動軌跡L2との交点Oに対応する位置で停止する。また、支持アーム72に付設されている転写ピン22が移動軌跡L2に沿って、被塗布部側から塗布剤溜り部側(ペースト皿側)へ移動する。この際、転写ピン22はペースト皿53に対応する位置で停止する。
As shown in FIG. 7A from the neutral state shown in FIG. 7B (the state in which the
図7(b)に示す状態から図7(c)に示すように矢印H2方向に回転させれば、連結体86aにて一方の支持アーム71の支持体82が基端側へ引っ張られるとともに、連結体86bにて他方の支持アーム72の支持体82が先端側へ押圧される。これによって、支持アーム72に付設されている転写ピン22が移動軌跡L2に沿って、塗布剤溜り部側(ペースト皿側)から被塗布部側へ移動する。この際、転写ピン22は移動軌跡L2と移動軌跡L2との交点Oに対応する位置で停止する。また、支持アーム71に付設されている転写ピン21が移動軌跡L1に沿って、被塗布部側から塗布剤溜り部側(ペースト皿側)へ移動する。この際、転写ピン21はペースト皿53に対応する位置で停止する。なお、基盤77は、図1等に示すように、リニアガイド機構41を介してZ軸方向の上下動が可能とされる。
When rotating from the state shown in FIG. 7B in the direction of the arrow H2 as shown in FIG. 7C, the
ここで、支持アーム71、72が移動軌跡L1、L2に沿って移動するとは、支持アーム71、72全体が移動軌跡L1、L2上を移動するものでなくてもよく、少なくとも先端の転写ピン支持部83が移動軌跡L1、L2上を移動するものであればよい。
Here, the movement of the
図7〜図9に示す状態変位手段25を備えた装置であっても、前記図1に示す状態変位手段25を備えた装置と同様の転写作業を行うことができる。すなわち、図7(c)に示す状態とすれば、第1の転写ピン21が塗布剤溜り部(ペースト皿53)の上方に対応するとともに第2の転写ピン22が被塗布部の上方に対応する第1状態となり、図7(a)に示す状態とすれば、第2の転写ピン22が塗布剤溜り部(ペースト皿53)の上方に対応するとともに第1の転写ピン21が被塗布部の上方に対応する第2状態となる。
Even the apparatus provided with the state displacement means 25 shown in FIGS. 7 to 9 can perform the same transfer operation as the apparatus provided with the state displacement means 25 shown in FIG. That is, in the state shown in FIG. 7C, the
そして、第1状態において、基盤77を下降させれば、第1の転写ピン21が、その先端がペースト皿53のペースト(塗布剤)に接触状乃至浸漬状となり、ペースト(塗布剤)Pを受け取ることができ、第2の転写ピン22にて、被塗布部20にペースト(塗布剤)Pを転写することができる。また、第2状態となれば、第2の転写ピン22が、その先端がペースト皿53のペースト(塗布剤)Pに接触状乃至浸漬状となり、ペースト(塗布剤)を受け取ることができ、第1の転写ピン21にて、被塗布部20にペースト(塗布剤)を転写することができる。そして、第1状態での第2の転写ピン22の位置と、第2状態での第1の転写ピン21の位置とは、共に移動軌跡L1、L2の交点O上であり、同一である。
In the first state, when the
したがって、一対の転写ピン21、22がそれぞれ平面視においてハの字状の移動軌跡をなすものでは、第1の転写ピン21で転写する場合であっても、第2の転写ピン22で転写する場合であっても、同一の部位に転写することができ、転写動作の安定化を図ることができ、転写の高精度化を達成できる。しかも、第1状態から第2状態に変位させた場合でも、第2状態から第1状態で変位させた場合でも、転写ピン21,22のX方向やY方向の調整を必要とせず、制御性に優れる。
Therefore, when the pair of transfer pins 21 and 22 each have a C-shaped movement trajectory in plan view, even if the transfer is performed by the
ところで、図7から図9に示すものでは、図8に示すように、ぺースト皿53の塗布剤Pの上面を平面状に均す均し部材90を備えている。ぺースト皿53は、底壁53aと、この底壁53aの外周に沿って配設される周壁53bと、底壁53aの中央部の軸部53cとを備える。そして、図示省略の駆動手段を介してベースト皿53がこの軸部53c廻りに回転する。均し部材90は平板状体からなり、周壁53bと軸部53cとの間のリング状ぺースト溜り部に対応して配置され、ぺースト皿53がその軸部53cを中心として回転することによって、均し部材90の下端縁90aが、リング状ぺースト溜り部の塗布剤の上面に接触して、転写ピン21,22の浸漬等によって形成される塗布剤Pの上面の凹み等を均してこの上面を平面状とすることができる。
By the way, in what is shown in FIGS. 7-9, as shown in FIG. 8, the leveling
この場合、逆に、ぺースト皿53を固定して、均し部材90を回転させるようにしてもよい。また、いずれの場合も、転写ピン21、22にて、ぺースト皿53から塗布剤Pを受け取る際には、均し部材90が障害物とならないように配置する必要がある。このため、均し部材90としては、移動可能なものであってもよい。また、リング状ぺースト溜り部の塗布剤Pの量は変動するので、上下動するものが好ましい。
In this case, conversely, the
このように、均し部材90を備えるものであれば、塗布剤Pの上面が均されることによって、転写ピン21、22にてぺースト皿53からの塗布剤Pの受取が安定し、高精度の塗布作業が可能となる。
As described above, if the leveling
図7〜図9に示す装置では、転写ピン21(22)が被塗布部20の上方に位置する状態で、転写ピン21(22)を移動軌跡L1、L2の交点O上に位置させるものであった。しかしながら、転写ピン21(22)を交点O上ではなく、交点Oの近傍の終点上に位置させてもよい。ここで、終点とは転写ピン21(22)の折り返し点(転写ピンが塗布剤溜り部側へ戻る点)である。移動軌跡L1、L2の交点Oに近接する終点には、交点Oよりも塗布剤溜り部(ペースト皿)側及び交点よりも反塗布剤溜り部側を含むものとする。また、近接とは、この終点上の転写ピン21(22)を上下方向に沿って下降させた場合に被塗布部20に転写できる範囲内とする。このため、近接する範囲としては、被塗布部20の面積に応じて種々変更できる。
In the apparatus shown in FIGS. 7 to 9, the transfer pin 21 (22) is positioned on the intersection point O of the movement loci L1 and L2 in a state where the transfer pin 21 (22) is positioned above the portion to be coated 20. there were. However, the transfer pin 21 (22) may be positioned not on the intersection point O but on the end point in the vicinity of the intersection point O. Here, the end point is the turning point of the transfer pin 21 (22) (the point at which the transfer pin returns to the coating agent reservoir). The end points close to the intersection point O of the movement loci L1 and L2 include the coating agent reservoir portion (paste dish) side from the intersection point O and the anti-coating agent reservoir portion side from the intersection. Further, the term “close” refers to a range in which the transfer pin 21 (22) on the end point can be transferred to the coated
このため、第1の転写ピンで転写する場合であっても、第2の転写ピンで転写する場合であっても、ほぼ同一の部位に転写することができ、転写動作の安定化を図ることができ、転写の高精度化を達成できる。 For this reason, even when transferring with the first transfer pin or when transferring with the second transfer pin, it is possible to transfer to almost the same part, and to stabilize the transfer operation. And high accuracy of transfer can be achieved.
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、状態変位手段25として、ベルト部材26を用いることなく、リンク機構等を用いてもよい。実施形態では、ベルト部材26の走行は、往復動走行であるが、一方向の回転走行であってもよい。また、ベルト部材26の駆動機構27として、前記実施形態では、モータを用いたが、ソレノイド機構、シリンダ機構等の種々の既存の機構(アクチュエータ)を用いることができる。
As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the state displacement means 25 can be linked without using the
図1等に示すように、ベルト部材26全体がZ軸方向に上下動する場合、各転写ピン21、22自体が上下動する必要はないが、転写ピン21、22の誤差等を考慮して、各転写ピン21、22がZ軸方向に僅かに逃げることができるように設定してもよい。
As shown in FIG. 1 and the like, when the
また、図5等に示すように、各転写ピン21,22が独立してZ軸方向に上下動させる移動機構として、シリンダ機構、ボールねじ機構等を用いたものであってもよい。 Further, as shown in FIG. 5 or the like, a cylinder mechanism, a ball screw mechanism, or the like may be used as a moving mechanism that moves the transfer pins 21 and 22 up and down independently in the Z-axis direction.
ワークWの被塗布部に転写ピン21(22)を対応させる場合、ベルト部材26のX軸方向及び/又はY軸方向の移動とベルト26の矢印E(F)方向の走行とを同時に行っても、X軸方向及び/又はY軸方向の移動後にベルト26の矢印E(F)方向の走行を行うようにしても、ベルト26の矢印E(F)方向の走行を行った後にX軸方向及び/又はY軸方向の移動を行うようにしてもよい。
When the transfer pin 21 (22) is made to correspond to the coated portion of the workpiece W, the movement of the
塗布剤溜り部とワークWの被塗布部20との高低差としては、ワークWが載置されたテーブル上を、ペースト皿53を支持している水平テーブル52が通過できる範囲に種々設定できる。なお、このような高低差がないものであってもよい。また、図1等に示すように、ベルト部材26が下降することによって、転写ピン21(22)が下降するものである場合、その下降量として、転写ピン21(22)の下端が塗布剤溜り部に浸漬状乃至接触状となり、又は転写ピン21(22)がワークWの被塗布部20に対して塗布剤Pの転写が可能となる範囲で種々変更できる。
The height difference between the coating agent reservoir and the
転写ピン21(22)の径寸法、材質等も、塗布剤溜り部に対して浸漬状乃至接触状となって、塗布剤Pを受け取ることができるとともに、被塗布部20にその付着している塗布剤Pを転写できる範囲で種々変更できる。また、転写ピン21(22)の先端面の形状としても平坦面であっても、凹凸部を有するものであってもよい。第1状態から第2状態への変位速度及び第2状態から第1状態への変位速度等も、転写ピン21(22)に付着している塗布剤Pが飛散しない範囲で、塗布剤Pの材質、塗布剤Pの付着量、転写ピン21(22)の材質、形状、大きさ等に基づいて種々変更できる。
The transfer pin 21 (22) has a diameter, material, and the like that are immersed in or in contact with the coating agent reservoir, and can receive the coating agent P and adhere to the coated
図7〜図9に示す装置においては、支持アーム71、72をリンク機構(揺動バー85と連結体86a,86b等で構成されるリンク機構)及び駆動用モータ等を用いて変位させるものであったが、このようなリンク機構等を用いることなく、支持アーム71、72を変位させるようにしてもよい。すなわち、シリンダ機構やボールねじ機構を用いて、各支持アーム71、72が相反するように、移動軌跡L1、L2に沿って移動するようなものであってもよい。
In the apparatus shown in FIGS. 7 to 9, the
図7〜図9に示す装置においても、図5と図6に示すように、各転写ピン21、22がそれぞれ独立して上下動するようにしてもよい。このように設定すれば、ペースト皿からの塗布剤Pの転写作業及び被塗布部20への塗布剤の塗布作業を安定して行うことができ、しかも基盤77を水平面に対して傾斜させる必要がない。また、図1や図5に示す装置であっても、均し部材90を配置するようにしてもよい。
Also in the apparatus shown in FIGS. 7 to 9, as shown in FIGS. 5 and 6, the transfer pins 21 and 22 may be moved up and down independently. If set in this way, the transfer operation of the coating agent P from the paste dish and the coating operation of the coating agent to the portion to be coated 20 can be stably performed, and the base 77 needs to be inclined with respect to the horizontal plane. Absent. Further, even in the apparatus shown in FIGS. 1 and 5, the leveling
図7〜図9に示す装置では、交点Oに近接する終点上を、転写ピン21(22)を上下方向に沿って下降させた場合、被塗布部20に転写できる範囲内とした。しかしながら、転写ピン21(22)を、交点Oを通過する中心線側に移動させて転写ピン21(22)を下降させることができる。このため、近接としては、終点上の転写ピン21(22)を上下方向に沿って下降させた場合に被塗布部20に転写できる範囲内に限るものではない。
In the apparatus shown in FIG. 7 to FIG. 9, the end point close to the intersection point O is set within the range that can be transferred to the coated
20 被塗布部
21,22 転写ピン
25 状態変位手段
26 ベルト部材
27 駆動機構
28 制御手段
35 変位ステージ
53 ペースト皿
71、72 支持アーム
73、74 アームガイド機構
75 アーム制御機構
P 塗布剤(ペースト)
20 parts to be coated 21 and 22
Claims (13)
第1の転写ピンがペースト状の塗布剤が溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第2の転写ピンが被塗布部の上方に対応する第1状態と、第2の転写ピンがペースト状の塗布剤が溜められる塗布剤溜り部の上方に対応するとともに第1の転写ピンが被塗布部の上方に対応する第2状態とに交互に変位させる状態変位手段と、第1状態及び第2状態において各転写ピンを上下方向であるZ軸方向に移動させるZ軸方向移動手段とを備えたことを特徴とする塗布装置。 A coating apparatus provided with a pair of transfer pins for applying a paste-like coating agent to an application portion,
The first transfer pin corresponds to the upper part of the coating agent reservoir where the paste-like coating agent is stored, and the second transfer pin corresponds to the upper part of the coated part, and the second transfer pin is a paste. A state displacing means for alternately displacing the first transfer pin to a second state corresponding to the upper portion of the coating portion and the upper portion of the portion to be coated corresponding to the upper portion of the coating agent reservoir portion in which the liquid coating agent is stored; A coating apparatus comprising: a Z-axis direction moving unit that moves each transfer pin in a Z-axis direction that is an up-down direction in two states.
第1の転写ピンの先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤を受け取ると同時に、第2の転写ピンに付着した塗布剤を被塗布部に転写して塗布する第1工程と、第2の転写ピンの先端をペースト状の塗布剤に浸漬状乃至接触状として塗布剤を受け取ると同時に、第1の転写ピンに付着した塗布剤を被塗布部に転写して塗布するこの第2工程とを備え、第1工程と第2工程とを交互に行うことを特徴とする塗布方法。 An application method for applying a paste-form application agent to an application part,
A first step of receiving the coating agent by immersing or contacting the tip of the first transfer pin in a paste-like coating agent, and at the same time transferring and applying the coating agent adhering to the second transfer pin to the application portion. The tip of the second transfer pin is immersed or contacted with a paste-like coating agent, and at the same time, the coating agent attached to the first transfer pin is transferred to the application portion and applied. A coating method comprising: a second step, wherein the first step and the second step are alternately performed.
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