JP2011118726A - Information processing system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、装置で取得された情報を送受信する情報処理システムに関する。 The present invention relates to an information processing system that transmits and receives information acquired by an apparatus.
この種の情報処理システムは、基板処理装置などで生成された情報を要求するクライアントと、基板処理装置などで取得された情報を蓄積し、クライアントの要求に応じて情報を送信するサーバとにより構成される。ここで、クライアントの要求がなされた状況によっては、リソース(例えば、メモリ、CPU及びネットワーク)が枯渇し、情報処理システムの機能が低下するおそれがある。
特許文献1には、1つの計算機上で動作するアプリケーションが、他の計算機上で動作するアプリケーションと連携をとりながら処理を行う場合、各計算機のリソース情報を必要な場合にのみ通知することにより、リソースの無駄使いを防止することが記載されている。
特許文献2には、構成情報に基づいて基板処理装置及び通信装置が通信する場合、構成情報が更新されたとき、通信装置はその旨を通知され、更新後の構成情報に基づいて通信することにより、システム停止時間を短縮することが記載されている。
This type of information processing system includes a client that requests information generated by a substrate processing apparatus and the like, and a server that accumulates information acquired by the substrate processing apparatus and transmits information in response to a client request. Is done. Here, depending on a situation where a client request is made, resources (for example, a memory, a CPU, and a network) may be exhausted, and the function of the information processing system may be deteriorated.
In
In
本発明の目的は、上述した背景からなされたものであり、リソースの枯渇を防止することができる情報処理システムを提供することにある。 An object of the present invention is made from the background described above, and is to provide an information processing system capable of preventing resource depletion.
上記目的を達成するために、本発明に係る情報処理システムは、情報を送信する送信装置及び情報を受信する受信装置を有し、前記送信装置は、情報を記憶する記憶部と、前記受信装置からの要求に応じて、前記受信装置のリソースの状態及び前記送信装置のリソースの状態に基づいて、前記受信装置に対する前記記憶部に記憶された情報の送信を制御する制御部と、前記制御部による制御に基づいて、前記受信装置に対して前記記憶部に記憶された情報を送信する送信部とを有し、前記受信装置は、前記送信部に対して前記記憶部に記憶された情報の送信を要求する送信要求部と、前記送信部から前記記憶部に記憶された情報を受信する受信部とを有する。 In order to achieve the above object, an information processing system according to the present invention includes a transmission device that transmits information and a reception device that receives information. The transmission device includes a storage unit that stores information, and the reception device. A control unit that controls transmission of information stored in the storage unit to the receiving device based on a resource state of the receiving device and a resource state of the transmitting device in response to a request from the control unit; Based on the control by the transmitter, a transmitter that transmits information stored in the storage unit to the receiver, and the receiver receives information stored in the storage unit from the transmitter A transmission request unit that requests transmission; and a reception unit that receives information stored in the storage unit from the transmission unit.
本発明に係る基板処理装置によれば、リソースの枯渇を防止することができる。 The substrate processing apparatus according to the present invention can prevent resource depletion.
まず、図1を参照して、本発明の背景を説明する。
図1は、情報処理システム1の構成を示す図である。図1に示すように、情報処理システム1は、複数の基板処理装置10−1〜10−n(nは正数)、複数のクライアント12−1〜12−m(mは正数。mはnと同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい)及びサーバ14が、ネットワーク16を介して互いに通信可能に接続されて構成されている。
このような構成によって、複数の基板処理装置10−1〜10−nにおいて取得された情報が、複数のクライアント12−1〜12−m及びサーバ14間で送受信される。
なお、クライアント12−1〜12−mは、一般的なコンピュータとしての機能を備えるものである。サーバ14は、一般的なコンピュータとしての機能を備えるとともに、複数の基板処理装置10−1〜10−nにおいて取得された情報を蓄積する。ネットワーク16は、例えば、LAN及びWANである。
以下、基板処理装置10−1〜10−nなど、複数ある構成要素のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置10などと略記することがある。また、図1の情報処理システム1において、サーバ14は1台しか存在していないが、複数台存在していてもよい(後述する情報処理システム2においても同様)。
First, the background of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of the
With such a configuration, information acquired in the plurality of substrate processing apparatuses 10-1 to 10-n is transmitted and received between the plurality of clients 12-1 to 12-m and the server 14.
The clients 12-1 to 12-m have a function as a general computer. The server 14 has functions as a general computer and accumulates information acquired in the plurality of substrate processing apparatuses 10-1 to 10-n. The network 16 is, for example, a LAN and a WAN.
Hereinafter, when any of a plurality of constituent elements such as the substrate processing apparatuses 10-1 to 10-n is indicated without being specified, the
基板処理装置10は、プロセスレシピに基づいて基板に処理を施す。具体的には、プロセスレシピには、基板に処理を施すための手順が記載されており、基板処理装置10は、この手順に沿って、装置内の各構成要素を制御する。例えば、基板処理装置10は、処理炉内の温度が基板処理可能な温度となるよう、ヒータを制御する。
基板処理の実行にともない取得された情報(例えば、処理炉内の温度の実測値。以下、「基板処理情報」)は、いったん基板処理装置10内に蓄積された後、予め定められたタイミング(例えば、一連の基板処理が終了した後)で、サーバ14に送信されて蓄積される。
なお、以下、情報処理システム1において送受信される情報は、基板処理装置10で取得された基板処理情報であるとしているが、これは例示に過ぎず、基板処理装置10以外の装置で取得された情報が送受信されてもかまわない(後述する情報処理システム2においても同様)。
The
Information acquired along with the execution of the substrate processing (for example, an actual measurement value of the temperature in the processing furnace; hereinafter referred to as “substrate processing information”) is once stored in the
In the following, information transmitted / received in the
クライアント12は、ネットワーク16を介して、サーバ14に対し、蓄積された基板処理情報の送信を要求する。
サーバ14は、蓄積された基板処理情報の大きさに応じて、同時に接続して情報を送信することが可能なクライアント数である「最大同時接続数」、同時に接続して情報を送信することが可能な時間である「最大取得時間」及び同時に接続して送信することが可能なデータ項目の数である「最大項目数」からなる閾値情報を予め記憶する。また、サーバ14は、現在接続中のクライアント数である「カレント接続数」及びユーザの接続状況に関する情報である「接続ユーザ情報」からなる接続クライアント情報をクライアント12から取得して保持する。
サーバ14は、クライアント12の要求に応じて、閾値情報及び接続クライアント情報に基づいて、ネットワーク16を介して、クライアント12に対し、蓄積した基板処理情報を送信する。
しかしながら、蓄積された基板処理情報の状態(例えば、データ長及び単位時間当たりの蓄積量)にばらつきがある場合、リソースが有効に活用されなかったり、リソースが枯渇したりすることがある。
クライアント12が、サーバ14から送信される基板処理情報を予め定められた単位で分割することによって、リソースが枯渇しないよう制御することも考えられる。しかしながら、この場合、情報の分割にともないオーバーヘッドが生じ、リソースが枯渇することがある。
The client 12 requests the server 14 to transmit the accumulated substrate processing information via the network 16.
The server 14 can simultaneously connect and transmit information according to the size of the accumulated substrate processing information, that is, the “maximum number of simultaneous connections” that is the number of clients that can simultaneously connect and transmit information. Threshold information including “maximum acquisition time” that is possible time and “maximum item number” that is the number of data items that can be connected and transmitted at the same time is stored in advance. In addition, the server 14 acquires connection client information including “current connection number” that is the number of currently connected clients and “connection user information” that is information related to the connection status of the user from the client 12 and holds the connection client information.
The server 14 transmits the accumulated substrate processing information to the client 12 via the network 16 based on the threshold information and the connection client information in response to a request from the client 12.
However, if there is a variation in the state of the accumulated substrate processing information (for example, the data length and the accumulated amount per unit time), the resource may not be used effectively or the resource may be exhausted.
It is also conceivable that the client 12 performs control so that the resources are not exhausted by dividing the substrate processing information transmitted from the server 14 by a predetermined unit. However, in this case, an overhead is generated due to the division of information, and resources may be exhausted.
次に、本発明の実施形態に係る情報処理システム2を説明する。
図2は、本発明の実施形態に係る情報処理システム2の構成を示す図である。図2に示すように、情報処理システム2は、複数の基板処理装置10−1〜10−n、複数のクライアント20−1〜20−m及びサーバ22が、ネットワーク16を介して互いに通信可能に接続されて構成されている。
図1の情報処理システム1と同様、このような構成によって、複数の基板処理装置10において取得された基板処理情報が、複数のクライアント20及びサーバ22間で送受信される。
Next, the
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the
Similar to the
次に、基板処理装置10をさらに説明する。
[基板処理装置の詳細構成]
まず、基板処理装置10の詳細な構成を説明する。
図3には、基板処理装置10が斜視図を用いて示されている。また、図4には、基板処理装置10が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置10は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ100を処理する。
Next, the
[Detailed configuration of substrate processing equipment]
First, a detailed configuration of the
FIG. 3 shows the
The
図3及び図4に示されているように、基板処理装置10は、基板処理装置本体11を備える。また、基板処理装置10では、ウエハ100を収納したウエハキャリアとして用いられるフープ(基板収容器。以下、ポッド)101が使用されている。
基板処理装置本体11の正面壁11aの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口102が設置され、正面メンテナンス口102を開閉する正面メンテナンス扉103が建て付けられている。なお、上側の正面メンテナンス扉103近傍には、操作部(不図示)が設置されている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
A
基板処理装置本体11の正面壁11aには、ポッド搬入搬出口104が基板処理装置本体11の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出部104はフロントシャッタ105によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出部104の正面前方側にはロードポート106が設置されており、ロードポート106はポッド101を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド101はロードポート106上に工程内搬送装置(不図示)によって搬入され、ロードポート106上から搬出されるようになっている。
A pod loading / unloading
A
基板処理装置本体11内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚107が設置されており、回転式ポッド棚107は複数個のポッド101を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚107は垂直に設置されて水平面内で間欠回転される支柱108と、支柱108に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板109とを備えており、複数枚の棚板109はポッド101を複数個宛にそれぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
A
基板処理装置本体11内におけるロードポート106と回転式ポッド棚107との間には、ポッド搬送装置110が設置されており、ポッド搬送装置110は、ポッド101を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ110aと搬送機構としてのポッド搬送機構110bとで構成されており、ポッド搬送装置110はポッドエレベータ110aとポッド搬送機構110bとの連続動作により、ロードポート106、回転式ポッド棚107、ポッドオープナ111との間で、ポッド101を搬送するように構成されている。
A
基板処理装置本体11内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体112が後端にわたって設置されている。サブ筐体112の正面壁112aにはウエハ100をサブ筐体112内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口113が一対、垂直方向に上下二段に並べられて設置されており、上下段のウエハ搬入搬出口113には、一対のポッドオープナ111がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ111はポッド101を載置する載置台114と、ポッドのキャップを着脱するキャップ着脱機構115を備えている。ポッドオープナ111は載置台114に載置されたポッド101のキャップをキャップ着脱機構115によって着脱することにより、ポッド101のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
A sub-housing 112 is installed across the rear end of the substrate processing apparatus
サブ筐体112はポッド搬送装置110や回転式ポッド棚107の設置空間から流体的に隔絶された移載室116を構成している。移載室116の前側領域にはウエハ移載機構117が設置されており、ウエハ移載機構117は、ウエハ100を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置117a及びウエハ移載装置117aを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ117bとで構成されている。図1に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ117bは基板処理装置本体11右側端部とサブ筐体112の移載室116前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ117b及びウエハ移載装置117aの連続動作により、ウエハ移載装置117aのツイーザ117cをウエハ100の載置部として、ボート118に対してウエハ100を装填(チャージング)及び脱装(ディスチャージング)するように構成されている。
The sub-housing 112 constitutes a
移載室116の後側領域には、ボート118を収容して待機させる待機部119が構成されている。待機部119の上方には、処理炉120が設けられている。処理炉120の下端部は、炉口シャッタ121により開閉されるように構成されている。
In the rear area of the
図3に模式的に示されているように、基板処理装置本体11右側端部とサブ筐体112の待機部119右端部との間にはボート118を昇降させるためのボートエレベータ122が設置されている。ボートエレベータ122の昇降台に連結された連結具としてのアーム123には蓋体としてのシールキャップ124が水平に据え付けられており、シールキャップ124はボート118を垂直に支持し、処理炉120の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート118は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50〜125枚程度)のウエハ100をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
As schematically shown in FIG. 3, a
The
また、図3に模式的に示されているように移載室116のウエハ移載装置エレベータ117b側及びボートエレベータ122側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア125を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット126が設置されており、ウエハ移載装置117aとクリーンユニット126との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置(不図示)が設置されている。
Further, as schematically shown in FIG. 3, a clean atmosphere or an inert gas is present at the left end of the
クリーンユニット126から吹き出されたクリーンエア125は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置117a、待機部119にあるボート118に流通された後に、ダクト(不図示)により吸い込まれて、基板処理装置本体11の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット126の吸い込み側である一次側(供給側)にまで循環され、再びクリーンユニット126によって、移載室117内に吹き出されるように構成されている。
The
[基板処理装置の動作]
次に、本発明の基板処理装置10の動作を説明する。
図3及び図4に示されているように、ポッド101がロードポート106に供給されると、ポッド搬入搬出口104がフロントシャッタ105によって開放され、ロードポート106の上のポッド101はポッド搬送装置110によって基板処理装置本体11の内部へポッド搬入搬出口104から搬入される。
[Operation of substrate processing equipment]
Next, the operation of the
As shown in FIGS. 3 and 4, when the
搬入されたポッド101は回転式ポッド棚107の指定された棚板109へポッド搬送装置110によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板109から一方のポッドオープナ111に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板109から一方のポッドオープナ111に搬送されて載置台114に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ111に搬送されて載置台114に移載される。この際、ポッドオープナ111のウエハ搬入搬出口113はキャップ着脱機構115によって閉じられており、移載室116にはクリーンエア125が流通され、充満されている。例えば、移載室116にはクリーンエア125として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が20ppm以下と、基板処理装置本体11の内部(大気雰囲気)の酸素濃度よりもはるかに低く設定されている。
The loaded
載置台114に載置されたポッド101はその開口側端面がサブ筐体112の正面壁112aにおけるウエハ搬入搬出口113の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構123によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド101がポッドオープナ111によって開放されると、ウエハ100はポッド101からウエハ移載装置117aのツイーザ117cによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置(不図示)にてウエハを整合した後、移載室116の後方にある待機部119へ搬入され、ボート118に装填(チャージング)される。ボート118にウエハ100を受け渡したウエハ移載装置117aはポッド101に戻り、次のウエハをボート118に装填する。
The
When the
この一方(上段または下段)のポッドオープナ111におけるウエハ移載機構117によるウエハのボート118への装填作業中に、他方(下段または上段)のポッドオープナ111には回転式ポッド棚107から別のポッド101がポッド搬送装置110によって搬送されて移載され、ポッドオープナ111によるポッド101の開放作業が同時進行される。
During the loading operation of the wafer into the
予め指定された枚数のウエハ100がボート118に装填されると、炉口シャッタ121によって閉じられていた処理炉120の下端部が、炉口シャッタ121によって、開放される。続いて、ウエハ100群を保持したボート118はシールキャップ124がボートエレベータ122によって上昇されることにより、処理炉120内へ搬入(ローディング)されて行く。
ローディング後は、処理炉120にてウエハ100に任意の処理が実施される。
処理後は、ノッチ合わせ装置(不図示)でのウエハの整合工程を除き、上述の逆の手順で、ウエハ100及びポッド101は筐体の外部へ払出される。
When a predetermined number of
After loading, arbitrary processing is performed on the
After the processing, the
次に、クライアント20及びサーバ22をさらに説明する。
[クライアント及びサーバのハードウエア構成]
まず、クライアント20及びサーバ22のハードウエア構成を説明する。
図5は、クライアント20及びサーバ22のハードウエア構成を、制御装置24を中心にして示す図である。
Next, the client 20 and the server 22 will be further described.
[Hardware configuration of client and server]
First, the hardware configuration of the client 20 and the server 22 will be described.
FIG. 5 is a diagram showing the hardware configuration of the client 20 and the server 22 with the control device 24 at the center.
図5に示すように、クライアント20及びサーバ22は、CPU26及びメモリ28を含む制御装置24と、ネットワーク16を介して外部の装置と情報の送受信を行う通信インターフェース(以下、「通信IF」)30と、ハードディスクドライブなどの記憶装置32と、液晶ディスプレイなどである表示装置34と、キーボード及びマウスなどである入力装置36とを有する。このように、クライアント20及びサーバ22は、一般的なコンピュータとしての機能を備え、後述する情報処理プログラムなどを実行する。
As shown in FIG. 5, the client 20 and the server 22 include a control device 24 including a
[クライアント及びサーバのソフトウエア構成]
次に、クライアント20及びサーバ22のソフトウエア構成を説明する。
図6は、クライアント20にインストールされ、クライアント20上で実行される情報処理プログラム38の構成を示す図である。
図6に示すように、情報処理プログラム38は、ユーザインターフェース(以下、「UI」)部380、ユーザ指示送信部382、クライアントリソーステーブル要求受信部384、クライアントリソース監視部386、クライアントリソーステーブル記憶部388、クライアントリソーステーブル送信部390及び基板処理情報受信部392を有する。このような構成により、クライアント20は、サーバ22に対して基板処理情報の送信を要求し、サーバ22から基板処理情報を受信する。
[Software configuration of client and server]
Next, software configurations of the client 20 and the server 22 will be described.
FIG. 6 is a diagram showing the configuration of the information processing program 38 installed in the client 20 and executed on the client 20.
As illustrated in FIG. 6, the information processing program 38 includes a user interface (hereinafter “UI”)
UI部380は、ユーザが図5の入力装置36を介して入力した指示(例えば、基板処理情報のうち、温度モニタ値、MFCモニタ値、APCモニタ値及び圧力モニタ値の送信を要求する指示)を受け付ける。また、UI部380は、基板処理情報受信部392が受信した基板処理情報を図5の表示装置34に出力する。
ユーザ指示送信部382は、UI部380が受け付けたユーザ指示を図5の通信IF30を介してサーバ22に送信する。
クライアントリソーステーブル要求受信部384は、通信IF30を介して、サーバ22からクライアントリソーステーブルの要求を受信する。
クライアントリソース監視部386は、図5のCPU26、メモリ28及びネットワーク16などからこれらの状態を示す情報を収集し、例えば、図7に示す形式のクライアントリソーステーブルとして、クライアントリソーステーブル記憶部388に記憶する。
クライアントリソーステーブル送信部390は、クライアントリソーステーブル要求受信部384がクライアントリソーステーブルの要求を受信したことをトリガに、クライアントリソーステーブル記憶部388に記憶されたクライアントリソーステーブルを、通信IF30を介してサーバ22に送信する。
基板処理情報受信部392は、サーバ22が通信IF30を介して送信した基板処理情報を受信する。
The
The user
The client resource table
The client
The client resource
The substrate processing
図8は、図6の情報処理プログラム38の動作フロー(S10)を示すフローチャートである。
図8に示すように、ステップ100(S100)において、図6のUI部380がユーザから指示を受け付けたか否かが判定される。UI部380がユーザ指示を受け付けた場合には、ステップ102の処理に進み、UI部380がユーザ指示を受け付けるまで、ステップ100の処理が繰り返される。
ステップ102(S102)において、図6のユーザ指示送信部382は、ステップ100でUI部380が受け付けたユーザ指示をサーバ22に送信する。
ステップ104(S104)において、図6の基板処理情報受信部392が、ステップ100で受け付けられたユーザ指示どおりに基板処理情報をすべてサーバ22から受信したか否かが判定される。基板処理情報受信部392が、ユーザ指示通りに基板処理情報をすべて受信した場合には、処理を終了する。一方、そうでない場合(例えば、基板処理情報の受信をまだ開始してしない場合及び一部の基板処理情報しか受信しない場合)には、ステップ106の処理に進む。
FIG. 8 is a flowchart showing an operation flow (S10) of the information processing program 38 of FIG.
As shown in FIG. 8, in step 100 (S100), it is determined whether the
In step 102 (S102), the user
In step 104 (S104), it is determined whether or not the substrate processing
ステップ106(S106)において、図6のクライアントリソーステーブル要求受信部384が、サーバ22からクライアントリソーステーブルの要求を受信したか否かが判定される。クライアントリソーステーブル要求受信部384がクライアントリソーステーブルの要求を受信した場合には、ステップ108の処理に進み、そうでない場合には、ステップ104の処理に戻る。
ステップ108(S108)において、図6のクライアントリソーステーブル送信部390は、クライアントリソーステーブル記憶部388からクライアントリソーステーブルを読み出し、サーバ22に送信する。
In step 106 (S106), it is determined whether the client resource table
In step 108 (S108), the client resource
図9は、サーバ22上で実行される情報処理プログラム40の構成を示す図である。
図9に示すように、情報処理プログラム40は、基板処理情報受信部400、基板処理情報記憶部402、ユーザ指示受信部404、送信サイズ決定部406、クライアントリソーステーブル要求送信部408、クライアントリソーステーブル受信部410、サーバリソース監視部412、サーバリソーステーブル記憶部414、リソース閾値記憶部416及び基板処理情報送信部418を有する。このような構成により、サーバ22は、クライアント20の要求に応じて、基板処理装置10において取得された基板処理情報を送信する。
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of the
As shown in FIG. 9, the
基板処理情報受信部400は、図5の通信IF30を介して基板処理装置10から基板処理情報を受信し、基板処理情報記憶部402に記憶する。
ユーザ指示受信部404は、通信IF30を介してクライアント20からユーザ指示を受信する。
送信サイズ決定部406は、ユーザ指示受信部404がユーザ指示を受信したことをトリガに、サーバ22が1回の送信でクライアント20に送信する基板処理情報のサイズ(以下、「送信サイズ」)を決定する。
具体的には、送信サイズ決定部406は、クライアントリソーステーブル、サーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて、送信サイズを決定する。
The substrate processing
The user
The transmission
Specifically, the transmission
クライアントリソーステーブルは、ユーザ指示受信部404がユーザ指示を受信したタイミングで、クライアントリソーステーブル要求送信部408が通信IF30を介してクライアント20にクライアントリソーステーブルの要求を送信することにより、クライアントリソーステーブル受信部410が通信IF30を介してクライアント20から受信する。
サーバリソーステーブルは、サーバリソース監視部412が図5のCPU26、メモリ28及びネットワーク16などからこれらの状態を示す情報を収集し、例えば図10Aに示す形式のサーバリソーステーブルとしてサーバリソーステーブル記憶部414に記憶されたものが読み出される。
なお、ユーザ指示、クライアントリソーステーブル及びサーバリソーステーブルは、例えば図10Bに示す形式のリソーステーブルにまとめられる。図10Bにおいて、(1)はサーバリソーステーブルの内容に対応し、(2)はクライアント20−1から受信したクライアントリソーステーブルの内容に対応し、(3)はクライアント20−1から受信したユーザ指示に対応する。また、(4)はクライアント20−2から受信したクライアントリソーステーブル及びユーザ指示に対応し、(5)はクライアント20−mから受信したクライアントリソーステーブル及びユーザ指示に対応する。つまり、リソーステーブルには、サーバリソーステーブル、サーバ22に接続されているクライアント20のクライアントリソーステーブル、及び、サーバ22に接続されたことのあるクライアント20のクライアントリソーステーブルの内容が含まれている。
リソース閾値は、ユーザが予め設定し、例えば図10Cに示す形式のリソース閾値としてリソース閾値記憶部416に記憶されたものが読み出される。
The client resource table is received by the client resource table
In the server resource table, the server
Note that the user instruction, the client resource table, and the server resource table are collected into a resource table having a format shown in FIG. 10B, for example. 10B, (1) corresponds to the contents of the server resource table, (2) corresponds to the contents of the client resource table received from the client 20-1, and (3) corresponds to the user instruction received from the client 20-1. Corresponding to (4) corresponds to the client resource table and user instruction received from the client 20-2, and (5) corresponds to the client resource table and user instruction received from the client 20-m. That is, the resource table includes the server resource table, the client resource table of the client 20 connected to the server 22, and the contents of the client resource table of the client 20 that has been connected to the server 22.
The resource threshold value set in advance by the user, for example, the resource threshold value stored in the resource threshold
基板処理情報送信部418は、ユーザ指示受信部404が受信したユーザ指示に基づいて、基板処理情報記憶部402から基板処理情報を読み出し、送信サイズ決定部406が決定した送信サイズで、通信IF30を介してクライアント20に送信する。
The substrate processing
図11は、図9の情報処理プログラム40の動作フロー(S20)を示すフローチャートである。
図11に示すように、ステップ200(S200)において、図9のユーザ指示受信部404が、クライアント20からユーザ指示を受信したか否かが判定される。ユーザ指示受信部404がユーザ指示を受信した場合には、ステップ202の処理に進み、ユーザ指示受信部404がユーザ指示を受信するまで、ステップ200の処理が繰り返される。
ステップ202(S202)において、図9のクライアントリソーステーブル要求送信部408が、ステップ200で受信したユーザ指示の送信元であるクライアント20に対し、クライアントリソーステーブルを要求する。
ステップ204(S204)において、図9のクライアントリソーステーブル受信部410が、クライアント20からクライアントリソーステーブルを受信したか否かが判定される。クライアントリソーステーブル受信部410がクライアントリソーステーブルを受信した場合には、ステップ206(S206)の処理に進み、クライアントリソーステーブル受信部410がクライアントリソーステーブルを受信するまで、ステップ202〜204の処理が繰り返される。
FIG. 11 is a flowchart showing an operation flow (S20) of the
As shown in FIG. 11, in step 200 (S <b> 200), it is determined whether or not the user
In step 202 (S202), the client resource table
In step 204 (S204), it is determined whether or not the client resource
ステップ206(S206)において、クライアントリソーステーブル受信部410が受信したクライアントリソーステーブルは、図9の送信サイズ決定部406に出力される。また、送信サイズ決定部406は、図9のサーバリソーステーブル記憶部414からサーバリソーステーブルを読み込むとともに、図9のリソース閾値記憶部416からリソース閾値を読み込む。
ステップ208(S208)において、送信サイズ決定部406は、ステップ206で出力されたクライアントリソーステーブル及びステップ206で読み込まれたサーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて、送信サイズを決定する。
具体的には、送信サイズ決定部406は、クライアント20の送信サイズを、当該クライアントのクライアントリソーステーブル、サーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて決定する。例えば、クライアント20−1の送信サイズを決定する場合、クライアント20−1のクライアントリソーステーブル、基板処理情報の取得先であるサーバ22のサーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて決定する。
クライアントリソーステーブル及びサーバリソーステーブルの少なくともいずれかのリソース使用率がリソース閾値で設定された最大値を超えるクライアント20の送信サイズは0に決定し、そうでないクライアント20の送信サイズは、例えば、クライアントリソーステーブルのリソース使用率が高いほど送信回数(サーバ22がクライアント20に基板処理情報を送信する回数)が少なくなるよう決定する。
In step 206 (S206), the client resource table received by the client resource
In step 208 (S208), the transmission
Specifically, the transmission
The transmission size of the client 20 in which the resource usage rate of at least one of the client resource table and the server resource table exceeds the maximum value set by the resource threshold is determined to be 0, and the transmission size of the other client 20 is, for example, a client resource The higher the resource usage rate of the table, the smaller the number of transmissions (the number of times the server 22 transmits the substrate processing information to the client 20).
ステップ210(S210)において、ステップ208で決定された送信サイズが非ゼロであるか否かが判定される。送信サイズが非ゼロである場合、ステップ212の処理に進み、そうでない場合、ステップ202〜210の処理を繰り返す。
ステップ212(S212)において、図9の基板処理情報送信部418は、ステップ200で受信したユーザ指示に基づき、図9の基板処理情報記憶部402から基板処理情報を読み込み、ステップ208で決定された送信サイズでクライアント20に送信する。
ステップ214(S214)において、基板処理情報送信部418が、ステップ200で受信したユーザ指示通りに基板処理情報をすべて送信したか否かが判定される。基板処理情報送信部418が、ユーザ指示通りに基板処理情報をすべて送信した場合には、処理を終了する。一方、そうでない場合(例えば、一部の基板処理情報しか送信してしない場合)には、ユーザ指示通りに基板処理情報をすべて送信するまで、ステップ202〜214の処理を繰り返す。
In step 210 (S210), it is determined whether or not the transmission size determined in step 208 is non-zero. If the transmission size is non-zero, the process proceeds to step 212; otherwise, the processes of steps 202 to 210 are repeated.
In step 212 (S212), the substrate processing
In step 214 (S214), it is determined whether or not the substrate processing
1 情報処理システム
10 基板処理装置
12 クライアント
14 サーバ
16 ネットワーク
2 情報処理システム
20 クライアント
22 サーバ
38 情報処理プログラム
40 情報処理プログラム
DESCRIPTION OF
Claims (1)
前記送信装置は、
情報を記憶する記憶部と、
前記受信装置からの要求に応じて、前記受信装置のリソースの状態及び前記送信装置のリソースの状態に基づいて、前記受信装置に対する前記記憶部に記憶された情報の送信を制御する制御部と、
前記制御部による制御に基づいて、前記受信装置に対して前記記憶部に記憶された情報を送信する送信部と
を有し、
前記受信装置は、
前記送信部に対して前記記憶部に記憶された情報の送信を要求する送信要求部と、
前記送信部から前記記憶部に記憶された情報を受信する受信部と
を有する
情報処理システム。 A transmitting device for transmitting information and a receiving device for receiving information;
The transmitter is
A storage unit for storing information;
A control unit that controls transmission of information stored in the storage unit to the receiving device based on a resource state of the receiving device and a resource state of the transmitting device in response to a request from the receiving device;
A transmission unit that transmits information stored in the storage unit to the reception device based on the control by the control unit;
The receiving device is:
A transmission request unit that requests the transmission unit to transmit information stored in the storage unit;
A receiving unit that receives information stored in the storage unit from the transmission unit;
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009276221A JP2011118726A (en) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | Information processing system |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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-
2009
- 2009-12-04 JP JP2009276221A patent/JP2011118726A/en active Pending
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