JP2011114181A - Atomic oscillator - Google Patents

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JP2011114181A
JP2011114181A JP2009269656A JP2009269656A JP2011114181A JP 2011114181 A JP2011114181 A JP 2011114181A JP 2009269656 A JP2009269656 A JP 2009269656A JP 2009269656 A JP2009269656 A JP 2009269656A JP 2011114181 A JP2011114181 A JP 2011114181A
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Japan
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peltier element
cell
light
atomic oscillator
detecting
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Withdrawn
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JP2009269656A
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Yoshiyuki Maki
義之 牧
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an atomic oscillator excelling in easiness of assembly, reduction of a mounting area, and vibration resistance. <P>SOLUTION: A physical package 20 includes: a lead frame (support member) 6 including lead terminals 8 for external connection; a Peltier element 5; a semiconductor laser (light source) 1 for generating a resonant light pair causing alkaline metal atoms to generate an electromagnetic induction transmission phenomenon; a cell 3 capsulating the alkaline metal atoms; a PD (photodetector) 4 for detecting the resonant light pair having passed through the alkaline metal atoms; and a thermistor (temperature detection element) 2 for detecting the temperature of the Peltier element 5. The physical package is structured such that the Peltier element 5 is mounted on the lead frame 6, the thermistor 2, the semiconductor laser 1, the cell 3 and the PD 4 are horizontally arranged side by side on the Peltier element 5, and the exposure surfaces of all the components mounted on the lead frame 6 are covered with a resin (sealing member) 7. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、原子発振器に関し、さらに詳しくは、封止部材により封止された原子発振器
の構成に関するものである。
The present invention relates to an atomic oscillator, and more particularly to a configuration of an atomic oscillator sealed by a sealing member.

ルビジウム、セシウム等のアルカリ金属を用いた原子発振器は、原子のエネルギ遷移を
利用する際に、原子をガス状態に保つ必要があるため、原子を気密封入したガスセルを一
定の温度に保って動作させている。原子発振器の動作原理は、光とマイクロ波を利用した
二重共鳴法と、2種類のレーザ光による量子干渉効果を利用する方法に大別されるが、両
者共にガスセルに入射した光が、原子ガスにどれだけ吸収されたかを反対側に設けられた
検出器で検出することにより、原子共鳴を検知して制御系にて水晶発振器などの基準信号
をこの原子共鳴に同期させて出力を得ている。
図8は従来の原子発振器の物理パッケージを模式化した図である。この図から明らかに
ように、従来の物理パッケージは、ペルチェ素子106、光源としての半導体レーザ10
5、レーザ光を平行光に変換する平行レンズ108、光の位相を1/4波長偏光する1/
4波長板109、110、アルカリ金属原子115、セル100及び光検出器113が積
層された構造である(特許文献1参照)。
An atomic oscillator using an alkali metal such as rubidium or cesium needs to keep the atoms in a gas state when utilizing the energy transition of the atoms. Therefore, the gas cell in which the atoms are hermetically sealed is operated at a constant temperature. ing. The principle of operation of an atomic oscillator is broadly divided into a double resonance method using light and microwaves, and a method using a quantum interference effect by two types of laser light. By detecting how much the gas is absorbed by the detector provided on the opposite side, the atomic resonance is detected, and the control system synchronizes a reference signal such as a crystal oscillator with this atomic resonance to obtain an output. Yes.
FIG. 8 is a schematic view of a physical package of a conventional atomic oscillator. As is apparent from this figure, the conventional physical package includes a Peltier element 106 and a semiconductor laser 10 as a light source.
5. Parallel lens 108 for converting laser light into parallel light;
The four-wavelength plates 109 and 110, the alkali metal atoms 115, the cell 100, and the photodetector 113 are stacked (see Patent Document 1).

US6320472B1US6320472B1

しかし、特許文献1に開示されている従来技術は、ペルチェ素子106、半導体レーザ
105、セル100、光検出器113を個別の部品として温度などをコントロールしてお
り、個別部品を配置しただけの状態であるため、振動に対して特性が安定しないといった
問題がある。また、ユニバーサル基板への実装がしにくいといった問題もある。
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、レーザと光学系部品をペルチェ素
子と一体的に樹脂モールド化することにより、アセンブリの容易さ、実装面積の低減化、
及び耐振動性に優れた原子発振器を提供することを目的とする。
However, in the conventional technique disclosed in Patent Document 1, the temperature is controlled by using the Peltier element 106, the semiconductor laser 105, the cell 100, and the photodetector 113 as individual parts, and only the individual parts are arranged. Therefore, there is a problem that characteristics are not stable against vibration. There is also a problem that it is difficult to mount on a universal substrate.
The present invention has been made in view of such problems, and by molding the laser and the optical system part integrally with the Peltier element, the ease of assembly, the reduction of the mounting area,
It is another object of the present invention to provide an atomic oscillator having excellent vibration resistance.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態又は適用例として実現することが可能である。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

[適用例1]外部接続用のリード端子を有する支持部材と、ペルチェ素子と、アルカリ
金属原子に電磁誘起透過現象を発生させる共鳴光対を生成するための光源と、前記アルカ
リ金属原子を封入したセルと、前記アルカリ金属原子を透過した前記共鳴光対を検出する
光検出手段と、前記ペルチェ素子の温度を検知する温度検知素子と、を備え、前記支持部
材に前記ペルチェ素子、光源、セル、及び光検出手段を順次積層して積層体を構成し、該
積層体及び前記温度検知素子の露出面を封止部材により覆う構成としたことを特徴とする
Application Example 1 A support member having a lead terminal for external connection, a Peltier element, a light source for generating a resonant light pair that generates an electromagnetically induced transmission phenomenon in an alkali metal atom, and the alkali metal atom are encapsulated A cell, a light detection means for detecting the resonant light pair that has passed through the alkali metal atom, and a temperature detection element that detects the temperature of the Peltier element, and the support member includes the Peltier element, the light source, the cell, And a light detecting means are sequentially laminated to form a laminated body, and the laminated body and the exposed surface of the temperature detecting element are covered with a sealing member.

本発明では、支持部材の上にペルチェ素子を設置し、更にその上に光源、セル、及び光
検出手段を順次積層する。また、温度検知素子はペルチェ素子の近傍に配置する。この状
態で縦積みの原子発振器が構成される。このままでは振動や外部環境からの影響を受け易
いので、積層体と温度検知素子の露出面を樹脂等の封止部材により覆うようにする。これ
により、支持部材単位でアセンブリが可能となり、実装面積が低減され、且つ振動に対し
て強い構造とすることができる。
In the present invention, a Peltier element is installed on a support member, and a light source, a cell, and light detection means are sequentially stacked thereon. Further, the temperature detection element is disposed in the vicinity of the Peltier element. In this state, a vertically stacked atomic oscillator is configured. Since it is easily affected by vibration and the external environment as it is, the exposed surfaces of the laminate and the temperature detecting element are covered with a sealing member such as a resin. As a result, assembly is possible in units of support members, the mounting area is reduced, and a structure that is strong against vibration can be obtained.

[適用例2]外部接続用のリード端子を有する支持部材と、ペルチェ素子と、アルカリ
金属原子に電磁誘起透過現象を発生させる共鳴光対を生成するための光源と、前記アルカ
リ金属原子を封入したセルと、前記アルカリ金属原子を透過した前記共鳴光対を検出する
光検出手段と、前記ペルチェ素子の温度を検知する温度検知素子と、を備え、前記支持部
材に前記ペルチェ素子及び温度検知素子を搭載し、該ペルチェ素子に前記光源、セル、及
び光検出手段を併設すると共に、前記支持部材上に搭載した全ての部品の露出面を封止部
材により覆う構成としたことを特徴とする。
Application Example 2 A support member having a lead terminal for external connection, a Peltier element, a light source for generating a resonant light pair that generates an electromagnetically induced transmission phenomenon in an alkali metal atom, and the alkali metal atom are encapsulated A cell, a light detection means for detecting the resonant light pair that has passed through the alkali metal atom, and a temperature detection element that detects the temperature of the Peltier element, and the support member includes the Peltier element and the temperature detection element. The light source, the cell, and the light detecting means are mounted on the Peltier element, and the exposed surfaces of all components mounted on the support member are covered with a sealing member.

本発明では、支持部材にペルチェ素子と温度検知素子を搭載し、更にペルチェ素子の上
に光軸を合わせるように光源、セル、及び光検出手段を横並びに併設する。このままでは
振動や外部環境からの影響を受け易いので、支持部材上に搭載した全ての部品の露出面を
樹脂等の封止部材により覆うようにする。これにより、支持部材単位でアセンブリが可能
となり、低背化が可能となり、且つ振動に対して強い構造とすることができる。
In the present invention, the Peltier element and the temperature detection element are mounted on the support member, and the light source, the cell, and the light detection means are provided side by side so as to align the optical axis on the Peltier element. Since it is easily affected by vibration and the external environment, the exposed surfaces of all the components mounted on the support member are covered with a sealing member such as resin. As a result, the assembly can be performed in units of support members, the height can be reduced, and a structure resistant to vibration can be obtained.

[適用例3]前記ペルチェ素子を除いた構成とし、前記光源、セル、及び光検出手段を
前記支持部材上に直接併設することを特徴とする。
Application Example 3 A configuration in which the Peltier element is excluded, and the light source, the cell, and the light detection unit are directly provided on the support member.

ペルチェ素子は外部から電流を供給することにより、対向する面の温度を制御すること
ができる。しかし、それだけ部品点数が増加することになり、小型化の阻害要因となる。
そこで本発明では、ペルチェ素子を除いて、温度制御を外部で行なうようにする。これに
より、部品点数の低減により原子発振器を小型化すると共に、低コスト化することができ
る。
The Peltier element can control the temperature of the opposing surface by supplying current from the outside. However, the number of parts increases accordingly, which becomes an obstacle to downsizing.
Therefore, in the present invention, temperature control is performed externally except for the Peltier element. As a result, the atomic oscillator can be miniaturized and the cost can be reduced by reducing the number of parts.

[適用例4]前記ペルチェ素子又は前記支持部材に前記光源、セル、及び光検出手段を
併設するための溝を形成したことを特徴とする。
[Application Example 4] A groove for forming the light source, the cell, and the light detection means is formed in the Peltier element or the support member.

光源、セル、及び光検出手段を横並びに併設する場合、最も重要なことは光軸を合わせ
ることである。そこで本発明では、各部品を溝にセットしたときに光軸が合うように溝を
形成しておく。これにより、光軸合わせが必要なくなり、検査工数と製造コストの低減を
図ることができる。
When the light source, the cell, and the light detection means are arranged side by side, the most important thing is to align the optical axes. Therefore, in the present invention, the groove is formed so that the optical axis is aligned when each component is set in the groove. This eliminates the need for optical axis alignment, and can reduce inspection man-hours and manufacturing costs.

[適用例5]前記封止部材を透明部材により構成したことを特徴とする。   Application Example 5 The sealing member is formed of a transparent member.

一般的には封止部材である樹脂は外光の影響を遮断するために黒色をしている。そのた
め、光源、セル、及び光検出手段の接続部の隙間にこの封止部材が浸入すると光を妨げて
しまう虞がある。そこで本発明では、封止部材そのものを透明部材により構成するもので
ある。これにより、接続部の隙間に封止部材が浸入しても光を妨げることなく、部品を封
止することができる。
Generally, the resin that is a sealing member is black in order to block the influence of external light. For this reason, if the sealing member enters the gap between the connection portions of the light source, the cell, and the light detection means, there is a possibility that the light is hindered. Therefore, in the present invention, the sealing member itself is made of a transparent member. Thereby, even if the sealing member enters the gap of the connecting portion, the component can be sealed without hindering light.

[適用例6]前記光源の出射側と前記セルの入射側との間隙、及び該セルの出射側と前
記光検出手段の入射側との間隙を透明部材により充填することを特徴とする。
Application Example 6 A transparent member fills a gap between the emission side of the light source and the incident side of the cell and a gap between the emission side of the cell and the incident side of the light detection means.

一般的には封止部材である樹脂は外光の影響を遮断するために黒色をしている。そのた
め、光源、セル、及び光検出手段の接続部の隙間にこの封止部材が浸入すると光を妨げて
しまう虞がある。そこで本発明では、夫々の接続部の隙間に予め透明部材を充填しておき
、その後で全体を封止部材により封止する。これにより、外光を遮断しつつ接続部の隙間
に封止部材が浸入することを防止することができる。
Generally, the resin that is a sealing member is black in order to block the influence of external light. For this reason, if the sealing member enters the gap between the connection portions of the light source, the cell, and the light detection means, there is a possibility that the light is hindered. Therefore, in the present invention, the gaps between the respective connecting portions are filled with a transparent member in advance, and then the whole is sealed with the sealing member. Thereby, it can prevent that a sealing member penetrate | invades in the clearance gap between a connection part, blocking external light.

[適用例7]前記封止部材の表面又は内層を少なくとも1層の断熱部材により覆うよう
に構成したことを特徴とする。
Application Example 7 It is characterized in that the surface or inner layer of the sealing member is covered with at least one heat insulating member.

光源あるいはセルは、一定の温度に加熱する必要がある。従って、熱が封止部材の外部
から逃げないようにすることが、熱効率を高める上で重要である。そこで本発明では、封
止部材の表面や内層に断熱部材を配置する。この断熱部材は複数の層を設けるとその効果
が高まる。これにより、光源あるいはセルを加熱する熱源の熱効率を高めることができる
The light source or cell needs to be heated to a certain temperature. Therefore, it is important to prevent heat from escaping from the outside of the sealing member in order to increase thermal efficiency. Therefore, in the present invention, a heat insulating member is disposed on the surface or inner layer of the sealing member. The effect of this heat insulating member is enhanced by providing a plurality of layers. Thereby, the thermal efficiency of the heat source which heats a light source or a cell can be improved.

本発明第1の実施形態に係る原子発振器の物理パッケージの構成を示す図であり、(a)は内部の側面図、(b)は内部の上面図、(c)は樹脂によりパッケージングされた外観図である。It is a figure which shows the structure of the physical package of the atomic oscillator which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (a) is an internal side view, (b) is an internal top view, (c) is packaged with resin. It is an external view. 本発明第2の実施形態に係る原子発振器の物理パッケージの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the physical package of the atomic oscillator which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明第3の実施形態に係る原子発振器の物理パッケージの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the physical package of the atomic oscillator which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. ペルチェ素子又はリードフレームに形成した部品の位置決め溝について説明する図であり、(a)は上面図、(b)はA−A断面図である。It is a figure explaining the positioning groove | channel of the components formed in the Peltier device or the lead frame, (a) is a top view, (b) is AA sectional drawing. 図2の実施形態に係る原子発振器を製造する工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process of manufacturing the atomic oscillator which concerns on embodiment of FIG. 本発明の物理パッケージ20を他のICチップと共に基板上に実装した様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the physical package 20 of this invention was mounted on the board | substrate with the other IC chip. 断熱材を備えた物理パッケージの構成を示す図であり、(a)は樹脂の表面に断熱材を備えた図、(b)は樹脂の内部に1層の断熱材を備えた図、(c)は樹脂の内部に2層の断熱材を備えた図である。It is a figure which shows the structure of the physical package provided with the heat insulating material, (a) is the figure which provided the heat insulating material on the surface of resin, (b) is the figure which provided the heat insulating material of one layer inside the resin, (c) ) Is a diagram in which two layers of heat insulating material are provided inside the resin. 従来の原子発振器の物理パッケージを模式化した図である。It is the figure which modeled the physical package of the conventional atomic oscillator.

以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記
載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限
り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings. However, the components, types, combinations, shapes, relative arrangements, and the like described in this embodiment are merely illustrative examples and not intended to limit the scope of the present invention only unless otherwise specified. .

図1は本発明第1の実施形態に係る原子発振器の物理パッケージの構成を示す図である
。図1(a)は内部の側面図、図1(b)は内部の上面図、図1(c)は樹脂によりパッ
ケージングされた外観図である。この物理パッケージ20は、外部接続用のリード端子8
を有するリードフレーム(支持部材)6と、ペルチェ素子5と、アルカリ金属原子に電磁
誘起透過現象を発生させる共鳴光対を生成するための半導体レーザー(光源)1と、アル
カリ金属原子を封入したセル3と、アルカリ金属原子を透過した共鳴光対を検出するPD
(Photo Diode:光検出手段)4と、ペルチェ素子5の温度を検知するサーミスタ(温度
検知素子)2と、を備え、リードフレーム6にペルチェ素子5を搭載し、ペルチェ素子5
の上にサーミスタ2と、半導体レーザー1、セル3、及びPD4を横並びに併設すると共
に、リードフレーム6上に搭載した全ての部品の露出面を樹脂部材(封止部材)7により
覆う構成とした。図1(b)に示すように、半導体レーザー1、セル3、及びPD4を横
並びに併設したときに、半導体レーザー1から出射される共鳴光の光軸が一致するように
配置する。そして、樹脂7によりモールド化することにより、図1(c)に示すように一
見外観からは一般のICチップと同じように見える。尚、サーミスタ2の位置は、ペルチ
ェ素子5に接触していればどこでも構わない。
このように、本実施形態では、リードフレーム6にペルチェ素子5とサーミスタ2を搭
載し、更にペルチェ素子5の上に光軸を合わせるように半導体レーザー1、セル3、及び
PD4を横並びに併設する。このままでは振動や外部環境からの影響を受け易いので、リ
ードフレーム6上に搭載した全ての部品の露出面を樹脂等の封止部材により覆うようにす
る。これにより、リードフレーム6単位でアセンブリが可能となり、低背化が可能となり
、且つ振動に対して強い構造とすることができる。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a physical package of an atomic oscillator according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1A is an internal side view, FIG. 1B is an internal top view, and FIG. 1C is an external view packaged with resin. This physical package 20 has lead terminals 8 for external connection.
A lead frame (support member) 6 having a Peltier element 5, a semiconductor laser (light source) 1 for generating a resonant light pair for generating an electromagnetically induced transmission phenomenon in alkali metal atoms, and a cell in which alkali metal atoms are enclosed 3 and PD for detecting a resonant light pair transmitted through an alkali metal atom
(Photo Diode: light detection means) 4 and a thermistor (temperature detection element) 2 for detecting the temperature of the Peltier element 5, the Peltier element 5 is mounted on the lead frame 6, and the Peltier element 5
The thermistor 2, the semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4 are arranged side by side, and the exposed surfaces of all the components mounted on the lead frame 6 are covered with a resin member (sealing member) 7. . As shown in FIG. 1B, when the semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4 are arranged side by side, they are arranged so that the optical axes of the resonance lights emitted from the semiconductor laser 1 coincide. Then, by molding with the resin 7, as shown in FIG. 1C, it looks like a general IC chip from the appearance. The thermistor 2 may be located anywhere as long as it is in contact with the Peltier element 5.
Thus, in this embodiment, the Peltier element 5 and the thermistor 2 are mounted on the lead frame 6, and the semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4 are arranged side by side so as to align the optical axis on the Peltier element 5. . Since it is easily affected by vibration and the external environment, the exposed surfaces of all components mounted on the lead frame 6 are covered with a sealing member such as resin. As a result, assembly can be performed in units of the lead frame 6, the height can be reduced, and a structure resistant to vibration can be obtained.

図2は本発明第2の実施形態に係る原子発振器の物理パッケージの構成を示す図である
。同じ構成要素には図1と同じ参照番号を付して説明する。この物理パッケージ21は、
外部接続用のリード端子8を有するリードフレーム6と、ペルチェ素子5と、アルカリ金
属原子に電磁誘起透過現象を発生させる共鳴光対を生成するための半導体レーザー1と、
アルカリ金属原子を封入したセル3と、アルカリ金属原子を透過した共鳴光対を検出する
PD(Photo Diode:光検出手段)4と、ペルチェ素子5の温度を検知するサーミスタ2
と、を備え、リードフレーム6にペルチェ素子5、半導体レーザー1、セル3、及びPD
4を順次積層して積層体を構成し、この積層体及びサーミスタ2の露出面を樹脂7により
覆う構成とした。
このように、本実施形態では、リードフレーム6の上にペルチェ素子5を設置し、更に
その上に半導体レーザー1、セル3、及びPD4を順次積層する。また、サーミスタ2は
ペルチェ素子5の近傍に配置する。この状態で縦積みの原子発振器が構成される。このま
までは振動や外部環境からの影響を受け易いので、積層体とサーミスタ2の露出面を樹脂
等の封止部材により覆うようにする。これにより、リードフレーム6単位でアセンブリが
可能となり、実装面積が低減され、且つ振動に対して強い構造とすることができる。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a physical package of an atomic oscillator according to the second embodiment of the present invention. The same components will be described with the same reference numerals as in FIG. This physical package 21 is
A lead frame 6 having lead terminals 8 for external connection; a Peltier element 5; a semiconductor laser 1 for generating a resonant light pair that generates an electromagnetically induced transmission phenomenon in alkali metal atoms;
A cell 3 enclosing an alkali metal atom, a PD (Photo Diode: light detecting means) 4 for detecting a resonant light pair that has passed through the alkali metal atom, and a thermistor 2 for detecting the temperature of the Peltier element 5
A lead frame 6 with a Peltier element 5, a semiconductor laser 1, a cell 3, and a PD
4 was sequentially laminated to form a laminated body, and the laminated body and the exposed surface of the thermistor 2 were covered with a resin 7.
Thus, in this embodiment, the Peltier element 5 is installed on the lead frame 6, and the semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4 are sequentially stacked thereon. Further, the thermistor 2 is disposed in the vicinity of the Peltier element 5. In this state, a vertically stacked atomic oscillator is configured. As it is, the laminated body and the exposed surface of the thermistor 2 are covered with a sealing member such as a resin because they are easily affected by vibration and the external environment. As a result, assembly can be performed in units of the lead frame 6, the mounting area can be reduced, and a structure resistant to vibration can be obtained.

図3は本発明第3の実施形態に係る原子発振器の物理パッケージの構成を示す図である
。同じ構成要素には図1と同じ参照番号を付して説明する。この物理パッケージ22は、
図1の構成からペルチェ素子5を取り除いた構成である。そして半導体レーザー1、セル
3、及びPD4をリードフレーム6上に直接併設する。即ち、ペルチェ素子5は外部から
電流を供給することにより、対向する面の温度を制御することができる。しかし、それだ
け部品点数が増加することになり、小型化の阻害要因となる。そこで本実施形態では、ペ
ルチェ素子5を除いて、温度制御を外部で行なうようにする。これにより、部品点数の低
減により原子発振器を小型化すると共に、低コスト化することができる。
また、一般的には封止部材である樹脂は外光の影響を遮断するために黒色をしている。
そのため、半導体レーザー1、セル3、及びPD4の接続部の隙間にこの樹脂7が浸入す
ると光を妨げてしまう虞がある。そこで本実施形態では、樹脂7そのものを透明部材によ
り構成するものである。これにより、接続部の隙間に樹脂が浸入しても光を妨げることな
く、部品を封止することができる。
また、他の方法として、半導体レーザー1の出射側とセル3の入射側との間隙、及びセ
ル3の出射側とPD4の入射側との間隙を透明部材により充填する方法がある。即ち、一
般的には封止部材である樹脂は外光の影響を遮断するために黒色をしている。そのため、
半導体レーザー1、セル3、及びPD4の接続部の隙間にこの樹脂が浸入すると光を妨げ
てしまう虞がある。そこで本実施形態では、夫々の接続部の隙間に予め透明部材を充填し
ておき、その後で全体を樹脂7により封止する。これにより、外光を遮断しつつ接続部の
隙間に樹脂7が浸入することを防止することができる。
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a physical package of an atomic oscillator according to the third embodiment of the present invention. The same components will be described with the same reference numerals as in FIG. This physical package 22 is
This is a configuration in which the Peltier element 5 is removed from the configuration of FIG. The semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4 are directly provided on the lead frame 6. That is, the Peltier element 5 can control the temperature of the opposing surfaces by supplying current from the outside. However, the number of parts increases accordingly, which becomes an obstacle to downsizing. Therefore, in this embodiment, the temperature control is performed outside, except for the Peltier element 5. As a result, the atomic oscillator can be miniaturized and the cost can be reduced by reducing the number of parts.
In general, the resin that is a sealing member is black in order to block the influence of external light.
For this reason, if the resin 7 enters the gap between the connecting portions of the semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4, there is a possibility that the light is hindered. Therefore, in the present embodiment, the resin 7 itself is constituted by a transparent member. Thereby, even if the resin enters the gap between the connecting portions, the component can be sealed without hindering light.
As another method, there is a method of filling the gap between the emission side of the semiconductor laser 1 and the incident side of the cell 3 and the gap between the emission side of the cell 3 and the incident side of the PD 4 with a transparent member. That is, in general, the resin that is a sealing member is black in order to block the influence of external light. for that reason,
If this resin enters the gap between the connecting portions of the semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4, there is a possibility that the light will be blocked. Therefore, in this embodiment, a transparent member is filled in advance in the gaps of the respective connecting portions, and then the whole is sealed with the resin 7. Thereby, it is possible to prevent the resin 7 from entering the gap of the connection portion while blocking external light.

図4はペルチェ素子又はリードフレームに形成した部品の位置決め溝について説明する
図である。図4(a)は上面図、図4(b)はA−A断面図である。即ち、半導体レーザ
ー1、セル3、及びPD4を横並びに併設する場合、最も重要なことは光軸を合わせるこ
とである。そこで本実施形態では、各部品を溝9にセットしたときに光軸が合うように溝
9を形成しておく。これにより、光軸合わせが必要なくなり、検査工数と製造コストの低
減を図ることができる。
FIG. 4 is a view for explaining positioning grooves of parts formed on the Peltier element or the lead frame. 4A is a top view and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line AA. That is, when the semiconductor laser 1, the cell 3, and the PD 4 are arranged side by side, the most important thing is to align the optical axes. Therefore, in this embodiment, the groove 9 is formed so that the optical axis is aligned when each component is set in the groove 9. This eliminates the need for optical axis alignment, and can reduce inspection man-hours and manufacturing costs.

図5は図2の実施形態に係る原子発振器を製造する工程を説明するフローチャートであ
る。まず、リードフレーム6にペルチェ素子5をダイボンドする(S1)。次に、その上
に半導体レーザー1、セル3、PD4をダイボンドする(S2)。次に、各部品の端子と
リードフレーム6に備えられている外部接続用のリード端子8とをワイヤボンディングす
る(S3)。次に透明接着剤にて各部品の接続面を固定する(S4)。次に、樹脂により
樹脂モールド化する(S5)。
FIG. 5 is a flowchart for explaining a process of manufacturing the atomic oscillator according to the embodiment of FIG. First, the Peltier element 5 is die-bonded to the lead frame 6 (S1). Next, the semiconductor laser 1, cell 3, and PD4 are die-bonded thereon (S2). Next, the terminal of each component and the lead terminal 8 for external connection provided in the lead frame 6 are wire-bonded (S3). Next, the connection surface of each component is fixed with a transparent adhesive (S4). Next, resin molding is performed with resin (S5).

図6は本発明の物理パッケージ20を他のICチップと共に基板上に実装した様子を示
す図である。本発明の物理パッケージ20は、外観的にはユニバーサルなICパッケージ
と同様であるため、基板24に形成されたプリントパターン25により制御回路IC23
と接続することにより、従来のICパッケージを使用した実装と同様に製造ラインに流し
て基板24を大量生産することが可能となる。
FIG. 6 is a diagram showing a state in which the physical package 20 of the present invention is mounted on a substrate together with other IC chips. Since the physical package 20 of the present invention is similar in appearance to a universal IC package, the control circuit IC 23 is formed by a printed pattern 25 formed on the substrate 24.
By connecting to, the substrate 24 can be mass-produced by flowing to the production line in the same manner as the mounting using the conventional IC package.

図7は断熱材を備えた物理パッケージの構成を示す図である。図7(a)は樹脂の表面
に断熱材を備えた図、図7(b)は樹脂の内部に1層の断熱材を備えた図、図7(c)は
樹脂の内部に2層の断熱材を備えた図である。図7(a)では、樹脂7の表面を覆うよう
に断熱材10を備えている。また、図7(b)は、樹脂7を形成する過程で断熱材10を
1層形成し、その上から更に樹脂を覆った構成である。また、図7(c)は樹脂7を形成
する過程で断熱材10を2層形成し、その上から更に樹脂を覆った構成である。即ち、半
導体レーザー1あるいはセル3は、一定の温度に加熱する必要がある。従って、熱が樹脂
7の外部から逃げないようにすることが、熱効率を高める上で重要である。そこで本実施
形態では、樹脂7の表面や内層に断熱材10を配置する。この断熱材10は複数の層を設
けるとその効果が高まる。これにより、半導体レーザー1あるいはセル3を加熱する熱源
の熱効率を高めることができる。尚、断熱材としてフェノール樹脂に種々の変性を行い、
発泡硬化させて得られたフェノールフォームが優れている。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a physical package provided with a heat insulating material. FIG. 7A is a diagram in which a heat insulating material is provided on the surface of the resin, FIG. 7B is a diagram in which one layer of heat insulating material is provided inside the resin, and FIG. 7C is a diagram in which two layers are provided inside the resin. It is a figure provided with the heat insulating material. In FIG. 7A, a heat insulating material 10 is provided so as to cover the surface of the resin 7. FIG. 7B shows a configuration in which one layer of the heat insulating material 10 is formed in the process of forming the resin 7 and the resin is further covered thereon. FIG. 7C shows a structure in which two layers of the heat insulating material 10 are formed in the process of forming the resin 7 and the resin is further covered. That is, the semiconductor laser 1 or the cell 3 needs to be heated to a certain temperature. Therefore, it is important to prevent heat from escaping from the outside of the resin 7 in order to increase thermal efficiency. Therefore, in this embodiment, the heat insulating material 10 is disposed on the surface or inner layer of the resin 7. The effect of the heat insulating material 10 is enhanced by providing a plurality of layers. Thereby, the thermal efficiency of the heat source for heating the semiconductor laser 1 or the cell 3 can be increased. In addition, various modifications are made to the phenolic resin as a heat insulating material,
Phenol foam obtained by foam curing is excellent.

1 半導体レーザー、2 サーミスタ、3 セル、4 PD、5 ペルチェ素子、6
リードフレーム、7 樹脂、8 リード端子、9 溝、10 断熱材、20、21、22
物理パッケージ、23 制御回路IC、24 基板、25 プリントパターン
1 Semiconductor laser, 2 thermistor, 3 cell, 4 PD, 5 Peltier element, 6
Lead frame, 7 resin, 8 lead terminal, 9 groove, 10 heat insulating material, 20, 21, 22
Physical package, 23 Control circuit IC, 24 Substrate, 25 Print pattern

Claims (7)

外部接続用のリード端子を有する支持部材と、
ペルチェ素子と、
アルカリ金属原子に電磁誘起透過現象を発生させる共鳴光対を生成するための光源と、
前記アルカリ金属原子を封入したセルと、
前記アルカリ金属原子を透過した前記共鳴光対を検出する光検出手段と、
前記ペルチェ素子の温度を検知する温度検知素子と、を備え、
前記支持部材に前記ペルチェ素子、光源、セル、及び光検出手段を順次積層して積層体
を構成し、該積層体及び前記温度検知素子の露出面を封止部材により覆う構成としたこと
を特徴とする原子発振器。
A support member having a lead terminal for external connection;
Peltier element,
A light source for generating a resonant light pair that generates an electromagnetically induced transmission phenomenon in an alkali metal atom;
A cell encapsulating the alkali metal atom;
A light detecting means for detecting the resonant light pair transmitted through the alkali metal atom;
A temperature detection element for detecting the temperature of the Peltier element,
The Peltier element, the light source, the cell, and the light detection means are sequentially stacked on the support member to form a stacked body, and the exposed surface of the stacked body and the temperature detecting element is covered with a sealing member. An atomic oscillator.
外部接続用のリード端子を有する支持部材と、
ペルチェ素子と、
アルカリ金属原子に電磁誘起透過現象を発生させる共鳴光対を生成するための光源と、
前記アルカリ金属原子を封入したセルと、
前記アルカリ金属原子を透過した前記共鳴光対を検出する光検出手段と、
前記ペルチェ素子の温度を検知する温度検知素子と、を備え、
前記支持部材に前記ペルチェ素子及び温度検知素子を搭載し、該ペルチェ素子に前記光
源、セル、及び光検出手段を併設すると共に、前記支持部材上に搭載した全て部品の露出
面を封止部材により覆う構成としたことを特徴とする原子発振器。
A support member having a lead terminal for external connection;
Peltier element,
A light source for generating a resonant light pair that generates an electromagnetically induced transmission phenomenon in an alkali metal atom;
A cell encapsulating the alkali metal atom;
A light detecting means for detecting the resonant light pair transmitted through the alkali metal atom;
A temperature detection element for detecting the temperature of the Peltier element,
The Peltier element and the temperature detection element are mounted on the support member, and the light source, the cell, and the light detection means are provided on the Peltier element, and the exposed surfaces of all components mounted on the support member are sealed by a sealing member. An atomic oscillator characterized by having a covering structure.
前記ペルチェ素子を除いた構成とし、前記光源、セル、及び光検出手段を前記支持部材
上に直接併設することを特徴とする請求項2に記載の原子発振器。
The atomic oscillator according to claim 2, wherein the Peltier element is excluded, and the light source, the cell, and the light detection means are directly provided on the support member.
前記ペルチェ素子又は前記支持部材に前記光源、セル、及び光検出手段を併設するため
の溝を形成したことを特徴とする請求項2又は3に記載の原子発振器。
The atomic oscillator according to claim 2 or 3, wherein a groove for forming the light source, the cell, and the light detection means is provided in the Peltier element or the support member.
前記封止部材を透明部材により構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の原子
発振器。
The atomic oscillator according to claim 1 or 2, wherein the sealing member is made of a transparent member.
前記光源の出射側と前記セルの入射側との間隙、及び該セルの出射側と前記光検出手段
の入射側との間隙を透明部材により充填することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一
項に記載の原子発振器。
6. The transparent member fills the gap between the light emission side of the light source and the incident side of the cell and the gap between the cell emission side and the incident side of the light detection means. An atomic oscillator according to claim 1.
前記封止部材の表面又は内層を少なくとも1層の断熱部材により覆うように構成したこ
とを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の原子発振器。
The atomic oscillator according to any one of claims 1 to 6, wherein a surface or an inner layer of the sealing member is covered with at least one heat insulating member.
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