JP2011111928A - 流量制御装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 スプール弁とハウジングの内壁面との間に異物が侵入してスプール弁の動作を妨げること等を防ぐ流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流量制御装置60は、スプール弁17と、絞り通路12を介して圧力流体を流体作動装置へ送出するユニオン13と、スプール弁17及びユニオン13を保持するハウジング10と、弁収納孔11を有する。スプール弁17は弁収納孔11内に配置され、ユニオン13は弁収納孔11を介してハウジング10に取り付けられる。ハウジング10内には、ポンプを吐出された圧力流体を弁収納孔11へ導く供給通路15や、スプール弁17の動作に伴って余剰流体を弁収納孔11からポンプへ還流させるバイパス通路16が形成される。スプール弁17の先端には、ダスト収集部材30が取り付けられており、圧力流体とともに弁収納孔11内に流入した異物をダスト収集部材30により捕集する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ポンプより吐出された流量を所定量に制御する流量制御装置に関する。

動力舵取装置に用いられるポンプは、一般にエンジンによって駆動され、エンジン回転数に比例した流量を吐出するため、吐出流量を動力舵取装置に必要な所定流量に制御する流量制御装置が備えられる。
かかる流量制御装置として、例えば、特許文献1に記載のものがある。特許文献1に記載のものは、スプール弁を摺動可能に嵌装した弁収納孔の開口側に、固定絞り部を設けたユニオンの筒状本体がねじ込まれ、筒状本体の先端部には鍔状部が弁収納孔の内周面に接近するように全周にわたって設けられ、鍔状部の外周縁部と弁収納孔の内周面との間に一定の隙間(環状隙間)が形成されている。
この特許文献1に記載の流量制御装置においては、弁収納孔内に流入した吐出油が、筒状本体の鍔状部と弁収納孔の内周面との間の環状隙間を介して、スプール弁のユニオン側端部に作用し、バイパス路にバイパスされるようになっているため、スプール弁のユニオン側端部に作用する噴流に含まれた異物が、スプール弁の外周縁とハウジングの内壁面(弁収納孔)との間に蓄積しやすくなる。このために、スプール弁の摺動によって、スプール弁の外周縁とハウジングの内壁面との間に異物を噛み込み、スプール弁の円滑な摺動が妨げられる恐れがある。
そこで、スプールバルブ及びユニオン周辺の流体の流れを制御することで、このような異物がスプール弁の外周縁とハウジングの内壁面との間に溜まることを防ぐようにしたものがある(特許文献2、特許文献3)。
特許文献2では、ユニオン2の先端のフランジ25の形状をハウジングに向かって凸面状をなすように形成している。これにより、ポンプから供給された流体がユニオン側からスプール側へ流れる際の噴流の速度を弱め、スプール弁の先端の周縁部に溜まる異物を洗い流すようにしている。
特許文献3では、スプール弁の先端に旋回部材を設け、余剰流体をバイパス路へ導く際のバイパス流によって旋回流を発生させる。この旋回流によりスプール弁の先端の周縁部に溜まろうとする異物を洗い流すようにしている。
特開2002−331950号公報(段落0015、図2) 特開2004−28321 特開2009−79498
しかし、特許文献2,3のように、スプール弁から異物を洗い流し得るように流体を制御することが容易でない場合がある。即ち、ポンプでは流量や圧力が大きく変動する場合があり、流れの条件に変動があると所望の流れに制御することができず、異物を洗い流せない場合がある。
また、所望の流れに制御するためには、特許文献2の場合であればユニオン先端のフランジについて、特許文献3の場合であれば旋回部材(羽根部材)について、所望の形状に高い精度で形成することが求められる。さらに、これら特許文献2、3の場合には、スプール弁やユニオンといったポンプの汎用的な要素部材に、仕様変更のための煩雑な加工作業を施すことも必要となる。
そこで、本発明は、流体中の異物がスプール弁とハウジング間の隙間に溜まることを、より簡潔な構造で、より確実に防止することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は、軸方向に摺動可能で該軸方向における一方側に配置されたスプール弁と、前記スプール弁に対して軸方向の他方側に配置され、その内側の絞り通路を介して圧力流体を流体作動装置へ送出するユニオンと、前記スプール弁及びユニオンを保持するハウジングと、前記スプール弁が配置されるとともに、ユニオンがそれを介してハウジングに取り付けられるハウジング内に形成された弁収納孔と、
ポンプを吐出された圧力流体を前記弁収納孔へ導くための前記ハウジング内に形成された供給通路と、前記スプール弁の動作に伴って余剰流体を前記弁収納孔からポンプへ還流させるための前記ハウジング内に形成されたバイパス通路と、
前記軸方向におけるスプール弁とユニオンとの間で、弁収納孔の周方向に沿って設けられ、少なくとも前記供給通路の弁収納孔への開口と対向する側に設けられた、前記圧力流体中に含まれる異物を捕集するための弾性材からなるダストリップと、
を有することを特徴とする流量制御装置である(請求項1)。
本発明の流量制御装置によると、ポンプより供給通路を通って弁収納孔内に圧力流体とともに流入した異物をダストリップにより捕集することができる。このダストリップを設けるにあたり、本発明者らは、弁収納孔内での異物の動きに関する研究を重ね、以下の知見を得た。即ち、圧力流体ととともに弁収納孔内に流入した異物の多くは、前記供給通路が弁収納孔へ通ずる開口が形成される側に対して、弁収納孔の中心軸を挟んで対向する側に滞留する傾向があることを確認した。従って、ダストリップを、少なくとも弁収納孔が形成される側と対向する側に設けると、弁収納孔内に流入した異物をダストリップにより効果的に捕集できる。
これにより、本発明の流量制御装置によると、ハウジングとスプール弁との間の隙間に異物が侵入することを防止でき、スプール弁の動作が異物によって妨げられることや、スプール弁やハウジングが異物により損傷を受けることを防ぐことができる。
そして、本発明の流量制御装置によると、このような異物による流量制御装置への悪影響を防止するにあたり、ダストリップを設けるという簡便な構造を採用することができ、構造の複雑化を防止し、異物による装置への悪影響を防止することができる。
上記流量制御装置において、前記ダストリップを、弁収納孔の全周に沿って設けることもできる(請求項2)。この発明によると、ダストリップを弁収納孔の全周に沿って設けるので、異物を漏れなく確実に捕集することができる。
また、前記ダストリップについて、支持部材を介して前記スプール弁の先端に取付けることもできる(請求項3)。この発明によると、ダストリップは支持部材を介してスプール弁に取り付けられるので、ダストリップはスプール弁とともに摺動することとなる。従って、スプール弁の動きに従う圧力流体の流動に対応させてダストリップを動作させることができ、圧力流体の流れに沿って移動する異物についても効果的に捕集することができる。
また、前記ダストリップを支持部材を介してスプール弁に取り付ける場合について、前記支持部材を、スプール弁の先端に軸方向に沿って取り付けられた支柱と、該支柱の先端に取り付けられ、弁収納孔の内壁面の周回に沿った円弧の少なくとも一部を外周とし、内径側に貫通孔が形成された板状の支持ディスクとを備える構成とし、
前記ダストリップを、支持ディスクの外周に沿って取付けることができる(請求項4)。
この発明によると、スプール弁とともに動作するダストリップが支持ディスクによって支持されるので、ダストリップを安定して動作させることができる。また、支持ディスクは内径側に貫通孔が形成されており、ダストリップの支持に必要となる部分のみを残しているので、周辺の圧力流体の流れに対する影響を低減できる。
また、前記支持ディスクを、弁収納孔の内壁面の全周に沿って形成し、ダストリップを該支持ディスクの全周に沿って取り付けることもできる(請求項5)。この発明によると、ダストリップが弁収納孔の内壁面の全周に設けられるので、異物を漏れなく確実に捕集することができる。
また、前記支持ディスクを、供給通路の弁収納孔への開口と対向する側に、外周を弁収納孔の全周の略半周に対応させて半円形状に形成し、該半円径状のディスクの外周の端から端に亘ってダストリップを設けることもできる(請求項6)。この発明によると、支持ディスク及びダストリップを設ける範囲を、弁収納孔の全周に亘って設けた場合に比べて少なくできるので、圧力流体に対する影響をより低減することができる。一方、供給通路の弁収納孔への開口と対向する側における、弁収納孔の全周に対する略半周に亘ってダストリップが設けられるので、異物の多くを効果的に捕集することもできる。
本発明の流量制御装置によると、ポンプより供給通路を通って弁収納孔内に圧力流体とともに流入した異物をダストリップにより捕集することができる。これにより、ハウジングとスプール弁との間の隙間に異物が侵入することを防止でき、スプール弁の動作が異物によって妨げられることや、スプール弁やハウジングが異物により損傷を受けることを防ぐことができる。そして、このような異物による流量制御装置への悪影響を防止するにあたり、ダストリップを設けるという簡便な構造を採用することができ、構造の複雑化を防止し、異物による悪影響を防止することができる。
本発明の実施の形態の流量制御装置の軸方向に沿った一部断面図である 図1のII−II線矢視図である ダスト収集部材をスプール弁に取り付けた状態を示す斜視図である スプール弁の動作を示す作動図である。 ダスト収集部材により異物を捕集する状態を示す作動図である ダスト収集部材の他の例を示す図である ダスト収集部材のさらに異なる例を示す図である (a)ダスト収集部材の斜視図、(b)ダスト収集部材の軸方向の断面図、(c)ダスト収集部材を取り付ける状態を示す図である
本発明の実施の形態について、図1乃至図8に基づいて説明する。図1は、本発明の一実施形態である流量制御装置60の構成を示す。図1において、10は、ポンプハウジングであり、このポンプハウジング10に弁収納孔11が形成される。弁収納孔11には、その開口端にユニオン13が螺着され、ユニオン13には圧力流体送出口12が形成され、圧力流体送出口12は流体作動装置としての動力舵取装置の制御弁に通ずる。
弁収納孔11には供給通路15とバイパス通路16が弁収納孔11の中心軸Aの方向に離間して開口され、供給通路15はポンプの吐出室に連通され、バイパス通路16はポンプの吸入室に連通される。
弁収納孔11には供給通路15とバイパス通路16との連通路を閉止しかつその連通路の開度を調整可能にするべく流量調整用スプール弁17が摺動可能に嵌装される。スプール弁17の両側に第1弁室18と第2弁室19が形成される。
第2弁室19には、スプール弁17を第1弁室18に向けて押圧するスプリング20が設けられ、スプリング20の付勢力によってスプール弁17をユニオン13側へ付勢しており、第1弁室18に開口する供給通路15とバイパス通路16との連通を遮断している。
ユニオン13には絞り通路としての固定絞り21が設けられ、固定絞り21の上流側は第1弁室18に連通され、下流側は連通路22を介して第2弁室19に連通されている。これにより、スプール弁17は固定絞り21の前後の差圧によって変位され、固定絞り21の前後差圧を一定にするようにバイパス通路16を開口制御する。
ユニオン13のスプール弁17側の端面には、フランジ部23が形成され、このフランジ部23と弁収納孔11との間に環状隙間24が形成される。供給通路15より弁収納孔11内に導かれる圧油の一部は環状隙間24に流入する。また、供給通路15よりユニオン13内の固定絞り21に対する上流側へ導かれ、さらに第1弁室18に流入した圧油は、スプール弁17のユニオン13側の端部に作用する。
流量調整用スプール弁17には、スプール弁17の全行程においてバイパス通路16に開口する環状溝17aが形成され、この環状溝17aに連通する逃がし孔25がスプール弁17に形成されている。逃がし孔25には、球弁26とスプリング27によって構成されたレリーフ弁28が内蔵され、レリーフ弁28は第2弁室19内の圧力が設定圧以上になると、スプリング27の付勢力に抗して球弁26を開き、第2弁室19の流体を逃がし孔25より環状溝17aを介してバイパス通路16に逃がすようにしている。
スプール弁17のユニオン13側の先端には、ダスト収集部材30が取り付けられている。このダスト収集部材30について、図2、図3も参酌しつつ説明する。図2は、図1におけるII-II線矢視図であり、軸方向からダスト収集部材30を眺めた平面図を示す。
図3は、ダスト収集部材30がスプール弁17に取り付けられた状態を示す斜視図であり、ダスト収集部材30を立体的に眺めた状態を示している。ダスト収集部材30は、支持ディスク30aと、支柱30bと、ダストリップ30cを備えている。
この例では、図示するように、スプール弁17の先端に軸方向に沿って3本の支柱30bが取り付けられ、支柱30bの先端に支持ディスク30aが取り付けられている。支持ディスク30aは、スプール弁17と軸が一致するように設けられており、内径側である軸中心に貫通孔が形成された中空円板状に形成されている。
支持ディスク30aには、その外周に沿ってダストリップ30cが取付けられている。ダストリップ30cは径方向に略同一幅の厚みを有して形成されている。そして、ダストリップ30cは、その外周と弁収納孔11を囲むハウジングの内壁面50とが略隙間なく接触を保ち得るように設けられる。
ダストリップ30cは、弾性材により形成されている。ダストリップ30cは、後に説明するように、スプール弁17が摺動動作すると、これに伴って軸方向に摺動するが、その外周が若干撓みながらハウジングの内壁面50に摺動することが好ましい。
従って、ダストリップ30cは、ハウジングの内壁面に弱く接触して撓みながら摺動させることが可能な弾性材により形成するのが好ましい。ダストリップ30cの材質の具体例として、NBRを主材とするゴム材等を挙げることができる。即ち、ダストリップ30cは、適度に撓んでハウジングの内壁面50に接触している状態で、スプール弁17の摺動動作に対して過度の負荷を与えない材質のものにより形成することができる。
以上に説明した流量制御装置60の動作について、以下に図4、5も参酌しつつ説明する。図4は、ポンプからの流量が増加した場合に余剰流をバイパスさせるスプール弁17の動作を示す図である。図5は、本発明に係るダスト収集部材30により流体中のダストが収集される状態を示す模式図である。
ポンプより圧油が吐出されると、供給通路15より固定絞り21および送出口12を介して動力舵取装置等の流体作動装置に送出される。吐出流量が増加すると、固定絞り21前後の差圧が増大する。そして、差圧が増大すると、図4に示すように、スプール弁17が変位され、バイパス通路16を開口して余剰流をバイパス流としてバイパス通路16にバイパスする。これにより、固定絞り21前後の差圧が一定に制御され、送出口12より送出される流量が一定に制御される。
図5について以下に説明する。ポンプを吐出された圧油は、供給通路15を通って開口15aから弁収納孔11内に流入する。そして、圧油が開口15aから弁収納孔11内に流入すると、周回方向に循環する循環流Cが発生する。また、流入した圧油は、圧油の供給元であるポンプや圧油の供給先である流体作動装置を循環する過程で混入した異物Dを含んでいる。異物Dは、流量制御装置60に連結されるポンプや流体作動装置及びその他の圧油が循環する油圧の経路内に存在した金属粒を主に含んでいる。
圧油中の異物Dは供給通路15の開口15aから弁収納孔11内に流入すると、循環流Cにより周方向に運ばれる。そして、異物Dの多くの部分は、弁収納孔11の周方向における開口15aが形成される側に対し、軸Aを挟んで対向する側に滞留し易い。
この流量制御装置60によると、ダスト収集部材30により異物Dを捕集することができる。そして、ダストリップ30cは、異物Dがより滞留し易い供給通路15の開口と対向する側のみならず、弁収納孔11の全周に亘って設けられるので、より確実に異物Dを捕集することができる。
従って、流量制御装置60によると、スプール弁17とハウジング10の内壁面50との間に侵入する異物Dを低減し、異物Dによってスプール弁17の動作が妨げられることやスプール弁17やハウジング10の内壁面50が損傷を受けることを防止できる。
そして、この流量制御装置60によると、ダスト収集部材30によりダストDを捕集するので、流量や圧力の変動を受けることなく、異物Dを捕集できる。即ち、流れを制御することで異物Dをスプール弁17の先端周辺から除去する方式を採用した場合には、流量圧力の変動により異物を除去するような流れを生成できない場合がある。この流量制御装置60にあっては、このような流量や圧力の影響を受けることなく異物Dを捕集できる。
また、羽根の回転により所定の流れを発生させて異物を除去しようとする場合、所定の流れに制御可能に羽根形状を高い精度で設計する必要がある。一方、流量制御装置60にあっては、比較的に簡易な構造でダストリップ30cを支持することができ、構造を簡便にすることもできる。
以上の説明では、ダストリップ30cをハウジング10の内壁面50の全周に亘って形成する例により説明した。以下に説明するように、内壁面50の周方向の一部にのみダストリップを設けることもできる。
図6は、周方向の一部にのみダストリップを設けた例を示す。図6は、ダスト収集部材31をユニオン側から軸方向に沿って眺めた平面図を示す。図6に示すように、ダスト収集部材31は、支持ディスク31aと支柱31bとダストリップ31cを備えている。
支持ディスク31aが支柱31bを介してスプール弁17の先端に取り付けられており、ダストリップ31cが支持ディスク31aの外周に沿って設けられている。図6に示す例では、支持ディスク31aは、供給通路15の弁収納孔11への開口15aと、軸Aを挟んで対向する側に設けられている。また、支持ディスク31aは、外周が略半円状をなし、内径側に貫通孔が形成されている。即ち、図6に示す例では、支持ディスク31aの中心O(軸Aと一致)から支持ディスク31aの外周を見込む角度θは約180度となる。そして、この支持ディスク31aの外周の端から端に亘ってダストリップ31cが設けられている。
以上に説明したように、弁収納孔11内に圧油とともに流入した異物Dの多くの部分は、周方向における供給通路15の開口15aと対向する側に滞留し易い。従って、図6に示すように、開口15aと対向する側に外周が略半円状をなすダストリップ31cを設けることで、異物Dの多くの部分を捕集することができる。
また、このように支持ディスク31a及びダストリップ31cを弁収納孔11の全周で
なく一部の範囲に設けることで、全周に沿って設けた場合に比べ、スプール弁17の周辺の流れに対する影響をより少なくでき、スプール弁17の動作に対する影響を低減できる。
図6の例では、支持ディスク31a及びダストリップ31cを開口15aと対向する側で弁収納孔11の全周に対する略半周に対応させて設ける例を示したが、弁収納孔11の周回のより狭い範囲で支持ディスク31a及びダストリップ31cを設けることもできる。
例えば、図6に示す例において、角度θが90度となるように支持ディスク31a及びダストリップ31cを設けることもできる。
即ち、支持ディスク及びダストリップは、供給通路15の開口15aと軸Aを挟んで対向する側であり、弁収納孔11の周回に沿った円弧の少なくとも一部を外周として設けることができる。当該流量制御装置を用いるポンプや流体作動装置との関係で捕集しようとする異物Dの量に差がある場合があり、このような事情に応じて、支持ディスク及びダストリップを設ける範囲を設定することができる。
このように、支持ディスク及びダストリップを設ける範囲を、弁収納孔の周方向のより狭い範囲とすることで、スプール弁17の周辺の流れに対する影響をより少なくし、スプール弁17の動作に対する影響をより低減できる。
以上の説明では、支持ディスクの外周の全範囲にダストリップを付設する例を示したが、支持ディスクの外周の一部の範囲にのみダストリップを付設するのであっても構わない。即ち、支持ディスクとダストリップとを組立てる設計上の事情や、この流量制御装置の使用事情に基づく異物Dの量に応じて、支持ディスクに対してダストリップを付設する範囲を選択することができる。
以上の説明では、ダスト収集部材をスプール弁17に取り付ける例を説明したが、図7に示すように、ダスト収集部材をハウジング10の内壁50に付設することもできる。図8は、図7に示されるダスト収集部材32を示しており、図8(a)はダスト収集部材32の斜視図であり、図8(b)はダスト収集部材32の軸方向に沿った断面図である。図8(c)は、ダスト収集部材32をハウジングの内壁50に取り付ける状況を示す図である。
ダスト収集部材32は、図7に示すように、軸方向において、スプール弁17とユニオン13との間に設けられている。ダスト収集部材32は、図8に示すように、芯金としてのコアディスク32aとディスク32aの外側を覆う弾性材で形成された弾性外被32bを備えている。
コアディスク32aは、軸中心に貫通孔が形成された中空円板状をなし、軸方向の厚さcを有している。弾性外被32bは、その中心にコアディスク32aの中心の孔と一致するように孔が形成されている。
弾性外被32bは、コアディスク32aに対して軸方向の両側の各々に一定厚さdを有して形成される。また、弾性外被32bはコアディスク32aに対して、径方向にも一定厚さ張り出して形成されている。この弾性外被32bのうち外周部分32cはダストリップにあたり、主に異物を捕集する機能を果たす。また、外周部分32cは、後に説明するように、ダスト収集部材32を取付溝55に取付けるための取付代が確保される。
ハウジングの内壁面50には、図8(c)に示すように、ダスト収集部材32を付設するための周方向に沿って取付溝55が形成されている。この取付溝の軸方向隙間gは、ダスト収集部材32の軸方向の厚さ(c+2d)より若干小さくされている(g<c+2d)。
これにより、外周が弾性材で形成されるダスト収集部材32を取付溝55の入り口で弾性変形させつつ溝の奥へ押し込み、該溝55へダスト収集部材32を装着できる。
なお、図7、8に示す例では、ダスト収集部材32を弁収納孔11の内壁面50の全周に亘って設ける例を示したが、内壁面50の周方向の一部の範囲に設けることもできる。
即ち、ダストリップを供えるダスト収集部材は、弁収納孔11の周方向における供給通路15の開口15aと、軸Aを挟んだ対向する側であり、弁収納孔11の周回に沿った円弧の少なくとも一部を外周として設けることができる。
例えば、ダスト収集部材を、開口15aと対向する側で弁収納孔11の全周の略半周に相当する範囲に設け、または、さらに狭い範囲に設けることもできる。ダストリップを設ける範囲は、当該流量制御装置を使用する事情に基づく異物Dの量やダスト収集部材の設計上の事情に応じて選択することができる。
10・・・ハウジング
11・・・弁収納孔
12・・・圧力流体送出口
13・・・ユニオン
15・・・供給通路
15a・・・供給通路の開口
16・・・バイパス通路
17・・・スプール弁
18・・・第1弁室
19・・・第2弁室
20・・・スプリング
21・・・絞り通路(固定絞り)
23・・・フランジ部
24・・・環状隙間
25・・・逃がし孔
27・・・スプリング
28・・・レリーフ弁
30・・・ダスト収集部材
31・・・ダスト収集部材
32・・・ダスト収集部材
50・・・内壁面
55・・・取付溝
60・・・流量制御装置

Claims (6)

  1. 軸方向に摺動可能で該軸方向における一方側に配置されたスプール弁と、前記スプール弁に対して軸方向の他方側に配置され、その内側の絞り通路を介して圧力流体を流体作動装置へ送出するユニオンと、前記スプール弁及びユニオンを保持するハウジングと、前記スプール弁が配置されるとともに、ユニオンがそれを介してハウジングに取り付けられるハウジング内に形成された弁収納孔と、
    ポンプを吐出された圧力流体を前記弁収納孔へ導くための前記ハウジング内に形成され
    た供給通路と、前記スプール弁の動作に伴って余剰流体を前記弁収納孔からポンプへ還流
    させるための前記ハウジング内に形成されたバイパス通路と、
    前記軸方向におけるスプール弁とユニオンとの間で、弁収納孔の周方向に沿って設けられ、少なくとも前記供給通路の弁収納孔への開口と対向する側に設けられた、前記圧力流体中に含まれる異物を捕集するための弾性材からなるダストリップと、
    を有することを特徴とする流量制御装置。
  2. 前記ダストリップは、弁収納孔の全周に沿って設けられることを特徴とする、請求項1に記載の流量制御装置。
  3. 前記ダストリップは、支持部材を介して前記スプール弁の先端に取付けられることを特徴とする、請求項1に記載の流量制御装置。
  4. 前記支持部材は、スプール弁の先端に軸方向に沿って取り付けられた支柱と、該支柱の先端に取り付けられ、弁収納孔の内壁面の周回に沿った円弧の少なくとも一部を外周とし、内径側に貫通孔が形成された板状の支持ディスクとを備え、
    前記ダストリップは、支持ディスクの外周に沿って取付けられることを特徴とする請求項3に記載の流量制御装置。
  5. 前記支持ディスクは、弁収納孔の内壁面の全周に沿って形成された中空円板状をなしており、前記ダストリップが該支持ディスクの全周に沿って取付けられている請求項4に記載の流量制御装置。
  6. 前記支持ディスクは、供給通路の弁収納孔への開口と対向する側で、外周が弁収納孔の全周の半周に対応する半円形状に形成され、該半円径状のディスクの外周の端から端に亘ってダストリップが設けられていることを特徴とする請求項4に記載の流量制御装置。
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