JP2011111498A - Resin sheet and laminate - Google Patents

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Takuji Aoyama
卓司 青山
Hiroshi Maenaka
寛 前中
Yasunari Kusaka
康成 日下
Ryosuke Takahashi
良輔 高橋
Takanori Inoue
孝徳 井上
Shunsuke Kondo
峻右 近藤
Yu Yamada
佑 山田
Takashi Watanabe
貴志 渡邉
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin sheet with excellent handleability and also excellent thermal conductivity and processability, and a laminate. <P>SOLUTION: The resin sheet 2 includes a (meth)acrylic polymer (A), a first inorganic filler (B) having thermal conductivity of 10 W/m.K or more and new Mohs hardness of 3.1 or more, and at least one material (C) of an organic resin filler (C1) and a second inorganic filler (C2) having new Mohs hardness of 3 or less. In the resin sheet 2, the content of the first inorganic filler (B) is 20-60 vol% and the content of the material (C) is 1-40 vol%. The laminate 1 includes the resin sheet 2, a heat-generating component 3 laminated on one side 2a of the resin sheet 2, and a metal housing or heat-radiating component 4 laminated on another side 2b of the resin sheet 2. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、発熱部品を金属筐体又は放熱部品に貼り合わせる用途に用いることができる樹脂シート、並びに該樹脂シートを用いた積層体に関する。   The present invention relates to, for example, a resin sheet that can be used for bonding a heat generating component to a metal casing or a heat radiating component, and a laminate using the resin sheet.

近年、電気機器の小型化及び高性能化が進行している。これに伴って、電子部品の実装密度が高くなってきており、電子部品から発生する熱を放散させる必要が高まっている。熱を放散させる方法として、高い放熱性を有し、かつ熱伝導率10W/m・K以上のアルミニウム等の熱伝導体を、発熱源に接着する方法が広く採用されている。また、この熱伝導体を発熱源に接着するために、絶縁性を有する絶縁接着材料が用いられている。絶縁接着材料には、熱伝導率が高いことが強く求められている。   In recent years, miniaturization and high performance of electric devices have been advanced. Along with this, the mounting density of electronic components is increasing, and the need to dissipate heat generated from electronic components is increasing. As a method of dissipating heat, a method of adhering a heat conductor such as aluminum having high heat dissipation and a thermal conductivity of 10 W / m · K or more to a heat source is widely adopted. In addition, an insulating adhesive material having an insulating property is used to bond the heat conductor to a heat source. Insulating adhesive materials are strongly required to have high thermal conductivity.

上記絶縁接着材料の一例として、下記の特許文献1には、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂用硬化剤、硬化促進剤、エラストマー及び無機充填剤を含む接着剤組成物を、ガラスクロスに含浸させた絶縁接着シートが開示されている。   As an example of the above-mentioned insulating adhesive material, the following patent document 1 discloses an insulating adhesive in which a glass cloth is impregnated with an adhesive composition containing an epoxy resin, an epoxy resin curing agent, a curing accelerator, an elastomer and an inorganic filler. A sheet is disclosed.

ガラスクロスを含まない絶縁接着材料も知られている。例えば、下記の特許文献2の実施例には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、フェノールノボラック、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、及びアルミナを含む絶縁接着剤が開示されている。   Insulating adhesive materials that do not contain glass cloth are also known. For example, the example of Patent Document 2 below includes an insulating adhesive containing bisphenol A type epoxy resin, phenoxy resin, phenol novolak, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and alumina. Agents are disclosed.

特開2006−342238号公報JP 2006-342238 A 特開平8−332696号公報JP-A-8-332696

特許文献1に記載の絶縁接着シートでは、ハンドリング性を高めるために、ガラスクロスが用いられている。ガラスクロスを含む絶縁接着シートでは、薄膜化が困難であり、かつレーザー加工又はドリル穴開け加工等の各種加工が困難である。また、ガラスクロスを含む絶縁接着シートの硬化物の熱伝導率は比較的低いため、充分な放熱性が得られないことがある。さらに、ガラスクロスに接着剤組成物を含浸させるために、特殊な含浸設備を用意しなければならない。   In the insulating adhesive sheet described in Patent Document 1, a glass cloth is used in order to improve handling properties. With an insulating adhesive sheet including glass cloth, it is difficult to make a thin film, and various processes such as laser processing or drilling are difficult. Moreover, since the heat conductivity of the hardened | cured material of the insulation adhesive sheet containing a glass cloth is comparatively low, sufficient heat dissipation may not be obtained. Furthermore, special impregnation equipment must be prepared for impregnating the glass cloth with the adhesive composition.

特許文献2に記載の絶縁接着剤では、ガラスクロスが用いられていないため、未硬化状態ではそれ自体が自立性を有するシートではない。このため、絶縁接着剤のハンドリング性が低いことがある。   In the insulating adhesive described in Patent Document 2, since glass cloth is not used, the sheet itself is not self-supporting in an uncured state. For this reason, the handling property of the insulating adhesive may be low.

本発明の目的は、ハンドリング性に優れており、更に熱伝導性及び加工性に優れた樹脂シート、並びに該樹脂シートを用いた積層体を提供することである。   An object of the present invention is to provide a resin sheet that is excellent in handling properties, and further excellent in thermal conductivity and processability, and a laminate using the resin sheet.

本発明の広い局面によれば、(メタ)アクリル系ポリマー(A)と、熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有し、上記第1の無機フィラー(B)の含有量が20〜60体積%であり、かつ上記物質(C)の含有量が1〜40体積%である、樹脂シートが提供される。   According to a wide aspect of the present invention, a (meth) acrylic polymer (A) and a first inorganic filler having a thermal conductivity of 10 W / m · K or more and a new Mohs hardness of 3.1 or more ( B) and at least one substance (C) of the organic resin filler (C1) and the second inorganic filler (C2) having a new Mohs hardness of 3 or less, and the first inorganic filler (B ) Is 20 to 60% by volume, and the content of the substance (C) is 1 to 40% by volume.

本発明に係る樹脂シートのある特定の局面では、上記物質(C)が上記第2の無機フィラー(C2)であり、上記第1の無機フィラー(B)及び上記第2の無機フィラー(C2)が、下記式(X)を満たす。   In a specific aspect of the resin sheet according to the present invention, the substance (C) is the second inorganic filler (C2), and the first inorganic filler (B) and the second inorganic filler (C2). Satisfies the following formula (X).

[{(第1の無機フィラー(B)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量(体積%))}]<6 ・・・式(X)   [{(New Mohs hardness of first inorganic filler (B)) × (content of first inorganic filler (B) in 100% by volume of resin sheet (% by volume))} + {(second inorganic filler New Mohs hardness of (C2)) × (content of second inorganic filler (C2) in 100% by volume of resin sheet (% by volume))}] <6 Formula (X)

本発明に係る樹脂シートの他の特定の局面では、上記物質(C)が上記第2の無機フィラー(C2)であり、上記第2の無機フィラー(C2)は、珪藻土、窒化ホウ素、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、タルク、カオリン、クレー及びマイカからなる群から選択された少なくとも1種である。   In another specific aspect of the resin sheet according to the present invention, the substance (C) is the second inorganic filler (C2), and the second inorganic filler (C2) is diatomaceous earth, boron nitride, hydroxide. It is at least one selected from the group consisting of aluminum, magnesium hydroxide, calcium carbonate, talc, kaolin, clay and mica.

本発明に係る樹脂シートのさらに他の特定の局面では、上記第1の無機フィラー(B)は、アルミナ、合成マグネサイト、結晶性シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化亜鉛及び酸化マグネシウムからなる群から選択された少なくとも1種である。   In still another specific aspect of the resin sheet according to the present invention, the first inorganic filler (B) includes alumina, synthetic magnesite, crystalline silica, aluminum nitride, silicon nitride, silicon carbide, zinc oxide, and magnesium oxide. At least one selected from the group consisting of

上記(メタ)アクリル系ポリマー(A)のガラス転移温度は25℃以下であることが好ましい。   The glass transition temperature of the (meth) acrylic polymer (A) is preferably 25 ° C. or lower.

本発明に係る積層体は、本発明に従って構成された樹脂シートと、該樹脂シートの一方の面に積層された発熱部品と、上記樹脂シートの他方の面に積層された金属筐体又は放熱部品とを備える。   A laminate according to the present invention includes a resin sheet configured according to the present invention, a heat generating component laminated on one surface of the resin sheet, and a metal housing or heat radiating component laminated on the other surface of the resin sheet. With.

本発明に係る樹脂シートは、(メタ)アクリル系ポリマー(A)と、熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有し、更に上記第1の無機フィラー(B)及び上記物質(C)の各含有量が上記特定の範囲内であるので、ハンドリング性に優れている。さらに、樹脂シートの熱伝導性及び加工性を高めることができる。   The resin sheet according to the present invention includes a (meth) acrylic polymer (A), a first inorganic filler (B) having a thermal conductivity of 10 W / m · K or more and a new Mohs hardness of 3.1 or more. ) And at least one substance (C) of the organic resin filler (C1) and the second inorganic filler (C2) having a new Mohs hardness of 3 or less, and further the first inorganic filler (B ) And the content of the substance (C) are within the specific range, and thus handling properties are excellent. Furthermore, the thermal conductivity and workability of the resin sheet can be improved.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂シートを用いた積層体の一例を模式的に示す部分切欠正面断面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing an example of a laminate using a resin sheet according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

本発明に係る樹脂シートは、(メタ)アクリル系ポリマー(A)と、熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有する。   The resin sheet according to the present invention includes a (meth) acrylic polymer (A), a first inorganic filler (B) having a thermal conductivity of 10 W / m · K or more and a new Mohs hardness of 3.1 or more. ) And at least one substance (C) among the organic resin filler (C1) and the second inorganic filler (C2) having a new Mohs hardness of 3 or less.

本願発明者らは、上記組成の採用により、特に、上記第1の無機フィラー(B)及び上記物質(C)を上記特定の含有量で用いることにより、高い熱伝導性と高い加工性とを両立できることを見出した。また、本発明に係る樹脂シートは上記組成を有するので、ハンドリング性にも優れており、更に積層プレス時に過度の流動を抑制できる。   By adopting the above composition, the inventors of the present application have high thermal conductivity and high workability, particularly by using the first inorganic filler (B) and the substance (C) at the specific content. I found out that they can be compatible. Moreover, since the resin sheet which concerns on this invention has the said composition, it is excellent also in handling property, and also can suppress an excessive flow at the time of lamination | stacking press.

((メタ)アクリル系ポリマー(A))
本発明に係る樹脂シートに含まれている上記(メタ)アクリル系ポリマー(A)は、(メタ)アクリロイル基を有するポリマーであれば特に限定されない。(メタ)アクリル系ポリマー(A)は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
((Meth) acrylic polymer (A))
The (meth) acrylic polymer (A) contained in the resin sheet according to the present invention is not particularly limited as long as it is a polymer having a (meth) acryloyl group. As for (meth) acrylic-type polymer (A), only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

なお、(メタ)アクリルは、アクリルとメタクリルとを示す。(メタ)アクリロイルは、アクリロイルとメタクリロイルとを示す。   In addition, (meth) acryl shows acrylic and methacryl. (Meth) acryloyl refers to acryloyl and methacryloyl.

上記(メタ)アクリル系ポリマーは、(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸エステルを重合させて得ることができる。この重合反応としては、フリーラジカル重合反応、リビングラジカル重合反応及びリビングアニオン重合反応が挙げられる。これらの重合反応は、熱、紫外線又は電子線等のエネルギーを与えることにより開始させることができる。また、重合手段としては、バルク重合、溶液重合、ソープフリー重合、けん濁重合及びエマルジョン重合の重合手段が挙げられる。重合させる際に、反応開始剤を用いてもよい。また、(メタ)アクリル系ポリマー(A)は、シート成形後に(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸エステルが反応することによって合成されてもよい。   The (meth) acrylic polymer can be obtained by polymerizing (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid ester. Examples of this polymerization reaction include a free radical polymerization reaction, a living radical polymerization reaction, and a living anion polymerization reaction. These polymerization reactions can be initiated by applying energy such as heat, ultraviolet rays or electron beams. Examples of the polymerization means include bulk polymerization, solution polymerization, soap-free polymerization, suspension polymerization, and emulsion polymerization. In polymerization, a reaction initiator may be used. The (meth) acrylic polymer (A) may be synthesized by reacting (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid ester after sheet forming.

上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、イソノニル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート及びテトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの(メタ)アクリル酸エステルは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the (meth) acrylic acid ester include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, and cyclohexyl (meth). Acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, isononyl (meth) acrylate, isomyristyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, benzyl (Meth) acrylate, 2-butoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate and tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate Doors and the like. Only 1 type may be used for these (meth) acrylic acid esters, and 2 or more types may be used together.

(メタ)アクリル系ポリマーを合成する際に、上述した(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸エステル以外の他のモノマーを用いてもよい。他のモノマーは1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   When synthesizing the (meth) acrylic polymer, other monomers than the above-described (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid ester may be used. As for another monomer, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記他のモノマーの具体例としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、5−ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレート、6−ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ−3−メチルブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、2−[(メタ)アクリロイルオキシ]エチル2−ヒドロキシエチルフタル酸、及び2−[(メタ)アクリロイルオキシ]エチル2−ヒドロキシプロピルフタル酸等が挙げられる。   Specific examples of the other monomer include, for example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 2- Hydroxybutyl (meth) acrylate, 5-hydroxypentyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate, 3-hydroxy-3-methylbutyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, Examples include pentaerythritol tri (meth) acrylate, 2-[(meth) acryloyloxy] ethyl 2-hydroxyethylphthalic acid, and 2-[(meth) acryloyloxy] ethyl 2-hydroxypropylphthalic acid.

上記他のモノマーとしては、(メタ)アクリロニトリル誘導体、N−ビニル誘導体、(メタ)アクリル酸誘導体、無水マレイン酸、マレイミド酸誘導体、スチレン、スチレン誘導体、及びビニルエステル誘導体等が挙げられる。   Examples of the other monomers include (meth) acrylonitrile derivatives, N-vinyl derivatives, (meth) acrylic acid derivatives, maleic anhydride, maleimidic acid derivatives, styrene, styrene derivatives, and vinyl ester derivatives.

上記N−ビニル誘導体としては、N−ビニルピロリドン、N−アクリロイルモルフォリン、N−ビニルカプロラクトン及びN−ビニルピペリジン等が挙げられる。上記(メタ)アクリル酸誘導体としては、エポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート及びウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the N-vinyl derivative include N-vinylpyrrolidone, N-acryloylmorpholine, N-vinylcaprolactone and N-vinylpiperidine. Examples of the (meth) acrylic acid derivative include epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, and urethane (meth) acrylate.

上記スチレン誘導体としては、例えば、インデン、p−メチルスチレン、α−メチルスチレン、p−メトキシスチレン、p−tert−ブトキシスチレン、p−クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン及びジビニルベンゼン等が挙げられる。   Examples of the styrene derivative include indene, p-methylstyrene, α-methylstyrene, p-methoxystyrene, p-tert-butoxystyrene, p-chloromethylstyrene, p-acetoxystyrene, divinylbenzene, and the like.

上記ビニルエステル誘導体としては、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、カプロン酸ビニル及び珪皮酸ビニル等が挙げられる。   Examples of the vinyl ester derivative include vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl caproate, and vinyl cinnamate.

樹脂シートの接着力をより一層高める観点からは、(メタ)アクリル系ポリマーは、架橋反応可能な官能基を有することが好ましい。上記架橋反応可能な官能基は、水酸基、カルボキシル基、エポキシ基、ビニル基及びイソシアネート基等が挙げられる。樹脂シートの接着力をさらに一層高める観点からは、(メタ)アクリル系ポリマー(A)は、水酸基、カルボキシル基又はエポキシ基を有することが好ましい。   From the viewpoint of further increasing the adhesive strength of the resin sheet, the (meth) acrylic polymer preferably has a functional group capable of crosslinking reaction. Examples of the functional group capable of crosslinking reaction include a hydroxyl group, a carboxyl group, an epoxy group, a vinyl group, and an isocyanate group. From the viewpoint of further enhancing the adhesive strength of the resin sheet, the (meth) acrylic polymer (A) preferably has a hydroxyl group, a carboxyl group, or an epoxy group.

(メタ)アクリル系ポリマー(A)の重量平均分子量は、10,000以上であることが好ましい。(メタ)アクリル系ポリマー(A)の重量平均分子量の好ましい下限は30,000、より好ましい下限は40,000、更に好ましい下限は100,000、好ましい上限は1,500,000、更に好ましい上限は1,000,000である。(メタ)アクリル系ポリマー(A)の重量平均分子量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの凝集力が充分に得られ、ハンドリング性をより一層高めることができる。(メタ)アクリル系ポリマー(A)の重量平均分子量が上記好ましい上限を満たすと、充分な柔軟性が得られ、樹脂シートと発熱部品及び放熱部品との密着性を高めることができる。この結果、放熱性をより一層高めることができる。   The weight average molecular weight of the (meth) acrylic polymer (A) is preferably 10,000 or more. The preferred lower limit for the weight average molecular weight of the (meth) acrylic polymer (A) is 30,000, the more preferred lower limit is 40,000, the still more preferred lower limit is 100,000, the preferred upper limit is 1,500,000, and the more preferred upper limit is 1,000,000. When the weight average molecular weight of the (meth) acrylic polymer (A) satisfies the above preferable lower limit, the cohesive force of the resin sheet can be sufficiently obtained, and the handling property can be further enhanced. When the weight average molecular weight of the (meth) acrylic polymer (A) satisfies the above preferable upper limit, sufficient flexibility can be obtained, and adhesion between the resin sheet, the heat generating component and the heat radiating component can be improved. As a result, heat dissipation can be further enhanced.

(メタ)アクリル系ポリマー(A)のガラス転移温度は、25℃以下であることが好ましい。(メタ)アクリル系ポリマー(A)のガラス転移温度の好ましい上限は15℃、より好ましい上限は10℃、更に好ましい上限は0℃である。(メタ)アクリル系ポリマー(A)のガラス転移温度が上記好ましい上限を満たすと、充分な柔軟性が得られ、樹脂シートと発熱部品及び放熱部品との密着性を高めることができる。   The glass transition temperature of the (meth) acrylic polymer (A) is preferably 25 ° C. or lower. The upper limit of the glass transition temperature of the (meth) acrylic polymer (A) is preferably 15 ° C, more preferably 10 ° C, and still more preferably 0 ° C. When the glass transition temperature of the (meth) acrylic polymer (A) satisfies the above preferable upper limit, sufficient flexibility can be obtained, and adhesion between the resin sheet, the heat generating component, and the heat dissipation component can be improved.

(メタ)アクリル系ポリマー(A)を含む樹脂シートに含まれている全樹脂成分の合計100重量%中、(メタ)アクリル系ポリマー(A)の含有量は50〜100重量%の範囲内であることが好ましい。上記全樹脂成分の合計100重量%中の(メタ)アクリル系ポリマー(A)の含有量のより好ましい下限は70重量%である。(メタ)アクリル系ポリマー(A)の含有量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。なお、全樹脂成分には、第1の無機フィラー(B)及び物質(C)は含まれない。全樹脂成分には、有機樹脂フィラー(C1)及び第2の無機フィラー(C2)は含まれない。   The content of the (meth) acrylic polymer (A) is in the range of 50 to 100% by weight in a total of 100% by weight of all resin components contained in the resin sheet containing the (meth) acrylic polymer (A). Preferably there is. The more preferable lower limit of the content of the (meth) acrylic polymer (A) in the total 100% by weight of all the resin components is 70% by weight. When content of (meth) acrylic-type polymer (A) satisfy | fills the said preferable minimum, the adhesive force of a resin sheet can be improved further. In addition, a 1st inorganic filler (B) and a substance (C) are not contained in all the resin components. The total resin component does not include the organic resin filler (C1) and the second inorganic filler (C2).

後述の架橋剤(D)が用いられる場合には、上記全樹脂成分の合計100重量%中の(メタ)アクリル系ポリマー(A)の含有量の好ましい上限は99.99重量%、より好ましい上限は99.97重量%である。   When the below-mentioned crosslinking agent (D) is used, the preferable upper limit of the content of the (meth) acrylic polymer (A) in the total 100% by weight of all the resin components is 99.99% by weight, more preferably the upper limit. Is 99.97% by weight.

後述の環状エーテル骨格を有する化合物(E)が用いられる場合には、上記全樹脂成分の合計100重量%中の(メタ)アクリル系ポリマー(A)の含有量の好ましい上限は99重量%、より好ましい上限は97重量%である。   When the compound (E) having a cyclic ether skeleton described later is used, the preferable upper limit of the content of the (meth) acrylic polymer (A) in the total 100% by weight of all the resin components is 99% by weight, more A preferred upper limit is 97% by weight.

後述の架橋剤(D)と環状エーテル骨格を有する化合物(E)とが用いられる場合には、上記全樹脂成分の合計100重量%中の(メタ)アクリル系ポリマー(A)の含有量の好ましい上限は98.99重量%、より好ましい上限は98.97重量%。更に好ましい上限は96.99重量%、最も好ましい上限は96.97重量%である。   When a cross-linking agent (D) described later and a compound (E) having a cyclic ether skeleton are used, the content of the (meth) acrylic polymer (A) in the total 100% by weight of all the resin components is preferable. The upper limit is 99.99 wt%, and the more preferable upper limit is 98.97 wt%. A more preferred upper limit is 96.99% by weight, and a most preferred upper limit is 96.97% by weight.

(第1の無機フィラー(B))
本発明に係る樹脂シートに含まれている第1の無機フィラー(B)の熱伝導率は10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度は3.1以上である。この第1の無機フィラー(B)の使用により、樹脂シートの熱伝導性を高めることができる。この結果、樹脂シートの放熱性が高くなる。第1の無機フィラー(B)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(First inorganic filler (B))
The first inorganic filler (B) contained in the resin sheet according to the present invention has a thermal conductivity of 10 W / m · K or more and a new Mohs hardness of 3.1 or more. By using this first inorganic filler (B), the thermal conductivity of the resin sheet can be increased. As a result, the heat dissipation of the resin sheet is increased. As for a 1st inorganic filler (B), only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

第1の無機フィラー(B)の熱伝導率が10W/m・K以上であることにより、樹脂シートの熱伝導性を充分に高めることができる。第1の無機フィラー(B)の熱伝導率が10W/m・Kよりも小さいと、樹脂シートの熱伝導性を充分に高めることは困難である。第1の無機フィラー(B)の熱伝導率の好ましい下限は15W/m・K、より好ましい下限は20W/m・Kである。第1の無機フィラー(B)の熱伝導率の上限は特に限定されない。熱伝導率300W/m・K程度の無機フィラーは広く知られており、また熱伝導率200W/m・K程度の無機フィラーは容易に入手できる。   When the thermal conductivity of the first inorganic filler (B) is 10 W / m · K or more, the thermal conductivity of the resin sheet can be sufficiently increased. When the thermal conductivity of the first inorganic filler (B) is smaller than 10 W / m · K, it is difficult to sufficiently increase the thermal conductivity of the resin sheet. A preferable lower limit of the thermal conductivity of the first inorganic filler (B) is 15 W / m · K, and a more preferable lower limit is 20 W / m · K. The upper limit of the thermal conductivity of the first inorganic filler (B) is not particularly limited. Inorganic fillers having a thermal conductivity of about 300 W / m · K are widely known, and inorganic fillers having a thermal conductivity of about 200 W / m · K are easily available.

第1の無機フィラー(B)の新モース硬度は3.1以上である。このような第1の無機フィラー(B)が用いられた場合には、樹脂シートの加工性が低下しやすい。しかし、第1の無機フィラー(B)の添加量は一定の範囲内に限定されており、かつ第1の無機フィラー(B)の不足分を補うために第1の無機フィラー(B)とともに、物質(C)が用いられている。このため、樹脂シートの熱伝導性を犠牲にすることなく、樹脂シートの加工性を充分に確保できる。第1の無機フィラー(B)の新モース硬度の好ましい下限は4、好ましい上限は14である。第1の無機フィラー(B)の新モース硬度が上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの高い熱伝導性と高い加工性とをより一層高いレベルで両立できる。   The new Mohs hardness of the first inorganic filler (B) is 3.1 or more. When such a 1st inorganic filler (B) is used, the workability of a resin sheet tends to fall. However, the addition amount of the first inorganic filler (B) is limited to a certain range, and together with the first inorganic filler (B) to compensate for the shortage of the first inorganic filler (B), Substance (C) is used. For this reason, the workability of the resin sheet can be sufficiently ensured without sacrificing the thermal conductivity of the resin sheet. The preferable lower limit of the new Mohs hardness of the first inorganic filler (B) is 4, and the preferable upper limit is 14. When the new Mohs hardness of the first inorganic filler (B) satisfies the above preferable upper limit, the high thermal conductivity and high workability of the resin sheet can be achieved at a higher level.

第1の無機フィラー(B)は、アルミナ、合成マグネサイト、結晶性シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化亜鉛及び酸化マグネシウムからなる群から選択された少なくとも1種であることが好ましい。これらの好ましい第1の無機フィラー(B)の使用により、樹脂シートの放熱性をより一層高めることができる。   The first inorganic filler (B) is preferably at least one selected from the group consisting of alumina, synthetic magnesite, crystalline silica, aluminum nitride, silicon nitride, silicon carbide, zinc oxide and magnesium oxide. By using these preferable first inorganic fillers (B), the heat dissipation of the resin sheet can be further enhanced.

第1の無機フィラー(B)は、球状アルミナ、破砕アルミナ及び球状窒化アルミニウムからなる群から選択された少なくとも1種であることがより好ましく、球状アルミナ又は球状窒化アルミニウムであることがさらに好ましい。この場合には、樹脂シートの放熱性をより一層高めることができる。   The first inorganic filler (B) is more preferably at least one selected from the group consisting of spherical alumina, crushed alumina, and spherical aluminum nitride, and more preferably spherical alumina or spherical aluminum nitride. In this case, the heat dissipation of the resin sheet can be further enhanced.

第1の無機フィラー(B)は球状のフィラーであってもよく、破砕されたフィラーであってもよい。   The first inorganic filler (B) may be a spherical filler or a crushed filler.

上記破砕されたフィラーとしては、破砕アルミナ等が挙げられる。破砕されたフィラーは、例えば、一軸破砕機、二軸破砕機、ハンマークラッシャー又はボールミル等を用いて、塊状の無機物質を破砕することにより得られる。破砕されたフィラーの使用により、樹脂シート中の第1の無機フィラー(B)が、橋掛け又は効率的に近接された構造となりやすい。従って、樹脂シートの熱伝導性をより一層高めることができる。また、破砕されたフィラーは、一般的に、通常のフィラーに比べて安価である。このため、破砕されたフィラーの使用により、樹脂シートのコストを低減できる。   Examples of the crushed filler include crushed alumina. The crushed filler can be obtained, for example, by crushing a massive inorganic substance using a uniaxial crusher, a biaxial crusher, a hammer crusher, a ball mill, or the like. By using the crushed filler, the first inorganic filler (B) in the resin sheet is likely to be bridged or have a structure in which the filler is efficiently brought close. Therefore, the thermal conductivity of the resin sheet can be further enhanced. Moreover, the crushed filler is generally cheaper than a normal filler. For this reason, the cost of the resin sheet can be reduced by using the crushed filler.

破砕されたフィラーの平均粒子径は、12μm以下であることが好ましい。平均粒子径が12μm以下であると、破砕されたフィラーを高密度に分散させることができ、樹脂シートの絶縁破壊特性をより一層高めることができる。破砕されたフィラーの平均粒子径の好ましい上限は10μm、好ましい下限は1μmである。破砕されたフィラーの平均粒子径が上記好ましい下限を満たすと、破砕されたフィラーをより一層高密度に充填させることができる。   The average particle size of the crushed filler is preferably 12 μm or less. When the average particle size is 12 μm or less, the crushed filler can be dispersed with high density, and the dielectric breakdown characteristics of the resin sheet can be further enhanced. The preferable upper limit of the average particle diameter of the crushed filler is 10 μm, and the preferable lower limit is 1 μm. When the average particle diameter of the crushed filler satisfies the above preferable lower limit, the crushed filler can be filled more densely.

破砕されたフィラーのアスペクト比は、特に限定されない。破砕されたフィラーのアスペクト比は、1.5〜20の範囲内であることが好ましい。アスペクト比が1.5未満のフィラーは、比較的高価である。上記アスペクト比が20以下であると、破砕されたフィラーの充填が容易である。   The aspect ratio of the crushed filler is not particularly limited. The aspect ratio of the crushed filler is preferably in the range of 1.5-20. Fillers with an aspect ratio of less than 1.5 are relatively expensive. When the aspect ratio is 20 or less, filling of the crushed filler is easy.

破砕されたフィラーのアスペクト比は、例えば、デジタル画像解析方式粒度分布測定装置(商品名:FPA、日本ルフト社製)を用いて、フィラーの破砕面を測定することにより求めることができる。   The aspect ratio of the crushed filler can be determined, for example, by measuring the crushed surface of the filler using a digital image analysis type particle size distribution measuring device (trade name: FPA, manufactured by Nippon Luft).

第1の無機フィラー(B)が球状のフィラーである場合には、球状のフィラーの平均粒子径は、0.1〜40μmの範囲内にあることが好ましい。平均粒子径が0.1μm以上であると、球状フィラーを高密度で充填できる。平均粒子径が40μm以下であると、樹脂シートの絶縁破壊特性をより一層高めることができる。   When the first inorganic filler (B) is a spherical filler, the average particle diameter of the spherical filler is preferably in the range of 0.1 to 40 μm. When the average particle size is 0.1 μm or more, the spherical filler can be filled at a high density. When the average particle size is 40 μm or less, the dielectric breakdown characteristics of the resin sheet can be further enhanced.

上記「平均粒子径」とは、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定した体積平均での粒度分布測定結果から求められる平均粒子径である。   The “average particle diameter” is an average particle diameter obtained from a volume average particle size distribution measurement result measured by a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus.

樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量は20〜60体積%の範囲内である。第1の無機フィラー(B)の含有量が20体積%未満であると、樹脂シートの放熱性が充分に高められないことがある。第1の無機フィラー(B)の含有量が60体積%を超えると、樹脂シートの加工性が低下するおそれがある。樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量の好ましい下限は30体積%、より好ましい下限は35体積%、好ましい上限は57体積%、より好ましい上限は55体積%、さらに好ましい上限は50体積%、最も好ましい上限は40体積%である。樹脂シート100体積%中、第1の無機フィラー(B)と物質(C)との合計の含有量は100体積%未満であるが、好ましくは90体積%未満、より好ましくは80体積%未満、さらに好ましくは70体積%未満である。上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの柔軟性が充分に得られ、樹脂シートと発熱部品及び放熱部品との密着性を高めることができる。また、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。樹脂シート100体積%中、第1の無機フィラー(B)と物質(C)との合計の含有量は21体積%以上であることが好ましく、30体積%以上であることがより好ましく、35体積%以上であることが更に好ましい。上記好ましい下限を満たすと、積層プレス時に樹脂シートが過度に流動するのを抑えることができる。また、樹脂シートのハンドリング性をより一層高めることができる。   Content of the 1st inorganic filler (B) in 100 volume% of resin sheets exists in the range of 20-60 volume%. When the content of the first inorganic filler (B) is less than 20% by volume, the heat dissipation of the resin sheet may not be sufficiently improved. When content of a 1st inorganic filler (B) exceeds 60 volume%, there exists a possibility that the workability of a resin sheet may fall. The preferable lower limit of the content of the first inorganic filler (B) in 100% by volume of the resin sheet is 30% by volume, the more preferable lower limit is 35% by volume, the preferable upper limit is 57% by volume, and the more preferable upper limit is 55% by volume. The preferred upper limit is 50% by volume, and the most preferred upper limit is 40% by volume. In 100% by volume of the resin sheet, the total content of the first inorganic filler (B) and the substance (C) is less than 100% by volume, preferably less than 90% by volume, more preferably less than 80% by volume, More preferably, it is less than 70 volume%. If the said preferable upper limit is satisfy | filled, the softness | flexibility of a resin sheet will be fully obtained and the adhesiveness of a resin sheet, a heat-emitting component, and a thermal radiation component can be improved. Moreover, the adhesive force of the resin sheet can be further enhanced. In 100% by volume of the resin sheet, the total content of the first inorganic filler (B) and the substance (C) is preferably 21% by volume or more, more preferably 30% by volume or more, and 35% by volume. % Or more is more preferable. When the preferable lower limit is satisfied, the resin sheet can be prevented from excessively flowing during the lamination press. Moreover, the handling property of the resin sheet can be further enhanced.

(物質(C))
本発明に係る樹脂シートに含まれている物質(C)は、有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方である。物質(C)として、有機樹脂フィラー(C1)のみが用いられてもよく、第2の無機フィラー(C2)のみが用いられてもよく、有機樹脂フィラー(C1)と第2の無機フィラー(C2)との双方が用いられてもよい。第1の無機フィラー(B)の含有量が限定された上記範囲内にあると、充分なハンドリング性が得られなかったり、積層プレス時に樹脂シートが流動しやすくなったりするという課題が生じやすい。しかし、本発明に係る樹脂シートでは、第1の無機フィラー(B)とともに、物質(C)が一定の含有量で含まれているため、樹脂シートの加工性が低下することなく、上記課題を解決できる。この結果、例えば、樹脂シートを打ち抜き加工又はドリル穴開け加工等する際に、金型の摩耗を抑制できる。物質(C)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Substance (C))
The substance (C) contained in the resin sheet according to the present invention is at least one of the organic resin filler (C1) and the second inorganic filler (C2) having a new Mohs hardness of 3 or less. As the substance (C), only the organic resin filler (C1) may be used, or only the second inorganic filler (C2) may be used. The organic resin filler (C1) and the second inorganic filler (C2) ) May be used. When the content of the first inorganic filler (B) is in the above-mentioned range, a problem that sufficient handling properties cannot be obtained or the resin sheet tends to flow during the lamination press tends to occur. However, in the resin sheet according to the present invention, since the substance (C) is contained at a constant content together with the first inorganic filler (B), the above-mentioned problems are solved without reducing the workability of the resin sheet. can be solved. As a result, for example, when the resin sheet is punched or drilled, wear of the mold can be suppressed. As for a substance (C), only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

有機樹脂フィラー(C1)は、樹脂により形成されているので、柔軟性が比較的高い。従って、有機樹脂フィラー(C1)の使用により、樹脂シートの加工性が低下することなく、ハンドリング性を付与し、さらに積層プレス時に樹脂シートが過度に流動するのを抑制できる。   Since the organic resin filler (C1) is formed of a resin, the flexibility is relatively high. Therefore, by using the organic resin filler (C1), it is possible to impart handling properties without lowering the workability of the resin sheet, and to suppress the resin sheet from excessively flowing during the lamination press.

樹脂シートの加工性が低下することなく、ハンドリング性を付与し、積層プレス時に樹脂シートの過度の流動を抑制でき、更に樹脂シートの放熱性及び耐熱性をより一層高くすることができるので、物質(C)は、第2の無機フィラー(C2)であることが好ましい。   Since the processability of the resin sheet is not deteriorated, the handling property is imparted, the excessive flow of the resin sheet can be suppressed at the time of laminating press, and the heat dissipation and heat resistance of the resin sheet can be further enhanced. (C) is preferably the second inorganic filler (C2).

第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度が3以下であることにより、樹脂シートの加工性を充分に高めることができる。第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度が3.1以上であると、樹脂シートの加工性が低下することがある。第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度の好ましい上限は2.8、より好ましい上限は2.0、好ましい下限は1である。   When the new Mohs hardness of the second inorganic filler (C2) is 3 or less, the processability of the resin sheet can be sufficiently enhanced. If the new Mohs hardness of the second inorganic filler (C2) is 3.1 or more, the processability of the resin sheet may be lowered. The preferable upper limit of the new Mohs hardness of the second inorganic filler (C2) is 2.8, the more preferable upper limit is 2.0, and the preferable lower limit is 1.

有機樹脂フィラー(C1)は、モノマーにより形成された繰返し構造を含む不溶性粒子であることが好ましい。上記モノマーは、アクリル系モノマー又はスチレン系モノマーであることが好ましい。アクリル系モノマー及びスチレン系モノマーはそれぞれ、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The organic resin filler (C1) is preferably insoluble particles including a repeating structure formed of monomers. The monomer is preferably an acrylic monomer or a styrene monomer. As for an acryl-type monomer and a styrene-type monomer, only 1 type may respectively be used and 2 or more types may be used together.

上記アクリル系モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−2−エチルヘキシル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸フェニル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸−2−エチルヘキシル、メタクリル酸グリシジル、β−ヒドロキシアクリル酸エチル、γ−アミノアクリル酸プロピル、メタクリル酸ステアリル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、及びメタクリル酸ジエチルアミノエチル等が挙げられる。   Examples of the acrylic monomer include acrylic acid, methacrylic acid, methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, acrylate-2-ethylhexyl, cyclohexyl acrylate, phenyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, Butyl methacrylate, hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, glycidyl methacrylate, ethyl β-hydroxyacrylate, propyl γ-aminoacrylate, stearyl methacrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, and diethylaminoethyl methacrylate Can be mentioned.

上記スチレン系モノマーとしては、例えば、スチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン、p−フェニルスチレン、p−クロロスチレン、p−エチルスチレン、p−n−ブチルスチレン、p−tert−ブチルスチレン、p−n−ヘキシルスチレン、p−n−オクチルスチレン、p−n−ノニルスチレン、p−n−デシルスチレン、p−n−ドデシルスチレン、2,4−ジメチルスチレン及び3,4−ジクロロスチレン等が挙げられる。   Examples of the styrene monomer include styrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, p-methoxystyrene, p-phenylstyrene, p-chlorostyrene, p-ethylstyrene, and pn-. Butyl styrene, p-tert-butyl styrene, pn-hexyl styrene, pn-octyl styrene, pn-nonyl styrene, pn-decyl styrene, pn-dodecyl styrene, 2,4-dimethyl Examples include styrene and 3,4-dichlorostyrene.

有機樹脂フィラー(C1)は、コアシェル構造を有することが好ましい。コアシェル構造を有する有機樹脂フィラーの使用により、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。コアシェル構造を有する有機樹脂フィラーは、コア層と、該コア層を被覆しているシェル層とを有する。上記コア層及び該コア層を被覆しているシェル層はアクリル系化合物であることが好ましい。   The organic resin filler (C1) preferably has a core-shell structure. By using the organic resin filler having a core-shell structure, the heat resistance of the resin sheet can be further enhanced. The organic resin filler having a core-shell structure has a core layer and a shell layer covering the core layer. The core layer and the shell layer covering the core layer are preferably acrylic compounds.

有機樹脂フィラー(C1)は、ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物と、有機物とを含む複合フィラーであることが好ましい。この場合には、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。   The organic resin filler (C1) is preferably a composite filler containing a compound having a skeleton in which oxygen atoms are directly bonded to silicon atoms and an organic substance. In this case, the heat resistance of the resin sheet can be further enhanced.

上記コア層が、ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物を含むことが好ましい。上記シェル層が、有機物を含むことが好ましい。有機樹脂フィラー(C1)は、上記ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物を含むコア層と、上記有機物を含むシェル層とを有する複合フィラーであることが好ましい。   The core layer preferably contains a compound having a skeleton in which oxygen atoms are directly bonded to silicon atoms. The shell layer preferably contains an organic substance. The organic resin filler (C1) is preferably a composite filler having a core layer containing a compound having a skeleton in which an oxygen atom is directly bonded to the silicon atom, and a shell layer containing the organic substance.

上記ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物は、シロキサン系ポリマーであることが好ましい。上記有機物は、アクリル系化合物であることが好ましい。   The compound having a skeleton in which an oxygen atom is directly bonded to the silicon atom is preferably a siloxane polymer. The organic material is preferably an acrylic compound.

有機樹脂フィラー(C1)の平均粒子径は、0.1〜40μmの範囲内であることが好ましい。有機樹脂フィラー(C1)の平均粒子径が0.1μm以上であると、有機樹脂フィラー(C1)をより一層高密度で充填できる。有機樹脂フィラー(C1)の平均粒子径が40μm以下であると、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。   The average particle diameter of the organic resin filler (C1) is preferably in the range of 0.1 to 40 μm. When the average particle diameter of the organic resin filler (C1) is 0.1 μm or more, the organic resin filler (C1) can be filled at a higher density. The heat resistance of a resin sheet can be improved further as the average particle diameter of an organic resin filler (C1) is 40 micrometers or less.

物質(C)は第2の無機フィラー(C2)であり、第2の無機フィラー(C2)は、珪藻土、窒化ホウ素、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、タルク、カオリン、クレー及びマイカからなる群から選択された少なくとも1種であることがより好ましく、タルクであることがより好ましい。この第2の無機フィラー(C2)の使用により、樹脂シートの加工性をより一層高めることができる。   The substance (C) is the second inorganic filler (C2), and the second inorganic filler (C2) is from diatomaceous earth, boron nitride, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, talc, kaolin, clay and mica. More preferably, it is at least one selected from the group consisting of talc. By using this second inorganic filler (C2), the processability of the resin sheet can be further enhanced.

第2の無機フィラー(C2)は球状のフィラーであってもよく、破砕されたフィラーであってもよい。   The second inorganic filler (C2) may be a spherical filler or a crushed filler.

第2の無機フィラー(C2)が球状のフィラーである場合には、球状のフィラーの平均粒子径の好ましい下限は0.1μm、より好ましい下限は0.5μm、好ましい上限は40μm、より好ましい上限は20μmである。第2の無機フィラー(C2)の平均粒子径が上記好ましい下限を満たすと、第2の無機フィラー(C2)をより一層高密度で充填できる。第2の無機フィラー(C2)の平均粒子径が上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの絶縁破壊特性をより一層高めることができる。   When the second inorganic filler (C2) is a spherical filler, the preferable lower limit of the average particle diameter of the spherical filler is 0.1 μm, the more preferable lower limit is 0.5 μm, the preferable upper limit is 40 μm, and the more preferable upper limit is 20 μm. When the average particle diameter of the second inorganic filler (C2) satisfies the preferable lower limit, the second inorganic filler (C2) can be filled at a higher density. When the average particle diameter of the second inorganic filler (C2) satisfies the preferable upper limit, the dielectric breakdown characteristics of the resin sheet can be further enhanced.

上記「平均粒子径」とは、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定した体積平均での粒度分布測定結果から求められる平均粒子径である。   The “average particle diameter” is an average particle diameter obtained from a volume average particle size distribution measurement result measured by a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus.

樹脂シート100体積%中の物質(C)の含有量は1〜40体積%の範囲内である。物質(C)の含有量が1体積%未満であると、積層プレス時に樹脂シートの過度の流動を十分に抑制できないことがある。物質(C)の含有量が40体積%を超えると、第1の無機フィラー(B)と物質(C)との合計の添加量が多くなりすぎることにより、樹脂シートの絶縁破壊特性が低下したり、樹脂シートが固くかつ脆くなって、樹脂シートのハンドリング性及び接着性が低下したりするおそれがある。樹脂シート100体積%中の物質(C)の含有量の好ましい下限は3体積%、より好ましい下限は5体積%、さらに好ましい下限は10体積%、好ましい上限は30体積%、より好ましい上限は20体積%である。   Content of the substance (C) in 100 volume% of resin sheets exists in the range of 1-40 volume%. If the content of the substance (C) is less than 1% by volume, excessive flow of the resin sheet may not be sufficiently suppressed during the lamination press. When the content of the substance (C) exceeds 40% by volume, the total addition amount of the first inorganic filler (B) and the substance (C) is excessively increased, so that the dielectric breakdown characteristics of the resin sheet are deteriorated. Or the resin sheet becomes hard and brittle, and the handleability and adhesiveness of the resin sheet may be reduced. A preferable lower limit of the content of the substance (C) in 100% by volume of the resin sheet is 3% by volume, a more preferable lower limit is 5% by volume, a further preferable lower limit is 10% by volume, a preferable upper limit is 30% by volume, and a more preferable upper limit is 20%. % By volume.

また、樹脂シートが物質(C)として有機樹脂フィラー(C1)のみを含む場合には、樹脂シート100体積%中の有機樹脂フィラー(C1)の含有量の好ましい下限は3体積%、より好ましい下限は5体積%、さらに好ましい下限は10体積%、好ましい上限は30体積%、より好ましい上限は20体積%である。   Moreover, when a resin sheet contains only an organic resin filler (C1) as a substance (C), the minimum with preferable content of the organic resin filler (C1) in 100 volume% of resin sheets is 3 volume%, and a more preferable minimum Is 5% by volume, a more preferred lower limit is 10% by volume, a preferred upper limit is 30% by volume, and a more preferred upper limit is 20% by volume.

また、樹脂シートが物質(C)として第2の無機フィラー(C2)のみを含む場合には、樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量の好ましい下限は2体積%、より好ましい下限は3体積%、好ましい上限は30体積%、より好ましい上限は20体積%である。   Moreover, when a resin sheet contains only the 2nd inorganic filler (C2) as a substance (C), the minimum with preferable content of the 2nd inorganic filler (C2) in 100 volume% of resin sheets is 2 volume%. A more preferred lower limit is 3% by volume, a preferred upper limit is 30% by volume, and a more preferred upper limit is 20% by volume.

物質(C)は第2の無機フィラー(C2)であり、第1の無機フィラー(B)及び第2の無機フィラー(C2)が、下記式(X)を満たすことが好ましい。この場合には、樹脂シートの加工性をより一層高くすることができる。   The substance (C) is the second inorganic filler (C2), and it is preferable that the first inorganic filler (B) and the second inorganic filler (C2) satisfy the following formula (X). In this case, the workability of the resin sheet can be further enhanced.

[{(第1の無機フィラー(B)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量(体積%))}]<6 ・・・式(X)
上記式(X)中の右辺の値は6であり、上記式(X)中の右辺の値は5.5であることが好ましく、5であることがより好ましい。すなわち、上記式(X)中の「<6」は、「<5.5」であることが好ましく、「<5」であることがより好ましい。
[{(New Mohs hardness of first inorganic filler (B)) × (content of first inorganic filler (B) in 100% by volume of resin sheet (% by volume))} + {(second inorganic filler New Mohs hardness of (C2)) × (content of second inorganic filler (C2) in 100% by volume of resin sheet (% by volume))}] <6 Formula (X)
The value on the right side in the formula (X) is 6, and the value on the right side in the formula (X) is preferably 5.5, and more preferably 5. That is, “<6” in the formula (X) is preferably “<5.5”, and more preferably “<5”.

(架橋剤(D))
本発明に係る樹脂シートは、架橋剤(D)をさらに含有することが好ましい。この場合には、(メタ)アクリル系ポリマー(A)が架橋反応可能な官能基を有することが好ましい。架橋剤(D)の使用により、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。架橋剤(D)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Crosslinking agent (D))
The resin sheet according to the present invention preferably further contains a crosslinking agent (D). In this case, the (meth) acrylic polymer (A) preferably has a functional group capable of crosslinking reaction. By using the crosslinking agent (D), the adhesive strength of the resin sheet can be further enhanced. As for a crosslinking agent (D), only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

架橋剤(D)としては、例えば、イソシアネート架橋剤、アジリジン架橋剤、エポキシ架橋剤及び金属キレート架橋剤等が挙げられる。   Examples of the crosslinking agent (D) include an isocyanate crosslinking agent, an aziridine crosslinking agent, an epoxy crosslinking agent, and a metal chelate crosslinking agent.

樹脂シートの接着力をより一層高める観点からは、架橋剤(D)は、(メタ)アクリル系ポリマー(A)と反応可能な官能基を有することが好ましい。上記反応可能な官能基は、イソシアネート基、エポキシ基及びアジリジン基等が挙げられる。樹脂シートの接着力をさらに一層高める観点からは、架橋剤(D)は、イソシアネート基又はエポキシ基を有することが好ましい。   From the viewpoint of further increasing the adhesive strength of the resin sheet, the crosslinking agent (D) preferably has a functional group capable of reacting with the (meth) acrylic polymer (A). Examples of the reactive functional group include an isocyanate group, an epoxy group, and an aziridine group. From the viewpoint of further enhancing the adhesive strength of the resin sheet, the crosslinking agent (D) preferably has an isocyanate group or an epoxy group.

(メタ)アクリルモノマーを光重合により重合する場合には、架橋剤(D)として多官能(メタ)アクリレート化合物を添加することが好ましい。上記架橋剤の使用により、上記アクリル酸アルキルエステルモノマーの重合と同時に架橋を行なうことができる。   When the (meth) acrylic monomer is polymerized by photopolymerization, it is preferable to add a polyfunctional (meth) acrylate compound as the crosslinking agent (D). By using the crosslinking agent, crosslinking can be performed simultaneously with the polymerization of the acrylic acid alkyl ester monomer.

上記多官能(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ビニル、ジビニルベンゼン、エポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、及びウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。上記多官能(メタ)アクリレート化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the polyfunctional (meth) acrylate compound include 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, ( Poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) ) Acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, vinyl (meth) acrylate, divinylbenzene, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, and urethane (meth) Acrylate, and the like. As for the said polyfunctional (meth) acrylate compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

架橋剤(D)が用いられる場合には、(メタ)アクリル系ポリマー(A)と架橋剤(D)とを含む樹脂シートに含まれている全樹脂成分の合計100重量%中、架橋剤(D)の含有量は0.01〜10重量%の範囲内であることが好ましい。上記全樹脂成分の合計100重量%中の架橋剤(D)の含有量のより好ましい下限は0.03重量%、より好ましい上限は5重量%である。架橋剤(D)の含有量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの耐熱性をより一層高めることができる。架橋剤(D)の含有量が上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。なお、全樹脂成分には、架橋剤(D)が含まれる。   When the cross-linking agent (D) is used, the cross-linking agent (100% in total of all resin components contained in the resin sheet containing the (meth) acrylic polymer (A) and the cross-linking agent (D) ( The content of D) is preferably in the range of 0.01 to 10% by weight. The more preferable lower limit of the content of the crosslinking agent (D) in 100% by weight of the total resin components is 0.03% by weight, and the more preferable upper limit is 5% by weight. When content of a crosslinking agent (D) satisfy | fills the said preferable minimum, the heat resistance of a resin sheet can be improved further. When content of a crosslinking agent (D) satisfy | fills the said preferable upper limit, the adhesive force of a resin sheet can be improved further. In addition, a crosslinking agent (D) is contained in all the resin components.

(環状エーテル骨格を有する化合物(E))
本発明に係る樹脂シートは、環状エーテル骨格を有する化合物(E)をさらに含有することが好ましい。環状エーテル骨格を有する化合物(E)の使用により、樹脂シートの熱硬化性を高め、接着力をより一層高めることができる。環状エーテル骨格を有する化合物(E)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Compound having a cyclic ether skeleton (E))
The resin sheet according to the present invention preferably further contains a compound (E) having a cyclic ether skeleton. By using the compound (E) having a cyclic ether skeleton, the thermosetting property of the resin sheet can be enhanced and the adhesive force can be further enhanced. Only 1 type may be used for the compound (E) which has cyclic ether frame | skeleton, and 2 or more types may be used together.

環状エーテル骨格を有する化合物(E)としては、エポキシ樹脂(E1)及びオキセタン樹脂(E2)等が挙げられる。なかでも、エポキシ樹脂(E1)が好ましい。   Examples of the compound (E) having a cyclic ether skeleton include an epoxy resin (E1) and an oxetane resin (E2). Of these, epoxy resin (E1) is preferable.

エポキシ樹脂(E1)の具体例としては、ビスフェノール骨格を有するエポキシモノマー、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシモノマー、ナフタレン骨格を有するエポキシモノマー、アダマンテン骨格を有するエポキシモノマー、フルオレン骨格を有するエポキシモノマー、ビフェニル骨格を有するエポキシモノマー、バイ(グリシジルオキシフェニル)メタン骨格を有するエポキシモノマー、キサンテン骨格を有するエポキシモノマー、アントラセン骨格を有するエポキシモノマー、及びピレン骨格を有するエポキシモノマー等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Specific examples of the epoxy resin (E1) include an epoxy monomer having a bisphenol skeleton, an epoxy monomer having a dicyclopentadiene skeleton, an epoxy monomer having a naphthalene skeleton, an epoxy monomer having an adamantene skeleton, an epoxy monomer having a fluorene skeleton, and a biphenyl skeleton An epoxy monomer having a bi (glycidyloxyphenyl) methane skeleton, an epoxy monomer having a xanthene skeleton, an epoxy monomer having an anthracene skeleton, an epoxy monomer having a pyrene skeleton, and the like, including at least one of them It may be a polymer.

上記ビスフェノール骨格を有するエポキシモノマーとしては、例えば、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型及びビスフェノールS型のビスフェノール骨格を有するエポキシモノマー等が挙げられる。   Examples of the epoxy monomer having a bisphenol skeleton include an epoxy monomer having a bisphenol skeleton of bisphenol A type, bisphenol F type, and bisphenol S type.

上記ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシモノマーとしては、ジシクロペンタジエンジオキシド、及びジシクロペンタジエン骨格を有するフェノールノボラックエポキシモノマー等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Examples of the epoxy monomer having a dicyclopentadiene skeleton include dicyclopentadiene dioxide and a phenol novolac epoxy monomer having a dicyclopentadiene skeleton, and a polymer containing at least one of them may be used.

上記ナフタレン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1−グリシジルナフタレン、2−グリシジルナフタレン、1,2−ジグリシジルナフタレン、1,5−ジグリシジルナフタレン、1,6−ジグリシジルナフタレン、1,7−ジグリシジルナフタレン、2,7−ジグリシジルナフタレン、トリグリシジルナフタレン、及び1,2,5,6−テトラグリシジルナフタレン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Examples of the epoxy monomer having a naphthalene skeleton include 1-glycidylnaphthalene, 2-glycidylnaphthalene, 1,2-diglycidylnaphthalene, 1,5-diglycidylnaphthalene, 1,6-diglycidylnaphthalene, 1,7-diglycidyl. Naphthalene, 2,7-diglycidylnaphthalene, triglycidylnaphthalene, 1,2,5,6-tetraglycidylnaphthalene and the like may be mentioned, and a polymer containing at least one of them may be used.

上記アダマンテン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1,3−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)アダマンテン、及び2,2−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)アダマンテン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Examples of the epoxy monomer having an adamantene skeleton include 1,3-bis (4-glycidyloxyphenyl) adamanten, 2,2-bis (4-glycidyloxyphenyl) adamanten, and the like, which includes at least one kind thereof. It may be combined.

上記フルオレン骨格を有するエポキシモノマーとしては、9,9−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−クロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−ブロモフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−フルオロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3−メトキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3,5−ジメチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3,5−ジクロロフェニル)フルオレン、及び9,9−ビス(4−グリシジルオキシ−3,5−ジブロモフェニル)フルオレン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Examples of the epoxy monomer having a fluorene skeleton include 9,9-bis (4-glycidyloxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-glycidyloxy-3-methylphenyl) fluorene, and 9,9-bis (4- Glycidyloxy-3-chlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-glycidyloxy-3-bromophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-glycidyloxy-3-fluorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-Glycidyloxy-3-methoxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-glycidyloxy-3,5-dimethylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-glycidyloxy-3,5-dichlorophenyl) Fluorene and 9,9-bis (4-glycidyloxy-3,5-dibromophenyl) Fluorene, and the like, may be a polymer which contains at least one.

上記ビフェニル骨格を有するエポキシモノマーとしては、4,4’−ジグリシジルビフェニル、及び4,4’−ジグリシジル−3,3’,5,5’−テトラメチルビフェニル等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Examples of the epoxy monomer having a biphenyl skeleton include 4,4′-diglycidyl biphenyl, 4,4′-diglycidyl-3,3 ′, 5,5′-tetramethylbiphenyl, and the like. It may be a polymer.

上記バイ(グリシジルオキシフェニル)メタン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1,1’−バイ(2,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,8’−バイ(2,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,1’−バイ(3,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,8’−バイ(3,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,1’−バイ(3,5−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,8’−バイ(3,5−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,2’−バイ(2,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、1,2’−バイ(3,7−グリシジルオキシナフチル)メタン、及び1,2’−バイ(3,5−グリシジルオキシナフチル)メタン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Examples of the epoxy monomer having a bi (glycidyloxyphenyl) methane skeleton include 1,1′-bi (2,7-glycidyloxynaphthyl) methane, 1,8′-bi (2,7-glycidyloxynaphthyl) methane, 1,1′-bi (3,7-glycidyloxynaphthyl) methane, 1,8′-bi (3,7-glycidyloxynaphthyl) methane, 1,1′-bi (3,5-glycidyloxynaphthyl) methane 1,8'-bi (3,5-glycidyloxynaphthyl) methane, 1,2'-bi (2,7-glycidyloxynaphthyl) methane, 1,2'-bi (3,7-glycidyloxynaphthyl) Examples thereof include methane and 1,2′-bi (3,5-glycidyloxynaphthyl) methane, and a polymer containing at least one of them may be used.

上記キサンテン骨格を有するエポキシモノマーとしては、1,3,4,5,6,8−ヘキサメチル−2,7−ビス−オキシラニルメトキシ−9−フェニル−9H−キサンテン等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Examples of the epoxy monomer having a xanthene skeleton include 1,3,4,5,6,8-hexamethyl-2,7-bis-oxiranylmethoxy-9-phenyl-9H-xanthene, and at least one of them. It may be a polymer containing seeds.

オキセタン樹脂(E2)の具体例としては、例えば、4,4’−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル、1,4−ベンゼンジカルボン酸ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メチル]エステル、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ベンゼン、及びオキセタン化フェノールノボラック等が挙げられ、それら少なくとも1種を含む重合体でもよい。   Specific examples of the oxetane resin (E2) include, for example, 4,4′-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] biphenyl, 1,4-benzenedicarboxylate bis [(3-ethyl-3- Oxetanyl) methyl] ester, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] benzene, oxetated phenol novolak, and the like, and a polymer containing at least one of them may be used.

環状エーテル骨格を有する化合物(E)が用いられる場合には、(メタ)アクリル系ポリマー(A)と環状エーテル骨格を有する化合物(E)とを含む樹脂シートに含まれている全樹脂成分の合計100重量%中、環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量は1〜50重量%の範囲内であることが好ましい。上記全樹脂成分の合計100重量%中の環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量のより好ましい下限は3重量%、より好ましい上限は30重量%である。環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量が上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの接着力をより一層高めることができる。環状エーテル骨格を有する化合物(E)の含有量が上記好ましい上限を満たすと、(メタ)アクリルポリマー(A)の凝集力を充分に確保できる。なお、全樹脂成分には、環状エーテル骨格を有する化合物(E)が含まれる。   When the compound (E) having a cyclic ether skeleton is used, the total of all resin components contained in the resin sheet containing the (meth) acrylic polymer (A) and the compound (E) having a cyclic ether skeleton In 100% by weight, the content of the compound (E) having a cyclic ether skeleton is preferably in the range of 1 to 50% by weight. The more preferable lower limit of the content of the compound (E) having a cyclic ether skeleton in 100% by weight of the total resin components is 3% by weight, and the more preferable upper limit is 30% by weight. When content of the compound (E) which has cyclic ether frame | skeleton satisfy | fills the said preferable minimum, the adhesive force of a resin sheet can be improved further. When the content of the compound (E) having a cyclic ether skeleton satisfies the above preferable upper limit, the cohesive force of the (meth) acrylic polymer (A) can be sufficiently ensured. In addition, the compound (E) which has cyclic ether skeleton is contained in all the resin components.

(他の成分)
本発明に係る樹脂シートは、有機樹脂フィラー(C1)に含まれないゴム粒子を含んでいてもよい。上記ゴム粒子の使用により、樹脂シートの応力緩和性及び柔軟性を高めることができる。
(Other ingredients)
The resin sheet according to the present invention may include rubber particles that are not included in the organic resin filler (C1). By using the rubber particles, the stress relaxation property and flexibility of the resin sheet can be enhanced.

本発明に係る樹脂シートは、分散剤を含んでいてもよい。該分散剤の使用により、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をより一層高めることができる。   The resin sheet according to the present invention may contain a dispersant. By using the dispersant, the thermal conductivity and dielectric breakdown characteristics of the resin sheet can be further enhanced.

上記分散剤は、水素結合性を有する水素原子を含む官能基を有することが好ましい。上記分散剤が水素結合性を有する水素原子を含む官能基を有することで、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をより一層高めることができる。上記水素結合性を有する水素原子を含む官能基としては、例えば、カルボキシル基(pKa=4)、リン酸基(pKa=7)、又はフェノール基(pKa=10)等が挙げられる。   The dispersant preferably has a functional group containing a hydrogen atom having hydrogen bonding properties. When the dispersing agent has a functional group containing a hydrogen atom having hydrogen bonding properties, the thermal conductivity and dielectric breakdown characteristics of the resin sheet can be further enhanced. Examples of the functional group containing a hydrogen atom having hydrogen bonding include a carboxyl group (pKa = 4), a phosphate group (pKa = 7), a phenol group (pKa = 10), and the like.

上記水素結合性を有する水素原子を含む官能基のpKaの好ましい下限は2、より好ましい下限は3、好ましい上限は10、より好ましい上限は9である。上記官能基のpKaが上記好ましい下限を満たすと、上記分散剤の酸性度が高くなりすぎない。従って、樹脂シートの貯蔵安定性をより一層高めることができる。上記官能基のpKaが上記好ましい上限を満たすと、上記分散剤としての機能が充分に果たされ、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をより一層高めることができる。   The preferable lower limit of the pKa of the functional group containing a hydrogen atom having hydrogen bonding properties is 2, a more preferable lower limit is 3, a preferable upper limit is 10, and a more preferable upper limit is 9. When the pKa of the functional group satisfies the preferable lower limit, the acidity of the dispersant does not become too high. Therefore, the storage stability of the resin sheet can be further enhanced. When pKa of the said functional group satisfy | fills the said preferable upper limit, the function as the said dispersing agent will fully be fulfilled and the thermal conductivity and dielectric breakdown characteristic of a resin sheet can be improved further.

上記水素結合性を有する水素原子を含む官能基は、カルボキシル基又はリン酸基であることが好ましい。この場合には、樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性をさらに一層高めることができる。   The functional group containing a hydrogen atom having hydrogen bonding properties is preferably a carboxyl group or a phosphate group. In this case, the thermal conductivity and dielectric breakdown characteristics of the resin sheet can be further enhanced.

上記分散剤としては、具体的には、例えば、ポリエステル系カルボン酸、ポリエーテル系カルボン酸、ポリアクリル系カルボン酸、脂肪族系カルボン酸、ポリシロキサン系カルボン酸、ポリエステル系リン酸、ポリエーテル系リン酸、ポリアクリル系リン酸、脂肪族系リン酸、ポリシロキサン系リン酸、ポリエステル系フェノール、ポリエーテル系フェノール、ポリアクリル系フェノール、脂肪族系フェノール、及びポリシロキサン系フェノール等が挙げられる。上記分散剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Specific examples of the dispersant include a polyester carboxylic acid, a polyether carboxylic acid, a polyacrylic carboxylic acid, an aliphatic carboxylic acid, a polysiloxane carboxylic acid, a polyester phosphoric acid, and a polyether type. Examples thereof include phosphoric acid, polyacrylic phosphoric acid, aliphatic phosphoric acid, polysiloxane phosphoric acid, polyester phenol, polyether phenol, polyacrylic phenol, aliphatic phenol, and polysiloxane phenol. As for the said dispersing agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

樹脂シート100重量%中、上記分散剤の含有量の好ましい下限は0.01重量%、より好ましい下限は0.1重量%、好ましい上限は20重量%、より好ましい上限は10重量%である。上記分散剤の含有量が上記好ましい下限及び上限を満たすと、第1のフィラー(B)又は物質(C)の凝集を抑制でき、かつ樹脂シートの熱伝導性及び絶縁破壊特性を充分に高めることができる。   In 100% by weight of the resin sheet, a preferable lower limit of the content of the dispersant is 0.01% by weight, a more preferable lower limit is 0.1% by weight, a preferable upper limit is 20% by weight, and a more preferable upper limit is 10% by weight. When the content of the dispersant satisfies the preferable lower limit and upper limit, aggregation of the first filler (B) or the substance (C) can be suppressed, and the thermal conductivity and dielectric breakdown characteristics of the resin sheet can be sufficiently enhanced. Can do.

本発明に係る樹脂シートは、ハンドリング性をより一層高めるために、ガラスクロス、ガラス不織布、アラミド不織布等の基材物質を含んでいてもよい。ただし、上記基材物質を含まなくても、本発明に係る樹脂シートは室温(23℃)において自立性を有し、かつ優れたハンドリング性を有する。よって、樹脂シートは基材物質を含まないことが好ましく、特にガラスクロスを含まないことが好ましい。樹脂シートが上記基材物質を含まない場合には、樹脂シートの厚みを薄くすることができ、かつ樹脂シートの熱伝導性をより一層高めることができる。さらに、樹脂シートが上記基材物質を含まない場合には、必要に応じて樹脂シートにレーザー加工又はドリル穴開け加工等の各種加工を容易に行うこともできる。なお、自立性とは、PETフィルム又は銅箔といった支持体が存在しなくても、シートの形状を保持し、シートとして取扱うことができることをいう。   The resin sheet according to the present invention may contain a base material such as glass cloth, glass nonwoven fabric, and aramid nonwoven fabric in order to further improve handling properties. However, even if the base material is not included, the resin sheet according to the present invention has a self-supporting property at room temperature (23 ° C.) and an excellent handling property. Therefore, it is preferable that the resin sheet does not include a base material, and particularly it does not include glass cloth. When the resin sheet does not contain the base material, the thickness of the resin sheet can be reduced and the thermal conductivity of the resin sheet can be further enhanced. Furthermore, when the resin sheet does not contain the above-mentioned base material, various processes such as laser processing or drilling can be easily performed on the resin sheet as necessary. In addition, self-supporting means that the shape of a sheet can be maintained and handled as a sheet even when a support such as a PET film or a copper foil is not present.

また、本発明に係る樹脂シートは、必要に応じて、硬化剤、カップリング剤、チキソ性付与剤、難燃剤及び着色剤などを含んでいてもよい。   Moreover, the resin sheet which concerns on this invention may contain the hardening | curing agent, the coupling agent, the thixotropy imparting agent, the flame retardant, the coloring agent, etc. as needed.

(樹脂シート)
本発明に係る樹脂シートの製造方法は特に限定されない。樹脂シートは、例えば、上述した材料を混合した混合物を溶剤キャスト法又は押し出し成膜法等の方法でシート状に成形することにより得ることができる。シート状に成形する際に、脱泡することが好ましい。
(Resin sheet)
The method for producing the resin sheet according to the present invention is not particularly limited. The resin sheet can be obtained, for example, by forming a mixture of the above-described materials into a sheet shape by a method such as a solvent casting method or an extrusion film forming method. Defoaming is preferred when forming into a sheet.

樹脂シートの厚みは特に限定されない。樹脂シートの厚みは、10〜300μmの範囲内にあることが好ましい。樹脂シートの厚みのより好ましい下限は50μm、さらに好ましい下限は70μm、より好ましい上限は120μm、さらに好ましい上限は100μmである。樹脂シートの厚みが上記好ましい下限を満たすと、樹脂シートの絶縁性が高くなる。樹脂シートの厚みが上記好ましい上限を満たすと、樹脂シートの放熱性がより一層高くなる。   The thickness of the resin sheet is not particularly limited. The thickness of the resin sheet is preferably in the range of 10 to 300 μm. A more preferable lower limit of the thickness of the resin sheet is 50 μm, a further preferable lower limit is 70 μm, a more preferable upper limit is 120 μm, and a further preferable upper limit is 100 μm. When the thickness of the resin sheet satisfies the above preferable lower limit, the insulating property of the resin sheet becomes high. When the thickness of the resin sheet satisfies the above preferable upper limit, the heat dissipation of the resin sheet is further enhanced.

樹脂シートのガラス転移温度Tgは、25℃以下であることが好ましい。ガラス転移温度が25℃以下であると、樹脂シートが室温において固く、かつ脆くなり難い。このため、樹脂シートのハンドリング性をより一層高めることができる。   The glass transition temperature Tg of the resin sheet is preferably 25 ° C. or lower. When the glass transition temperature is 25 ° C. or lower, the resin sheet is hard and hardly brittle at room temperature. For this reason, the handleability of the resin sheet can be further enhanced.

樹脂シートの熱伝導率は、0.7W/m・K以上であることが好ましく、1.0W/m・K以上であることがより好ましく、1.5W/m・K以上であることがさらに好ましい。熱伝導率が高いほど、樹脂シートの放熱性が高くなる。   The thermal conductivity of the resin sheet is preferably 0.7 W / m · K or more, more preferably 1.0 W / m · K or more, and further preferably 1.5 W / m · K or more. preferable. The higher the thermal conductivity, the higher the heat dissipation of the resin sheet.

樹脂シートの絶縁破壊電圧は、30kV/mm以上であることが好ましく、40kV/mm以上であることがより好ましく、50kV/mm以上であることがさらに好ましく、80kV/mm以上であることがさらに好ましく、100kV/mm以上であることがさらに好ましい。絶縁破壊電圧が高いほど、樹脂シートが例えば電力素子用のような大電流用途に用いられた場合に、絶縁性が高くなる。   The dielectric breakdown voltage of the resin sheet is preferably 30 kV / mm or more, more preferably 40 kV / mm or more, further preferably 50 kV / mm or more, and further preferably 80 kV / mm or more. More preferably, it is 100 kV / mm or more. The higher the dielectric breakdown voltage, the higher the insulation is when the resin sheet is used for large current applications such as for power elements.

(積層体)
本発明に係る樹脂シートは、発熱部品と金属筐体又は放熱部品とを接着するのに好適に用いられる。
(Laminate)
The resin sheet which concerns on this invention is used suitably for adhere | attaching a heat-emitting component, a metal housing | casing, or a thermal radiation component.

図1に、本発明の一実施形態に係る樹脂シートを用いた積層体の一例を模式的に示す。   In FIG. 1, an example of the laminated body using the resin sheet which concerns on one Embodiment of this invention is shown typically.

図1に示す積層体1は、樹脂シート2と、樹脂シート2の一方の面2aに積層された発熱部品3と、樹脂シート2の他方の面2bに積層された放熱部品4とを備える。放熱部品4にかえて、金属筐体を用いてもよい。樹脂シート2は、発熱部品3と放熱部品4との間に配置されている。樹脂シート2により、発熱部品3と、放熱部品4とが接着されている。   A laminated body 1 shown in FIG. 1 includes a resin sheet 2, a heat generating component 3 laminated on one surface 2 a of the resin sheet 2, and a heat radiating component 4 laminated on the other surface 2 b of the resin sheet 2. A metal housing may be used in place of the heat dissipation component 4. The resin sheet 2 is disposed between the heat generating component 3 and the heat radiating component 4. The heat generating component 3 and the heat radiating component 4 are bonded by the resin sheet 2.

発熱部品3としては、具体的には、CPU、及び基板等が挙げられる。   Specific examples of the heat generating component 3 include a CPU and a board.

放熱部品4又は金属筐体としては、具体的には、ヒートスプレッダ、及びヒートシンク等が挙げられる。   Specific examples of the heat dissipating component 4 or the metal housing include a heat spreader and a heat sink.

放熱部品4は、熱伝導率が10W/m・K以上の熱伝導体であることが好ましい。この熱伝導体としては、例えば、アルミニウム、銅、アルミナ、ベリリア、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム又はグラファイトシート等が挙げられる。中でも、上記熱伝導体は、銅又はアルミニウムであることが好ましい。銅又はアルミニウムは、放熱性に優れている。   The heat dissipation component 4 is preferably a heat conductor having a thermal conductivity of 10 W / m · K or more. Examples of the heat conductor include aluminum, copper, alumina, beryllia, silicon carbide, silicon nitride, aluminum nitride, and graphite sheet. Especially, it is preferable that the said heat conductor is copper or aluminum. Copper or aluminum is excellent in heat dissipation.

以下、本発明の具体的な実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を明らかにする。なお、本発明は以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be clarified by giving specific examples and comparative examples of the present invention. The present invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。   The following materials were prepared.

[(メタ)アクリル系ポリマー(A)]
(1)水酸基及びカルボキシル基含有アクリルポリマー(ナガセケムテックス社製、商品名:WS−023、Mw=500,000、Tg=−5℃)
(2)エポキシ基含有アクリルポリマー1(ナガセケムテックス社製、商品名:SG−80H、Mw=350,000、Tg=7.5℃)
(3)カルボキシル基含有アクリルポリマー(ナガセケムテックス社製、商品名:SG−280、Mw=900,000、Tg=−30.9℃)
(4)水酸基含有アクリルポリマー(ナガセケムテックス社製、商品名:SG−600LB、Mw=1,200,000、Tg=−31.4℃)
(5)エポキシ基含有アクリルポリマー2(ナガセケムテックス社製、商品名:SG−P3、Mw=850,000、Tg=15.0℃)
[(Meth) acrylic polymer (A)]
(1) Hydroxyl group and carboxyl group-containing acrylic polymer (manufactured by Nagase ChemteX Corporation, trade names: WS-023, Mw = 500,000, Tg = −5 ° C.)
(2) Epoxy group-containing acrylic polymer 1 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation, trade name: SG-80H, Mw = 350,000, Tg = 7.5 ° C.)
(3) Carboxyl group-containing acrylic polymer (manufactured by Nagase ChemteX Corporation, trade name: SG-280, Mw = 900,000, Tg = -30.9 ° C.)
(4) Hydroxyl group-containing acrylic polymer (manufactured by Nagase ChemteX Corp., trade name: SG-600LB, Mw = 1,200,000, Tg = -31.4 ° C.)
(5) Epoxy group-containing acrylic polymer 2 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation, trade name: SG-P3, Mw = 850,000, Tg = 15.0 ° C.)

[第1の無機フィラー(B)]
(1)球状アルミナ(デンカ社製、商品名:DAM−10、平均粒子径10μm、熱伝導率36W/m・K、新モース硬度12)
(2)破砕アルミナ(日本軽金属社製、商品名:LS−242C、平均粒子径2μm、熱伝導率36W/m・K、新モース硬度12)
(3)合成マグネサイト(神島化学社製、商品名:MSL、平均粒子径6μm、熱伝導率15W/m・K、新モース硬度3.5)
(4)窒化アルミニウム(東洋アルミ社製、商品名:TOYALNITE―FLX、平均粒子径14μm、熱伝導率200W/m・K、新モース硬度11)
(5)結晶シリカ(龍森社製、商品名:クリスタライトCMC−12、平均粒子径5μm、熱伝導率10W/m・K、新モース硬度7)
(6)炭化ケイ素(信濃電気製錬社製、商品名:シナノランダムGP#700、平均粒子径17μm、熱伝導率125W/m・K、新モース硬度13)
(7)酸化亜鉛(堺化学工業社製、商品名:LPZINC−5、平均粒子径5μm、熱伝導率54W/m・K、新モース硬度5)
(8)酸化マグネシウム(堺化学工業社製、商品名:SMO Large Particle、平均粒子径1.1μm、熱伝導率35W/m・K、新モース硬度6)
[First inorganic filler (B)]
(1) Spherical alumina (Denka Co., Ltd., trade name: DAM-10, average particle size 10 μm, thermal conductivity 36 W / m · K, new Mohs hardness 12)
(2) Crushed alumina (trade name: LS-242C, manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd., average particle diameter 2 μm, thermal conductivity 36 W / m · K, new Mohs hardness 12)
(3) Synthetic magnesite (Kamishima Chemical Co., Ltd., trade name: MSL, average particle size 6 μm, thermal conductivity 15 W / m · K, new Mohs hardness 3.5)
(4) Aluminum nitride (manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd., trade name: TOYALNITE-FLX, average particle size 14 μm, thermal conductivity 200 W / m · K, new Mohs hardness 11)
(5) Crystalline silica (manufactured by Tatsumori Co., Ltd., trade name: Crystallite CMC-12, average particle size 5 μm, thermal conductivity 10 W / m · K, new Mohs hardness 7)
(6) Silicon carbide (manufactured by Shinano Electric Smelting Co., Ltd., trade name: Shinano Random GP # 700, average particle diameter 17 μm, thermal conductivity 125 W / m · K, new Mohs hardness 13)
(7) Zinc oxide (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., trade name: LPZINC-5, average particle size 5 μm, thermal conductivity 54 W / m · K, new Mohs hardness 5)
(8) Magnesium oxide (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., trade name: SMO Large Particle, average particle size 1.1 μm, thermal conductivity 35 W / m · K, new Mohs hardness 6)

[有機樹脂フィラー(C1)]
(1)0.1μm粒子(コアシェル型シリコーン−アクリル粒子、旭化成ワッカーシリコーン社製、商品名:P22、平均粒子径0.1μm、コアシェル構造を有する、ケイ素原子に酸素原子が直接結合された骨格を有する化合物を含むコア層と有機物を含む)
(2)0.5μm粒子(コアシェル型有機粒子、ガンツ化成社製、商品名:AC−3355、平均粒子径0.5μm、コアシェル構造を有する)
(3)4μm粒子(アクリル粒子、ガンツ化成社製、商品名:GM−0401S、平均粒子径4μm)
[Organic resin filler (C1)]
(1) 0.1 μm particles (core shell type silicone-acrylic particles, manufactured by Asahi Kasei Wacker Silicone Co., Ltd., trade name: P22, average particle size 0.1 μm, having a core shell structure, a skeleton in which oxygen atoms are directly bonded to silicon atoms (Including core layer containing compound and organic matter)
(2) 0.5 μm particles (core-shell type organic particles, manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., trade name: AC-3355, average particle size 0.5 μm, having a core-shell structure)
(3) 4 μm particles (acrylic particles, manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., trade name: GM-0401S, average particle diameter 4 μm)

[第2の無機フィラー(C2)]
(1)マイカ(山口雲母工業所社製、商品名:SJ005、平均粒子径5μm、新モース硬度2.8)
(2)タルク(日本タルク社製、商品名:K−1、平均粒子径8μm、新モース硬度1)
(3)窒化ホウ素(昭和電工社製、商品名:UHP−1、平均粒子径8μm、新モース硬度2)
(4)クレー(白石カルシウム社製、商品名:ST−301、平均粒子径0.7μm、新モース硬度2)
(5)カオリン(BASF社製、商品名:ASP−400P、平均粒子径4.8μm、新モース硬度2.8)
(6)水酸化アルミニウム(日本軽金属社製、商品名:B−103、平均粒子径8μm、新モース硬度3)
(7)水酸化マグネシウム(タテホ化学工業社製、商品名:PZ−1、平均粒子径1.2μm、新モース硬度2.5)
(8)炭酸カルシウム(白石カルシウム社製、商品名:BF−300、平均粒子径8μm、新モース硬度3)
(9)珪藻土(白石カルシウム社製、商品名:ST−C219、平均粒子径9μm、新モース硬度1.5)
[Second inorganic filler (C2)]
(1) Mica (manufactured by Yamaguchi Mica Industry Co., Ltd., trade name: SJ005, average particle diameter 5 μm, new Mohs hardness 2.8)
(2) Talc (Nippon Talc Co., Ltd., trade name: K-1, average particle diameter 8 μm, new Mohs hardness 1)
(3) Boron nitride (manufactured by Showa Denko KK, trade name: UHP-1, average particle size 8 μm, new Mohs hardness 2)
(4) Clay (manufactured by Shiraishi Calcium Co., Ltd., trade name: ST-301, average particle size 0.7 μm, new Mohs hardness 2)
(5) Kaolin (manufactured by BASF, trade name: ASP-400P, average particle size 4.8 μm, new Mohs hardness 2.8)
(6) Aluminum hydroxide (manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd., trade name: B-103, average particle diameter 8 μm, new Mohs hardness 3)
(7) Magnesium hydroxide (manufactured by Tateho Chemical Co., Ltd., trade name: PZ-1, average particle size 1.2 μm, new Mohs hardness 2.5)
(8) Calcium carbonate (manufactured by Shiraishi Calcium Co., Ltd., trade name: BF-300, average particle size 8 μm, new Mohs hardness 3)
(9) Diatomaceous earth (manufactured by Shiraishi Calcium Co., Ltd., trade name: ST-C219, average particle size 9 μm, new Mohs hardness 1.5)

[その他の無機フィラー]
(1)溶融シリカ(トクヤマ社製、商品名:SE15、平均粒子径15μm、熱伝導率2W/m・K、新モース硬度7)
[Other inorganic fillers]
(1) Fused silica (trade name: SE15, average particle size 15 μm, thermal conductivity 2 W / m · K, new Mohs hardness 7 manufactured by Tokuyama Corporation)

[架橋剤(D)]
(1)イソシアネート架橋剤(日本ポリウレタン工業社製、商品名:コロネートL)
(2)ビスフェノールA型エポキシ架橋剤(ジャパンエポキシレジン社製、商品名:エピコート828US)
[Crosslinking agent (D)]
(1) Isocyanate crosslinking agent (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name: Coronate L)
(2) Bisphenol A type epoxy crosslinking agent (product name: Epicoat 828US, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.)

[環状エーテル骨格を有する化合物(E)]
(1)エポキシ基含有スチレン樹脂(日油社製、商品名:マープルーフG−1010S、Mw=100,000、Tg=93℃)
[Compound having a cyclic ether skeleton (E)]
(1) Epoxy group-containing styrene resin (manufactured by NOF Corporation, trade name: Marproof G-1010S, Mw = 100,000, Tg = 93 ° C.)

[硬化剤]
(1)イソシアヌル変性固体分散型イミダゾール(イミダゾール系硬化促進剤、四国化成社製、商品名:2MZA−PW)
[Curing agent]
(1) Isocyanur-modified solid dispersion type imidazole (imidazole curing accelerator, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., trade name: 2MZA-PW)

[分散剤]
(1)アクリル系分散剤(ビックケミージャパン社製、商品名:Disperbyk−2070、pKaが4のカルボキシル基を有する)
(2)ポリエーテル系分散剤(楠本化成社製、商品名:ED151、pKaが7のリン酸基を有する)
[Dispersant]
(1) Acrylic dispersant (manufactured by Big Chemie Japan, trade name: Disperbyk-2070, pKa has a carboxyl group of 4)
(2) Polyether-based dispersant (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd., trade name: ED151, pKa has 7 phosphate groups)

[添加剤]
(1)エポキシシランカップリング剤(信越化学工業社製、商品名:KBE403)
[Additive]
(1) Epoxysilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: KBE403)

[溶剤]
(1)メチルエチルケトン
[solvent]
(1) Methyl ethyl ketone

(実施例1〜33及び比較例1〜7)
ホモディスパー型攪拌機を用いて、下記の表1〜5に示す割合(配合単位は重量部)で各原料を配合し、混練し、絶縁ワニスを調製した。
(Examples 1-33 and Comparative Examples 1-7)
Using a homodisper type stirrer, each raw material was blended in the proportions (blending units are parts by weight) shown in Tables 1 to 5 below, and kneaded to prepare an insulating varnish.

厚み50μmの離型PETシートに、上記樹脂ワニスを100μmの厚みになるように塗工し、90℃のオーブン内で30分乾燥して、PETシート上に樹脂シートを作製した。   The resin varnish was applied to a release PET sheet having a thickness of 50 μm so as to have a thickness of 100 μm and dried in an oven at 90 ° C. for 30 minutes to prepare a resin sheet on the PET sheet.

(評価)
(1)ハンドリング性
PETシートと、該PETシート上に形成された樹脂シートとを有する積層シートを460mm×610mmの大きさに切り出して、テストサンプルを得た。得られたテストサンプルを用いて、室温(23℃)でPETシートから樹脂シートを剥離したときのハンドリング性を下記の基準で評価した。
[ハンドリング性の判定基準]
〇:樹脂シートの変形がなく、容易に剥離可能
△:樹脂シートを剥離できるものの、シート伸びや破断が発生する
×:樹脂シートを剥離できない
(Evaluation)
(1) Handling property A laminate sheet having a PET sheet and a resin sheet formed on the PET sheet was cut into a size of 460 mm x 610 mm to obtain a test sample. Using the obtained test sample, the handling property when the resin sheet was peeled from the PET sheet at room temperature (23 ° C.) was evaluated according to the following criteria.
[Handling criteria]
○: The resin sheet is not deformed and can be easily peeled. Δ: Although the resin sheet can be peeled, the sheet is stretched or broken. ×: The resin sheet cannot be peeled.

(2)熱伝導率
樹脂シートの熱伝導率を、京都電子工業社製熱伝導率計「迅速熱伝導率計QTM−500」を用いて測定した。
(2) Thermal conductivity The thermal conductivity of the resin sheet was measured using a thermal conductivity meter “rapid thermal conductivity meter QTM-500” manufactured by Kyoto Electronics Industry Co., Ltd.

(3)加工性
厚み50μmのPETフィルム2枚の間に挟まれた樹脂シートを、直径20mmの金型(塚谷刃物製作所社製、ピナクルダイRDC(FB))を用いて打ち抜いた。ばりが発生するまでの回数を測定し、打ち抜き加工性を以下の基準で評価した。
[加工性の判定基準]
◎:ばりが発生することなく100回以上加工可能
○:ばりが発生することなく50回以上、100回未満加工可能
△:ばりが発生することなく10回以上、50回未満加工可能
×:10回未満の加工によりばりが発生
(3) Workability A resin sheet sandwiched between two PET films having a thickness of 50 μm was punched out using a mold having a diameter of 20 mm (manufactured by Tsukaya Knife Manufacturing Co., Ltd., Pinnacle Die RDC (FB)). The number of times until the flash was generated was measured, and the punching workability was evaluated according to the following criteria.
[Criteria for workability]
◎: Possible to process 100 times or more without occurrence of burr ○: Possible to process 50 times or more and less than 100 times without occurrence of burr △: Possible to process 10 times or more and less than 50 times without occurrence of burr ×: 10 Burrs are generated by machining less than once

(4)積層プレス時のはみ出し量
PETシートと、該PETシート上に形成された樹脂シートとを有する積層シートを13cm×5cmの大きさに切り出した後、樹脂シートをPETシートから剥離した。また、13cm×5cmの大きさのアルミニウム板(エンジニアリングテストサービス社製、JISH4000 A5052P、最大高さ粗さRz1.1μm)と、13cm×5cmの大きさの銅箔(福田金属箔粉工業社製、電解銅箔、CT−T8)とを用意した。
(4) Extrusion amount at the time of lamination press After cutting out the lamination sheet which has a PET sheet and the resin sheet formed on this PET sheet in the magnitude | size of 13 cm x 5 cm, the resin sheet was peeled from the PET sheet. In addition, an aluminum plate having a size of 13 cm × 5 cm (manufactured by Engineering Test Service, JISH4000 A5052P, maximum height roughness Rz 1.1 μm), and a copper foil having a size of 13 cm × 5 cm (manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Industry Co., Ltd., An electrolytic copper foil, CT-T8) was prepared.

アルミニウム板の粗面と銅箔の粗面との間に樹脂シートを挟んで、積層体を得た後、23℃及び圧力4MPaで10分間プレスした。プレス後に積層体の側面からはみ出た樹脂シートの重量を測定し、下記の式により樹脂シートのはみ出し量を求めた。はみ出し量を下記の基準で判定した。   A resin sheet was sandwiched between the rough surface of the aluminum plate and the rough surface of the copper foil to obtain a laminate, and then pressed at 23 ° C. and a pressure of 4 MPa for 10 minutes. The weight of the resin sheet protruding from the side surface of the laminate after pressing was measured, and the amount of protrusion of the resin sheet was determined by the following formula. The amount of protrusion was determined according to the following criteria.

はみ出し量=(プレス後に積層体の側面からはみ出た樹脂シートの重量)/(プレス前の樹脂シートの重量)×100
[はみ出し量の判定基準]
○:樹脂シートのはみ出し量が7%未満
△:樹脂シートのはみ出し量が7%を超え、10%未満
×:樹脂シートのはみ出し量が10%以上
(5)接着力
樹脂シートを20mm×100mmの大きさに切り出して、テストサンプルを得た。このテストサンプルの一方の面に厚み50μmのアルミ箔を貼り付けた後、テストサンプルの他方の面に、アルミ製テストピースを貼り付けた。次に、23℃及び相対湿度65%RHで30分間静置し、積層体を得た。引っ張り試験機(エー・アンド・デイ社製、万能試験機テンシロンRTF)を用いて、積層体の樹脂及びアルミ箔をアルミ製テストピースから剥離して、90°剥離力を測定し、得られた測定値を樹脂シートの接着力とした。
Amount of protrusion = (weight of resin sheet protruding from side surface of laminate after pressing) / (weight of resin sheet before pressing) × 100
[Criteria for protruding amount]
○: The protruding amount of the resin sheet is less than 7%. Δ: The protruding amount of the resin sheet is more than 7% and less than 10%. X: The protruding amount of the resin sheet is 10% or more. (5) Adhesive strength The resin sheet is 20 mm × 100 mm. A test sample was obtained by cutting into a size. An aluminum foil having a thickness of 50 μm was attached to one surface of the test sample, and then an aluminum test piece was attached to the other surface of the test sample. Next, it was allowed to stand at 23 ° C. and a relative humidity of 65% RH for 30 minutes to obtain a laminate. Using a tensile tester (manufactured by A & D Co., Ltd., universal tester Tensilon RTF), the laminate resin and aluminum foil were peeled from the aluminum test piece, and the 90 ° peel force was measured. The measured value was defined as the adhesive strength of the resin sheet.

(6)絶縁破壊電圧
樹脂シートを100mm×100mmの大きさに切り出して、テストサンプルを得た。耐電圧試験器(MODEL7473、EXTECH Electronics社製)を用いて、樹脂シート間に、1kV/秒の速度で電圧が上昇するように、交流電圧を印加した。樹脂シートが破壊した電圧を、絶縁破壊電圧とした。
(6) Dielectric breakdown voltage The resin sheet was cut out to a size of 100 mm × 100 mm to obtain a test sample. Using a withstand voltage tester (MODEL7473, manufactured by EXTECH Electronics), an alternating voltage was applied between the resin sheets so that the voltage increased at a rate of 1 kV / second. The voltage at which the resin sheet was broken was taken as the dielectric breakdown voltage.

結果を下記の表1〜5に示す。   The results are shown in Tables 1 to 5 below.

Figure 2011111498
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1…積層体
2…樹脂シート
2a…一方の面
2b…他方の面
3…発熱部品
4…放熱部品
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated body 2 ... Resin sheet 2a ... One side 2b ... The other side 3 ... Heat generating component 4 ... Heat radiating component

Claims (6)

(メタ)アクリル系ポリマー(A)と、
熱伝導率が10W/m・K以上であり、かつ新モース硬度が3.1以上である第1の無機フィラー(B)と、
有機樹脂フィラー(C1)及び新モース硬度が3以下である第2の無機フィラー(C2)の内の少なくとも一方の物質(C)とを含有し、
前記第1の無機フィラー(B)の含有量が20〜60体積%であり、かつ前記物質(C)の含有量が1〜40体積%である、樹脂シート。
(Meth) acrylic polymer (A),
A first inorganic filler (B) having a thermal conductivity of 10 W / m · K or higher and a new Mohs hardness of 3.1 or higher;
Containing at least one substance (C) of the organic resin filler (C1) and the second inorganic filler (C2) having a new Mohs hardness of 3 or less,
The resin sheet whose content of the said 1st inorganic filler (B) is 20-60 volume%, and whose content of the said substance (C) is 1-40 volume%.
前記物質(C)が前記第2の無機フィラー(C2)であり、
前記第1の無機フィラー(B)及び前記第2の無機フィラー(C2)が、下記式(X)を満たす、請求項1に記載の樹脂シート。
[{(第1の無機フィラー(B)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第1の無機フィラー(B)の含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラー(C2)の新モース硬度)×(樹脂シート100体積%中の第2の無機フィラー(C2)の含有量(体積%))}]<6 ・・・式(X)
The substance (C) is the second inorganic filler (C2);
The resin sheet according to claim 1, wherein the first inorganic filler (B) and the second inorganic filler (C2) satisfy the following formula (X).
[{(New Mohs hardness of first inorganic filler (B)) × (content of first inorganic filler (B) in 100% by volume of resin sheet (% by volume))} + {(second inorganic filler New Mohs hardness of (C2)) × (content of second inorganic filler (C2) in 100% by volume of resin sheet (% by volume))}] <6 Formula (X)
前記物質(C)が前記第2の無機フィラー(C2)であり、
前記第2の無機フィラー(C2)が、珪藻土、窒化ホウ素、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、タルク、カオリン、クレー及びマイカからなる群から選択された少なくとも1種である、請求項1又は2に記載の樹脂シート。
The substance (C) is the second inorganic filler (C2);
The second inorganic filler (C2) is at least one selected from the group consisting of diatomaceous earth, boron nitride, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, talc, kaolin, clay and mica. Or the resin sheet of 2.
前記第1の無機フィラー(B)が、アルミナ、合成マグネサイト、結晶性シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化亜鉛及び酸化マグネシウムからなる群から選択された少なくとも1種である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂シート。   The first inorganic filler (B) is at least one selected from the group consisting of alumina, synthetic magnesite, crystalline silica, aluminum nitride, silicon nitride, silicon carbide, zinc oxide, and magnesium oxide. The resin sheet of any one of 1-3. 前記(メタ)アクリル系ポリマー(A)のガラス転移温度が25℃以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂シート。   The resin sheet of any one of Claims 1-4 whose glass transition temperature of the said (meth) acrylic-type polymer (A) is 25 degrees C or less. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂シートと、
前記樹脂シートの一方の面に積層された発熱部品と、
前記樹脂シートの他方の面に積層された金属筐体又は放熱部品とを備える、積層体。
The resin sheet according to any one of claims 1 to 5,
A heat generating component laminated on one surface of the resin sheet;
A laminate comprising a metal casing or a heat dissipation component laminated on the other surface of the resin sheet.
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