JP2011108934A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101を載せるチャック110と、基板101に所望のパターンを転写するためのマスク102を保持するマスクホルダ120と、露光光用の光源131,132と、光源131,132からの露光光を開閉するシャッタ150とを有する露光装置において、シャッタ150は、露光光を通過させる開シャッタ板と、露光光を遮光する閉シャッタ板とを有し、開シャッタ板および閉シャッタ板は同一方向に移動し、移動する方向において閉シャッタ板は、開シャッタ板よりも寸法が大きい。
【選択図】図1
Description
102…マスク、
103…ベース、
104…Xガイド、
105…Xステージ、
106…Yガイド、
107…Yステージ、
108…θステージ、
109…Z−チルト機構、
110…チャック、
120…マスクホルダ、
130…露光光照射装置、
131…ランプ、
132…集光鏡、
133…第1平面鏡、
134…レンズ、
136…コリメータレンズ、
137…第2平面鏡、
138…電源、
139…ランプハウス、
140…排気ファン、
150…シャッタ、
151a、151b…シャッタ板、
152a、152b…スライダ、
153…移動ガイド、
154…露光光、
155…光照射面。
Claims (9)
- 基板を載せるチャックと、前記基板に所望のパターンを転写するためのマスクを保持するマスクホルダと、露光光用の光源と、前記光源からの露光光を開閉するシャッタとを有する露光装置において、
前記シャッタは、
前記露光光を通過させる開シャッタ板と、
前記露光光を遮断する閉シャッタ板と、を有し、
前記開シャッタ板および前記閉シャッタ板は同一方向に移動し、移動する方向において前記閉シャッタ板は、前記開シャッタ板よりも寸法が大きいことを特徴とする露光装置。 - 請求項1記載の露光装置において、
前記閉シャッタ板の寸法は、前記閉シャッタの移動時に前記開シャッタとのオーバーラップを見込んだ大きさであることを特徴とする露光装置。 - 請求項1又は2に記載の露光装置において、
前記開シャッタ板および前記閉シャッタ板は、直線的に移動することを特徴とする露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置において、
前記開シャッタ板および前記閉シャッタ板は、垂直方向に移動することを特徴とする露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置において、
前記開シャッタ板および前記閉シャッタ板は、水平方向に移動することを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記シャッタが閉の際、前記開シャッタ板および前記閉シャッタ板は、部分的に重なって配置されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項6記載の露光装置において、
前記シャッタの開閉後、前記開シャッタ板および前記閉シャッタ板は、部分的に重なって配置された状態で前記シャッタの開閉前の位置に戻るように巻き戻し動作することを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記閉シャッタ板の移動距離は、前記開シャッタ板の移動距離と同じになるように設定されることを特徴とする露光装置。 - 基板を載せるチャックと、前記基板に所望のパターンを転写するためのマスクを保持するマスクホルダと、露光光用の光源と、前記光源からの露光光を開閉するシャッタとを有する露光装置において、
前記シャッタは、
前記露光光を通過させる開シャッタ板と、
前記露光光を遮断する閉シャッタ板と、を有し、
前記開シャッタ板および前記閉シャッタ板は同一方向に移動し、移動する方向において前記閉シャッタ板は、前記開シャッタ板よりも寸法が大きく、
前記閉シャッタ板は移動の際1部が前記開シャッタ板とオーバーラップするものであることを特徴とする露光装置。
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