JP2011091416A - レーザシステム及びレーザ露光システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ装置1のメインコントローラ70は、出力減衰機構50に入力される前のパルスエネルギPinをパルスばらつきが小さくなる値(目標パルスエネルギPL)にすべく、充電電圧制御及びガス制御を行う。また、レーザ装置1の出力エネルギを、露光装置200で要求される目標パルスエネルギPt(<目標パルスエネルギPL)に一致させるべく、露光装置200から送信された目標パルスエネルギPtを示す信号に基づき、出力減衰機構50の透過率Tを制御する。
【選択図】図1
Description
半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、半導体露光装置においては解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められており、露光用光源には、従来の水銀ランプに代わってガスレーザ装置が用いられている。現在の露光用ガスレーザ装置としては、波長248nmの紫外線を放出するKrFエキシマレーザ装置ならびに、波長193nmの紫外線を放出するArFエキシマレーザ装置が用いられている。次世代の露光技術として、露光用レンズとウェハ間を液体で満たして、屈折率を変えることによって、露光光源の見かけの波長を短波長化する液浸技術をArF露光に適用しようとしている。ArF液浸では134nmの波長になる。また、次々世代の露光用光源として、波長157nmの紫外線を放出するF2レーザ装置が有力であり、F2レーザ液浸露光が採用される可能性もある。F2液浸では115nmの波長になると言われている。
多くの半導体露光装置の光学系には、投影光学系が採用されている。投影光学系では異なる屈折率を有するレンズ等の光学素子が組み合わされ色収差補正が行なわれる。現在、露光用ガスレーザ装置の波長域は248nm〜115nmである。この波長域において、投影光学系のレンズ材料として使用に適する光学材料は合成石英とCaF2以外にない。KrFエキシマレーザの投影レンズとしては合成石英のみで構成された全屈折タイプの単色レンズが採用され、ArFエキシマレーザの投影レンズとしては、合成石英とCaF2で構成された全屈折タイプの部分色消しレンズが採用されている。ところが、KrF、ArFエキシマレーザの自然発振幅は約350pm〜400pmと広いために、これらの投影レンズを使用すると色収差が発生して、解像力が低下する。そこで色収差が無視できるまでに、上記ガスレーザ装置から放出されるレーザ光のスペクトル線幅を狭帯域化する必要がある。このため、レーザ装置には狭帯域化素子(エタロンやグレーティング等)を有する狭帯域化モジュールがレーザ共振器内に設けられ、スペクトル線幅の狭帯域化が実現されている。
前述した液浸露光では、高NA化によりレンズの透過率が低下するため、一定露光量を得るために光源であるレーザの高出力化が必要とされている。また、露光装置の高スループット化のためにも、レーザの高出力化が必要とされている。スペクトル線幅を狭帯域化した上で高出力を得るための方法としては、2ステージレーザシステムがある。
増幅段レーザ100aは、入力側ミラー(リア側ミラー)20aと出力側ミラー(フロント側ミラー)30aとからなるファブリーペロー型の光共振器と、この光共振器の間に位置しレーザガスを封入するレーザチャンバ10aを備えている。レーザチャンバ10a内には、レーザガスを励起して利得(ゲイン)領域を形成する一対の放電電極11a、12a等が設けられている。図27においては、一対の放電電極11a、12aは紙面に垂直な方向に配置されているものとする。レーザチャンバ10aにおけるレーザ光の光軸上にあって、レーザ光出力部分には、ウインドウ13a、14aが設けられている。
エキシマレーザは、パルス放電励起ガスレーザであるために、レーザ発振は図28(a)に示すようなパルス発振となる。同図28(a)は、エキシマレーザを半導体露光装置の光源として用いる場合の発振パターンである。この運転状態は、レーザ光を所定回数連続してパルス発振させる連続パルス発振運転と、所定時間だけパルス発振を休止させる発振休止とを繰り返すバーストモード発振になっている。
図28(b)は、複数のICチップTPが配列された半導体ウェハWを示す。半導体ウェハWはステージ上に載置され、照射位置に設置される。半導体ウェハW上の1つのICチップTPを露光するにあたっては、レチクル(マスク)を固定するとともにステージの移動を停止し、半導体ウェハWに塗布されたレジストが感光するのに必要な多数(数百個以上)の連続パルス光を略正方形のICチップTP全面に照射する。1つのICチップTPに対する露光処理が終了すると、ステージを移動させて次の未照射ICチップTPをレチクルの下方に配置し、同様に連続パルス光を照射する。このような露光及びステージ移動を交互に行い、半導体ウェハW上の全ICチップTPの露光が終了すると、露光済みの半導体ウェハWを照射位置から搬出し、次の半導体ウェハWを照射位置に設置して、前述した光照射を繰り返す。
スキャナー方式は、露光時に投影レンズのフィールド形状(レーザ照射エリア)を長方形の形状とし、レチクル(マスク)と半導体ウエハWとをこの長方形の短軸方向に沿って逆向きに同時に移動させて露光する方式である。このようにレチクル(マスク)と半導体ウエハWとを動作させるため、投影レンズが小さくても大きな面積の露光が可能となる。すなわち、大きなICチップTPを小さな投影レンズで露光することが可能となり、投影レンズのコストを抑えることができる。
例えば、特許文献1には、毎パルスのレーザエネルギを均一にして露光量を一定にするために、充電電圧を制御する方法が開示されている。また、特許文献2には、特許文献1と同じく毎パルスのレーザエネルギを均一にして露光量を一定にするために、ハロゲンガスの組成比を制御する方法が開示されている。
図30は従来技術の制御システムを示す。このシステムでは、パルス化光源91すなわちレーザ装置から出力された光は、可変減衰器92を通過し、露光量モニタ93でエネルギが測定され、露光される装置94すなわち露光装置に到達する。露光量モニタは測定結果を制御器95に送信する。制御器95は受信した測定結果を元にして露光量を計算し、最小減衰量を求めて可変減衰器92を設定する。また、露光量に必要なショット数を計算し、パルス化光源91を設定する。
レーザガスを封入するチャンバと、
前記チャンバ内のレーザガスを励起する励起源と、
レーザガスの励起に伴い前記チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、
前記励起源の励起強度と前記チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光共振器から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記光共振器から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
前記光透過部における透過率を制御する透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であることを特徴とする。
レーザガスを封入する発振用チャンバと、前記発振用チャンバ内のレーザガスを励起する発振用励起源と、レーザガスの励起に伴い前記発振用チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、を有する発振段と、
レーザガスを封入する増幅用チャンバと、前記発振段から出力された光が前記増幅用チャンバ内に存在するときに前記増幅用チャンバ内のレーザガスを励起する増幅用励起源と、を有する増幅段と、
前記発振用励起源と前記増幅用励起源と前記発振用チャンバ内及び前記増幅用チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光増幅段から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記増幅段から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
前記光透過部における透過率を制御する透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であることを特徴とする。
レーザガスを封入するチャンバと、
前記チャンバ内のレーザガスを励起する励起源と、
レーザガスの励起に伴い前記チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、
前記励起源の励起強度と前記チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光共振器から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記光共振器から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
露光に要する光のエネルギ値が前記光透過部に入力前の光のエネルギ値以下であって、さらに該露光に要する光のエネルギ値を信号化して外部に送信する露光装置と、
前記露光装置から送信された信号に応じて前記光透過部における透過率を制御して、前記光透過部から出力される光のエネルギ値を前記露光装置から送信された信号で示されるエネルギ値に一致させる透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であることを特徴とする。
レーザガスを封入する発振用チャンバと、前記発振用チャンバ内のレーザガスを励起する発振用励起源と、レーザガスの励起に伴い前記発振用チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、を有する発振段と、
レーザガスを封入する増幅用チャンバと、前記発振段から出力された光が前記増幅用チャンバ内に存在するときに前記増幅用チャンバ内のレーザガスを励起する増幅用励起源と、を有する増幅段と、
前記発振用励起源と前記増幅用励起源と前記発振用チャンバ内及び前記増幅用チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光増幅段から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記増幅段から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
露光に要する光のエネルギ値が前記光透過部に入力前の光のエネルギ値以下であって、
さらに該露光に要する光のエネルギ値を信号化して外部に送信する露光装置と、
前記露光装置から送信された信号に応じて前記光透過部における透過率を制御して、前記光透過部から出力される光のエネルギ値を前記露光装置から送信された信号で示されるエネルギ値に一致させる透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であることを特徴とする。
前記透過率制御部は、前記光透過部における透過率を、(露光に要する光のエネルギ値)/(前記光透過部に入力前の光のエネルギ値)に制御する。
第6発明に係るレーザシステムは、第1から第5発明において、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値であることを特徴とする。
(1.レーザ露光システムの構成と基本的な動作)
〔1−1.シングルレーザの場合〕
図1はシングルレーザを使用する場合の制御システム図を示す。
本実施形態に係るレーザ露光システムは、レーザ装置1と露光装置200とを有する。露光装置200はICチップの露光に要求される光のエネルギをレーザ装置1に要求し、レーザ装置1は露光装置200の要求に応じた光を出力する。レーザ装置1のダイナミックレンジの上限は、露光装置200で要求される光のエネルギ値以上に設定される。
レーザチャンバ10の内部には、所定距離だけ離隔し、互いの長手方向が平行であって、かつ放電面が対向する一対の放電電極11、12が設けられている。図1においては、放電電極11、12は紙面に垂直な方向に配置されている。また、レーザチャンバ10におけるレーザ光の光軸上にあって、レーザ光出力部分には、ウインドウ13、14が設けられている。ウインドウ13、14は、レーザ光に対する透過性を有する材料、例えばCaF2等によって構成されている。両ウインドウ13、14は、外側の面が互いに平行に配置され、また、レーザ光に対して反射損失を低減すべくブリュースタ角で設置される。
KrFエキシマレーザの場合にレーザガスは、KrガスおよびF2ガスと、HeやNe等からなるバッファガスの混合ガスである。ArFエキシマレーザの場合にレーザガスは、ArガスおよびF2ガスと、HeやNe等からなるバッファガスの混合ガスである。各ガスは、ガス供給・排出機構16によって供給と排出が制御される。
(a)露光装置200から送信された目標パルスエネルギPtと検出したパルスエネルギPoutが所定の範囲内に制御され、パルスエネルギのばらつきが許容範囲内にあるか。 (b)減衰前後のパルスエネルギPinとPoutの比が所定の透過率T(=Pout/Pin)となっているか。
レーザ装置1は、必要なダイナミックレンジの最大値の出力で動作するように設計されている。つまり、光共振器(フロントミラー30)から出力されたレーザ光は、ダイナミックレンジの最大値に近い値で安定に出力される。
2ステージレーザの出力はシングルレーザの出力よりも大きいため、本発明によってダイナミックレンジをさらに大きくとることが可能となる。
増幅段レーザ100aは、必要なダイナミックレンジの最大値の出力で動作するように設計されている。例えば、必要なパルスエネルギのダイナミックレンジが5mJから15mJであれば、レーザ装置1′は、エネルギ安定性を維持した状態で5mJから15mJのエネルギを出力できることを前提とする。つまり、増幅段レーザ100aから出力されたレーザ光は、ダイナミックレンジの最大値に近い値で安定に出力される。
以下では、図1に示すシングルレーザを備えたレーザ露光システムの処理フローを代表して説明するが、図2に示す2ステージレーザを備えたレーザ露光システムの処理フローも基本的には同じである。
メインルーチンの処理フローは、大きく分けると、調整発振の処理フロー(ステップS11〜S14)と露光中の処理フロー(ステップS15〜S17)とに分けられる。
露光装置200はレーザ装置1のメインコントローラ70に目標パルスエネルギPtを示す信号を送信する。メインコントローラ70はこの信号を受信し、調整発振のためにレーザ装置1の出射口に設けられたシャッタを閉じる(ステップS11)。
露光装置200はレーザ装置1のメインコントローラ70に発振指令信号を送信し、メインコントローラ70はこの指令信号の受信に応じてレーザ発振を開始する。メインコントローラ70は、調整発振で決定された出力減衰機構50の透過率Tにてレーザ光のエネルギばらつきが小さくなるように、すなわち減衰前のパルスエネルギPinが目標パルスエネルギPLになるように、電源回路15の充電電圧を制御し、またガス供給・排出機構16のガス供給量、排出量を制御する(ステップS15)。
先ず、目標パルスエネルギPLの決定サブルーチンの処理が行われる(ステップS21)。次いで、メインコントローラ70は出力減衰機構50における透過率T=Pt/PLを演算する(ステップS22)。以上の処理終了後、図4に示すメインルーチンに戻る。
図6(a)のサブルーチンでは、出力減衰機構50に入力される光の最大定格出力Pmaxが目標パルスエネルギPLとして決定され、図5に示すメインルーチンに戻る。
透過反射素子に対するレーザ光の入射角を制御することで透過率を制御することができる。
sinθt/sinθi=n1/n2 … (1)
また、基板51aがノーコートの場合、その反射率はフレネル反射の式(下記(2)式、(3)式)によって決まる。
rs=〔sin(θi−θt)/sin(θi+θt)〕2 … (2)
rp=〔tan(θi−θt)/tan(θi+θt)〕2 … (3)
添え字、s、pはそれぞれs偏光、p偏光を意味する。p偏光は入射面に電場ベクトルが平行な偏光成分(図8で紙面に平行な向き)であり、s偏光は入射面に電場ベクトルが垂直な偏光成分(図8で紙面に垂直な向き)である。
θb=arctan(n2/n1) … (4)
で示される。
先ず、メインコントローラ70は出力減衰機構50の透過率をTにすべく、基板51aに対するレーザ光の入射角θiを演算する。ここでは、レーザ光が基板51aに対してp偏光で入射した場合を想定する。前述したように、基板51aが2つの場合に反射面は4面になるため T=(1−rp)4 となる。透過率Tは前の処理(目標パルスエネルギPL及び透過率Tの決定サブルーチン)で決定されているため、p偏光成分の反射率rpが求められる。また、入射角θiは、前記したスネルの法則(上記(1)式)とフレネル反射の式(上記(3)式)と反射率rpとで求められる(ステップS31)。
先ず、レーザを定格発振(目標パルスエネルギPLで発振)させる(ステップS41)。この際、第2パルスエネルギモニタ60は減衰後のパルスエネルギPoutを測定する(ステップS42)。メインコントローラ70は、第2パルスエネルギモニタ60で測定されたパルスエネルギPoutが露光装置200で要求される目標パルスエネルギPtになっているか否かを判断する。具体的には、目標パルスエネルギPtに対するパルスエネルギPoutの誤差(|Pout−Pt|)を演算する。誤差(|Pout−Pt|)が許容誤差dP以内であれば、ダイナミックレンジでの制御を終了して、図4に示すメインルーチンに戻る(ステップ43の判断Yes)。
前述したように、レーザ光は線偏光である。この偏光を制御することで透過率を制御することができる。
先ず、メインコントローラ70は出力減衰機構50の透過率をTにすべく、図13に示す関係から透過率Tに対応するλ/2板52aの角度θを求める。(ステップS51)。
スリット等によって、単にレーザ光の光路面積を制御することで透過率を制御することができる。
先ず、メインコントローラ70は出力減衰機構50の透過率をTにすべく、透過率Tに対するスリット移動量xを求める。スリット移動量xは予め測定しておいた図17に示す関係f(x)を用いて計算される(x=f−1(T))。スリット移動量xと透過率Tとの関係式T=f(x)が表せない場合は、スリット移動量xと透過率Tとのデータベース(x、T)を作成しておき、メインコントローラ70はそのデータベースから透過率Tに対するスリット移動量xの値を読み出せば良い(ステップS71)。
図20(a)、(b)に示すように、出力減衰機構50は、レーザ光を通過させる孔の絞り量が可変である絞りスリット54aと、メインコントローラ70から送信される透過率Tを制御する信号に応じて絞りスリット54aの絞り量を制御する駆動機構54bとを有する。図20(a)に示すように、絞りスリット54aがレーザ光を遮らない場合は、透過率Tは1となる。図20(b)に示すように、絞りスリット54aがレーザ光を遮る場合は、透過率Tが1未満に減少する。
先ず、メインコントローラ70は出力減衰機構50の透過率をTにすべく、透過率Tに対するスリット絞り量zを求める。スリット絞り量zは予め測定しておいた図21に示す関係g(z)を用いて計算される(z=g−1(T))。スリット絞り量zと透過率Tとの関係式T=g(z)が表せない場合は、スリット絞り量zと透過率Tとのデータベース(z、T)を作成しておき、メインコントローラ70はそのデータベースから透過率Tに対するスリット絞り量zの値を読み出せば良い(ステップS91)。
レーザ光が透過する部分反射膜の反射率を制御することで透過率を制御することができる。
先ず、メインコントローラ70は出力減衰機構50の透過率をTに近い値にすべく、図25に示す関係から部分反射膜55aを選択する。(ステップS111)。
10…レーザチャンバ
11、12…放電電極
15…電源電圧
16…ガス供給・排出機構
50…出力減衰機構
70…メインコントローラ
200…露光装置
Claims (6)
- レーザガスを封入するチャンバと、
前記チャンバ内のレーザガスを励起する励起源と、
レーザガスの励起に伴い前記チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、
前記励起源の励起強度と前記チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光共振器から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記光共振器から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
前記光透過部における透過率を制御する透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であるレーザシステム。 - レーザガスを封入する発振用チャンバと、前記発振用チャンバ内のレーザガスを励起する発振用励起源と、レーザガスの励起に伴い前記発振用チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、を有する発振段と、
レーザガスを封入する増幅用チャンバと、前記発振段から出力された光が前記増幅用チャンバ内に存在するときに前記増幅用チャンバ内のレーザガスを励起する増幅用励起源と、を有する増幅段と、
前記発振用励起源と前記増幅用励起源と前記発振用チャンバ内及び前記増幅用チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光増幅段から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記増幅段から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
前記光透過部における透過率を制御する透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であるレーザシステム。 - レーザガスを封入するチャンバと、
前記チャンバ内のレーザガスを励起する励起源と、
レーザガスの励起に伴い前記チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、
前記励起源の励起強度と前記チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光共振器から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記光共振器から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
露光に要する光のエネルギ値が前記光透過部に入力前の光のエネルギ値以下であって、さらに該露光に要する光のエネルギ値を信号化して外部に送信する露光装置と、
前記露光装置から送信された信号に応じて前記光透過部における透過率を制御して、前記光透過部から出力される光のエネルギ値を前記露光装置から送信された信号で示されるエネルギ値に一致させる透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であるレーザ露光システム。 - レーザガスを封入する発振用チャンバと、前記発振用チャンバ内のレーザガスを励起する発振用励起源と、レーザガスの励起に伴い前記発振用チャンバから出力される光の一部は外部に出力し、残りは前記チャンバを介して共振させる光共振器と、を有する発振段と、
レーザガスを封入する増幅用チャンバと、前記発振段から出力された光が前記増幅用チャンバ内に存在するときに前記増幅用チャンバ内のレーザガスを励起する増幅用励起源と、を有する増幅段と、
前記発振用励起源と前記増幅用励起源と前記発振用チャンバ内及び前記増幅用チャンバ内のガス組成またはガス圧とのうち少なくとも一つを制御して、前記光増幅段から出力される光エネルギのパルスばらつきを予め設定された許容範囲内に収めるレーザ制御部と、
前記増幅段から出力される光が透過するとともに、自身の透過率を変化させることによって透過する光のエネルギを増加減衰自在である光透過部と、
露光に要する光のエネルギ値が前記光透過部に入力前の光のエネルギ値以下であって、さらに該露光に要する光のエネルギ値を信号化して外部に送信する露光装置と、
前記露光装置から送信された信号に応じて前記光透過部における透過率を制御して、前記光透過部から出力される光のエネルギ値を前記露光装置から送信された信号で示されるエネルギ値に一致させる透過率制御部と、
を有し、
レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値を含み、かつ、その最小値に近接した範囲を示す最小近傍であるレーザ露光システム。 - 前記透過率制御部は、前記光透過部における透過率を、(露光に要する光のエネルギ値)/(前記光透過部に入力前の光のエネルギ値)に制御する請求項3乃至請求項4記載のレーザ露光システム。
- レーザ制御部で予め定められる光エネルギのパルスばらつき許容範囲が、チャンバから出力される光の出力を変更させるために充電電圧を増加させるに従って最小値に向かって低下し、最小値を過ぎると上昇する光エネルギのパルスばらつきを示す曲線において、その最小値である請求項1から5のいずれかに記載のレーザ露光システム。
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