JP2011091195A - 発光素子及び発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光取出し効率を向上させた発光素子及び発光装置を提供する。
【解決手段】
本発明の発光素子20は、光を発する光半導体素子と、光半導体素子上に形成され、光半導体素子の屈折率より大きい屈折率を有し、光半導体素子で発光した光が進入する透光層4と、透光層4中に含有され、透光層4を構成する材料の屈折率より小さい屈折率を有する散乱体5と、を有している。
【選択図】図2
【解決手段】
本発明の発光素子20は、光を発する光半導体素子と、光半導体素子上に形成され、光半導体素子の屈折率より大きい屈折率を有し、光半導体素子で発光した光が進入する透光層4と、透光層4中に含有され、透光層4を構成する材料の屈折率より小さい屈折率を有する散乱体5と、を有している。
【選択図】図2
Description
本発明は、発光素子と、その発光素子を用いた発光装置に関するものである。
現在、紫外光、青色光、緑色光等を発光する発光素子の開発が行われている。特に、III族窒化物半導体を有する発光素子の光取出し効率の向上を目的とした開発が数多くされている。
例えば、下記の特許文献1には、光半導体素子と、光半導体素子の光取出し側に形成され、光散乱粒子を含有する樹脂層と、を備えた発光素子が記載されている。なお、光散乱粒子の屈折率は、樹脂層を構成する樹脂よりも大きい屈折率に設定されている。
しかし、特許文献1に記載された発光素子は、光散乱粒子が樹脂層を構成する樹脂より大きい屈折率を有することから、樹脂層の光取り出し側の面で全反射した光が、光散乱粒子を透過して、樹脂層から光半導体素子に向かって進行しやすい。そのため、特許文献1に記載された発光素子は、光取出し効率の低下を招きやすかった。
本発明は、以上のような諸事情を鑑みて案出されたものであり、光取出し効率を向上させることが可能な発光素子及び発光装置を提供することを目的とする。
本発明の発光素子によれば、光を発する光半導体素子と、前記光半導体素子上に形成され、前記光半導体素子の屈折率より大きい屈折率を有し、前記光半導体素子で発光した光が進入する透光層と、前記透光層中に含有され、前記透光層を構成する材料の屈折率より小さい屈折率を有する散乱体と、を有する。
本発明によれば、光取出し効率を向上させることが可能な発光素子及び発光装置を提供することができる。
以下に図面を参照して、本発明にかかる発光素子及び発光装置の実施形態について詳細に説明する。
本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を施すことができる。
<発光素子の構造>
図1は本実施形態にかかる発光素子20の斜視図、図2は図1に示す発光素子20の断面図であり、図1のA−A´線で切断したときの断面に相当する。
図1は本実施形態にかかる発光素子20の斜視図、図2は図1に示す発光素子20の断面図であり、図1のA−A´線で切断したときの断面に相当する。
発光素子20は、図2に示すように基板1と、基板1上に形成された光半導体素子としての光半導体層2と、散乱体5を含有する透光層4と、を有している。
基板1は、化学気相成長法を用いて、光半導体層2を成長させることが可能なものであればよい。例えば、基板1は長方形の平板などから形成されている。基板1に用いられる材料としては、例えば、サファイア、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、シリコンカーバイド、シリコンまたは二ホウ化ジルコニウムなどを挙げることができる。このように形成することにより、光半導体層2で発光した光を、光半導体層2の基板1とは反対側から取り出すことができる。なお、光半導体層2の基板1側から光を取り出す場合には、光半導体層2を成長させた後に基板1を除去する方法や、光半導体層2で発光した光を透過させる透光性の基材を基板1として用いる方法などがある。
透光性の基材としては、後述する発光層2bの構成を用いた場合、サファイア、窒化ガリウム、酸化亜鉛またはシリコンカーバイドなどを用いることができる。なお、基板1の厚みとしては例えば100μm以上1000μm以下である。
光半導体層2は、基板1の主面1Aに形成された第1半導体層2aと、第1半導体層2a上に形成された発光層2bと、発光層2b上に形成された第2半導体層2cと、から構成されている。
第1半導体層2a、発光層2b及び第2半導体層2cは、III−V族半導体を用いることができる。III−V族半導体としては、III族窒化物半導体、ガリウム燐またはガリウムヒ素などを例示できる。III族窒化物半導体としては、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムなどを例示することができ、化学式で例示するとAlx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)と表すことができる。さらに、III−V族半導体以外には、酸化亜鉛などを例示することができる。
また光半導体層2は、一導電型としてn型半導体の性質の第1半導体層2aと、発光層2bと、逆導電型としてp型半導体の性質の第2半導体層2cとが、順次基板1の主面1Aに形成された積層構造を有している。なお、第1半導体層2aの厚みは、例えば1μm以上5μm以下であって、第2半導体層2cの厚みは、例えば50nm以上600nm以下である。
発光層2bは、第1半導体層2aと第2半導体層2cとの間に設けられている。発光層2bは、禁制帯幅の広い障壁層と禁制帯幅の狭い井戸層とからなる量子井戸構造が複数回(例えば、2回以上10回以下)繰り返し、規則的に積層された多層量子井戸構造(MQW)としてもよい。なお、前述の障壁層としては、上述した化学式で例示するとIn0.01Ga0.99N層などを用いることができる。また、前述の井戸層としては、In0.11Ga0.89N層などを例示できる。この場合、障壁層の厚みは例えば5nm以上15nm以下、井戸層の厚みは例えば2nm以上10nm以下に設定でき、発光層2b全体の厚みは例えば25nm以上150nm以下である。また、このように構成された発光層2bでは、例えば350nm以上600nm以下の波長の光を発光する。なお、第2半導体層2cの屈折率は、例えば、1.70以上2.20以下に設定される。
このような光半導体層2の第1半導体層2aには第1半導体層2aと電気的に接続される第1電極3が設けられ、第2半導体層2cの主面2Aには第2半導体層2cと電気的に接続される第2電極6が設けられている。このように形成された第1電極3及び第2電極6は、第1電極3と第2電極6との間に電圧を印加することができる。
第1電極3および第2電極6としては、アルミニウム、チタン、ニッケル、クロム、インジウム、錫、モリブデン、銀、金、ニオブ、タンタル、バナジウム、白金、鉛、ベリリウム、酸化錫、酸化インジウム、インジウムと錫の酸化物、ガリウムをドープした酸化亜鉛、アルミニウムをドープした酸化亜鉛、金とシリコンの合金、金とゲルマニウムの合金、金と亜鉛の合金、金とベリリウムの合金などを用いることができる。また、第1電極3と第1半導体層2aとの間および第2電極6と第2半導体層2cとの間にオーミックコンタクト層を設けてもよい。また、第1電極3および第2電極6は、上記材質の中から選択した層を複数層積層したものとしても構わない。なお、第1電極3は、基板1が導電性を有する場合、基板1の光半導体層2と反対側すなわち第2主面1Bに設けてもよい。
本実施形態においては、第2半導体層2cの主面2Aに透明電極9が形成され、かかる透明電極9の主面9Aに第2電極6が形成されている。このように第2半導体層2cの主面2A全体に透明電極9を有することにより、第2半導体層2cの主面2A全体に電流を流すことができるため、発光の色むらを低減することができる。
透明電極9としては、上述の第1電極3および第2電極6の材料のうち、第2半導体層2cより大きい屈折率の材料であり、かつ光半導体層2における発光波長に対して透明な材料を選択すればよい。例えば、インジウムと錫の酸化物(屈折率1.60以上2.20以下)、ガリウムを含む酸化亜鉛(屈折率1.70以上2.00以下)、インジウムと亜鉛の酸化物(屈折率1.5以上3.5以下)、アルミニウムを含む酸化亜鉛(屈折率1.70以上2.00以下)、チタンの酸化物(屈折率1.50以上2.70以下)、アンチモンと錫の酸化物(屈折率1.90以上2.10以下)またはポリエチレンジオキシチオフェン、ポリスチレンスルホン酸またはポリビニルスルホン酸のうち少なくとも一つを含む導電性高分子(屈折率1.50以上1.70以下)などを用いることができる。
このように第2半導体層2cの主面2A上に形成された透明電極9の主面9A上には、透光層4が形成されている。かかる透光層4は、第2電極5を除く透明電極9上の一面に形成されている。また、透光層4は透明電極9より大きい屈折率を有する材料から形成されている。そのため、透明電極9から透光層4へ進む光は、透明電極9と透光層4との界面において臨界角が大きくなり全反射されにくくなる。一方、透光層4から透明電極9へ進む光は、透光層4と透明電極9との界面において臨界角が小さくなり全反射されやすくなる。
透明電極9の主面9A上に、透明電極9より大きい屈折率の材料からなる透光層4を有することにより、透明電極9の主面9A上に透光層4を有しない場合と比較して、透明電極9から透光層4への光取出し効率を向上させることができる。また、透明電極9から透光層4に進入した光は、透光層4と透明電極9との屈折率の関係により、透光層4と透明電極9との界面において全反射しやすくなるため、透明電極9へ戻りにくくすることができる。そのため、第2半導体層2cへ光が戻りにくくすることができ、発光層2bの外部量子効率の低下を招きにくくすることができる。
透光層4としては、例えばジクロロジフェニルサルフォン(屈折率1.50以上1.80以下)、酸化ジルコニウム(屈折率2.30以上2.50以下)、チタンの酸化物(屈折率1.50以上2.70以下)またはエポキシ樹脂(屈折率1.50以上1.70以下)などの材料を選択することができる。なお、透光層4が透明電極9上に形成されている場合、透光層4として透明電極9より屈折率の大きい材料を用いればよい。また、透光層4が第2半導体層2c上に形成されている場合、透光層4として第2半導体層2cより屈折率の大きい材料を用いればよい。
透光層4は散乱体5を含有している。散乱体5は、透光層4より小さい屈折率の材料により形成されている。また散乱体5の形状は、球体、立方体、円錐など種々の形状から選択される。本実施形態では、散乱体5は球体から形成されている。
このような散乱体5が透光層4に含有されていることにより、透光層4からの光取出し効率を向上させることができる。散乱体5は、透光層4より小さい屈折率の材料から形成されているため、透光層4から散乱体5に進む光は、透光層4と散乱体5との界面における臨界角が小さくなり、透光層4と散乱体5との界面で全反射されやすくなる。
そのため、例えば透光層4の上面4Aにおいて透明電極9側に全反射した光を、透光層4と散乱体5との界面において透光層4の上面4A方向へ全反射させやすい。その結果、散乱体5によって、透光層4の上面4Aにおいて透明電極9側に全反射した光の進行方向を変えることができるため透光層4における光取出し効率を向上させることができる。
また、透明電極9から透光層4に進行した光のうち散乱体5へ小さい入射角で光が入射した場合でも、光を入射角より小さい屈折角で直進させることができる。そのため、透明電極9の主面9Aと向かい合う散乱体5の下面で透明電極9の方向に反射する光を少なくすることができる。
なお、発光層2bで発光し、透光層4に進行した光が散乱体5の下面で透明電極9の方向に反射される場合においても、透光層4が透明電極9より大きい屈折率を有することから、透光層4と透明電極9との界面で全反射して透光層4の上面4A方向に進むようになる。そのため、かかる場合であっても光取出し効率の低下を招きにくい。
このような散乱体5の大きさは、透光層4の膜厚t1より小さく設定することができる。本実施形態においては、散乱体5は球体で形成されており、直径を透光層4に入射した光の波長すなわち発光層2bで発光した光の波長以上の長さにすることにより、透光層4と散乱体5との界面で全反射しやすくすることができる。また、散乱体5の直径を5μm以下にすることにより、透光層4の膜厚が厚くなりにくく、かかる透光層4での光損失を少なくすることができる。
このような散乱体5の材料としては、チタン、タンタル、アルミニウム、マグネシウム、シリコン、ジルコニウム、ハフニウム、イットリウム、トリウム、ニオブまたはナトリウムのいずれかを含む酸化物、弗化物、窒化物などのうち透光層4より小さい屈折率の材料を選択すればよい。例えば、チタンの酸化物(屈折率1.50以上2.70以下)、五酸化二タンタル(屈折率2.20以上2.40以下)、酸化マグネシウム(屈折率 1.68以上1.73以下)、二酸化ジルコニウム(屈折率 約1.78以上2.00以下)、フッ化マグネシウム(屈折率 1.36以上1.40以下)、二酸化ケイ素(屈折率 1.44以上1.54以下)などを用いることができる。
一方、散乱体5を含有しない透光層4を用いた場合、透光層4の上面4Aにおいて全反射した光は透明電極9に戻りやすく、光取出し効率を向上させることが困難となる。また、透光層4の上面4Aにおいて全反射した光が、透明電極9を通り第2半導体層2cに戻ることにより発光層2bの外部量子効率の低下を招きやすかった。
また、散乱体として透光層4より屈折率の大きな材料を用いた場合、透光層4の上面である主面4Aで全反射した光は、透光層4と散乱体との界面において、入射角より屈折角の方が小さくなる。そのことから、透光層4の上面である主面4Aで全反射した光は、散乱体へ入射しやすくなる。さらに、散乱体を通った光は、透明電極9の主面9Aに対して入射角が小さくなるため、透明電極9を通り、第2半導体層2cに戻りやすかった。そのことから、散乱体として透光層4より屈折率の大きな材料を用いた場合、光取出し効率を向上させることが困難となる。
さらに、散乱体として金属からなる反射体を用いた場合には、散乱体への入射角が小さい光も全反射する。そのため、例えば、透明電極9の主面9Aと向かい合う散乱体の下面に小さい入射角で光が入射すると、透明電極9の方向に反射され第2半導体層2cへ戻りやすくなる。その結果、発光層2bの外部量子効率の低下を招きやすかった。
次に、図3に示すように、発光素子20を外部配線用電極15が形成されたパッケージ体16にバンプ17などを介してフリップチップ実装した発光装置50とすることができる。その場合には、基板1を除去することにより露出させた第1半導体層2a上に、第1半導体層2aより屈折率の高い材料で形成した透光層4を設けた発光素子20を用いることができる。なお、基板1を除去せずに基板1の主面1B上に透光層4を設けた場合には、基板1を光半導体層2の一部に含むものである。かかる場合には、透光層4として基板1より屈折率の高い材料を用いることができる。
本実施形態においては、第2半導体層2cと透光層4との間に透明電極9を設けた発光素子20の場合について説明したが、第2半導体層2cの主面2A上に透光層4を設けてもよい。かかる場合の発光素子20においても上述の効果を奏する。
(変形例)
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。ここで、上述した実施形態に係る変形例について説明する。なお、本実施形態の変形例に係る発光素子のうち、本実施形態に係る発光素子と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。
(変形例)
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。ここで、上述した実施形態に係る変形例について説明する。なお、本実施形態の変形例に係る発光素子のうち、本実施形態に係る発光素子と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図4は、上述した一実施形態にかかる発光素子20の変形例を示す断面図である。この変形例にかかる発光素子20は、透光層4が屈折率の異なる複数層から形成されている。このように、透光層4を構成する屈折率が異なる複数層は、下方から上方に向けて屈折率が順次小さくなるように形成されている。
かかる透光層4は、発光素子20の外部に対する屈折率差を小さくすることができるため、光取出し効率をさらに向上させることができる。なお、図4に示すように本実施形態においては、透光層4は第1透過層4a、第2透過層4b、第3透過層4c、第4透過層4dにより構成されており、屈折率は第1透過層4aから第4透過層4dまで順次小さくなるように形成されている。
このように透光層4が形成されている場合、最外層である第4透過層4dは、透明電極9より小さい屈折率の材料により形成されていることが好ましい。透光層4を構成する複数層のうち最外層の屈折率を透明電極9より小さく形成することにより、透光層4を設けずに透明電極9から光を取り出す場合と比較して、外部との屈折率差をより小さくすることができる。その結果、外部との界面において全反射される光を少なくすることができ、光取出し効率を向上させることができる。
さらに、透光層4を構成する複数層のうちそれぞれの層に、散乱体5を含有することによりそれぞれの層で光取出し効率を向上させることができる。具体的には、第1透過層4aと第2透過層4bとの界面S1、第2透過層4bと第3透過層4cとの界面S2、第3透過層4cと第4透過層4dとの界面S3、第4透過層4dと外部との界面S4において透明電極9側へ全反射した光の進行方向を、散乱体5により全反射させて上方へ変えることができる。その結果、透光層4と外部との屈折率差を小さくしつつ、透光層4のうち隣接する界面で全反射した光の進行方向を上方へ全反射させることができることから、光取出し効率をより向上させることができる。
なお、このように透光層4が複数の層により形成されている場合、いずれかの層に散乱体5が含有されていればよい。より好ましくは、透光層4が複数層により構成されている場合、最下層である第1透過層4aに散乱体5を含有させる。最下層に散乱体5を含有させることにより、図5に示すように、透光層4を構成する複数層のうち、最下層より上方に形成された隣接する2つの層の界面で透明電極9側に全反射された光11の進行方向を、散乱体5により上方へ全反射させることができる。具体的には、界面S1、界面S2、界面S3、界面S4において透明電極9側に全反射される光の進行方向を、第1透過層4aに含有される散乱体5によって上方に全反射させて変えることができる。その結果、透明電極9に戻る光を取出すことができ、光取出し効率を向上させることができる。
<発光素子の製造方法>
(光半導体素子準備工程)
図6に示すように、光半導体素子として基板1上に、第1半導体層2a、発光素子2b及び第2半導体層2cとを順次積層した光半導体層2が形成される。光半導体層2の成長方法としては、分子線エピタキシー(Molecular Beam Epitaxy、略称MBE)法、有機金属エピタキシー(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy、略称MOVPE)法、ハイドライド気相成長(Hydride Vapor Phase Epitaxy、略称HVPE)法またはパルスレーザデポジション(Pulsed Laser Deposition、略称PLD)法などが用いられる。さらに、本実施形態においては、かかる光半導体層2上に透明電極9が形成されている。
(光半導体素子準備工程)
図6に示すように、光半導体素子として基板1上に、第1半導体層2a、発光素子2b及び第2半導体層2cとを順次積層した光半導体層2が形成される。光半導体層2の成長方法としては、分子線エピタキシー(Molecular Beam Epitaxy、略称MBE)法、有機金属エピタキシー(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy、略称MOVPE)法、ハイドライド気相成長(Hydride Vapor Phase Epitaxy、略称HVPE)法またはパルスレーザデポジション(Pulsed Laser Deposition、略称PLD)法などが用いられる。さらに、本実施形態においては、かかる光半導体層2上に透明電極9が形成されている。
(透光層形成工程)
その後、透明電極9の主面9A上に、散乱体5を含有する透光層4を形成する。散乱体5を含有する透光層4を作製するために、透光層4となる溶液および散乱体5となる粒子を混ぜた混合溶液7を作製する。次に、このような混合溶液7を、図7に示すように、透明電極9の主面9A上に滴下して基板1を回転させることにより、透明電極9上に混合溶液7をスピンコートする。その後、スピンコートした膜を乾燥させることにより、図8に示すような膜厚t1の透光層4を透明電極9上に形成することができる。また、スピンコートにより透光層4を形成する場合、スピンコート時の回転速度を調整することにより透光層4の膜厚t1を変化させることができる。なお、透光層4が複数層で形成されている場合には、スピンコートと乾燥を繰り返すことにより形成すればよい。
その後、透明電極9の主面9A上に、散乱体5を含有する透光層4を形成する。散乱体5を含有する透光層4を作製するために、透光層4となる溶液および散乱体5となる粒子を混ぜた混合溶液7を作製する。次に、このような混合溶液7を、図7に示すように、透明電極9の主面9A上に滴下して基板1を回転させることにより、透明電極9上に混合溶液7をスピンコートする。その後、スピンコートした膜を乾燥させることにより、図8に示すような膜厚t1の透光層4を透明電極9上に形成することができる。また、スピンコートにより透光層4を形成する場合、スピンコート時の回転速度を調整することにより透光層4の膜厚t1を変化させることができる。なお、透光層4が複数層で形成されている場合には、スピンコートと乾燥を繰り返すことにより形成すればよい。
(電極形成工程)
次に、第1半導体層2aと電気的に接続される第1電極3と、第2半導体層2cと電気的に接続される第2電極6と、を形成する。まず、図9に示すように、第1電極3を形成するために、第1半導体層2aの一部が露出する第1露出部21を形成する。このような第1露出部21は、第1半導体層2aの一部が露出されるように、例えば透光層4の一部を深さ方向にエッチングすることにより形成することができる。
次に、第1半導体層2aと電気的に接続される第1電極3と、第2半導体層2cと電気的に接続される第2電極6と、を形成する。まず、図9に示すように、第1電極3を形成するために、第1半導体層2aの一部が露出する第1露出部21を形成する。このような第1露出部21は、第1半導体層2aの一部が露出されるように、例えば透光層4の一部を深さ方向にエッチングすることにより形成することができる。
さらに、第2電極6を形成するために、透明電極9の主面9Aの一部が露出する第2露出部22を形成する。このような第2露出部22は、透明電極9の主面9Aが露出されるように透光層4の一部を例えば深さ方向にエッチングすることにより形成することができる。
その後、図10に示すように、第1露出部21および第2露出部22の一部に第1電極3および第2電極6となる材料を蒸着やスパッタなどの方法により形成する。
1 基板
2 半導体層
2a 第1半導体層
2b 活性層
2c 第2半導体層
3 第1電極
4 透光層
5 散乱体
6 第2電極
7 混合溶液
9 透明電極
15 外部配線用電極
16 パッケージ体
17 バンプ
20 発光素子
21 第1露出部
22 第2露出部
2 半導体層
2a 第1半導体層
2b 活性層
2c 第2半導体層
3 第1電極
4 透光層
5 散乱体
6 第2電極
7 混合溶液
9 透明電極
15 外部配線用電極
16 パッケージ体
17 バンプ
20 発光素子
21 第1露出部
22 第2露出部
Claims (6)
- 光を発する光半導体素子と、
前記光半導体素子上に形成され、前記光半導体素子の屈折率より大きい屈折率を有し、前記光半導体素子で発光した光が進入する透光層と、
前記透光層中に含有され、前記透光層を構成する材料の屈折率より小さい屈折率を有する散乱体と、を備えた発光素子。 - 前記光半導体素子と前記透光層との間に、前記光半導体素子で発光した光を通す透明電極を有し、
前記透光層は前記透明電極の屈折率より大きい屈折率を有する請求項1に記載の発光素子。 - 前記透光層は屈折率が異なる複数層からなり、前記透光層は下方から上方に向けて屈折率が順次小さくなる請求項1または2に記載の発光素子。
- 前記散乱体は、前記透光層の全ての層に含有されている請求項1〜3のいずれかに記載の発光素子。
- 前記光半導体素子と接する前記透光層の最下層中に、前記散乱体が含有されている請求項1〜4のいずれかに記載の発光素子。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の発光素子と、前記発光素子が実装されるパッケージ体と、を備えた発光装置。
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JP (1) | JP2011091195A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015002232A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 株式会社ディスコ | 発光デバイス |
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-
2009
- 2009-10-22 JP JP2009243299A patent/JP2011091195A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015002232A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 株式会社ディスコ | 発光デバイス |
WO2017212766A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 日機装株式会社 | 深紫外発光素子 |
JP2017220535A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 日機装株式会社 | 深紫外発光素子 |
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