JP2011084446A - カーボンナノチューブ剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板やCNT(カーボンナノチューブ)が損傷しない、不純物の混入などの不具合が無い、周囲への環境汚染が無い、などでCNTを基板から剥離できる方法を提供する。
【解決手段】所定密閉空間11内にCNT7付きの基板1を設置する第1ステップと、上記空間11内の圧力を105kPa以上、200kPa以下に設定する第2ステップと、上記空間11内の基板1に対して温度110℃以上、120℃以下の高温水を噴射する第3ステップと、を含む。
【選択図】図2
【解決手段】所定密閉空間11内にCNT7付きの基板1を設置する第1ステップと、上記空間11内の圧力を105kPa以上、200kPa以下に設定する第2ステップと、上記空間11内の基板1に対して温度110℃以上、120℃以下の高温水を噴射する第3ステップと、を含む。
【選択図】図2
Description
本発明は、基板表面からカーボンナノチューブ(以下、CNT)を剥離する方法に関するものである。
CNTは、電子エミッタ材料、水素吸蔵体、高容量キャパシタ材料、二次電池または燃料電池の電極材料、電磁波吸収材料、医薬用ナノカプセル、MRI造影剤、等に汎用されつつある。このCNTは、前記用途の拡大に伴いその需要も多くなってきている。このようなCNTを基板上に形成する方法の1つにいわゆる基板触媒法がある。この基板触媒法は、熱CVD法の1つであり、炭素含有ガスに接触反応する触媒金属微粒子を基板上に分散させ、この触媒金属微粒子を成長核としてCNTを成長させるものである。CNTは、その原料として供給された炭素原子が触媒金属微粒子と接触反応して該触媒金属微粒子表面に析出することによってグラファイト構造に配列し、かつそれがチューブ状に成長することで形成される。こうして触媒金属微粒子上に成長したCNTは、CNTの量産性を高めるために、基板上からCNTを、へらや、スクレーパ、等の治具で掻き落とすなどして剥離して回収する。
しかしながら、上記回収ではCNTを治具で剥離するに際して剥離により加わる機械的な応力で基板やCNTの損傷、不純物の混入、などの不具合がある。
なお、CNTを触媒に未反応のガス圧により基板から剥離する技術が開示された特許文献1を下記する。この特許文献1ではCNTをガス圧により基板から剥離して集合体を構成したものであるから、集合体を構成するCNTは基板や従来の治具等により汚染されておらず、その上、CNT同士の凝集や個々のCNTに屈曲等が無いか有っても極めて少なく、損傷が無いか有っても極めて少なくかつ高純度なカーボンファイバの集合体を構成することができる、とされている。
また、被洗浄物を70〜80℃の高温で20〜40kg/cm2の圧力の高温高圧水で設定時間吹き付けて被洗浄物に付着した粉塵や油分を有効に除去するなどにより洗浄する技術が開示された特許文献2を下記する。
なお、特許文献3には超音波攪拌によりCNTを剥離する技術が開示されている。
そこで、本発明において解決すべき課題は、基板やCNTが損傷することなく、不純物の混入などの不具合無く、CNTを基板から剥離できるようにすることである。
また、本発明においては上記課題の解決に際して、特許文献1によるガス圧で剥離する方法とは異なり、高温高圧水でCNTを剥離しようとするものである。また、特許文献2では、高温高圧水を被洗浄物に吹き付ける技術が開示されているものの、この技術をCNT剥離に適用したとしても、高温高圧水吹き付け後に乾燥工程を必要としたり、また、密集配列しているCNT間に高温高圧水が入り込みにくく効果的に剥離できないこと、などの課題がある。
本発明では、上記課題に加えて、上記高温高圧水を吹き付けてCNTを剥離後に乾燥工程を必要としないこと、また、密集配列状態のCNT間に高温高圧水が入り込んで効果的に剥離できるようにすること、などを解決すべき他の課題としている。
また、特許文献3では溶剤や超音波エネルギでCNTを剥離するという技術が開示されている。しかしながら、この特許文献3では、溶剤が必要であり、剥離後に洗浄作業が必要となる。
本発明では、上記課題に加えて、剥離後に洗浄作業を必要としないようにすることを解決すべき他の課題としている。
本発明第1によるCNT剥離方法は、所定密閉空間内にCNT付きの基板を設置する第1ステップと、上記空間内の圧力を105kPa以上、200kPa以下に設定する第2ステップと、上記空間内の基板に対して温度110℃以上、120℃以下の高温水を噴射する第3ステップと、を含むことを特徴とするものである。
本発明第1では、へらや、スクレーパ等の治具を用いず、高温高圧水を吹き付けてCNTを剥離するので、基板やCNTが損傷することなく、不純物の混入などの不具合無く、また、湿式であることにより周囲への環境汚染無く、CNTを基板から剥離できる。
特に、本発明第1では、圧力105kPa以上、200kPa以下の閉じられた空間内でCNT付き基板に対して温度110℃以上、120℃以下の高温水を吹き付けるので、剥離後に大気圧に戻すと、高温水は蒸発する結果、剥離後に乾燥工程を必要としない。また、高温水は温度100℃以上であるので、その粘度は0.2〜0.282cp以下の低粘度となる結果、CNTが基板上に密集配列していても高温水はそれらCNTの隙間に容易に入り込んで基板上からCNTを剥離させることができるようになる。
好ましくは、上記高温水の基板への噴射圧を基板が損傷しない圧力以下でCNTの剥離に要する圧力以上に制御する第4ステップ、を含む。
好ましくは、第4ステップの圧力は200kPa以上、500kPa以下である。
好ましくは、上記閉じられた空間内圧力は105kPa以上である。
上記閉じられた空間内圧力が105kPa以上では剥離終了後、大気圧に戻した際に、水分が短時間で揮発することにより好ましい。
好ましくは、上記高温水温度は110℃以上である。上記高温水温度が110℃以上では粘度および表面張力の低下によるCNT膜への浸透性により好ましい。
本発明第2のCNT剥離方法は、所定密閉空間内にCNT付きの基板を設置するステップと、上記空間内を圧力105kPa以上、200kPa以下に設定するステップと、上記空間内に温度110℃以上、120℃以下の高温水を供給して該高温水中に上記基板を浸漬させるステップと、上記高温水を周波数20kHz以上、950kHz以下で超音波振動させるステップ、を含むことを特徴とするものである。
上記空間内圧力が105kPa未満では低温ゆえ大気圧に戻した際に揮発しない。200kPa超では吹き付け圧力を高く設定することとなり、CNT付き基板が破損する恐れがある。
上記超音波振動周波数が20kHz未満および950kHz超では振動剥離効果が得られにくい。
上記圧力は、より好ましくは、105kPa以上、200kPa以下である。
上記高温水温度は、より好ましくは、110℃以上、120℃以下である。
この超音波振動周波数は、より好ましくは、28kHz以上、40kHz以下である。
本発明第2では、圧力105kPa以上で閉じられかつ温度110℃以上の高温水がある空間内にCNT付き基板を浸漬配置し、その高温水を周波数20kHz以上で超音波振動させるようにしたので、基板上にCNTが密集配列していても各CNTの隙間に入り込んで基板からCNTを容易に剥離させやすく、また、有機溶剤を用いずにCNTを剥離できるうえ、剥離したCNTを上記空間内から大気圧に取り出すと、CNTに付着していた水は蒸発するため、CNTを乾燥させる工程を経る必要がなく、効率的にかつ安価にCNTを剥離回収することができる。
本発明によれば、基板やCNTが損傷することなく、不純物の混入などの不具合無く、また、周囲への環境汚染無く、CNTを基板から剥離できる。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係るCNT剥離方法を説明する。図1に、基板上に成長したCNTを示す。実施の形態ではカーボンファイバの一例としてCNTで説明するが、本発明ではCNTに限定するものではなく、グラファイトナノファイバ、カーボンナノホーン、カーボンナノコーン、カーボンナノバンブ、等を例示することができる。本実施の形態では、基板触媒法により基板上に成長したCNTを基板上から剥離し、回収する方法に関するものである。基板触媒法は、炭素含有ガスに接触反応する触媒金属微粒子を基板上に分散させ、この触媒金属微粒子を成長核としてCNTを成長させるものである。炭素含有ガスとしてはメタン、アセチレン、エチレン、ベンゼン等を例示することができる。触媒としてはFe、Ni、Co等を例示することができる。実施の形態では、基板上に触媒作用が無い金属系触媒からなる下地膜を成膜し、この下地膜上に触媒作用が有る金属系触媒からなる触媒膜を成膜した基板を用いる。図1を参照して、基板1上には熱シリコン酸化膜3が形成されている。この基板1上には熱シリコン酸化膜3を介して基板触媒法により触媒金属微粒子5が形成されている。そしてCNT7は炭素含有ガス雰囲気中において触媒金属微粒子5を成長核として生成される。図1で示すようにCNT7は基板1上に密集状態で成長している。
図2に本発明の実施の形態にかかるCNT剥離方法の実施に用いるCNT剥離・回収装置の構成を示す。図2で示すように、実施の形態のCNT剥離・回収装置9は、圧力105kPa以上の閉じられたチャンバ空間11と、CNT剥離装置13と、CNT回収装置15と、を備える。チャンバ空間11内には、基板触媒法により製造したCNT7付きの基板1が設置される。
CNT剥離装置13は、高温水タンク13aと、高温水供給管13bと、噴射ノズル13cと、を有する。高温水タンク13aは、温度110℃以上の高温水が蓄えられている。高温水タンク13aには高温水供給管13bの一端側が接続されている。高温水供給管13bの他端側には、噴射ノズル13cが接続されている。
噴射ノズル13cからは110℃以上の高温水が噴射される。この噴射ノズル13cにおける高温水噴射圧力は、基板1を損傷しない圧力以下でCNT剥離に要する圧力以上の圧力で噴射されるようになっている。具体的には噴射ノズル13cにおける高温水噴射圧力は、損傷しない圧力としては、好ましくは500kPa以下で、CNT剥離に要する圧力としては、好ましくは200kPa以上、の圧力が好ましい。
高温水タンク13aは、図3で示すように、タンク部13a1、加熱部13a2、温度制御ダイヤル13a3、噴射圧制御ダイヤル13a4、ポンプ部13a5を備える。温度制御ダイヤル13a3のダイヤル操作に応じて加熱部13a2が駆動されて高温水タンク13a内の水を加熱して所望する温度の高温水16に制御する。噴射圧制御ダイヤル13a4のダイヤル操作に応じてポンプ部13a5を駆動して噴射ノズル13cから所望する噴射圧でもって基板1上のCNT7の基部に向けて高温水16を噴射する。
CNT回収装置15は、吸引ノズル15a、吸引管15b、吸引回収機15cを備え、CNT剥離装置13によるCNT剥離動作と連動して吸引回収機15cが作動し、CNT剥離装置13により基板1上から剥離したCNT7を吸引ノズル15aから吸引し、吸引管15bを介して、吸引回収機15cで回収することができるようになっている。
以上のCNT剥離方法においては、チャンバ空間11内の圧力を105kPa以上、かつ噴射ノズル13cから噴射される高温水温度を110℃以上とすることが好ましく、高温水タンク13aの温度制御ダイヤル13a3を操作すると共に、噴射圧制御ダイヤル13a4をダイヤル操作して、基板1に吹き付ける高温水の噴射圧を基板1が損傷しない圧力以下でCNT7の剥離に要する圧力以上に制御する。
そして、以上の制御下において、図4(a)ないし図4(d)で示すように、内圧105kPa以上のチャンバ空間11内において、噴射ノズル13cから基板1上のCNT7の基部に向けて110℃以上の高温水を噴射しつつ図中左方向に移動させ、この移動に同期して、吸引ノズル15aも同方向に移動させて、基板1上から剥離したCNT7を当該吸引ノズル15aで吸引し、回収する。
以上により、基板1からは、CNT7が剥離されるが、この剥離においては、へらや、スクレーパ等の治具を用いず、高温水を圧力制御してCNT7に吹き付けて該CNT7を剥離するので、基板1やCNT7が損傷することなく、不純物の混入などの不具合無く、また、湿式であることにより周囲への環境汚染無く、CNT7を基板1から剥離できる。また、本実施の形態では、圧力105kPa以上の閉じられたチャンバ空間11内でCNT7付き基板1に対して温度110℃以上の高温水を吹き付けるので、剥離後に大気圧に戻すと、高温水は蒸発する結果、剥離後に乾燥工程を必要としない。また、高温水は温度100℃以上であるので、その粘度は0.28cp以下の低粘度となる結果、CNT7が基板1上に密集配列していても高温水はそれらCNT7の隙間に容易に入り込んで基板1上からCNT7を容易に剥離させることができるようになる。
図5を参照して本発明の他の実施の形態を説明する。この実施の形態にかかるCNT剥離方法に用いる剥離装置17は、高温水チャンバ19と、高温水チャンバ冷却器21、超音波発振器23を備える。高温水チャンバ19は、内部圧力が105kPa以上の所定圧力に加圧されると共に、内部に110℃以上の高温水が貯留されている。高温水チャンバ19には循環送り口19aと循環戻し口19bとから高温水が循環するようになっている。循環戻し口19bにはフィルタ19cが設けられている。
以上の装置17において、高温水チャンバ19内に基板1を配置し、次いで、高温水チャンバ19内にその循環送り口19aから上記温度の高温水を供給する一方で循環戻し口19bから高温水を戻しつつ、内圧を図示略の圧力調整器により上記所定圧力に圧力調整する。そして、超音波発振器23を駆動して、高温水チャンバ19内の高温水を超音波振動させる。この場合の超音波振動数は20〜950kHzがCNT剥離効果が期待できる理由により好ましいが、超音波振動数が28kHz以上では音波による騒音を軽減できる理由により、より好ましく、また超音波振動数は40kHz以下では外部へのノイズなどのトラブルを軽減できる理由により、より好ましい。
なお、高温水チャンバ19内圧力は105kPa以上、200kPa以下に設定し、また、高温水チャンバ19内温度は、110℃以上、120℃以下の高温水を供給することが好ましい。
実施の形態では、高温水チャンバ19内を、高温高圧とした状態で超音波振動により、基板1からCNT7が剥離するようにしたので、基板1上にCNTが密集配列していても各CNTの隙間に入り込んで基板からCNTを剥離させやすく、また、有機溶剤を用いずにCNTを剥離できるうえ、剥離したCNTを高温水チャンバ19内から大気圧に取り出すと、CNTに付着していた水は蒸発するため、CNTを乾燥させる必要がない。
1 基板
7 CNT
11 チャンバ空間
13 CNT剥離装置
15 CNT回収装置
7 CNT
11 チャンバ空間
13 CNT剥離装置
15 CNT回収装置
Claims (5)
- 所定密閉空間内にCNT付きの基板を設置する第1ステップと、
上記空間内の圧力を105kPa以上、200kPa以下に設定する第2ステップと、
上記空間内の基板に対して温度110℃以上、120℃以下の高温水を噴射する第3ステップと、
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブ剥離方法。 - 上記高温水の基板への噴射圧を基板が損傷しない圧力500kPa以下でCNTの剥離に要する圧力200kPa以上に制御する第4ステップ、を含むことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ剥離方法。
- 上記閉じられた空間内圧力は105kPa以上である、請求項1または2に記載の方法。
- 上記高温水温度は110℃以上である、請求項1ないし3のいずれかに記載の方法。
- 所定密閉空間内にCNT付きの基板を設置するステップと、
上記空間内を圧力105kPa以上、200kPa以下に設定するステップと、
上記空間内に温度110℃以上、120℃以下の高温水を供給して該高温水中に上記基板を浸漬させるステップと、
上記高温水を周波数20kHz以上、950kHz以下で超音波振動させるステップと
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブ剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009240098A JP2011084446A (ja) | 2009-10-19 | 2009-10-19 | カーボンナノチューブ剥離方法 |
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JP (1) | JP2011084446A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2012137409A1 (en) | 2011-04-06 | 2012-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Gripping device |
JP2013159533A (ja) * | 2012-02-07 | 2013-08-19 | Ihi Corp | カーボンナノウォールの剥離方法及びカーボンナノウォールの回収方法 |
JP2014152049A (ja) * | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Hitachi Zosen Corp | カーボンナノチューブの剥離装置 |
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2009
- 2009-10-19 JP JP2009240098A patent/JP2011084446A/ja active Pending
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