JP2011077165A - 光検出素子、光検出装置及び赤外線検出素子、赤外線検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射した赤外線IRを他の波長帯域の光に変換すると共に、他の波長帯域に変換された光を検出する赤外線検出素子10において、赤外線検出素子10の受光面に凹凸構造28を設けると共に、受光面以外の赤外線検出素子10の外周面を金属膜24で覆い、凹凸構造28を透過して、素子内部に入射した光を、金属膜24で反射すると共に、金属膜24で反射した光を凹凸構造28で反射し、他の波長帯域に変換された光を金属膜24と凹凸構造28との間で反射し、入射した赤外線IR及び他の波長帯域に変換された光をセル11内部に閉じ込めるようにした。
【選択図】図1
Description
光を検出する光検出素子において、
当該光検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該光検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
前記凹凸構造を透過して、当該光検出素子内部に入射した光を、前記金属膜で反射すると共に、前記金属膜で反射した光を前記凹凸構造で反射して、入射した光を当該光検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする。
入射した光を他の波長帯域の光に変換すると共に、他の波長帯域に変換された光を検出する光検出素子において、
当該光検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該光検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
他の波長帯域に変換された光を前記凹凸構造と前記金属膜との間で反射し、他の波長帯域に変換された光を当該光検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする。
入射した光を他の波長帯域の光に変換すると共に、他の波長帯域に変換された光を検出する光検出素子において、
当該光検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該光検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
前記凹凸構造を透過して、当該光検出素子内部に入射した光を、前記金属膜で反射すると共に、前記金属膜で反射した光を前記凹凸構造で反射し、他の波長帯域に変換された光を前記凹凸構造と前記金属膜との間で反射し、入射した光及び他の波長帯域に変換された光を当該光検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする。
上記第1〜第3のいずれか1つの発明に記載の光検出素子において、
前記外周面を前記受光面に対して傾斜して形成すると共に、傾斜して形成した前記外周面を覆うように前記金属膜を設けたことを特徴とする。
上記第1〜第4のいずれか1つの発明に記載の光検出素子を使用することを特徴とする。
入射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光を、近赤外線から可視光の帯域の光に変換すると共に、変換された赤外線から可視光の帯域の光を検出する赤外線検出素子において、
当該赤外線検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該赤外線検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
前記凹凸構造を透過して、当該赤外線検出素子内部に入射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光を、前記金属膜で反射すると共に、前記金属膜で反射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光を前記凹凸構造で反射し、変換された赤外線から可視光の帯域の光を前記凹凸構造と前記金属膜との間で反射し、入射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光及び変換された赤外線から可視光の帯域の光を当該赤外線検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする。
上記第6の発明に記載の赤外線検出素子において、
前記外周面を前記受光面に対して傾斜して形成すると共に、傾斜して形成した前記外周面を覆うように前記金属膜を設けたことを特徴とする。
上記第6又は第7の発明に記載の赤外線検出素子において、
入射する遠赤外線から中赤外線の帯域の光を、二酸化炭素の吸収波長である4.257μmを含む4〜4.5μmの波長域の赤外線としたことを特徴とする。
上記第6〜第8のいずれか1つの発明に記載の赤外線検出素子を使用することを特徴とする。
光電流生成層15は、多重量子井戸構造又は多重の量子ドット構造からなる。例えば、多重量子井戸構造とする場合には、障壁層と量子井戸となる井戸層を用い、障壁層の間に井戸層を挟み込むと共に、これらを多重に積層している。これは、所謂、QWIPと同等の構造のものであり、例えば、障壁層がAlGaAs、井戸層がGaAsからなる超格子構造である。又、多重の量子ドット構造とする場合には、障壁層と量子井戸となる量子ドットを用い、多数の量子ドットを障壁層で埋め込むと共に、これらを多重に積層している。これは、所謂、QDIPと同等の構造のものであり、例えば、障壁層がAlGaAs、量子ドットがInAsからなる構造である。
図2に示すように、赤外線検出素子10の受光面に対して垂直に入射してくる赤外線IRは、凹凸構造28の傾斜面28bで屈折して、当初の垂直入射角に対し傾斜した角度でセル11側へ入射することになる。このように、垂直に入射してくる赤外線IRを屈折させて、セル11の光電流生成層15に対し傾斜した角度で入射することにより、光電流生成層15における赤外線IRの実効的な光路長(光電流生成層15での吸収、感度に寄与する光路長)を大きくして、その吸収効率、即ち、感度を向上させることができる。
上述したように、発光層16で発光した近赤外線〜可視光は、主に、セル11の積層方向に放出される。光吸収層18側へ放出された光L1は、光吸収層18へ直接入射し、光吸収層18において、その強度が検出されることになる。更に、光吸収層18を透過した光L1は、セル11の端部に形成された電極部20で反射して、再び、光吸収層18に入射し、その強度が検出されることになる。これにより、光吸収層18における光L1の実効的な光路長(光吸収層18での吸収、感度に寄与する光路長)を大きくして、その吸収効率、即ち、感度を向上させることができる。
本実施例の赤外線検出装置は、赤外線検出素子10と、赤外線検出素子の入射面側に設けられた光学系31と、赤外線検出素子10を駆動し、制御するセンサ駆動部32と、赤外線検出素子10で検出した画像信号の処理を行う画像信号処理部33と、センサ駆動部32及び画像信号処理部33を制御するデジタル制御回路34と、デジタル制御回路34により制御されると共に、赤外線検出素子10の冷却を行う冷却系35とを有するものである。
11 セル
12 基板
13、17 コンタクト層
15 光電流生成層
16 発光層
18 光吸収層
19 増幅層
20、21、22 電極部
23 保護膜
24 金属膜
25、26、27 電極端子
28 凹凸構造
Claims (9)
- 光を検出する光検出素子において、
当該光検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該光検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
前記凹凸構造を透過して、当該光検出素子内部に入射した光を、前記金属膜で反射すると共に、前記金属膜で反射した光を前記凹凸構造で反射して、入射した光を当該光検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする光検出素子。 - 入射した光を他の波長帯域の光に変換すると共に、他の波長帯域に変換された光を検出する光検出素子において、
当該光検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該光検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
他の波長帯域に変換された光を前記凹凸構造と前記金属膜との間で反射し、他の波長帯域に変換された光を当該光検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする光検出素子。 - 入射した光を他の波長帯域の光に変換すると共に、他の波長帯域に変換された光を検出する光検出素子において、
当該光検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該光検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
前記凹凸構造を透過して、当該光検出素子内部に入射した光を、前記金属膜で反射すると共に、前記金属膜で反射した光を前記凹凸構造で反射し、他の波長帯域に変換された光を前記凹凸構造と前記金属膜との間で反射し、入射した光及び他の波長帯域に変換された光を当該光検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする光検出素子。 - 請求項1から請求項3にいずれか1つに記載の光検出素子において、
前記外周面を前記受光面に対して傾斜して形成すると共に、傾斜して形成した前記外周面を覆うように前記金属膜を設けたことを特徴とする光検出素子。 - 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の光検出素子を使用することを特徴とする光検出装置。
- 入射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光を、近赤外線から可視光の帯域の光に変換すると共に、変換された赤外線から可視光の帯域の光を検出する赤外線検出素子において、
当該赤外線検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該赤外線検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、
前記凹凸構造を透過して、当該赤外線検出素子内部に入射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光を、前記金属膜で反射すると共に、前記金属膜で反射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光を前記凹凸構造で反射し、変換された赤外線から可視光の帯域の光を前記凹凸構造と前記金属膜との間で反射し、入射した遠赤外線から中赤外線の帯域の光及び変換された赤外線から可視光の帯域の光を当該赤外線検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項6に記載の赤外線検出素子において、
前記外周面を前記受光面に対して傾斜して形成すると共に、傾斜して形成した前記外周面を覆うように前記金属膜を設けたことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項6又は請求項7に記載の赤外線検出素子において、
入射する遠赤外線から中赤外線の帯域の光を、二酸化炭素の吸収波長である4.257μmを含む4〜4.5μmの波長域の赤外線としたことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項6から請求項8のいずれか1つに記載の赤外線検出素子を使用することを特徴とする赤外線検出装置。
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