JP2011075798A - Display device - Google Patents

Display device Download PDF

Info

Publication number
JP2011075798A
JP2011075798A JP2009226688A JP2009226688A JP2011075798A JP 2011075798 A JP2011075798 A JP 2011075798A JP 2009226688 A JP2009226688 A JP 2009226688A JP 2009226688 A JP2009226688 A JP 2009226688A JP 2011075798 A JP2011075798 A JP 2011075798A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic
sealing member
thin plate
layer
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009226688A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshinobu Ono
善伸 小野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Chemical Co Ltd filed Critical Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority to JP2009226688A priority Critical patent/JP2011075798A/en
Publication of JP2011075798A publication Critical patent/JP2011075798A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/8794Arrangements for heating and cooling

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device which includes a mechanism of efficiently releasing heat accumulated in the device to the outside, in the display device having configuration in which light emitted from an organic EL element exits through a sealing member. <P>SOLUTION: The display device includes: a drive substrate in which a driving circuit is formed; a plurality of organic EL elements which are provided on the drive substrate and emit light at the side opposite to the drive substrate side; and a sealing member which is provided to cover the plurality of organic EL elements and which exhibits optical transparency. The drive circuit includes a conductive thin plate provided generally perpendicular to the thickness direction of the drive substrate. The plurality of organic EL elements are each arranged at a position overlapping the conductive thin plate viewed from one side of the thickness direction of the drive substrate. The sealing member includes thermally conductive linear wires arranged by distributing the same. The thermally conductive wire has a diameter of 0.4 μm or less and higher thermal conductivity than the remainders except the thermally conductive wires among the things constituting the sealing member. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は画素の光源として有機EL素子を用いた表示装置(以下、有機EL表示装置ということがある。)に関する。   The present invention relates to a display device using an organic EL element as a light source of a pixel (hereinafter sometimes referred to as an organic EL display device).

薄型の表示装置(FPD:Flat Panel Display)の1つとして有機EL表示装置が実用化されつつある。現在この有機EL表示装置に関して、寿命特性や発光特性などの向上を目的とした研究開発が行われている。なお「EL」は「エレクトロルミネッセンス(Electro Luminescence)」の略称である。   An organic EL display device is being put into practical use as one of thin display devices (FPD: Flat Panel Display). Currently, research and development for improving the lifetime characteristics and light emission characteristics of the organic EL display devices are being conducted. “EL” is an abbreviation for “Electro Luminescence”.

有機EL表示装置を使用する際には、有機EL素子や駆動回路などが発熱するため、装置内部の温度が上昇する。有機EL素子は高温状態で駆動するとその素子寿命が低下するため、低温状態での駆動が望まれる。そこで表示装置を使用する際に生じる熱を積極的に外界に放熱する機構を有機EL表示装置に設けることが検討されている。   When an organic EL display device is used, the organic EL element and the drive circuit generate heat, and the temperature inside the device rises. When the organic EL element is driven at a high temperature, the lifetime of the element is reduced. Therefore, driving at a low temperature is desired. Thus, it has been studied to provide a mechanism for positively dissipating heat generated when using the display device to the outside in the organic EL display device.

有機EL表示装置には通常、有機EL素子を封止するための封止部材が設けられるが、この封止部材の放熱性を高めることにより有機EL素子の温度上昇を抑制する表示装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。従来の技術では封止部材を多層構造のものとし、封止部材の一層として高い熱伝導性を有する層(以下、伝熱層ということがある)を設けることにより封止部材の放熱性を高めている。   The organic EL display device is usually provided with a sealing member for sealing the organic EL element, and a display device that suppresses the temperature rise of the organic EL element by improving the heat dissipation of the sealing member has been proposed. (For example, refer to Patent Document 1). In the prior art, the sealing member has a multilayer structure, and a layer having high thermal conductivity (hereinafter, also referred to as a heat transfer layer) is provided as one layer of the sealing member to enhance the heat dissipation of the sealing member. ing.

特開2005−31083号公報JP-A-2005-31083

表示装置を使用する際には、有機EL素子だけでなくこれを駆動する駆動回路も発熱する。このような発熱に対して、従来の伝熱層の放熱効果は十分ではなく、装置内部の温度上昇およびこれに起因する素子寿命の低下を十分に抑制することができないという問題がある。   When the display device is used, not only the organic EL element but also a drive circuit for driving the element generates heat. With respect to such heat generation, the heat dissipation effect of the conventional heat transfer layer is not sufficient, and there is a problem that a temperature rise inside the apparatus and a decrease in element lifetime due to this cannot be sufficiently suppressed.

また従来の伝熱層は金、銀、銅などの熱伝導率の高い材料によって構成されているが、これらは通常不透明なものである。そのため有機EL素子から放射される光が封止部材を通って出射する構成(いわゆるトップエミッション型)の表示装置に従来の伝熱層を適用するためには、伝熱層の層厚を極めて薄く(層厚10nm以下)して、伝熱層を半透明な層にする必要がある。しかしながら伝熱層を極めて薄くした場合には伝熱効果も小さくなるため、伝熱層としての機能を効果的に発揮することができなくなるという問題がある。   The conventional heat transfer layer is made of a material having high thermal conductivity such as gold, silver or copper, but these are usually opaque. Therefore, in order to apply a conventional heat transfer layer to a display device in which light emitted from an organic EL element is emitted through a sealing member (so-called top emission type), the layer thickness of the heat transfer layer is extremely thin. (The layer thickness is 10 nm or less), and the heat transfer layer needs to be a translucent layer. However, when the heat transfer layer is made extremely thin, the heat transfer effect is also reduced, and there is a problem that the function as the heat transfer layer cannot be effectively exhibited.

従って本発明の目的は、有機EL素子から放射される光が封止部材を通って出射する構成の表示装置において、装置内に滞留する熱を効率的に外部に放熱することのできる機構を備える表示装置を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is a display device configured to emit light emitted from an organic EL element through a sealing member, and includes a mechanism capable of efficiently dissipating heat accumulated in the device to the outside. It is to provide a display device.

本発明は、駆動回路が形成された駆動用基板と、
前記駆動用基板に設けられ、前記駆動回路により駆動されて前記駆動用基板側とは反対側に光を出射する複数の有機EL素子と、
前記駆動用基板に設けられた前記複数の有機EL素子を覆って設けられる光透過性を示す封止部材とを備える表示装置であって、
前記駆動回路は、前記駆動用基板の厚み方向に略垂直に設けられる導電性薄板を備え、
前記複数の有機EL素子は、前記駆動用基板の厚み方向の一方から見て前記導電性薄板に重なる位置にそれぞれ配置され、
前記封止部材は、分散して配置される線状の熱伝導性ワイヤを含み、
前記熱伝導性ワイヤは、径が0.4μm以下であり、封止部材を構成するもののうちで前記熱伝導性ワイヤを除く残余のものよりも熱伝導率が高い表示装置に関する。
The present invention includes a driving substrate on which a driving circuit is formed,
A plurality of organic EL elements provided on the driving substrate and driven by the driving circuit to emit light to the side opposite to the driving substrate;
A display device comprising: a light-transmissive sealing member provided to cover the plurality of organic EL elements provided on the driving substrate;
The drive circuit includes a conductive thin plate provided substantially perpendicular to the thickness direction of the drive substrate,
The plurality of organic EL elements are respectively disposed at positions overlapping the conductive thin plate when viewed from one of the thickness directions of the driving substrate.
The sealing member includes linear heat conductive wires arranged in a dispersed manner,
The thermal conductive wire has a diameter of 0.4 μm or less, and relates to a display device having a thermal conductivity higher than that of the rest of the components constituting the sealing member except the thermal conductive wire.

また本発明は、前記表示装置は、前記導電性薄板よりも熱放射性が高い熱放射性部材をさらに含み、
前記導電性薄板は、前記駆動用基板において前記有機EL素子側とは反対側の表面に配置され、
前記熱放射性部材は、前記導電性薄板に接して配置される表示装置に関する。
The display device further includes a heat radiating member having a heat radiating property higher than that of the conductive thin plate,
The conductive thin plate is disposed on the surface of the driving substrate opposite to the organic EL element side,
The thermal radiation member relates to a display device disposed in contact with the conductive thin plate.

また本発明は、前記熱伝導性ワイヤは、金属からなるナノワイヤ、およびカーボンナノチューブのうちの少なくともいずれか一方である前記表示装置に関する。   The present invention also relates to the display device, wherein the thermally conductive wire is at least one of a nanowire made of metal and a carbon nanotube.

本発明によると有機EL素子は封止部材と導電性薄板との間に配置される。   According to the present invention, the organic EL element is disposed between the sealing member and the conductive thin plate.

封止部材には熱伝導性ワイヤが分散して配置される。熱伝導性ワイヤはその径が0.4μm以下なので可視光を透過させることができる。そのため高い透光率と高い熱伝導性とを両立する封止部材を実現することができる。このように径が0.4μm以下の熱伝導性ワイヤを用いることによりトップエミッション型の有機EL素子であっても高い熱伝導性を有する封止部材を装置に設けることができる。また導電性を有する部材は一般に熱伝導性も高いので、駆動回路として必要となる導電性薄板を、熱伝導層としても利用することができる。このような熱伝導性の高い封止部材と導電性薄板との間に有機EL素子を設けることによって、有機EL素子および駆動回路から発生する熱を外界に効率的に放熱することができる。これによって、有機EL素子から放射される光が封止部材を通って出射する構成の表示装置において、有機EL素子の温度上昇およびこれに起因する素子寿命の低下を抑制することができる。   Thermally conductive wires are dispersed and arranged on the sealing member. Since the diameter of the heat conductive wire is 0.4 μm or less, visible light can be transmitted. Therefore, it is possible to realize a sealing member that achieves both high light transmittance and high thermal conductivity. Thus, by using a heat conductive wire having a diameter of 0.4 μm or less, a sealing member having high heat conductivity can be provided in the apparatus even for a top emission type organic EL element. Moreover, since the member which has electroconductivity generally has high heat conductivity, the electroconductive thin plate required as a drive circuit can be utilized also as a heat conductive layer. By providing the organic EL element between the sealing member having a high thermal conductivity and the conductive thin plate, heat generated from the organic EL element and the drive circuit can be efficiently radiated to the outside. Thereby, in the display device configured to emit light emitted from the organic EL element through the sealing member, it is possible to suppress an increase in the temperature of the organic EL element and a decrease in the element life resulting therefrom.

本実施形態の表示装置1の一部を示す模式的に示す平面図である。It is a top view showing typically a part of display 1 of this embodiment. 表示装置のうちの一画素分に相当する領域を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the area | region corresponded to 1 pixel among display apparatuses. 駆動回路の回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of a drive circuit.

以下、図面を参照して本発明の実施の一形態について説明する。図1は本実施形態の表示装置1を模式的に示す平面図である。図2は表示装置のうちの一画素分に相当する領域を拡大して示す断面図である。図3は駆動回路の回路構成を示す図である。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view schematically showing the display device 1 of the present embodiment. FIG. 2 is an enlarged sectional view showing a region corresponding to one pixel in the display device. FIG. 3 is a diagram showing a circuit configuration of the drive circuit.

表示装置1は、駆動回路11が形成された駆動用基板21と、前記駆動用基板21に設けられ、前記駆動回路11により駆動されて前記駆動用基板21側とは反対側に光を出射する複数の有機EL素子31と、前記駆動用基板21に設けられた前記複数の有機EL素子を覆って設けられる光透過性を示す封止部材41とを備える。   The display device 1 is provided on the drive substrate 21 on which the drive circuit 11 is formed, and is driven by the drive circuit 11 to emit light to the side opposite to the drive substrate 21 side. A plurality of organic EL elements 31 and a light-transmissive sealing member 41 provided to cover the plurality of organic EL elements provided on the driving substrate 21 are provided.

駆動回路11は、前記駆動用基板21の厚み方向に略垂直に設けられる導電性薄板22を備え、前記複数の有機EL素子31は、前記駆動用基板21の厚み方向の一方から見て前記導電性薄板22に重なる位置にそれぞれ配置される。前記封止部材41は、分散して配置される線状の熱伝導性ワイヤを含む。前記熱伝導性ワイヤは、径が0.4μm以下であり、封止部材を構成するもののうちで該熱伝導性ワイヤを除く残余のものよりも熱伝導率が高い。   The drive circuit 11 includes a conductive thin plate 22 provided substantially perpendicular to the thickness direction of the drive substrate 21, and the plurality of organic EL elements 31 are electrically conductive when viewed from one side in the thickness direction of the drive substrate 21. Are disposed at positions overlapping with the conductive thin plate 22, respectively. The sealing member 41 includes linear heat conductive wires arranged in a dispersed manner. The thermal conductive wire has a diameter of 0.4 μm or less, and has a higher thermal conductivity than the rest of the components constituting the sealing member excluding the thermal conductive wire.

本明細書において「光」とは有機EL素子31が出射する波長範囲の光を意味し、通常は可視光を意味する。従って所定の部材が「光透過性を示す」とは、有機EL素子から出射されて所定の部材に入射する光の少なくとも一部が所定の部材を透過することを意味する。   In this specification, “light” means light in a wavelength range emitted from the organic EL element 31, and usually means visible light. Therefore, “predetermined light transmission” of the predetermined member means that at least a part of the light emitted from the organic EL element and incident on the predetermined member is transmitted through the predetermined member.

表示装置1を使用する際には駆動回路11及び有機EL素子31が発熱する。後述するように駆動回路11はトランジスタやコンデンサなどの複数の素子、配線、および導電性薄板22などから構成されており、表示装置1を使用する際には駆動回路11の一部を構成するトランジスタなどの複数の素子が発熱する。駆動回路11の一部を構成する素子は、駆動回路の一部として設けられる導電性薄板22と所定の配線などを介して接続されており、また有機EL素子31は、駆動回路11の一部を構成する素子や所定の配線を介して導電性薄板22に接続されているため、駆動回路11及び有機EL素子31で発生した熱は導電性薄板22に効率的に伝導する。この導電性薄板22は、熱の伝導を担う伝導電子が半導体や絶縁体よりも多いために、一般的に熱伝導性が高い。そのため駆動回路11及び有機EL素子31において発生した熱は、導電性薄板22に伝導し、さらに導電性薄板22において拡散され、効率的に外界に放熱される。   When the display device 1 is used, the drive circuit 11 and the organic EL element 31 generate heat. As will be described later, the drive circuit 11 is composed of a plurality of elements such as transistors and capacitors, wiring, and a conductive thin plate 22. When the display device 1 is used, the drive circuit 11 constitutes a part of the drive circuit 11. A plurality of elements such as these generate heat. An element constituting a part of the drive circuit 11 is connected to a conductive thin plate 22 provided as a part of the drive circuit via a predetermined wiring or the like, and the organic EL element 31 is a part of the drive circuit 11. Therefore, the heat generated in the drive circuit 11 and the organic EL element 31 is efficiently conducted to the conductive thin plate 22. Since the conductive thin plate 22 has more conductive electrons responsible for heat conduction than a semiconductor or an insulator, the conductive thin plate 22 generally has high thermal conductivity. Therefore, the heat generated in the drive circuit 11 and the organic EL element 31 is conducted to the conductive thin plate 22, further diffused in the conductive thin plate 22, and efficiently radiated to the outside.

さらに封止部材41は熱伝導性ワイヤを備えるため、熱伝導性ワイヤを備えない通常の封止部材に比べると熱伝導性が高い。このような封止部材41を設けることによって、駆動回路11及び有機EL素子31において発生した熱は、駆動用基板21のみならず、封止部材41にも伝導し、外界に放熱されることになる。これによって駆動回路11及び有機EL素子31の温度上昇を抑制することができる。   Furthermore, since the sealing member 41 includes a heat conductive wire, the heat conductivity is higher than that of a normal sealing member that does not include a heat conductive wire. By providing such a sealing member 41, the heat generated in the drive circuit 11 and the organic EL element 31 is conducted not only to the driving substrate 21 but also to the sealing member 41 and is radiated to the outside. Become. Thereby, the temperature rise of the drive circuit 11 and the organic EL element 31 can be suppressed.

複数の有機EL素子31は、前記駆動用基板21の厚み方向の一方から見て前記導電性薄板22に重なる位置にそれぞれ配置されるため、熱伝導性の高い導電性薄板22と封止部材41との間に設けられることになる。さらに駆動回路11も、その一部を構成する導電性薄板22と封止部材41との間に設けることができる。このように、発熱する駆動回路11及び有機EL素子31を挟むようにして熱伝導性の高い部材(導電性薄板22と封止部材41)を配置するため、熱を効率的に外界に放熱することができ、駆動回路11及び有機EL素子31の温度上昇を効率的に抑制することができる。   Since the plurality of organic EL elements 31 are respectively arranged at positions overlapping the conductive thin plate 22 when viewed from one side in the thickness direction of the driving substrate 21, the conductive thin plate 22 and the sealing member 41 having high thermal conductivity. It will be provided between. Furthermore, the drive circuit 11 can also be provided between the conductive thin plate 22 and the sealing member 41 constituting a part thereof. As described above, since the members (conductive thin plate 22 and sealing member 41) having high thermal conductivity are arranged so as to sandwich the driving circuit 11 and the organic EL element 31 that generate heat, heat can be efficiently radiated to the outside. In addition, the temperature rise of the drive circuit 11 and the organic EL element 31 can be efficiently suppressed.

(1)表示装置の構成
まず表示装置1の構成について説明する。
(1) Configuration of Display Device First, the configuration of the display device 1 will be described.

(有機EL素子)
有機EL素子31は駆動用基板21上に設けられ、駆動回路11により駆動されて駆動用基板21側とは反対側(すなわち封止部材41側)に向けて光を出射する。換言するとトップエミッション型の複数の有機EL素子31が駆動用基板21上に設けられる。本実施形態では駆動用基板21上に複数の有機EL素子31がマトリクス状に設けられる。具体的には複数の有機EL素子31は、駆動用基板21上において行方向Xに等間隔をあけるとともに列方向Yに等間隔をあけてそれぞれが離散的に配置される。なお図1には6行5列の配置で30個の有機EL素子31が駆動用基板21に設けられた形態を示しているが、有機EL素子31の個数およびその配置は設計に応じて適宜設定される。また以下において本明細書では駆動用基板21の厚み方向の一方を「上方」または「上」と記載し、厚み方向の他方を「下方」または「下」と記載することがある。
(Organic EL device)
The organic EL element 31 is provided on the driving substrate 21 and is driven by the driving circuit 11 to emit light toward the side opposite to the driving substrate 21 side (that is, the sealing member 41 side). In other words, a plurality of top emission type organic EL elements 31 are provided on the driving substrate 21. In the present embodiment, a plurality of organic EL elements 31 are provided in a matrix on the driving substrate 21. Specifically, the plurality of organic EL elements 31 are discretely arranged on the driving substrate 21 at equal intervals in the row direction X and at equal intervals in the column direction Y. FIG. 1 shows a configuration in which 30 organic EL elements 31 are provided on the driving substrate 21 in an arrangement of 6 rows and 5 columns, but the number and arrangement of the organic EL elements 31 are appropriately determined according to the design. Is set. Hereinafter, in the present specification, one of the driving substrate 21 in the thickness direction may be described as “upper” or “upper”, and the other in the thickness direction may be described as “lower” or “lower”.

駆動用基板21上には格子状に配置される隔壁51がさらに設けられる。この隔壁51は、行方向Xに延伸する複数本の隔壁部材と、列方向Yに延伸する複数本の隔壁部材とを有し、これらストライプ状の隔壁部材が直交して配置されることにより格子形状を構成している。隔壁51は各有機EL素子31を区分けするために設けられる。各有機EL素子31は、格子状の隔壁51に囲まれた矩形状の領域に設けられる。換言すると隔壁51は行方向X及び列方向Yにそれぞれ隣り合う有機EL素子31間に介在して配置される。なお隔壁51には格子状のものを用いずにストライプ状のものを用いてもよく、また製造工程等を勘案したときに必要のない場合には隔壁51を設けなくてもよい。   On the driving substrate 21, partition walls 51 arranged in a lattice shape are further provided. This partition wall 51 has a plurality of partition wall members extending in the row direction X and a plurality of partition wall members extending in the column direction Y, and these stripe-shaped partition wall members are arranged orthogonally to form a lattice. Make up shape. The partition wall 51 is provided to separate the organic EL elements 31. Each organic EL element 31 is provided in a rectangular region surrounded by a lattice-shaped partition wall 51. In other words, the partition walls 51 are disposed between the organic EL elements 31 adjacent in the row direction X and the column direction Y, respectively. Note that the partition wall 51 may be a stripe shape instead of the lattice shape, and the partition wall 51 may not be provided if it is not necessary when considering the manufacturing process.

有機EL素子31は、一対の電極32,33と、この電極間に配置される1または複数の所定の層34とを備える。以下、一対の電極32,33のうちの一方の電極を「第1電極32といい、他方の電極を「第2電極33」ということがある。有機EL素子31は、隔壁51に囲まれる領域に設けられ、第1電極32、所定の層34、第2電極33がこの順で駆動用基板21に積層されることにより構成される。第1及び第2電極32,33のうちの一方は陽極として設けられ、他方は陰極として設けられる。また有機EL素子31は1または複数の所定の層34として少なくとも1層の発光層を備える。   The organic EL element 31 includes a pair of electrodes 32 and 33 and one or more predetermined layers 34 disposed between the electrodes. Hereinafter, one of the pair of electrodes 32 and 33 may be referred to as “first electrode 32” and the other electrode may be referred to as “second electrode 33”. The organic EL element 31 is provided in a region surrounded by the partition wall 51, and is configured by laminating the first electrode 32, the predetermined layer 34, and the second electrode 33 on the driving substrate 21 in this order. One of the first and second electrodes 32 and 33 is provided as an anode, and the other is provided as a cathode. The organic EL element 31 includes at least one light emitting layer as one or a plurality of predetermined layers 34.

第1電極32は1つの有機EL素子31に対して1つ設けられる。すなわち有機EL素子31と同じ数の第1電極32が駆動用基板21上に形成される。複数の第1電極32は駆動用基板21上においてマトリクス状に設けられる。具体的には第1電極32は、駆動用基板21上において行方向Xに等間隔をあけるとともに列方向Yに等間隔をあけてそれぞれが離散的に配置される。第1電極32は、平板状であり、駆動用基板21の厚み方向の一方から見て(以下「平面視で」ということがある。)略矩形状に形成される。第1電極32は平面視で隔壁51に囲まれる略矩形状の領域に設けられ、その周縁部が隔壁51の一部に重なっている。有機EL素子31は第2電極33を通って光を出射するので、第1電極32は光を第2電極33に向けて反射する反射電極によって構成されることが好ましい。   One first electrode 32 is provided for one organic EL element 31. That is, the same number of first electrodes 32 as the organic EL elements 31 are formed on the driving substrate 21. The plurality of first electrodes 32 are provided in a matrix on the driving substrate 21. Specifically, the first electrodes 32 are discretely arranged on the driving substrate 21 at equal intervals in the row direction X and at equal intervals in the column direction Y. The first electrode 32 has a flat plate shape, and is formed in a substantially rectangular shape when viewed from one side in the thickness direction of the driving substrate 21 (hereinafter also referred to as “in plan view”). The first electrode 32 is provided in a substantially rectangular region surrounded by the partition wall 51 in plan view, and the peripheral edge thereof overlaps a part of the partition wall 51. Since the organic EL element 31 emits light through the second electrode 33, the first electrode 32 is preferably constituted by a reflective electrode that reflects the light toward the second electrode 33.

有機EL素子31は1または複数の所定の層34として少なくとも1層の発光層を備える。所定の層34は隔壁51に囲まれる領域に配置され、平面視で第1電極32に重なる領域に形成される。   The organic EL element 31 includes at least one light emitting layer as one or a plurality of predetermined layers 34. The predetermined layer 34 is disposed in a region surrounded by the partition walls 51 and is formed in a region overlapping the first electrode 32 in plan view.

第2電極33は所定の層34を覆って形成される。本実施形態では第2電極33は複数の有機EL素子31に跨って連なる共通の電極として設けられる。具体的には第2電極33は、所定の層34上のみならず、所定の層34上から隔壁51表面に沿って隣り合う有機EL素子31の所定の層34上にまで連なるように形成される。有機EL素子31は、第2電極33を通って光を出射するので、第2電極33は光透過性を示す電極によって構成される。   The second electrode 33 is formed so as to cover the predetermined layer 34. In the present embodiment, the second electrode 33 is provided as a common electrode continuous across the plurality of organic EL elements 31. Specifically, the second electrode 33 is formed not only on the predetermined layer 34 but also on the predetermined layer 34 from the predetermined layer 34 to the predetermined layer 34 of the adjacent organic EL element 31 along the surface of the partition wall 51. The Since the organic EL element 31 emits light through the second electrode 33, the second electrode 33 is configured by an electrode exhibiting light transmittance.

(駆動用基板)
有機EL素子31が搭載される駆動用基板21は有機EL素子31を駆動する駆動回路11を備える。
(Drive substrate)
The drive substrate 21 on which the organic EL element 31 is mounted includes a drive circuit 11 that drives the organic EL element 31.

本実施形態の駆動回路11は、各有機EL素子31を個別に駆動する複数の回路要素と、各回路要素を接続する所定の配線とを含む。図2,3に示すように有機EL素子31ごとに設けられる各回路要素は2個のトランジスタ素子と1個のコンデンサ14と所定の配線とを備える。以下では2個のトランジスタ素子のうちの一方の素子を切替用Tr12と記載し、他方の素子を駆動用Tr13と記載する。さらに駆動用基板21は駆動回路11の一部として、前記駆動用基板21の厚み方向に略垂直に設けられる導電性薄板22を備える。   The drive circuit 11 of the present embodiment includes a plurality of circuit elements that individually drive the organic EL elements 31 and predetermined wirings that connect the circuit elements. As shown in FIGS. 2 and 3, each circuit element provided for each organic EL element 31 includes two transistor elements, one capacitor 14, and a predetermined wiring. Hereinafter, one of the two transistor elements is referred to as a switching Tr12, and the other element is referred to as a driving Tr13. Further, the drive substrate 21 includes a conductive thin plate 22 provided as a part of the drive circuit 11 and substantially perpendicular to the thickness direction of the drive substrate 21.

本実施形態における導電性薄板22は、駆動電圧(図3では記号「Vcc」で示す。)を供給する駆動電源に接続されている。駆動電圧から供給される駆動電圧は、導電性薄板22を介して各回路要素に共通の電圧(Vcc)として供給される。導電性薄板22は平板状であり、一対の主面の法線方向を駆動用基板21の厚み方向にほぼ一致させて配置される。本実施形態では導電性薄板22は、駆動用基板21において有機EL素子31側とは反対側の表面に配置されている。導電性薄板22の厚さは、熱を効率的に拡散することが可能な程度であって、かつ電気抵抗が低く電圧降下を抑制できる程度の厚さに設定される。各回路要素に共通の電圧を供給することのみを目的として導電性薄板を設ける場合、この導電性薄板は後述する主配線と同様に、格子状に配置される線状の配線であってもよいが、本実施形態のように平板状の導電性薄板を設けることによって、線状の配線と比べて電気抵抗をより低減することができる。これによって消費電力を抑制することができる。さらに平面視で導電性薄板22は、複数の有機EL素子31が設けられる領域から全外周がはみ出るように形成されることが好ましい。このように導電性薄板22が、複数の有機EL素子31の設けられる領域からはみ出る領域を有することで、このはみ出る領域を通って各回路要素に電流を供給することができる。これによって電圧降下をさらに抑制することができ、各回路要素に印加される電圧のばらつきを抑制することができる。   The conductive thin plate 22 in the present embodiment is connected to a drive power source that supplies a drive voltage (indicated by the symbol “Vcc” in FIG. 3). The driving voltage supplied from the driving voltage is supplied as a common voltage (Vcc) to each circuit element via the conductive thin plate 22. The conductive thin plate 22 has a flat plate shape and is arranged so that the normal direction of the pair of main surfaces substantially coincides with the thickness direction of the driving substrate 21. In the present embodiment, the conductive thin plate 22 is disposed on the surface of the driving substrate 21 opposite to the organic EL element 31 side. The thickness of the conductive thin plate 22 is set to such a thickness that the heat can be efficiently diffused and the electric resistance is low and the voltage drop can be suppressed. When a conductive thin plate is provided only for the purpose of supplying a common voltage to each circuit element, the conductive thin plate may be a linear wiring arranged in a lattice shape, similar to the main wiring described later. However, by providing a flat conductive thin plate as in this embodiment, the electrical resistance can be further reduced as compared with a linear wiring. As a result, power consumption can be suppressed. Furthermore, it is preferable that the conductive thin plate 22 is formed so that the entire outer periphery protrudes from the region where the plurality of organic EL elements 31 are provided in a plan view. Thus, since the conductive thin plate 22 has a region that protrudes from the region where the plurality of organic EL elements 31 are provided, current can be supplied to each circuit element through the protruding region. As a result, voltage drop can be further suppressed, and variations in voltage applied to each circuit element can be suppressed.

導電性薄板22上には3層の電気絶縁層23,24,25が積層されている。すなわち第1絶縁層23、第2絶縁層24及び平坦化膜25がこの順で導電性薄板22上に積層されている。駆動回路11は、導電性薄板22、3層の電気絶縁層23,24,25、この3層の電気絶縁層23,24,25中に形成されるコンタクト配線20a〜20d、並びに3層の電気絶縁層23,24,25間に形成される導電性薄膜および半導体層18,19などによって構成される。   Three layers of electrically insulating layers 23, 24, and 25 are stacked on the conductive thin plate 22. That is, the first insulating layer 23, the second insulating layer 24, and the planarizing film 25 are laminated on the conductive thin plate 22 in this order. The drive circuit 11 includes a conductive thin plate 22, three electrical insulating layers 23, 24, and 25, contact wirings 20a to 20d formed in the three electrical insulating layers 23, 24, and 25, and three electrical layers. The conductive thin film formed between the insulating layers 23, 24, and 25, the semiconductor layers 18 and 19, and the like.

切替用Tr12及び駆動用Tr13はそれぞれ3つの電極を備える。具体的にはゲート電極SG,DGと、ソース電極SS,DSと、ドレイン電極SD,DDとを備える。これら切替用Tr12及び駆動用Tr13の3つの電極はそれぞれ、3層の電気絶縁層間に形成される導電性薄膜によって構成される。切替用Tr12及び駆動用Tr13はそれぞれソース電極SS,DSとドレイン電極SD,DDとの間に設けられる半導体層18,19、及び半導体層18,19とゲート電極SG,DGとの間に設けられるゲート絶縁膜17(第2絶縁層24の一部)をさらに備える。   Each of the switching Tr12 and the driving Tr13 includes three electrodes. Specifically, gate electrodes SG and DG, source electrodes SS and DS, and drain electrodes SD and DD are provided. Each of these three electrodes, Tr12 for switching and Tr13 for driving, is constituted by a conductive thin film formed between three electrically insulating layers. The switching Tr12 and the driving Tr13 are respectively provided between the semiconductor layers 18 and 19 provided between the source electrodes SS and DS and the drain electrodes SD and DD, and between the semiconductor layers 18 and 19 and the gate electrodes SG and DG. A gate insulating film 17 (a part of the second insulating layer 24) is further provided.

ゲート電極SG,DGは第1絶縁層23上に設けられる。第1絶縁層23上にはゲート電極SG,DG以外にも所定の配線などがさらに設けられる。ゲート電極SG,DGと所定の配線とは一体的に形成されている。第1絶縁層23上には、これらゲート電極SG,DG及び所定の配線などを覆う第2絶縁層24が設けられる。第2絶縁層24のうちでゲート電極SG,DG上に設けられる部位が、切替用Tr12及び駆動用Tr13のゲート絶縁膜17として機能する。ソース電極SS,DSとドレイン電極SD,DDとはゲート絶縁膜17を介在させてゲート電極SG,DG上に設けられる。これらソース電極SS,DSとドレイン電極SD,DDとは、ゲート絶縁膜17上において互いに所定の間隔をあけて配置される。ソース電極SS,DSとドレイン電極SD,DDとの間には半導体層18,19が設けられる。このように本実施形態ではボトムゲート型の切替用Tr12及び駆動用Tr13が駆動用基板21に形成される。なお他の実施の形態としてトップゲート型のトランジスタ素子を駆動用基板に形成してもよい。   The gate electrodes SG and DG are provided on the first insulating layer 23. On the first insulating layer 23, a predetermined wiring and the like are further provided in addition to the gate electrodes SG and DG. The gate electrodes SG and DG and the predetermined wiring are integrally formed. On the first insulating layer 23, a second insulating layer 24 is provided to cover the gate electrodes SG and DG and predetermined wiring. A portion of the second insulating layer 24 provided on the gate electrodes SG and DG functions as the gate insulating film 17 of the switching Tr12 and the driving Tr13. The source electrodes SS and DS and the drain electrodes SD and DD are provided on the gate electrodes SG and DG with the gate insulating film 17 interposed therebetween. The source electrodes SS and DS and the drain electrodes SD and DD are arranged on the gate insulating film 17 at a predetermined interval. Semiconductor layers 18 and 19 are provided between the source electrodes SS and DS and the drain electrodes SD and DD. Thus, in this embodiment, the bottom gate type switching Tr 12 and the driving Tr 13 are formed on the driving substrate 21. As another embodiment, a top gate transistor element may be formed on a driving substrate.

コンデンサ14は、対向する一対の平板15,16と、この一対の平板15,16間に介在する第1絶縁層23とから構成される。一対の平板のうちの一方の平板15は、第1絶縁層23上に形成されている。この一方の平板15は駆動用Tr13のゲート電極DGから切替用Tr12に向けて延伸する導電性薄膜により構成されている。コンデンサ14を構成する他方の平板16は導電性薄板22の一部により構成される。すなわち導電性薄板22うちで第1絶縁層23を介在させて一方の平板15に対向する部位が他方の平板16として機能する。   The capacitor 14 includes a pair of opposed flat plates 15 and 16 and a first insulating layer 23 interposed between the pair of flat plates 15 and 16. One flat plate 15 of the pair of flat plates is formed on the first insulating layer 23. The one flat plate 15 is composed of a conductive thin film extending from the gate electrode DG of the driving Tr 13 toward the switching Tr 12. The other flat plate 16 constituting the capacitor 14 is constituted by a part of the conductive thin plate 22. That is, a portion of the conductive thin plate 22 that faces the one flat plate 15 with the first insulating layer 23 interposed functions as the other flat plate 16.

駆動用Tr13、切替用Tr12及びコンデンサ14などから成る駆動回路11上には、これら素子を覆う平坦化膜25がさらに形成されている。複数の有機EL素子31は、この平坦化膜25上に設けられている。   A planarizing film 25 that covers these elements is further formed on the driving circuit 11 including the driving Tr 13, the switching Tr 12, and the capacitor 14. The plurality of organic EL elements 31 are provided on the planarizing film 25.

第1絶縁層23、第2絶縁層24及び平坦化膜25にはコンタクト配線20a〜20dが設けられている。このコンタクト配線20a〜20dは各電気絶縁層23,24,25を厚み方向に貫通するコンタクトホール内に形成される導体から成る。例えばコンデンサ14を構成する一方の平板15と切替用Tr12のドレイン電極SDとの間には第2絶縁層24を貫通するコンタクト配線20aが設けられている。また導電性薄板22と駆動用Tr13のソース電極DSとの間には第1及び第2絶縁層23,24に連通して形成されるコンタクト配線20b,20cが設けられている。さらに駆動用Tr13のドレイン電極DDと有機EL素子31の第1電極32との間には平坦化膜25を貫通するコンタクト配線20dが設けられている。コンタクト配線20a〜20dは、電気絶縁層23,24,25を介在させて対向する所定の導電性薄板を電気的に接続する。   Contact wirings 20 a to 20 d are provided in the first insulating layer 23, the second insulating layer 24, and the planarizing film 25. The contact wirings 20a to 20d are made of a conductor formed in a contact hole penetrating each electrical insulating layer 23, 24, 25 in the thickness direction. For example, a contact wiring 20 a penetrating the second insulating layer 24 is provided between one flat plate 15 constituting the capacitor 14 and the drain electrode SD of the switching Tr 12. Further, contact wirings 20b and 20c formed in communication with the first and second insulating layers 23 and 24 are provided between the conductive thin plate 22 and the source electrode DS of the driving Tr13. Further, a contact wiring 20 d that penetrates the planarizing film 25 is provided between the drain electrode DD of the driving Tr 13 and the first electrode 32 of the organic EL element 31. The contact wirings 20a to 20d electrically connect predetermined conductive thin plates facing each other with the electrical insulating layers 23, 24, and 25 interposed therebetween.

このように導電性薄板22は、コンタクト配線20b,20cを介して駆動用Tr13のソース電極DSと電気的に接続され、また駆動用Tr13のゲート電極DGは、コンデンサ14を構成する一方の平板15及びコンタクト配線20aを介して切替用Tr12のドレイン電極SDに電気的に接続され、さらに駆動用Tr13のドレイン電極DDは、コンタクト配線20dを介して有機EL素子31の第1電極32と電気的に接続される。   Thus, the conductive thin plate 22 is electrically connected to the source electrode DS of the driving Tr 13 via the contact wirings 20 b and 20 c, and the gate electrode DG of the driving Tr 13 is one flat plate 15 constituting the capacitor 14. In addition, the drain electrode SD of the switching Tr 12 is electrically connected to the first electrode 32 of the organic EL element 31 via the contact wiring 20d. Connected.

駆動回路11は主に駆動用Tr13で発熱するが、この駆動用Tr13のソース電極DSと、熱を拡散する導電性薄板22とを、駆動用基板21の厚み方向に延伸するコンタクト配線20b,20cによって最短距離で接続するため、駆動回路11で発生する熱を効率的に導電性薄板22に伝導させることができる。これによって駆動回路11の温度上昇を効率的に抑制することができる。なおコンタクト配線の断面積は広いほど熱を効率的に伝導させることができ、放熱効果を高めることができるので、放熱効果の観点からは断面積が広いコンタクト配線を設けることが好ましい。   The drive circuit 11 generates heat mainly by the drive Tr 13, and contact wirings 20 b and 20 c that extend the source electrode DS of the drive Tr 13 and the conductive thin plate 22 that diffuses heat in the thickness direction of the drive substrate 21. Therefore, the heat generated in the drive circuit 11 can be efficiently conducted to the conductive thin plate 22. Thereby, the temperature rise of the drive circuit 11 can be efficiently suppressed. Note that the larger the cross-sectional area of the contact wiring, the more efficiently heat can be conducted and the heat dissipation effect can be enhanced. Therefore, it is preferable to provide a contact wiring having a wide cross-sectional area from the viewpoint of the heat dissipation effect.

以下、図3を参照して表示装置1の動作について説明する。駆動用基板21には、表示装置1に設けられる信号生成部から走査信号(図3では記号「Vscan」で示す。)とデータ信号(図3では記号「Vsig」で示す。)とが入力される。これら走査信号とデータ信号は個々の有機EL素子31を駆動する回路要素に入力される。本実施形態では前述の所定の配線として、走査信号およびデータ信号をそれぞれ伝送する主配線m1,m2と、この主配線m1,m2からそれぞれ分岐する副配線s1,s2とが設けられている。   Hereinafter, the operation of the display device 1 will be described with reference to FIG. A scanning signal (indicated by symbol “Vscan” in FIG. 3) and a data signal (indicated by symbol “Vsig” in FIG. 3) are input to the driving substrate 21 from a signal generation unit provided in the display device 1. The These scanning signals and data signals are input to circuit elements that drive the individual organic EL elements 31. In the present embodiment, main wirings m1 and m2 for transmitting a scanning signal and a data signal, respectively, and subwirings s1 and s2 branched from the main wirings m1 and m2, respectively, are provided as the predetermined wiring.

主配線m1,m2は通常、導電性薄板22と隔壁51との間に配置される。例えば走査信号を伝送する主配線m1は、行方向Xに延伸する複数本の導電性薄膜によって構成され、平面視で行方向Xに延伸する複数本の隔壁51と重なる位置に配置される。走査信号を伝送する主配線m1は、副配線s1を介して切替用Tr12のゲート電極SGに接続されるため、このゲート電極SGが形成される層と同じ層上(すなわち第1絶縁層23上)に形成される。またデータ信号を伝送する主配線m2は、列方向Yに延伸する複数本の導電性薄膜によって構成され、平面視で列方向Yに延伸する複数本の隔壁51と重なる位置に配置される。データ信号を伝送する主配線m2は、副配線s2を介して切替用Tr12のソース電極SSに接続されるため、このソース電極SSが形成される層と同じ層上(すなわち第2絶縁層24上)に形成される。走査信号を伝送する主配線m1は第1絶縁層23上に形成され、またデータ信号を伝送する主配線m2は第2絶縁層24上に形成されるので、これら主配線m1,m2は、互いに同一平面上においては交差しないが、平面視では隔壁51と同様に格子状に配置される。   The main wirings m1 and m2 are usually arranged between the conductive thin plate 22 and the partition wall 51. For example, the main wiring m1 for transmitting the scanning signal is composed of a plurality of conductive thin films extending in the row direction X, and is arranged at a position overlapping the plurality of partition walls 51 extending in the row direction X in plan view. Since the main wiring m1 for transmitting the scanning signal is connected to the gate electrode SG of the switching Tr12 via the sub wiring s1, it is on the same layer as the layer on which the gate electrode SG is formed (that is, on the first insulating layer 23). ). The main wiring m2 for transmitting a data signal is composed of a plurality of conductive thin films extending in the column direction Y, and is arranged at a position overlapping the plurality of partition walls 51 extending in the column direction Y in plan view. Since the main wiring m2 for transmitting the data signal is connected to the source electrode SS of the switching Tr 12 via the sub wiring s2, it is on the same layer as the layer on which the source electrode SS is formed (that is, on the second insulating layer 24). ). Since the main wiring m1 for transmitting the scanning signal is formed on the first insulating layer 23 and the main wiring m2 for transmitting the data signal is formed on the second insulating layer 24, the main wirings m1 and m2 are mutually connected. Although they do not intersect on the same plane, they are arranged in a lattice pattern as in the case of the partition wall 51 in plan view.

走査信号を伝送する主配線m1から分岐する副配線s1は、切替用Tr12のゲート電極SGに接続され、第1絶縁層23上において切替用Tr12のゲート電極SGに一体的に形成される。またデータ信号を伝送する主配線m2から分岐する副配線s2は、切替用Tr12のソース電極SSに接続され、第2絶縁層24上において切替用Tr12のソース電極SSに一体的に形成される。   The sub-wiring s1 branched from the main wiring m1 that transmits the scanning signal is connected to the gate electrode SG of the switching Tr12, and is integrally formed on the gate electrode SG of the switching Tr12 on the first insulating layer 23. The sub-wiring s2 branched from the main wiring m2 that transmits the data signal is connected to the source electrode SS of the switching Tr12 and is formed integrally with the source electrode SS of the switching Tr12 on the second insulating layer 24.

切替用Tr12のドレイン電極SDと駆動用Tr13のゲート電極DGとは所定の配線によって接続される。駆動用Tr13のゲート電極DGと導電性薄板22との間にはコンデンサ14が挿入される。駆動用Tr13のドレイン電極DDと有機EL素子31の第1電極32とはコンタクト配線20によって接続される。また駆動用Tr13のソース電極DSは導電性薄板22に接続されており、駆動電源からの駆動電圧(図3では記号「Vcc」で示す。)が印加される。   The drain electrode SD of the switching Tr12 and the gate electrode DG of the driving Tr13 are connected by a predetermined wiring. A capacitor 14 is inserted between the gate electrode DG of the driving Tr 13 and the conductive thin plate 22. The drain electrode DD of the driving Tr 13 and the first electrode 32 of the organic EL element 31 are connected by the contact wiring 20. The source electrode DS of the driving Tr 13 is connected to the conductive thin plate 22 and is applied with a driving voltage (indicated by the symbol “Vcc” in FIG. 3) from a driving power source.

主配線m1及び副配線s1を介して、切替用Tr12のゲート電極SGに走査信号として高電圧が印加されると、ドレイン電極SDとソース電極SSとが導通状態(以下、オン状態ということがある。)になる。切替用Tr12がオン状態のときに、主配線m2及び副配線s1を介して切替用Tr12のソース電極SSにデータ信号として高電圧が印加されると、高電圧のデータ信号が駆動用Tr13のゲート電極DGに与えられ、駆動用Tr13のドレイン電極DDとソース電極DSとが導通状態(オン状態)になる。駆動用Tr13がオン状態になると、駆動電圧(Vcc)が有機EL素子31の第1電極32に印加されて、有機EL素子31が発光する。すなわち走査信号とデータ信号との両方の信号が入力されている状態で駆動用Tr13がオン状態となり、有機EL素子31が発光する。   When a high voltage is applied as a scanning signal to the gate electrode SG of the switching Tr 12 via the main wiring m1 and the sub wiring s1, the drain electrode SD and the source electrode SS may be in a conductive state (hereinafter referred to as an on state). .)become. When a high voltage is applied as a data signal to the source electrode SS of the switching Tr12 via the main wiring m2 and the subwiring s1 when the switching Tr12 is on, the high voltage data signal is applied to the gate of the driving Tr13. Given to the electrode DG, the drain electrode DD and the source electrode DS of the driving Tr 13 become conductive (ON state). When the driving Tr 13 is turned on, a driving voltage (Vcc) is applied to the first electrode 32 of the organic EL element 31, and the organic EL element 31 emits light. That is, the driving Tr 13 is turned on in a state where both the scanning signal and the data signal are input, and the organic EL element 31 emits light.

駆動用Tr13はコンデンサ14の電位差に応じた動作を行う。コンデンサ14には、切替用Tr12がオン状態のときにデータ信号として与えられる電圧と駆動電圧(Vcc)との電位差に応じた電荷が蓄積されるので、一旦、切替用Tr12がオフ状態になりさらに切替用Tr12がオン状態となった状態においてデータ信号が入力されるまでの間、駆動用Tr13はコンデンサ14に蓄積された電荷に応じた動作を行う。このように走査信号とデータ信号とを選択的に入力することによって、有機EL素子31を選択的に発光させることができる。   The driving Tr 13 performs an operation according to the potential difference of the capacitor 14. Since the capacitor 14 stores electric charge according to the potential difference between the voltage applied as the data signal and the drive voltage (Vcc) when the switching Tr12 is in the on state, the switching Tr12 is once in the off state. The driving Tr 13 performs an operation according to the electric charge accumulated in the capacitor 14 until the data signal is input in a state where the switching Tr 12 is in the ON state. In this way, by selectively inputting the scanning signal and the data signal, the organic EL element 31 can selectively emit light.

本実施形態の表示装置1は複数の有機EL素子31がマトリクス状に配置されており、さらに有機EL素子31ごとに、図3に示す回路要素が設けられている。各行の有機EL素子31に設けられる回路要素の切替用Tr12のゲート電極SGは、走査信号を伝送する主配線m1によって行ごとに互いに接続される。また各列の有機EL素子31に設けられる回路要素の切替用Tr12のソース電極SSは、データ信号を伝送する主配線m2によって列ごとに互いに接続される。したがって同じ行に配置される切替用Tr12のゲート電極SGには共通の走査信号が入力される。また同じ列に配置される切替用Tr12のソース電極SSには共通のデータ信号が入力される。このようなアクティブマトリクス型の表示装置1では、走査信号を入力することによって特定の行に配置された複数の有機EL素子31を選択することができる。このようにして選択された複数の有機EL素子31の中から、さらにデータ信号を入力することによって、特定の列に配置された有機EL素子31を選択的に発光させることができる。   In the display device 1 of the present embodiment, a plurality of organic EL elements 31 are arranged in a matrix, and a circuit element shown in FIG. 3 is provided for each organic EL element 31. The gate electrodes SG of the circuit element switching Tr12 provided in the organic EL elements 31 of each row are connected to each other by a main wiring m1 that transmits a scanning signal. The source electrodes SS of the circuit element switching Tr 12 provided in the organic EL elements 31 in each column are connected to each other by a main wiring m2 that transmits a data signal. Therefore, a common scanning signal is input to the gate electrode SG of the switching Tr 12 arranged in the same row. A common data signal is input to the source electrode SS of the switching Tr 12 arranged in the same column. In such an active matrix display device 1, a plurality of organic EL elements 31 arranged in a specific row can be selected by inputting a scanning signal. By further inputting a data signal from the plurality of organic EL elements 31 selected in this way, the organic EL elements 31 arranged in a specific column can be selectively made to emit light.

(熱放射性部材)
表示装置1は、導電性薄板22よりも熱放射性が高い熱放射性部材45をさらに含むことが好ましい。この熱放射性部材45は導電性薄板22に接して配置される。
(Thermal radiation member)
The display device 1 preferably further includes a heat radiating member 45 having a heat radiating property higher than that of the conductive thin plate 22. The heat radiating member 45 is disposed in contact with the conductive thin plate 22.

熱放射性部材45は導電性薄板22の表面にわたって一面に形成されることが好ましい。熱放射とは物体から熱エネルギーが電磁波として放射される現象を意味する。熱放射性部材45の熱放射率は好ましくは0.70以上であり、さらに好ましくは0.85以上である。熱放射性部材45の熱放射率とは、所定の温度において熱放射性部材45の表面から放射されるエネルギー量を、熱放射性部材45と同じ温度の黒体(blackbody)から放射されるエネルギー量で割った値である。熱放射率はフーリエ変換赤外線分光法(FT−IR)を用いて測定することができる。   The heat radiation member 45 is preferably formed over the entire surface of the conductive thin plate 22. Thermal radiation means a phenomenon in which thermal energy is radiated as electromagnetic waves from an object. The thermal emissivity of the thermal radiation member 45 is preferably 0.70 or more, and more preferably 0.85 or more. The thermal emissivity of the heat radiating member 45 is obtained by dividing the amount of energy radiated from the surface of the heat radiating member 45 at a predetermined temperature by the amount of energy radiated from a black body having the same temperature as the heat radiating member 45. Value. Thermal emissivity can be measured using Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR).

このような熱放射性部材45を設けることによって、導電性薄板22に伝導し、導電性薄板22中を拡散する熱を積極的に外界に放熱することができる。これによって駆動回路11及び有機EL素子31において発生した熱を外界に放熱し、駆動回路11及び有機EL素子31の温度上昇を抑制することができる。   By providing such a heat radiating member 45, the heat transmitted to the conductive thin plate 22 and diffused in the conductive thin plate 22 can be actively dissipated to the outside. Thereby, the heat generated in the drive circuit 11 and the organic EL element 31 can be radiated to the outside, and the temperature rise of the drive circuit 11 and the organic EL element 31 can be suppressed.

熱放射性部材45は熱放射性に加えて、熱伝導性も高いことが好ましい。熱放射性部材45の熱伝導率は好ましくは1W/(m・K)以上であり、より好ましくは10W/(m・K)以上であり、さらに好ましくは200W/(m・K)である。熱伝導率は例えばASTM D5470(American Society For Testing and Materials D5470)に記載の方法により測定することができる。   The thermal radiation member 45 preferably has high thermal conductivity in addition to thermal radiation. The thermal conductivity of the thermal radiation member 45 is preferably 1 W / (m · K) or more, more preferably 10 W / (m · K) or more, and further preferably 200 W / (m · K). The thermal conductivity can be measured, for example, by the method described in ASTM D5470 (American Society For Testing and Materials D5470).

熱放射性部材45が、高い熱放射性に加えて高い熱伝導性を有することで、導電性薄板22から伝導する熱を熱放射性部材45の内部で拡散することができ、導電性薄板22における温度分布のさらなる均一化を促進することができる。このように導電性薄板22から伝導する熱を、熱放射性部材45で拡散するとともに外界に熱放射することで、駆動回路11及び有機EL素子31において発生した熱を効率的に放熱することができる。これによって駆動回路11及び有機EL素子31の温度上昇を抑制することができ、ひいては駆動回路11及び有機EL素子31の長寿命化を図ることができる。   Since the heat radiating member 45 has high heat conductivity in addition to high heat radiating property, the heat conducted from the conductive thin plate 22 can be diffused inside the heat radiating member 45, and the temperature distribution in the conductive thin plate 22. Further homogenization can be promoted. Thus, the heat conducted from the conductive thin plate 22 is diffused by the heat radiating member 45 and radiated to the outside, so that the heat generated in the drive circuit 11 and the organic EL element 31 can be efficiently radiated. . As a result, the temperature rise of the drive circuit 11 and the organic EL element 31 can be suppressed, and the life of the drive circuit 11 and the organic EL element 31 can be extended.

熱放射性部材45は、1層のみから構成されていてもよく、また2層以上の層が積層されて構成されていてもよい。例えば熱伝導率の高い材料と熱放射性の高い材料とを樹脂などの母材に混合することにより、1層のみから成る熱放射性部材45を構成することができる。また例えば高熱伝導性を示す層と高熱放射性を示す層とをそれぞれ1段または複数段積層した積層体により2層以上の層が積層されて成る熱放射性部材45を構成することができる。   The thermal radiation member 45 may be composed of only one layer, or may be composed of two or more layers laminated. For example, the heat radiating member 45 composed of only one layer can be configured by mixing a material having a high thermal conductivity and a material having a high heat radiating property with a base material such as a resin. Further, for example, the heat radiating member 45 formed by laminating two or more layers by a laminated body in which one layer or a plurality of layers each having a high thermal conductivity and a layer having a high thermal radiation property are laminated can be formed.

熱放射性の高い材料としては黒色系の材料が挙げられ、黒色塗料の顔料成分などが好適に用いられる。熱放射性部材45の材料としてはカーボン材料とプラスチック材料との混合材料(カーボンプラスチック)、所定の金属元素などをドーピングしたTiO、チタニアと所定の金属微粒子とが分散したコロイド、Feなどが挙げられる。熱伝導性の高い材料としては例えばアルミニウム、銅、銀、セラミック材料、及び熱伝導性の高い樹脂などが挙げられる。熱伝導性の高い樹脂としてはエポキシ樹脂、メラミン樹脂、アクリル樹脂などが挙げられる。 Examples of the material having high heat radiation include black materials, and a pigment component of black paint is preferably used. As a material of the thermal radiation member 45, a mixed material (carbon plastic) of a carbon material and a plastic material, TiO 2 doped with a predetermined metal element, colloid in which titania and predetermined metal fine particles are dispersed, Fe 3 O 4 and the like Is mentioned. Examples of the material having high thermal conductivity include aluminum, copper, silver, a ceramic material, and a resin having high thermal conductivity. Examples of the resin having high thermal conductivity include an epoxy resin, a melamine resin, and an acrylic resin.

(封止部材)
封止部材41は有機EL素子31を気密に封止するために設けられ、第2電極33を覆って、第2電極33に接して配置される。有機EL素子31から放射される光は封止部材41を通って外界に出射するため、封止部材41は光透過性を示す部材によって構成される。
(Sealing member)
The sealing member 41 is provided for hermetically sealing the organic EL element 31, covers the second electrode 33, and is disposed in contact with the second electrode 33. Since the light emitted from the organic EL element 31 is emitted to the outside through the sealing member 41, the sealing member 41 is configured by a member that exhibits light transmittance.

封止部材41は、分散して配置される線状の熱伝導性ワイヤを含む。この熱伝導性ワイヤは径が0.4μm以下であり、封止部材を構成するもののうちでこの熱伝導性ワイヤを除く残余のものよりも熱伝導率が高い。なお封止部材41には無数の熱伝導性ワイヤが設けられるが、熱伝導性ワイヤの径は、封止部材41に設けられる全ての熱伝導性ワイヤの径の平均値を意味する。熱伝導性ワイヤの径は例えば電子顕微鏡を用いて測定される所定の本数のワイヤの径に基づいて算出することができる。また封止部材の熱伝導率は定常熱流計法(ASTM E 1530)により測定することができる。   The sealing member 41 includes linear heat conductive wires arranged in a dispersed manner. This thermally conductive wire has a diameter of 0.4 μm or less, and has a thermal conductivity higher than that of the rest of the components constituting the sealing member except for the thermally conductive wire. The sealing member 41 is provided with an infinite number of thermally conductive wires. The diameter of the thermally conductive wire means an average value of the diameters of all the thermally conductive wires provided in the sealing member 41. The diameter of the heat conductive wire can be calculated based on the diameter of a predetermined number of wires measured using, for example, an electron microscope. The thermal conductivity of the sealing member can be measured by a steady heat flow meter method (ASTM E 1530).

封止部材41に設けられる熱伝導性ワイヤの径の最大値(0.4μm)は可視光の波長の最小値程度なので、熱伝導性ワイヤを加えたとしても封止部材41の光透過性を維持することができ、熱伝導性ワイヤを加えることによる封止部材41の光透過率の低下を抑制することができる。   Since the maximum value (0.4 μm) of the diameter of the thermally conductive wire provided in the sealing member 41 is about the minimum value of the wavelength of visible light, even if a thermally conductive wire is added, the light transmittance of the sealing member 41 is improved. It can maintain, and the fall of the light transmittance of the sealing member 41 by adding a heat conductive wire can be suppressed.

また熱伝導性ワイヤは、封止部材を構成するもののうちで前記熱伝導性ワイヤを除く残余のものよりも熱伝導率が高い。すなわち熱伝導性ワイヤを除く材料で封止部材を形成したときの、この熱伝導性ワイヤ抜きの封止部材の熱伝導率よりも、熱伝導性ワイヤの熱伝導率は高い。   Moreover, a heat conductive wire has a heat conductivity higher than the remainder except the said heat conductive wire in what comprises the sealing member. That is, when the sealing member is formed of a material excluding the heat conductive wire, the heat conductivity of the heat conductive wire is higher than the heat conductivity of the sealing member without the heat conductive wire.

トップエミッション型の有機EL素子を駆動用基板21に設ける場合、光透過性を示す封止部材を設ける必要がある。光透過性を示す封止部材として一般的に使用される樹脂やガラスなどは通常熱伝導率が低いため、従来の封止部材を用いた場合、有機EL素子や駆動回路で発生した熱が封止部材を拡散し難く、装置の内部で発生した熱が封止部材を通って外界に効率的には放出されなかった。このような従来の封止部材に対して、光の透過を阻害することがなくかつ熱伝導率の高い熱伝導性ワイヤを封止部材に分散配置することによって、高い光透過率を維持しつつ熱を効率的に伝導する封止部材41を実現することができる。これによってトップエミッション型の有機EL素子を駆動用基板21に搭載する形態の表示装置であっても、駆動回路11及び発光素子31において発生する熱を効率的に拡散する封止部材41を実現することができる。   When the top emission type organic EL element is provided on the driving substrate 21, it is necessary to provide a sealing member exhibiting light transmittance. Resins and glass that are commonly used as a light-transmitting sealing member usually have a low thermal conductivity. Therefore, when a conventional sealing member is used, the heat generated in the organic EL element or the drive circuit is sealed. It was difficult to diffuse the stop member, and heat generated inside the device was not efficiently released to the outside through the sealing member. Compared to such a conventional sealing member, while maintaining high light transmittance by dispersing and arranging heat conductive wires having high heat conductivity without hindering light transmission on the sealing member. The sealing member 41 that conducts heat efficiently can be realized. This realizes the sealing member 41 that efficiently diffuses the heat generated in the drive circuit 11 and the light emitting element 31 even in the display device in which the top emission type organic EL element is mounted on the drive substrate 21. be able to.

熱伝導性ワイヤは金属から成るナノワイヤ及びカーボンナノチューブのうちの少なくともいずれか一方であることが好ましい。   The thermally conductive wire is preferably at least one of a nanowire made of metal and a carbon nanotube.

封止部材41は一層構造でもよく多層構造でもよい。例えば成形性に優れた樹脂を用いて、第2電極33の表面に沿って第1の封止部材42を形成し、さらにこの第1の封止部材42上に、ガスバリア性の高いガラスなどを用いて第2の封止部材43を形成してもよい。   The sealing member 41 may have a single layer structure or a multilayer structure. For example, using a resin having excellent moldability, the first sealing member 42 is formed along the surface of the second electrode 33, and glass or the like having a high gas barrier property is further formed on the first sealing member 42. Alternatively, the second sealing member 43 may be formed.

第1の封止部材42を設けずに第2の封止部材43のみを設けてもよいが、この場合第1の封止部材42に相当する部位が空気や窒素などで充満されることになる。これら空気や窒素などは熱伝導率が低いため、有機EL素子31で発生する熱を拡散させるためには第1の封止部材42を設ける方が好ましい。   Only the second sealing member 43 may be provided without providing the first sealing member 42, but in this case, the portion corresponding to the first sealing member 42 is filled with air, nitrogen, or the like. Become. Since air, nitrogen, and the like have low thermal conductivity, it is preferable to provide the first sealing member 42 in order to diffuse the heat generated in the organic EL element 31.

また第1の封止部材42のみで所定のガスバリア性を担保することができれば、封止部材41として、第2の封止部材43を設けずに第1の封止部材42のみを設けてもよい。   Further, if a predetermined gas barrier property can be ensured only by the first sealing member 42, the first sealing member 42 may be provided as the sealing member 41 without providing the second sealing member 43. Good.

第1の封止部材42は例えば樹脂と、この樹脂に分散されて配置される熱伝導性ワイヤとによって構成される。第2の封止部材43は例えばガラスと、このガラスに分散されて配置される熱伝導性ワイヤとによって構成される。   The first sealing member 42 is made of, for example, a resin and a heat conductive wire that is dispersed in the resin. The second sealing member 43 is made of, for example, glass and a thermally conductive wire that is dispersed in the glass.

熱伝導性ワイヤは線状である。線状の熱伝導性ワイヤとしては針状または曲線状のワイヤを用いることができ、また中空であって管状のワイヤを用いてもよい。   The thermally conductive wire is linear. As the linear heat conductive wire, a needle-like or curved wire can be used, and a hollow and tubular wire may be used.

熱伝導性ワイヤはガラス及び樹脂などの母材中において網目構造を形成していることが好ましい。このように母材中において熱伝導性ワイヤが網目構造を形成することにより、隣り合う熱伝導性ワイヤに熱を順次伝導することができるため、高い熱伝導率を有する封止部材を実現することができる。   It is preferable that the heat conductive wire forms a network structure in a base material such as glass and resin. As described above, since the heat conductive wire forms a network structure in the base material, heat can be sequentially conducted to the adjacent heat conductive wires, thereby realizing a sealing member having high heat conductivity. Can do.

熱伝導性ワイヤの径は、0.4μm以下であり、0.35μm以下が好ましく、0.3μm以下がさらに好ましい。また熱伝導性ワイヤの径は小さすぎると熱の拡散効果が得られないので通常は0.001μm以上である。   The diameter of the heat conductive wire is 0.4 μm or less, preferably 0.35 μm or less, and more preferably 0.3 μm or less. Further, if the diameter of the heat conductive wire is too small, a heat diffusing effect cannot be obtained.

また熱伝導性ワイヤの長さは0.5μm以上が好ましく、1μm以上がさらに好ましい。第1の封止部材42およびの第2封止部材43に分散して配置される熱伝導性ワイヤのアスペクト比(長さ/直径)は10以上が好ましく、30以上がさらに好ましい。アスペクト比が高いほど熱伝導性ワイヤが相互につながりネットワークを形成して熱伝導性向上効果が高まるので好ましく、逆にアスペクト比が小さすぎると十分な熱伝導性が得られないおそれがある。   The length of the heat conductive wire is preferably 0.5 μm or more, more preferably 1 μm or more. The aspect ratio (length / diameter) of the heat conductive wires dispersed and arranged in the first sealing member 42 and the second sealing member 43 is preferably 10 or more, and more preferably 30 or more. A higher aspect ratio is preferable because the heat conductive wires are connected to each other to form a network and the effect of improving the heat conductivity is enhanced. Conversely, if the aspect ratio is too small, sufficient heat conductivity may not be obtained.

単一のシングルウォールカーボンナノチューブ(SWCNT)の熱伝導率はきわめて高く、1750〜5800W/mKと推定されている。また塊状のSWCNの熱伝導率の測定値としては、室温、配向方向で200W/mK以上のものがある{Applied Physics letters 77, 666(2000)}。   Single-wall carbon nanotubes (SWCNT) have a very high thermal conductivity, estimated at 1750-5800 W / mK. In addition, measured values of the thermal conductivity of bulk SWCN include those with a room temperature of 200 W / mK or more in the orientation direction {Applied Physics letters 77, 666 (2000)}.

封止部材41における熱伝導性ワイヤの混合割合は、高いほど熱伝導性が高くなる一方で光透過率が低下するため、熱伝導性および光透過率を勘案して適宜設定される。封止部材中に含まれる熱伝導性ワイヤの割合は、重量分率で0.1%以上50%以下程度が好ましい。重量分率が低すぎると意図する高熱伝導性が得られないおそれがあり、また重量分率が高すぎると光透過性が低下するおそれがあるためである。   The mixing ratio of the heat conductive wire in the sealing member 41 is appropriately set in consideration of the heat conductivity and the light transmittance, since the light conductivity decreases as the heat conductivity increases as the ratio increases. The proportion of the thermally conductive wire contained in the sealing member is preferably about 0.1% to 50% by weight fraction. This is because if the weight fraction is too low, the intended high thermal conductivity may not be obtained, and if the weight fraction is too high, the light transmittance may be lowered.

第1封止部材42および第2封止部材43に分散して配置される熱伝導性ワイヤの配向はランダムであれば熱伝導性向上効果が得られるが、封止部材の厚み方向に熱伝導性ワイヤが配向する方が、封止部材の厚み方向の熱伝導が良好になるため、封止部材の厚み方向への熱伝導性向上効果がさらに高められるので好ましい。   If the orientation of the heat conductive wires dispersed and arranged in the first sealing member 42 and the second sealing member 43 is random, an effect of improving the heat conductivity can be obtained, but the heat conduction in the thickness direction of the sealing member can be obtained. Since the heat conduction in the thickness direction of the sealing member is improved, the effect of improving the heat conductivity in the thickness direction of the sealing member is further enhanced.

(2)表示装置の製造方法
次に表示装置1の製造方法について説明する。
(2) Method for Manufacturing Display Device Next, a method for manufacturing the display device 1 will be described.

(駆動用基板)
まず導電性薄板22を用意する。導電性薄板22で生じる電圧降下を抑制するとともに熱拡散性の高い導電性薄板22を構成するために、導電性薄板22は電気抵抗が低くかつ熱伝導率が高い部材によって構成されることが好ましい。このような導電性薄板22は例えば金属、金属酸化物、及び金属の合金などから成り、その材料としては例えばCr、Au、Pt、Pd、Mo、Ag、Cu、Al、Ti、Ni、Ir、Fe、Wなどの金属、これらの合金、及びMoO、ITO(インジウムスズ酸化物)などの金属酸化物を挙げることができる。さらに互いに異なる材料から成る層を積層した積層体によって導電性薄板22を構成してもよい。例えばMo/Al/MoやTa/Cu/Taの積層体によって導電性薄板22を構成してもよい。(ここで、記号「/」は、記号「/」を挟む各層が隣接して積層されていることを示す。以下同じ。)導電性薄板22の厚さは通常5μm以上であり、10μm〜500μm程度が好ましい。
(Drive substrate)
First, the conductive thin plate 22 is prepared. In order to suppress the voltage drop generated in the conductive thin plate 22 and to form the conductive thin plate 22 having high thermal diffusivity, the conductive thin plate 22 is preferably formed of a member having low electrical resistance and high thermal conductivity. . Such a conductive thin plate 22 is made of, for example, a metal, a metal oxide, and a metal alloy, and examples of the material include Cr, Au, Pt, Pd, Mo, Ag, Cu, Al, Ti, Ni, Ir, Examples thereof include metals such as Fe and W, alloys thereof, and metal oxides such as MoO 3 and ITO (indium tin oxide). Further, the conductive thin plate 22 may be constituted by a laminated body in which layers made of different materials are laminated. For example, the conductive thin plate 22 may be composed of a laminate of Mo / Al / Mo or Ta / Cu / Ta. (Here, the symbol “/” indicates that the layers sandwiching the symbol “/” are adjacently laminated. The same applies hereinafter.) The thickness of the conductive thin plate 22 is usually 5 μm or more, and is 10 μm to 500 μm. The degree is preferred.

次に第1絶縁層23を導電性薄板22上に形成する。第1絶縁層23の厚さは、厚み方向の電気絶縁性を確保できる程度の厚さであればよく、通常500nm〜2μm程度である。第1絶縁層23は、SiNなどのSiO(記号「x」は1〜2の実数をあらわす。)、スピンオングラス(SOG)、フォトレジスト及びポリイミドなどをスピンコート法、スパッタ法、及びCVDなどによって成膜することにより形成される。次に第1絶縁層23に形成されるコンタクト配線20bに対応する部位にコンタクトホールを形成する。コンタクトホールはフォトリソグラフィー法によって形成することができる。さらにこのコンタクトホールに導電性材料を充填することによりコンタクト配線20bを形成する。 Next, the first insulating layer 23 is formed on the conductive thin plate 22. The thickness of the 1st insulating layer 23 should just be the thickness which can ensure the electrical insulation of the thickness direction, and is about 500 nm-about 2 micrometers normally. The first insulating layer 23 is made of SiO X such as SiN 2 (the symbol “x” represents a real number of 1 to 2), spin-on-glass (SOG), photoresist, polyimide, and the like by spin coating, sputtering, and CVD. It is formed by forming a film by, for example. Next, a contact hole is formed in a portion corresponding to the contact wiring 20b formed in the first insulating layer 23. The contact hole can be formed by a photolithography method. Further, the contact wiring 20b is formed by filling the contact hole with a conductive material.

次にゲート電極SG,DG、コンデンサ14の一方の平板15並びに主配線m1及び副配線s1などの所定の配線を第1絶縁層23上に形成する。これらは例えばフォトリソグラフィー法によって形成される。例えば真空蒸着法、スパッタリング法、及び塗布法などによって金属および合金などから成る導電性薄膜を第1絶縁層23上に形成し、この導電性薄膜上にフォトレジストを塗布成膜し、さらに所定の部位を露光し、現像することにより導電性薄膜上にマスクをパターン形成し、続いてエッチングを行い、マスクを除去することにより、上記ゲート電極SG,DGなどをパターン形成することができる。なお上記ゲート電極SG,DGなどをパターン形成する際に前述したコンタクト配線20bを同時に形成してもよい。また導電性薄板を所定の部位にのみ選択的に形成することにより、導電性薄板をパターニングすることなく上記ゲート電極SG,DGなどを形成してもよい。例えばインクジェットプリント法およびフレキソ印刷法などの所定の印刷法によって導電性薄板をパターン形成することにより上記ゲート電極SG,DGなどを形成することもできる。   Next, predetermined wirings such as the gate electrodes SG and DG, one flat plate 15 of the capacitor 14, and the main wiring m <b> 1 and the sub wiring s <b> 1 are formed on the first insulating layer 23. These are formed by, for example, a photolithography method. For example, a conductive thin film made of a metal, an alloy, or the like is formed on the first insulating layer 23 by, for example, a vacuum deposition method, a sputtering method, or a coating method, and a photoresist is coated on the conductive thin film. By exposing and developing the part, a mask is patterned on the conductive thin film, and then etching is performed to remove the mask, thereby patterning the gate electrodes SG and DG. Note that the above-described contact wiring 20b may be formed at the same time when patterning the gate electrodes SG, DG, and the like. Alternatively, the gate electrodes SG, DG and the like may be formed without patterning the conductive thin plate by selectively forming the conductive thin plate only at a predetermined portion. For example, the gate electrodes SG, DG and the like can be formed by patterning a conductive thin plate by a predetermined printing method such as an inkjet printing method and a flexographic printing method.

ゲート電極SG,DG及びコンタクト配線20bなどは例えば導電性薄板22を構成する材料として例示した材料によって形成される。ゲート電極SG,DGなどの膜厚は30nm〜500nm程度である。なお後述する第2絶縁層24上に形成されるソース電極および所定の配線などを構成する導電性薄膜は例えばゲート電極SG,DGなどと同じ材料によって同様にして形成される。   The gate electrodes SG and DG, the contact wiring 20b, and the like are formed of, for example, a material exemplified as a material constituting the conductive thin plate 22. The film thickness of the gate electrodes SG, DG, etc. is about 30 nm to 500 nm. Note that the conductive thin film constituting the source electrode and the predetermined wiring formed on the second insulating layer 24 to be described later is formed in the same manner using the same material as the gate electrodes SG and DG, for example.

次にゲート電極SG,DGなどを覆うようにして第1絶縁層23上に第2絶縁層24を形成する。第2絶縁層24は例えば感光性樹脂を用いて塗布法などによって形成することができる。この第2絶縁層24は切替用Tr12及び駆動用Tr13のゲート絶縁膜17として機能する。各トランジスタの駆動能力を確保するためにも、絶縁層24は誘電率が1.5以上かつ膜厚が500nm以下となるように形成することが好ましい。次に第2絶縁層24に形成されるコンタクト配線20a,20cに対応する部位にコンタクトホールを形成する。コンタクトホールはフォトリソグラフィー法によって形成することができる。さらにこのコンタクトホールに導電性材料を充填することによりコンタクト配線20a,20cを形成する。   Next, a second insulating layer 24 is formed on the first insulating layer 23 so as to cover the gate electrodes SG, DG and the like. The second insulating layer 24 can be formed, for example, by a coating method using a photosensitive resin. The second insulating layer 24 functions as the gate insulating film 17 of the switching Tr 12 and the driving Tr 13. In order to ensure the driving capability of each transistor, the insulating layer 24 is preferably formed so as to have a dielectric constant of 1.5 or more and a film thickness of 500 nm or less. Next, contact holes are formed at portions corresponding to the contact wirings 20 a and 20 c formed in the second insulating layer 24. The contact hole can be formed by a photolithography method. Further, the contact wirings 20a and 20c are formed by filling the contact holes with a conductive material.

次にソース電極SS,DS、ドレイン電極SD,DD、並びに主配線m2及び副配線s2などの所定の配線を第2絶縁層24上に形成する。これらは上記ゲート電極SG,DGなどと同様にして形成することができる。またソース電極SS,DSなどを形成する際に、コンタクト配線20a,20cを同時に形成してもよい。   Next, the source electrodes SS and DS, the drain electrodes SD and DD, and predetermined wirings such as the main wiring m2 and the sub wiring s2 are formed on the second insulating layer 24. These can be formed in the same manner as the gate electrodes SG and DG. Further, when forming the source electrodes SS, DS, etc., the contact wirings 20a, 20c may be formed simultaneously.

次にソース電極SS,DSとドレイン電極SD,DDとの間にそれぞれ半導体層18,19を形成する。半導体層18,19はZTOなどの無機酸化物半導体、ペンタセン及びテトラベンゾポルフィリンなどの前駆体を有する有機半導体、並びにアモルファスシリコン及びポリシリコンなどの無機半導体などを、真空蒸着法、スパッタ法、塗布法、及びCVD法などを用いて成膜することにより形成される。なお無機酸化物半導体、有機半導体、及び無機半導体などを所定の部位に選択的に形成することにより半導体層18,19をパターン形成してもよく、また無機酸化物半導体、有機半導体、及び無機半導体などから成る薄膜を一面に形成した後にフォトリソグラフィー法を用いてパターニングすることにより半導体層18,19をパターン形成してもよい。   Next, semiconductor layers 18 and 19 are formed between the source electrodes SS and DS and the drain electrodes SD and DD, respectively. The semiconductor layers 18 and 19 are made of an inorganic oxide semiconductor such as ZTO, an organic semiconductor having a precursor such as pentacene and tetrabenzoporphyrin, and an inorganic semiconductor such as amorphous silicon and polysilicon. , And a CVD method or the like. Note that the semiconductor layers 18 and 19 may be patterned by selectively forming an inorganic oxide semiconductor, an organic semiconductor, an inorganic semiconductor, or the like at a predetermined portion, and the inorganic oxide semiconductor, the organic semiconductor, and the inorganic semiconductor. Alternatively, the semiconductor layers 18 and 19 may be patterned by forming a thin film made of or the like on one surface and then patterning using a photolithography method.

次に駆動用Tr13及び切替用Tr12並びに所定の配線などを覆うようにして、第2絶縁層24上に平坦化膜25を形成する。平坦化膜25は駆動用基板21の表面を平坦にするために設けられる。平坦化膜25は例えば感光性樹脂を用いて形成される。その厚みは2μm〜10μm程度である。次に上述したコンタクト配線の形成と同様にして平坦化膜25にコンタクト配線20を形成する。   Next, a planarizing film 25 is formed on the second insulating layer 24 so as to cover the driving Tr 13, the switching Tr 12 and predetermined wirings. The planarization film 25 is provided to planarize the surface of the driving substrate 21. The planarizing film 25 is formed using, for example, a photosensitive resin. The thickness is about 2 μm to 10 μm. Next, the contact wiring 20 is formed on the planarizing film 25 in the same manner as the contact wiring formation described above.

なお半導体層18,19と平坦化膜25との間に、半導体層18,19を保護する保護膜を形成してもよい。この保護膜は駆動用Tr13及び切替用Tr12の動作特性に影響を与えないものであることが好ましい。   A protective film for protecting the semiconductor layers 18 and 19 may be formed between the semiconductor layers 18 and 19 and the planarizing film 25. This protective film is preferably one that does not affect the operating characteristics of the driving Tr 13 and the switching Tr 12.

以上の工程により駆動用基板21が形成される。なお本実施の形態ではボトムゲート構造を有するトランジスタについて説明したが、トップゲート構造を有するトランジスタによって駆動回路を構成してもよい。   The driving substrate 21 is formed by the above steps. Note that although a transistor having a bottom gate structure is described in this embodiment, a driver circuit may be formed using a transistor having a top gate structure.

(熱放射性部材)
熱放射性部材は1層構成のものや多層構成のものなど様々な形態を採りうる。
(Thermal radiation member)
The heat radiating member can take various forms such as a single layer structure or a multilayer structure.

例えば黒色系の顔料などの高い熱放射性を示す材料を樹脂材料に混合し、この混合材料を塗布成膜し、さらにこれを固化することにより1層構成の熱放射性部材を形成することができる。また例えば高い熱放射性を示す材料に加えて、高い熱伝導性を示す微粒子を樹脂材料に混合し、この混合材料を塗布成膜し、さらにこれを固化することにより、高い熱放射性に加えて高い熱伝導性を有する1層構成の熱放射性部材を形成することができる。   For example, a material having high thermal radiation, such as a black pigment, is mixed with a resin material, the mixed material is applied and formed into a film, and further solidified to form a one-layer thermal radiation member. Also, for example, in addition to a material exhibiting high thermal radiation, fine particles exhibiting high thermal conductivity are mixed with a resin material, and this mixed material is applied to form a film, and further solidified, thereby adding high thermal radiation. A heat-radiating member having a one-layer structure having thermal conductivity can be formed.

複数の層を積層して構成される熱放射性部材は、例えば高い熱伝導性を示す層と、高い熱放射性を示す層とを積層した積層体により構成される。例えば高い熱伝導性を示す材料から成る高熱伝導層を形成し、この高熱伝導層の一面または両面に、高い熱放射性を示す黒色系の顔料を含む塗料を塗布することにより、高い熱放射性を示す層を高熱伝導層の一面または両面に形成することができ、高い熱伝導性を示す層と、高い熱放射性を示す層との積層体から成る熱放射性部材を形成することができる。このような熱放射性部材としては具体的にはアルミニウムから成るシートに黒色塗装を施したシート(神戸製鋼社製、商品名:コーベホーネツ・アルミ(KS750)、熱伝導率230W/mK、熱放射率0.86)をあげることができる。   The heat radiating member constituted by laminating a plurality of layers is constituted, for example, by a laminated body in which a layer showing high thermal conductivity and a layer showing high heat radiating properties are laminated. For example, a high thermal conductivity layer made of a material exhibiting high thermal conductivity is formed, and a coating containing a black pigment exhibiting high thermal radiation is applied to one or both sides of the high thermal conductivity layer to exhibit high thermal radiation. The layer can be formed on one surface or both surfaces of the high thermal conductivity layer, and a heat radiating member composed of a laminate of a layer exhibiting high thermal conductivity and a layer exhibiting high thermal radiation can be formed. As such a heat radiating member, specifically, a sheet made of aluminum with a black coating (manufactured by Kobe Steel, trade name: Kobebenets Aluminum (KS750), thermal conductivity 230 W / mK, thermal emissivity 0 .86).

以上の熱放射性部材は導電性薄板22に直接形成してもよく、または所定の基材上に熱放射性部材を予め形成しておき、これを所定の貼合材を用いて導電性薄板22に貼り合わせてもよい。   The above heat radiating member may be directly formed on the conductive thin plate 22, or a heat radiating member is previously formed on a predetermined base material, and this is formed on the conductive thin plate 22 using a predetermined bonding material. You may stick together.

例えば高い熱伝導性を示すアルミニウムから成るシートの一方の主面に高い熱放射性を示す黒色塗料を塗布することにより、高い熱伝導性を示す層と高い熱放射性を示す層との積層体を作製し、この積層体を所定の貼合材を用いて導電性薄板22に貼り合わせればよい。また例えば導電性薄板22にアルミニウムを蒸着することにより高い熱伝導性を示す層を形成し、さらにこのアルミニウムから成る層の表面に黒色塗料を塗布して高い熱放射性を示す層を形成してもよい。   For example, by applying a black paint exhibiting high thermal radiation to one main surface of an aluminum sheet exhibiting high thermal conductivity, a laminate of a layer exhibiting high thermal conductivity and a layer exhibiting high thermal radiation is produced. And this laminated body should just be bonded to the electroconductive thin plate 22 using a predetermined bonding material. Alternatively, for example, a layer showing high thermal conductivity may be formed by vapor-depositing aluminum on the conductive thin plate 22, and a layer showing high thermal radiation may be formed by applying a black paint on the surface of the layer made of aluminum. Good.

貼合材としては、アクリル系接着剤やエポキシ系接着剤などの熱伝導性の高いものが好適に用いられる。また貼合材を用いることなく、融着させることによって熱放射性部材を導電性薄板22に貼り合わせてもよい。   As the bonding material, a material having high thermal conductivity such as an acrylic adhesive or an epoxy adhesive is preferably used. Further, the heat radiating member may be bonded to the conductive thin plate 22 by fusing without using a bonding material.

(有機EL素子)
次に有機EL素子31を駆動用基板21上に形成する。有機EL素子31は各構成要素を駆動用基板21上に順次積層することにより形成することができる。有機EL素子31は前述したように陽極と陰極とから成る一対の電極と、この電極間に設けられる1または複数の所定の層34とを備える。
(Organic EL device)
Next, the organic EL element 31 is formed on the driving substrate 21. The organic EL element 31 can be formed by sequentially laminating each component on the driving substrate 21. As described above, the organic EL element 31 includes a pair of electrodes including an anode and a cathode, and one or more predetermined layers 34 provided between the electrodes.

陽極と陰極との間に設けられる所定の層34としては発光層、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層などが挙げられる。   Examples of the predetermined layer 34 provided between the anode and the cathode include a light emitting layer, an electron injection layer, an electron transport layer, a hole block layer, a hole injection layer, a hole transport layer, and an electron block layer.

有機EL素子の採りうる層構成の一例を以下に示す。
a)陽極/発光層/陰極
b)陽極/正孔注入層/発光層/陰極
c)陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極
d)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極
e)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
f)陽極/正孔輸送層/発光層/陰極
g)陽極/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
h)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
i)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
j)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極
k)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
l)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
m)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
n)陽極/発光層/電子注入層/陰極
o)陽極/発光層/電子輸送層/陰極
p)陽極/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
本実施の形態の有機EL素子は2層以上の発光層を有していてもよい。上記a)〜p)の層構成のうちのいずれか1つにおいて、陽極と陰極とに挟持された積層体を「構造単位A」とすると、2層の発光層を有する有機EL素子の構成として、以下のq)に示す層構成を挙げることができる。なお2つある(構造単位A)の層構成は互いに同じでも、異なっていてもよい。
q)陽極/(構造単位A)/電荷発生層/(構造単位A)/陰極
また「(構造単位A)/電荷発生層」を「構造単位B」とすると、3層以上の発光層を有する有機EL素子の構成として、以下のr)に示す層構成を挙げることができる。
r)陽極/(構造単位B)x/(構造単位A)/陰極
なお記号「x」は2以上の整数を表し、(構造単位B)xは「構造単位B」がx段積層された積層体を表す。また複数ある(構造単位B)の層構成は同じでも、異なっていてもよい。
An example of a layer structure that can be adopted by the organic EL element is shown below.
a) anode / light emitting layer / cathode b) anode / hole injection layer / light emitting layer / cathode c) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode d) anode / hole injection layer / light emitting layer / Electron transport layer / cathode e) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode f) anode / hole transport layer / light emitting layer / cathode g) anode / hole transport layer / light emitting layer / Electron injection layer / cathode h) anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode i) anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode j) anode / hole Injection layer / hole transport layer / light emitting layer / cathode k) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode l) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / Electron transport layer / cathode m) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode n) anode / light emitting layer / electron injection layer / cathode o) anode / Light layer / electron transport layer / cathode p) anode / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode The organic EL element of this embodiment may have two or more light emitting layers. In any one of the layer configurations of a) to p) above, when the laminate sandwiched between the anode and the cathode is referred to as “structural unit A”, the configuration of the organic EL element having two light emitting layers is obtained. Examples of the layer structure shown in the following q) can be given. Note that the two (structural unit A) layer structures may be the same or different.
q) Anode / (structural unit A) / charge generating layer / (structural unit A) / cathode If “(structural unit A) / charge generating layer” is “structural unit B”, it has three or more light emitting layers. Examples of the structure of the organic EL element include the layer structure shown in the following r).
r) anode / (structural unit B) x / (structural unit A) / cathode The symbol “x” represents an integer of 2 or more, and (structural unit B) x is a stack in which “structural unit B” is stacked in x stages. Represents the body. A plurality of (structural units B) may have the same or different layer structure.

ここで電荷発生層とは電界を印加することにより正孔と電子を発生する層である。電荷発生層としては、例えば酸化バナジウム、インジウムスズ酸化物(Indium Tin Oxide:略称ITO)、酸化モリブデンなどから成る薄膜を挙げることができる。   Here, the charge generation layer is a layer that generates holes and electrons by applying an electric field. Examples of the charge generation layer include a thin film made of vanadium oxide, indium tin oxide (abbreviated as ITO), molybdenum oxide, or the like.

第1電極32を陽極とし、第2電極33を陰極とする形態の有機EL素子では、上記a)〜q)の構成において左側の層から順に各層が駆動用基板21に積層される。また逆に第1電極32を陰極とし、第2電極33を陽極とする形態の有機EL素子では、上記a)〜q)の構成において右側の層から順に各層が駆動用基板21に積層される。   In the organic EL element in which the first electrode 32 is used as an anode and the second electrode 33 is used as a cathode, each layer is laminated on the driving substrate 21 in order from the left layer in the configurations a) to q). Conversely, in the organic EL element in which the first electrode 32 is the cathode and the second electrode 33 is the anode, the layers are stacked on the driving substrate 21 in order from the right layer in the configurations a) to q). .

<第1電極>
本実施形態の有機EL素子31は光を封止部材41に向けて出射するため、第1電極32は、不透明の電極でよく、光を第2電極33に向けて反射する反射電極によって構成することが好ましい。第1電極32は金属酸化物、金属硫化物、及び金属などの薄膜によって構成される。例えば陽極として第1電極32を設ける場合、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide:略称IZO)、金、白金、銀、及び銅などから成る薄膜が第1電極32として用いられる。なお光透過性を示すITO薄膜などを第1電極32として用いる場合には、Al、Au及びAgなどの導電性が高く、光を反射する薄膜を駆動用基板21側に配置し、この光を反射する薄膜上に光透過性を示すITO薄膜などを積層することにより第1電極32を構成してもよい。また第1電極32を陰極として設ける場合には、仕事関数が小さく、発光層への電子注入が容易で、電気伝導度の高い材料を用いて第1電極32を構成することが好ましく、例えばアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属、及び周期表の13族金属などから成る薄膜によって第1電極32を構成してもよい。
<First electrode>
Since the organic EL element 31 of the present embodiment emits light toward the sealing member 41, the first electrode 32 may be an opaque electrode, and is configured by a reflective electrode that reflects light toward the second electrode 33. It is preferable. The first electrode 32 is composed of a thin film such as a metal oxide, a metal sulfide, and a metal. For example, when the first electrode 32 is provided as an anode, a thin film made of indium oxide, zinc oxide, tin oxide, ITO, indium zinc oxide (abbreviated as IZO), gold, platinum, silver, copper, or the like is the first. Used as the electrode 32. When an ITO thin film or the like that exhibits light transmittance is used as the first electrode 32, a thin film that reflects light and has high conductivity such as Al, Au, and Ag is disposed on the driving substrate 21 side, and this light is transmitted. The first electrode 32 may be configured by laminating a light-transmitting ITO thin film or the like on the reflective thin film. When the first electrode 32 is provided as a cathode, the first electrode 32 is preferably made of a material having a low work function, easy electron injection into the light emitting layer, and high electrical conductivity. The first electrode 32 may be composed of a thin film made of a metal, an alkaline earth metal, a transition metal, a group 13 metal of the periodic table, or the like.

第1電極32は真空蒸着法、スパッタリング法、及び塗布法などによって上記材料をマトリクス状にパターン形成することにより形成することができる。なお第1電極32のパターン形成は、上記材料を所定の部位にのみ選択的に薄膜化することによりパターンを形成してもよく、また一面に薄膜を形成した後にフォトリソグラフィー法によって薄膜を所定の形状にパターニングすることによりパターンを形成してもよい。   The first electrode 32 can be formed by patterning the above materials in a matrix by a vacuum deposition method, a sputtering method, a coating method, or the like. The pattern formation of the first electrode 32 may be performed by selectively thinning the material only at a predetermined site, or after forming a thin film on one surface, the thin film is formed by a photolithography method. A pattern may be formed by patterning into a shape.

第1電極32の膜厚は要求される特性および工程の簡易さなどを考慮して適宜設定され、例えば10nm〜10μmであり、好ましくは20nm〜1μmである。   The film thickness of the first electrode 32 is appropriately set in consideration of required characteristics and process simplicity, and is, for example, 10 nm to 10 μm, and preferably 20 nm to 1 μm.

<隔壁>
第1電極32を形成した後、必要に応じて隔壁51を形成する。隔壁51は例えば電気絶縁膜によって構成され、例えばスピンオングラス(Spin ON Glass)、酸化シリコン(SiO)及び窒化シリコン(SiN)等のシリコン系絶縁物、アルミナ(Al)等のアルミニウム酸化物、ハフニア(HfO)等のハフニウム酸化物、イットリア(Y)等のイットリウム酸化物、La等のランタン酸化物、または感光性樹脂などから成る薄膜によって構成され、これらのうちの1層から成る単層体、または2層以上が積層された積層体によって構成される。なお積層体としては、種類の異なる層が積層された構成でもよく、また同種の層が積層された構成でもよい。隔壁51は光透過性のものでも、不透光性のものでもよい。隔壁51は例えばフォトリソグラフィー法および真空蒸着法などによって形成することができる。
<Partition wall>
After forming the first electrode 32, a partition wall 51 is formed as necessary. The partition wall 51 is made of, for example, an electrical insulating film, and is made of, for example, a silicon-based insulator such as spin on glass, silicon oxide (SiO 2 ), and silicon nitride (SiN x ), or aluminum such as alumina (Al 2 O 3 ). Consists of thin films made of oxides, hafnium oxides such as hafnia (HfO 2 ), yttrium oxides such as yttria (Y 2 O 3 ), lanthanum oxides such as La 2 O 3 , or photosensitive resins. Of these, a single-layer body composed of one layer or a laminated body in which two or more layers are stacked. In addition, as a laminated body, the structure by which the kind of different layer was laminated | stacked may be sufficient, and the structure by which the same kind of layer was laminated | stacked may be sufficient. The partition wall 51 may be light transmissive or non-light transmissive. The partition 51 can be formed by, for example, a photolithography method, a vacuum deposition method, or the like.

<所定の層>
所定の層34は、隔壁51に囲まれた領域に下記所定の材料を順次成膜することにより形成することができる。成膜方法としては真空蒸着法および塗布法を挙げることができ、下記所定の材料に適した成膜方法を用いればよい。
<Predetermined layer>
The predetermined layer 34 can be formed by sequentially depositing the following predetermined material in a region surrounded by the partition wall 51. Examples of the film formation method include a vacuum deposition method and a coating method, and a film formation method suitable for the following predetermined material may be used.

正孔注入層を構成する正孔注入材料としては、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム及び酸化アルミニウムなどの酸化物や、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、アモルファスカーボン、ポリアニリン及びポリチオフェン誘導体などを挙げることができる。   The hole injection material constituting the hole injection layer includes oxides such as vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, and aluminum oxide, phenylamine-based, starburst-amine-based, phthalocyanine-based, amorphous carbon, polyaniline, and polythiophene. Derivatives and the like can be mentioned.

正孔輸送層を構成する正孔輸送材料としては、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)若しくはその誘導体、又はポリ(2,5−チエニレンビニレン)若しくはその誘導体などを挙げることができる。   As the hole transport material constituting the hole transport layer, polyvinylcarbazole or a derivative thereof, polysilane or a derivative thereof, a polysiloxane derivative having an aromatic amine in a side chain or a main chain, a pyrazoline derivative, an arylamine derivative, a stilbene derivative, Triphenyldiamine derivative, polyaniline or derivative thereof, polythiophene or derivative thereof, polyarylamine or derivative thereof, polypyrrole or derivative thereof, poly (p-phenylene vinylene) or derivative thereof, or poly (2,5-thienylene vinylene) or Examples thereof include derivatives thereof.

発光層は、通常、主として蛍光及び/又はりん光を発光する有機物、またはこの有機物とこれを補助するドーパントとから形成される。ドーパントは例えば発光効率の向上や、発光波長を変化させるために加えられる。なお有機物は、低分子化合物でも高分子化合物でもよい。高分子化合物は一般に溶解性が高いために塗布法に適しているため、塗布法で発光層を形成する場合には、発光層は高分子化合物を含むことが好ましい。本明細書において高分子化合物とはポリスチレン換算の数平均分子量が10〜10の化合物を意味する。発光層を構成する発光材料としては、例えば以下の色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料、ドーパント材料を挙げることができる。 The light emitting layer is usually formed of an organic substance that mainly emits fluorescence and / or phosphorescence, or this organic substance and a dopant that assists the organic substance. The dopant is added, for example, in order to improve the luminous efficiency and change the emission wavelength. The organic substance may be a low molecular compound or a high molecular compound. Since the polymer compound is generally highly soluble, it is suitable for the coating method. Therefore, when the light emitting layer is formed by the coating method, the light emitting layer preferably contains the polymer compound. In this specification, the polymer compound means a compound having a polystyrene-equivalent number average molecular weight of 10 3 to 10 8 . Examples of the light emitting material constituting the light emitting layer include the following dye materials, metal complex materials, polymer materials, and dopant materials.

色素系材料としては、例えば、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー、キナクリドン誘導体、クマリン誘導体などを挙げることができる。   Examples of dye-based materials include cyclopentamine derivatives, tetraphenylbutadiene derivative compounds, triphenylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylarylene derivatives, pyrrole derivatives, thiophene ring compounds. Pyridine ring compounds, perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives, oxadiazole dimers, pyrazoline dimers, quinacridone derivatives, coumarin derivatives, and the like.

金属錯体系材料としては、例えばTb、Eu、Dyなどの希土類金属、またはAl、Zn、Be、Ir、Ptなどを中心金属に有し、オキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造などを配位子に有する金属錯体を挙げることができ、例えばイリジウム錯体、白金錯体などの三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミニウムキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、フェナントロリンユーロピウム錯体などを挙げることができる。   Examples of metal complex materials include rare earth metals such as Tb, Eu, and Dy, or Al, Zn, Be, Ir, Pt, etc. as a central metal, and oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole, quinoline. Examples include metal complexes having a structure as a ligand, for example, iridium complexes, platinum complexes and other metal complexes having light emission from a triplet excited state, aluminum quinolinol complexes, benzoquinolinol beryllium complexes, benzoxazolyl zinc A complex, a benzothiazole zinc complex, an azomethylzinc complex, a porphyrin zinc complex, a phenanthroline europium complex, and the like can be given.

(高分子系材料)
高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記色素系材料や金属錯体系発光材料を高分子化したものなどを挙げることができる。
(Polymer material)
As polymer materials, polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyfluorene derivatives, polyvinyl carbazole derivatives, the above dye materials and metal complex light emitting materials are polymerized. Things can be mentioned.

(ドーパント材料)
ドーパント材料としては、例えばペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾロン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾンなどを挙げることができる。
(Dopant material)
Examples of the dopant material include perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacridone derivatives, squalium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazolone derivatives, decacyclene, phenoxazone, and the like.

電子輸送層を構成する電子輸送材料としては、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン若しくはその誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、ナフトキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン若しくはその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン若しくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、又は8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体などを挙げることができる。   As an electron transport material constituting the electron transport layer, an oxadiazole derivative, anthraquinodimethane or a derivative thereof, benzoquinone or a derivative thereof, naphthoquinone or a derivative thereof, anthraquinone or a derivative thereof, tetracyanoanthraquinodimethane or a derivative thereof, Fluorenone derivatives, diphenyldicyanoethylene or derivatives thereof, diphenoquinone derivatives, or metal complexes of 8-hydroxyquinoline or derivatives thereof, polyquinoline or derivatives thereof, polyquinoxaline or derivatives thereof, polyfluorene or derivatives thereof, and the like can be given.

電子注入層を構成する材料としてはアルカリ金属、アルカリ土類金属、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のうちの1種類以上含む合金、アルカリ金属若しくはアルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩、またはこれらの物質の混合物などを挙げることができる。   As the material constituting the electron injection layer, alkali metal, alkaline earth metal, an alloy containing at least one of alkali metal and alkaline earth metal, oxide of alkali metal or alkaline earth metal, halide, carbonate, Or the mixture of these substances can be mentioned.

<第2電極>
第2電極33は光透過性を示す電極によって構成される。第2電極33の材料は極性によって適宜選択される。例えば光が透過する程度の膜厚に陰極の金属材料を薄膜化した導電性薄膜に、ITO薄膜を積層することにより、陰極として機能する第2電極33を形成することができる。また例えばITO薄膜を形成することにより陽極として機能する第2電極33を形成することができる。
<Second electrode>
The 2nd electrode 33 is comprised by the electrode which shows a light transmittance. The material of the second electrode 33 is appropriately selected depending on the polarity. For example, the second electrode 33 that functions as a cathode can be formed by laminating an ITO thin film on a conductive thin film obtained by thinning a metal material of the cathode to a thickness that allows light to pass therethrough. For example, the second electrode 33 that functions as an anode can be formed by forming an ITO thin film.

第2電極33は所定の層34及び隔壁51を覆って全面に形成される。第2電極33は例えば真空蒸着法およびスパッタリング法によって形成することができる。   The second electrode 33 is formed on the entire surface covering the predetermined layer 34 and the partition wall 51. The second electrode 33 can be formed by, for example, a vacuum deposition method or a sputtering method.

(封止部材)
封止部材41は、分散して配置される線状の熱伝導性ワイヤを含む。熱伝導性ワイヤの材料としては、電気抵抗の低い金属から成るナノワイヤまたはカーボンナノチューブが挙げられる。
(Sealing member)
The sealing member 41 includes linear heat conductive wires arranged in a dispersed manner. Examples of the material for the heat conductive wire include nanowires or carbon nanotubes made of a metal having low electrical resistance.

金属から成るナノワイヤは例えばAg、Au、Cu、Al及びこれらの合金などから成る。熱伝導性ワイヤは例えばN.R.Jana, L.Gearheart and C.J.Murphyによる方法(Chm.Commun.,2001, p617-p618)や、C.Ducamp-Sanguesa, R.Herrera-Urbina, and M.Figlarz等による方法(J. Solid State Chem.,Vol.100, 1992, p272〜p280)によって製造することができる。例えばアミノ基含有高分子系分散剤(アイ・シー・アイ・ジャパン社製、商品名「ソルスパース24000SC」)で表面を保護した銀ナノワイヤ(長軸平均長さ1μm、短軸平均長さ10nm)を用いることができる。   The nanowire made of metal is made of, for example, Ag, Au, Cu, Al, and alloys thereof. For example, NRJana, L. Gearheart and CJMurphy (Chm. Commun., 2001, p617-p618), C. Ducamp-Sanguesa, R. Herrera-Urbina, and M. Figlarz, etc. (J. Solid State Chem., Vol. 100, 1992, p272-p280). For example, silver nanowires (major axis average length 1 μm, minor axis average length 10 nm) whose surface is protected with an amino group-containing polymer dispersant (product name “Solsperse 24000SC” manufactured by IC Japan Ltd.) Can be used.

またカーボンナノチューブとしては、単層カーボンナノチューブ、二層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブ及びロープ状カーボンナノチューブなどを挙げることができる。カーボンナノチューブは、炭素原子のみから構成される純粋なカーボンナノチューブでもよく、また一部の炭素原子がB、N、O等のヘテロ原子で置換されたカーボンナノチューブでもよい。さらには末端及び/又は側面の炭素原子が官能基で修飾されたカーボンナノチューブでもよい。   Examples of carbon nanotubes include single-walled carbon nanotubes, double-walled carbon nanotubes, multi-walled carbon nanotubes, and rope-like carbon nanotubes. The carbon nanotube may be a pure carbon nanotube composed of only carbon atoms, or may be a carbon nanotube in which some of the carbon atoms are substituted with hetero atoms such as B, N, and O. Furthermore, the carbon nanotube by which the carbon atom of the terminal and / or side surface was modified with the functional group may be sufficient.

第1の封止部材42は熱伝導性ワイヤが樹脂などに分散配置されて構成される。第1の封止部材42は例えば樹脂材料と熱伝導性ワイヤとを分散媒に分散させた分散液を、第2電極33上に塗布し、これを固化することにより形成することができる。樹脂材料として光硬化性樹脂または熱硬化性樹脂を用いた場合には、分散媒を除去するとともに、光を照射する処理または加熱処理を行うことにより第1の封止部材42を硬化することができる。また分散媒に熱伝導性ワイヤを分散させた分散液を、第2電極33上に塗布し、次に加熱処理などにより分散液を除去することにより熱伝導性ワイヤのみから成る層を形成し、形成した層に樹脂を含浸させることにより第1の封止部材42を形成することもできる。   The first sealing member 42 is configured by disposing a heat conductive wire in a resin or the like. The first sealing member 42 can be formed, for example, by applying a dispersion liquid in which a resin material and a heat conductive wire are dispersed in a dispersion medium on the second electrode 33 and solidifying it. When a photocurable resin or a thermosetting resin is used as the resin material, the first sealing member 42 can be cured by removing the dispersion medium and performing a light irradiation process or a heat treatment. it can. Further, a dispersion liquid in which a heat conductive wire is dispersed in a dispersion medium is applied on the second electrode 33, and then the dispersion liquid is removed by a heat treatment or the like to form a layer composed only of the heat conductive wire. The first sealing member 42 can also be formed by impregnating the formed layer with resin.

分散媒としては樹脂を溶解または分散するものであればよく、例えばクロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン等の塩素系溶媒、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセルソルブアセテート等のエステル系溶媒、N−メチルピロリドン(NMP)などのアミン化合物系の溶媒が挙げられる。   Any dispersion medium may be used as long as it dissolves or disperses the resin. For example, a chlorine solvent such as chloroform, methylene chloride, dichloroethane, an ether solvent such as tetrahydrofuran, an aromatic hydrocarbon solvent such as toluene and xylene, acetone, Examples include ketone solvents such as methyl ethyl ketone, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate and ethyl cellosolve acetate, and amine compound solvents such as N-methylpyrrolidone (NMP).

分散媒には所定の界面活性剤を添加してもよい。例えばカーボンナノチューブは分散媒中において凝集することがあるので、この凝集を防ぐために所定の界面活性剤を分散液に添加してもよい。界面活性剤としては、多価アルコールと脂肪酸エステル系、若しくはポリオキシエチレン系のポリオキシエチレン系の界面活性剤、または両者の系を併せ持つ非イオン性界面活性を挙げることができ、ポリオキシエチレン系の非イオン性界面活性が好ましい。   A predetermined surfactant may be added to the dispersion medium. For example, since carbon nanotubes may aggregate in the dispersion medium, a predetermined surfactant may be added to the dispersion to prevent this aggregation. Examples of surfactants include polyhydric alcohols and fatty acid ester-based or polyoxyethylene-based polyoxyethylene-based surfactants, or nonionic surfactants having both systems, polyoxyethylene-based surfactants The nonionic surface activity is preferred.

カーボンナノチューブは例えば超音波処理を行いながら分散液に分散させることで、分散液に均一に分散することができる。さらに界面活性剤を添加することによって、カーボンナノチューブが分散液中で分散した後に凝集することを防ぐことができ、分散液中での分散状態を維持することができる。   For example, the carbon nanotubes can be uniformly dispersed in the dispersion by dispersing the carbon nanotubes in the dispersion while performing ultrasonic treatment. Further, by adding a surfactant, the carbon nanotubes can be prevented from aggregating after being dispersed in the dispersion, and the dispersion state in the dispersion can be maintained.

樹脂としては例えば低密度または高密度のポリエチレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、エチレン−オクテン共重合体、エチレン−ノルボルネン共重合体、エチレン−ジメタノ−オクタヒドロナフタレン共重合体、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−メチルメタクリレート共重合体、アイオノマー樹脂などのポリオレフィン系樹脂;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂;ナイロン−6、ナイロン−6,6、メタキシレンジアミン−アジピン酸縮重合体;ポリメチルメタクリルイミドなどのアミド系樹脂;ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂;ポリスチレン、スチレン−アクリロニトリル共重合体、スチレン−アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、ポリアクリロニトリルなどのスチレン−アクリロニトリル系樹脂;トリ酢酸セルロース、ジ酢酸セルロースなどの疎水化セルロース系樹脂;ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレンなどのハロゲン含有樹脂;ポリビニルアルコール、エチレン−ビニルアルコール共重合体、セルロース誘導体などの水素結合性樹脂;ポリカーボネート樹脂、ポリサルホン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂、ポリメチレンオキシド樹脂、ポリアリレート樹脂、液晶樹脂などのエンジニアリングプラスチック系樹脂などが挙げられる。   Examples of the resin include low density or high density polyethylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-butene copolymer, ethylene-hexene copolymer, ethylene-octene copolymer, ethylene-norbornene copolymer, ethylene-dimethano. -Polyolefin resins such as octahydronaphthalene copolymer, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-methyl methacrylate copolymer, ionomer resin; polyester resins such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate; Nylon-6, nylon-6,6, metaxylenediamine-adipic acid condensation polymer; amide resin such as polymethylmethacrylamide; acrylic resin such as polymethylmethacrylate; Styrene-acrylonitrile resins such as lene-acrylonitrile copolymer, styrene-acrylonitrile-butadiene copolymer, polyacrylonitrile; hydrophobic cellulose resins such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyfluoride Halogen-containing resins such as vinylidene chloride and polytetrafluoroethylene; hydrogen-bonding resins such as polyvinyl alcohol, ethylene-vinyl alcohol copolymer, and cellulose derivatives; polycarbonate resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, polyetheretherketone resins Engineering plastic resins such as polyphenylene oxide resin, polymethylene oxide resin, polyarylate resin, and liquid crystal resin.

第2の封止部材43はガスバリア性の高いガラスなどに熱伝導性ワイヤが分散配置されて構成される。第2の封止部材43は例えば、まずガラス原料粉とカーボンナノチューブとを十分混合して混合粉末とし、この混合粉末を不活性ガス雰囲気下で加熱溶融し、これを常温まで冷却固化することによって形成することができる。ガラス原料としては珪酸、ソーダ灰(炭酸ナトリウム)、石灰、炭酸カリウム、酸化鉛、硼酸、水酸化アルミニウム、酸化亜鉛、炭酸バリウム、炭酸リチウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム等が挙げられる。   The second sealing member 43 is configured by dispersing and disposing heat conductive wires in glass or the like having high gas barrier properties. For example, the second sealing member 43 is prepared by first mixing glass raw material powder and carbon nanotubes into a mixed powder, heating and melting the mixed powder in an inert gas atmosphere, and cooling and solidifying this to room temperature. Can be formed. Examples of the glass raw material include silicic acid, soda ash (sodium carbonate), lime, potassium carbonate, lead oxide, boric acid, aluminum hydroxide, zinc oxide, barium carbonate, lithium carbonate, magnesium oxide, titanium oxide, and zirconium oxide.

第2の封止部材43は例えば前述した所定の貼合材を用いて第1の封止部材43に貼り合わせることができる。   The second sealing member 43 can be bonded to the first sealing member 43 using, for example, the predetermined bonding material described above.

1 表示装置
11 駆動回路
12 切替用Tr
13 駆動用Tr
14 コンデンサ
15 一方の平板
16 他方の平板
17 ゲート絶縁膜
18,19 半導体層
20a〜20d コンタクト配線
SG,DG ゲート電極
SS,DS ソース電極
SD,DD ドレイン電極
21 駆動用基板
22 導電性薄板
23 第1絶縁層
24 第2絶縁層
25 平坦化膜
31 有機EL素子
32 第1電極
33 第2電極
34 1または複数の所定の層
41 封止部材
42 第1の封止部材
43 第2の封止部材
45 熱放射性部材
51 隔壁
1 Display Device 11 Drive Circuit 12 Switching Tr
13 Tr for driving
14 capacitor 15 one flat plate 16 other flat plate 17 gate insulating film 18, 19 semiconductor layer 20a-20d contact wiring SG, DG gate electrode SS, DS source electrode SD, DD drain electrode 21 driving substrate 22 conductive thin plate 23 first Insulating layer 24 Second insulating layer 25 Flattening film 31 Organic EL element 32 First electrode 33 Second electrode 34 One or more predetermined layers 41 Sealing member 42 First sealing member 43 Second sealing member 45 Thermal radiation member 51 Bulkhead

Claims (3)

駆動回路が形成された駆動用基板と、
前記駆動用基板に設けられ、前記駆動回路により駆動されて前記駆動用基板側とは反対側に光を出射する複数の有機EL素子と、
前記駆動用基板に設けられた前記複数の有機EL素子を覆って設けられる光透過性を示す封止部材とを備える表示装置であって、
前記駆動回路は、前記駆動用基板の厚み方向に略垂直に設けられる導電性薄板を備え、
前記複数の有機EL素子は、前記駆動用基板の厚み方向の一方から見て前記導電性薄板に重なる位置にそれぞれ配置され、
前記封止部材は、分散して配置される線状の熱伝導性ワイヤを含み、
前記熱伝導性ワイヤは、径が0.4μm以下であり、封止部材を構成するもののうちで前記熱伝導性ワイヤを除く残余のものよりも熱伝導率が高い表示装置。
A driving substrate on which a driving circuit is formed;
A plurality of organic EL elements provided on the driving substrate and driven by the driving circuit to emit light to the side opposite to the driving substrate;
A display device comprising: a light-transmissive sealing member provided to cover the plurality of organic EL elements provided on the driving substrate;
The drive circuit includes a conductive thin plate provided substantially perpendicular to the thickness direction of the drive substrate,
The plurality of organic EL elements are respectively disposed at positions overlapping the conductive thin plate when viewed from one of the thickness directions of the driving substrate.
The sealing member includes linear heat conductive wires arranged in a dispersed manner,
The said heat conductive wire is a display apparatus whose diameter is 0.4 micrometer or less and whose heat conductivity is higher than the remainder except the said heat conductive wire among what comprises the sealing member.
前記表示装置は、前記導電性薄板よりも熱放射性が高い熱放射性部材をさらに含み、
前記導電性薄板は、前記駆動用基板において前記有機EL素子側とは反対側の表面に配置され、
前記熱放射性部材は、前記導電性薄板に接して配置される請求項1記載の表示装置。
The display device further includes a heat radiation member having a heat radiation property higher than that of the conductive thin plate,
The conductive thin plate is disposed on the surface of the driving substrate opposite to the organic EL element side,
The display device according to claim 1, wherein the thermal radiation member is disposed in contact with the conductive thin plate.
前記熱伝導性ワイヤは、金属からなるナノワイヤ、およびカーボンナノチューブのうちの少なくともいずれか一方である請求項1または2記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the thermally conductive wire is at least one of a nanowire made of metal and a carbon nanotube.
JP2009226688A 2009-09-30 2009-09-30 Display device Pending JP2011075798A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009226688A JP2011075798A (en) 2009-09-30 2009-09-30 Display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009226688A JP2011075798A (en) 2009-09-30 2009-09-30 Display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011075798A true JP2011075798A (en) 2011-04-14

Family

ID=44019856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009226688A Pending JP2011075798A (en) 2009-09-30 2009-09-30 Display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011075798A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014534618A (en) * 2011-09-30 2014-12-18 アップル インコーポレイテッド Built-in thermal diffusion
KR20160070595A (en) * 2014-12-10 2016-06-20 엘지디스플레이 주식회사 Flexible radiating film and method for manufacturing the same
WO2017057227A1 (en) * 2015-10-01 2017-04-06 シャープ株式会社 Electroluminescent device and method for manufacturing same
JP2019104110A (en) * 2017-12-08 2019-06-27 大日本印刷株式会社 Heat control laminate, and heat radiation unit using the same, heating unit, display device and glass for windows

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07176384A (en) * 1993-12-20 1995-07-14 Idemitsu Kosan Co Ltd Organic electroluminescent element
JP2009038019A (en) * 2007-07-09 2009-02-19 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier sheet, method for manufacturing gas barrier sheet, sealing body, and organic el display
JP2009129681A (en) * 2007-11-22 2009-06-11 Sumitomo Chemical Co Ltd Organic electroluminescent device and its manufacturing method
JP2009152536A (en) * 2007-08-17 2009-07-09 Shinshu Univ Circuit board of electronic apparatus assuring highly efficient heat radiation, and electronic controller, computer system, electrical home appliance, and industrial apparatus product including the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07176384A (en) * 1993-12-20 1995-07-14 Idemitsu Kosan Co Ltd Organic electroluminescent element
JP2009038019A (en) * 2007-07-09 2009-02-19 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier sheet, method for manufacturing gas barrier sheet, sealing body, and organic el display
JP2009152536A (en) * 2007-08-17 2009-07-09 Shinshu Univ Circuit board of electronic apparatus assuring highly efficient heat radiation, and electronic controller, computer system, electrical home appliance, and industrial apparatus product including the same
JP2009129681A (en) * 2007-11-22 2009-06-11 Sumitomo Chemical Co Ltd Organic electroluminescent device and its manufacturing method

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014534618A (en) * 2011-09-30 2014-12-18 アップル インコーポレイテッド Built-in thermal diffusion
KR20160070595A (en) * 2014-12-10 2016-06-20 엘지디스플레이 주식회사 Flexible radiating film and method for manufacturing the same
KR102336434B1 (en) 2014-12-10 2021-12-06 엘지디스플레이 주식회사 Flexible radiating film and method for manufacturing the same
WO2017057227A1 (en) * 2015-10-01 2017-04-06 シャープ株式会社 Electroluminescent device and method for manufacturing same
US20180261787A1 (en) * 2015-10-01 2018-09-13 Sharp Kabushiki Kaisha Electroluminescence device and method for producing same
US10600982B2 (en) 2015-10-01 2020-03-24 Sharp Kabushiki Kaisha Electroluminescence device and method for producing same
JP2019104110A (en) * 2017-12-08 2019-06-27 大日本印刷株式会社 Heat control laminate, and heat radiation unit using the same, heating unit, display device and glass for windows
JP7069676B2 (en) 2017-12-08 2022-05-18 大日本印刷株式会社 Laminate for heat control, and heat dissipation unit, heat generation unit, display device and glass for windows using it.

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8829500B2 (en) Light emitting device
TWI221394B (en) Electro-optical device and electronic apparatus
KR100849314B1 (en) Active organic el device and method of manufacture thereof
TW541852B (en) Method for patterning oriented materials for organic electronic displays and devices
KR101084588B1 (en) Organic el light emitting element, manufacturing method thereof and display
US20090256470A1 (en) Organic electroluminescence apparatus
KR20080006304A (en) Organic light emitting diode display and method for manufacturing thereof
JP2011029119A (en) Light-emitting device
JP4736676B2 (en) Active matrix driving type organic electroluminescence display device
JP2011075798A (en) Display device
JP2007095518A (en) Organic electroluminescent display
JP4975137B2 (en) Organic EL device and display device
JP2012216810A (en) Organic el element and method of manufacturing the same
JP5732735B2 (en) Light emitting device
JP6779839B2 (en) Manufacturing method of organic EL display panel and organic EL display panel
WO2012070586A1 (en) Light emitting device and manufacturing method therefor
JP4893839B2 (en) Method for manufacturing light emitting device
JP2012069876A (en) Organic el element and manufacturing method therefor
WO2012070587A1 (en) Light emitting device and manufacturing method therefor
JP2010276829A (en) Display device
WO2012132292A1 (en) Organic el display element, organic el display device, and methods for manufacturing organic el display element and organic el display device
JP5216623B2 (en) Organic electroluminescence device and method for producing the same
JP2012074237A (en) Organic el element and manufacturing method thereof
JP2011198544A (en) Organic electroluminescent element and method of manufacturing the same
WO2016139934A1 (en) Transparent electrode, and organic electroluminescence element

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120807

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130312

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130702