JP2011073912A - ナノ構造体形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ナノ構造体を取り巻いている有機高分子体を、エキシマランプの照射下で熱処理することで取り除き、かつ、ナノ構造体の酸化を進め、低温での酸化物ナノ構造体の露出を行うことを可能とする。
【選択図】図5
Description
こうした金属酸化物からなるナノファイバ又はナノワイヤを製造する技術の1つとして、エレクトロスピニング(もしくはエレクトロスプレー)法が知られている。
図1は、エレクトロスピニング法による、金属酸化物からなるナノ構造体の形成方法を説明する模式図である。図1に示すように、このエレクトロスピニング法は、金属酸化物の前駆体と、粘度の高いポリマー溶液とを混合し、この混合溶液を噴射するノズルを用い、高電界を利用して基板に噴霧することでナノワイヤ等のナノ構造体を形成するものである(特許文献1、2、非特許文献1参照)。
近年、これに代わる次世代のデバイスとして、製造コストが安く、また、製造エネルギーが少ないとされる色素増感型でデバイスが提案されている。
この色素増感型デバイスは、透明電極と対向電極との間に、色素を担持させた半導体層(電子輸送層)と電解液とを有する構成とされ、受光により色素で発生した電子と正孔(キャリア)とが、それぞれ透明電極と対向電極とに引き分けられ、これらの間に電位差を生じさせるものであるが、その一つとして、透明電極層に、エレクトロスピニング法により作製した酸化チタンなどの酸化物半導体のナノワイヤを固着させたものが提案されている(特許文献3、4)。図2は、色素増感型太陽電池の構造を示す模式図である。
[1]基材上に、エレクトロスピニング法により金属酸化物の前駆体と有機高分子を含有する溶液又は分散液を噴射して、該金属酸化物及び有機高分子からなるナノ構造体を形成する工程と、
前記金属酸化物及び有機高分子からなるナノ構造体にエキシマ光を照射しながら加熱して有機高分子を取り除く工程
を含むことを特徴とする金属酸化物ナノ構造体の製造方法。
[2]前記加熱温度が、200℃以下である上記[1]の金属酸化物ナノ構造体の製造方法。
[3]前記金属酸化物構造体が、ナノファイバ状又はナノワイヤ状の酸化チタンである上記[1]又は[2]の金属酸化物ナノ構造体の製造方法。
本発明の金属酸化物のナノ構造体の製造方法は、基材に向けて、エレクトロスピニング法により金属酸化物前駆体と有機高分子溶液とを混合した溶液又は分散液を噴射して、基板上に金属酸化物及び有機高分子からなるナノ構造体を形成する工程と、前記金属酸化物のナノ構造体にエキシマランプ照射しながら加熱して、有機高分子を取り除き金属酸化物からなるナノ構造体を生成させる工程とを含むことを特徴とする。
図1に示すように、金属酸化物のゾルーゲル前駆体及び有機高分子溶液を混合した溶液又は分散液を供給するノズルと基板との間に直流の高電圧を印加すると、基板に向けて、金属酸化物前駆体含有溶液又は分散液が噴射され、更に高電圧によって発生した電場によって接地された導電性基板まで延伸する。ノズルから接地された基板に、コーン形態を有する溶液のジェット流が生成されるが、ノズルで形成される多くの正電荷を有するこのコーンから紡糸が開始すると、まず空気中の水分と反応して金属酸化物前駆体のゾル状態からゲル状態に変換が起こり、このようなゾル−ゲル変換と共に高速で紡糸されて繊維の直径が小さくなることで、表面積が増加して使用された溶媒が揮発し、基板上に到達して凝集し、基板上に金属酸化物及び有機高分子からなるナノ構造体の堆積層が形成される。
また、有機高分子の分子量、分子量は粘度等を考慮して適宜設定されるが、例えばポリビニルアルコールの場合、少なくとも、平均分子量が10000以上のものが好ましい。
また、上記エレクトロスピニング法におけるノズルと基板との距離は、上記印加電圧や金属酸化物前駆体含有溶液又は分散液の粘度及び導電率等によっても異なるが、5〜15cmの範囲が好ましい。
さらに、上記エレクトロスピニング法におけるノズルの吐出口径は、特に限定されるものではないが、300〜500μmの範囲が好ましい。
具体的には、エキシマランプを照射しながら加熱することにより、有機高分子を分解等させて、繊維状の金属化合物を得る。
本発明において用いるエキシマランプは、希ガスまたは希ガスハロゲン化合物の放電用ガスを充填した二重石英管と、内部・外部電極から構成されており、電極間に高周波・高電圧を印加することにより放電用ガスが励起され、その後エキシマ状態となり基底状態へ戻る際に真空紫外光(エキシマ光)を発生するものである。発生するエキシマ光は、準単色で、放電ガスの種類(キセノンXe2、アルゴンAr2など)により波長は異なるが、代表的に用いられる波長が172nmのエキシマ光の場合、放電ガスにキセノンが用いられる。
市販のITO基板を2センチ角に切断し、アセトンで超音波洗浄を2分間行い、表面に残る汚染と切りくずを除去した。
酸化チタンの前駆体として、有機チタン化合物である(NH4)4[Ti2(C6H4O7)2(O2)2]・4H2O(フルウチ化学製、TAS−FINE)の2%水溶液と、ポリビニルアルコール(和光純薬社製、PVA200)の10%水溶液を、1:1の体積比で混合してゲル溶液を作製した。
次いで、図1に示す装置(フューエンスES-2000)内で、このゲル溶液を注射器に入れ0.52mm径、長さ13mmのキャピラリーから、室温で基板−キャピラリー間に27kVの高圧を印加して、ITO基板上に噴霧した。
前記ナノ構造体が形成されたITO基板を、まず比較のために、大気中で、150〜500℃で熱処理を行った。
(エキシマランプ照射)
同様に、前記ナノ構造体が形成されたITO基板に、エキシマランプ(172nm 100mW/cm2)を用いて、100Vの強度で1時間試料に照射した。
なお、基板は、エキシマランプによる照射とともに加熱されるが、以下のSAMによる観察、及びXPS測定では、実施例として、エキシマランプ照射により基板温度が150℃になったものを用い、これと、加熱処理を行ったもの(比較例)及び室温のもの(加熱処理前)とを比較した。
それぞれのITO基板上の酸化チタンナノ構造体について、走査電子顕微鏡(JEOL-JSM-7001F及び日立S-4800)による観察を行った。
図3は、JEOL-JSM-7001Fによる観察像であり、左が加熱処理前のもの、右が500℃での熱処理後のもの(比較例)である。また、図4は、日立S-4800による観察像であり、aは加熱処理前のもの、bは300℃での熱処理後のもの(比較例)、cはエキシマランプ照射後(基板温度150℃)のもの(実施例)である。
図3の右側の断面観察から明らかなように、PVAとTAS−FINEが混合していると思われるナノ構造体が5μm程度、平坦なITO基板上に堆積していることがわかった。堆積時間は40分であったので、0.125nm/minの堆積速度となる。
また、図4b及び図4cから明らかなように、300℃での加熱処理後では、直径300ナノメートル以下のナノワイヤー構造体が形成されており、エキシマランプ照射後(基板温度150℃)においては、300nmナノメートルの径のナノワイヤー構造体が形成されていることが判明した。
エキシマランプ照射前後のITO基板上の酸化チタンナノ構造体について、X線光電子分光測定(XPS サーモエレクトロン シータプローブ)を行った。
図5はその結果を示す図であり、図中、aは、加熱処理前のもの、bは、150℃で加熱処理したもの、cは、300℃で加熱処理したもの、dは、エキシマ照射下で基板温度が150℃のものを示している。
図5から明らかなように、150℃での加熱熱処理でもC1sピークの減少が観察され、Ti2pピークも酸化チタンの位置に観察されたが、ピーク強度の変化はあまりなかった(図5b)。これに対し、300℃以上の加熱処理では、熱処理後の表面からC1s軌道に属するピークの強度が大きく減少していることがわかる(図5c)。
一方、エキシマランプ照射後(基板温度150℃)のものでは、Ti2pピークの強度が増大し、ピーク位置が458.9eV付近に観察され(図5d)、酸化チタン(TiO2)のナノ構造が形成されていることが示唆された。
Claims (3)
- 基材上に、エレクトロスピニング法により金属酸化物の前駆体と有機高分子を含有する溶液又は分散液を噴射して、該金属酸化物及び有機高分子なるナノ構造体を形成する工程と、
前記ナノ構造体にエキシマ光を照射しながら加熱して、有機高分子を取り除く工程
を含むことを特徴とする金属酸化物ナノ構造体の製造方法。 - 前記基板の加熱温度が、200℃以下である請求項1に記載の金属酸化物ナノ構造体の製造方法。
- 前記金属酸化物構造体が、ナノファイバ状又はナノワイヤ状の酸化チタンである請求項1又は2に記載の金属酸化物ナノ構造体の製造方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140030975A (ko) * | 2012-09-04 | 2014-03-12 | 삼성전자주식회사 | 신축성 전도성 나노섬유 및 그 제조방법 |
JP2014055366A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Kao Corp | ナノファイバ構造体の製造方法 |
JP2014055367A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Kao Corp | ナノファイバの製造方法 |
JP2014531519A (ja) * | 2011-08-30 | 2014-11-27 | コーネル・ユニバーシティーCornell University | 金属およびセラミックのナノファイバー |
KR101473693B1 (ko) * | 2013-02-18 | 2014-12-18 | 포항공과대학교 산학협력단 | 정렬된 구리산화물 반도체 나노와이어를 포함하는 전계효과 트랜지스터 어레이 및 그의 제조방법 |
JP2015206140A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | 宇部興産株式会社 | 金属微粒子配列繊維 |
CN114059235A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-02-18 | 南京摩开科技有限公司 | 一种光响应聚氨酯导电纳米纤维膜及其制备方法 |
US12005040B2 (en) | 2021-05-26 | 2024-06-11 | Cornell University | Metal and ceramic nanofibers |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01294506A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-28 | Nichicon Corp | エキシマレーザーによる金属酸化物および金属酸化物薄膜の製造方法 |
JPH0596698A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 平版印刷用刷版の製作方法 |
JPH10310937A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Minolta Co Ltd | 金属酸化物ファイバーの製造方法および該方法により製造された金属酸化物ファイバー |
JP2005128126A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Fuji Xerox Co Ltd | 光回路パターン及び高分子光導波路の製造方法 |
JP2006328578A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Bridgestone Corp | 繊維状金属化合物及びその製造方法 |
JP2009007247A (ja) * | 2001-08-03 | 2009-01-15 | Nippon Soda Co Ltd | 金属−酸素を有する分散質 |
-
2009
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01294506A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-28 | Nichicon Corp | エキシマレーザーによる金属酸化物および金属酸化物薄膜の製造方法 |
JPH0596698A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 平版印刷用刷版の製作方法 |
JPH10310937A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Minolta Co Ltd | 金属酸化物ファイバーの製造方法および該方法により製造された金属酸化物ファイバー |
JP2009007247A (ja) * | 2001-08-03 | 2009-01-15 | Nippon Soda Co Ltd | 金属−酸素を有する分散質 |
JP2005128126A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Fuji Xerox Co Ltd | 光回路パターン及び高分子光導波路の製造方法 |
JP2006328578A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Bridgestone Corp | 繊維状金属化合物及びその製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014531519A (ja) * | 2011-08-30 | 2014-11-27 | コーネル・ユニバーシティーCornell University | 金属およびセラミックのナノファイバー |
JP2018104878A (ja) * | 2011-08-30 | 2018-07-05 | コーネル・ユニバーシティーCornell University | 金属およびセラミックのナノファイバー |
KR20140030975A (ko) * | 2012-09-04 | 2014-03-12 | 삼성전자주식회사 | 신축성 전도성 나노섬유 및 그 제조방법 |
JP2014055366A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Kao Corp | ナノファイバ構造体の製造方法 |
JP2014055367A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Kao Corp | ナノファイバの製造方法 |
KR101473693B1 (ko) * | 2013-02-18 | 2014-12-18 | 포항공과대학교 산학협력단 | 정렬된 구리산화물 반도체 나노와이어를 포함하는 전계효과 트랜지스터 어레이 및 그의 제조방법 |
JP2015206140A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | 宇部興産株式会社 | 金属微粒子配列繊維 |
US12005040B2 (en) | 2021-05-26 | 2024-06-11 | Cornell University | Metal and ceramic nanofibers |
CN114059235A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-02-18 | 南京摩开科技有限公司 | 一种光响应聚氨酯导电纳米纤维膜及其制备方法 |
CN114059235B (zh) * | 2021-11-29 | 2022-12-02 | 南京摩开科技有限公司 | 一种光响应聚氨酯导电纳米纤维膜及其制备方法 |
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