JP2011069995A - Antireflection film - Google Patents

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Yuki Watanabe
祐樹 渡邉
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an antireflection film having good post-processability, high transparency, and high added value enduring various use environments. <P>SOLUTION: In the antireflection film, a hard coat layer made of photo-setting resin with a thickness of ≥1.5 μm and ≤6 μm and a total light transmittance of ≥89%, and an antireflection layer of four or more layers where high refraction material layers and low refraction layers are alternately stacked are stacked on at least one surface of a polyethylene terephthalate film (transparent base material film) with a thickness of ≥70 μm and ≤200 μm, a haze of ≤0.5%, and a total light transmittance of ≥88%. The antireflection film has a haze of ≤0.3%, a total light transmittance of ≥92%, a luminous reflectance of ≤0.9%, and a water vapor transmission rate of ≤2.0 g/m<SP>2</SP>/day. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、後加工性が良く、透明性が高く、様々な使用環境に耐え得る反射防止フィルムに関するものである。   The present invention relates to an antireflection film that has good post-processability, high transparency, and can withstand various use environments.

LCDやCRT、プラズマデイスプレイパネル等の光学表示装置においては、太陽光や蛍光灯等の外光の写り込みを防止する反射防止フィルムが使用されることが多い。特に、外光の写り込みが大きい屋外の使用においては、限りなくゼロに近い反射率を有する反射防止フィルムが求められている。   In an optical display device such as an LCD, CRT, or plasma display panel, an antireflection film that prevents reflection of external light such as sunlight or a fluorescent lamp is often used. In particular, for outdoor use where the reflection of outside light is large, an antireflection film having a reflectance close to zero is required.

一般的に、反射防止フィルムは、数nmレベルの薄膜の多層成膜が可能なドライコーティング技術が用いられる。中でも、スパッタリング法は、蒸着法やイオンプレーティング法、CVD法などの他のドライコーティング方法に比べて、膜厚均一性が高く、ピンホール等の欠陥が少ないため、より視認性に優れた薄膜の形成が可能である。また、緻密な膜の形成が可能であることから、機械特性に非常に優れた薄膜の形成が可能である。   In general, the antireflection film uses a dry coating technique capable of forming a thin film having a thickness of several nanometers. Among these, the sputtering method is a thin film with higher visibility than other dry coating methods such as vapor deposition, ion plating, and CVD because it has higher film thickness uniformity and fewer defects such as pinholes. Can be formed. In addition, since a dense film can be formed, it is possible to form a thin film with extremely excellent mechanical properties.

反射防止フィルムは、LCD用途で使用されることが多く、偏光板の保護フィルムに積層した構成の反射防止層構成が、一般的である。トリアセチルセルロース(TAC)フィルムが、吸湿性の良さおよび非常に透明性が高いことから、この偏光板の保護フィルムすなわち反射防止フィルムの基材として、使用されている。   The antireflection film is often used in LCD applications, and an antireflection layer configuration in which the antireflection film is laminated on a protective film of a polarizing plate is common. A triacetyl cellulose (TAC) film is used as a protective film for this polarizing plate, that is, a base material for an antireflection film, because of its good hygroscopicity and very high transparency.

しかし、このTACフィルムを、LCD用途以外で使用する場合、透明性の高さという大きな利点はあるものの、(A)加水分解などによる、変色、腐食等の外観不良が発生しやすく、環境耐久性が悪い。(B)後工程での加工性が悪い。(C)LCD用途以外での供給が難しいと言う問題がある。そのため、LCD用途で使用する場合において、TAC以外の基材を使用した、透明性を持ち、更に、後加工性の良い反射防止フィルムの開発が望まれている。   However, when this TAC film is used for purposes other than LCD applications, although it has a great advantage of high transparency, (A) it is prone to appearance defects such as discoloration and corrosion due to hydrolysis, etc., and environmental durability Is bad. (B) The workability in the subsequent process is poor. (C) There is a problem that it is difficult to supply other than LCD applications. Therefore, in the case of use in LCD applications, development of an antireflection film having transparency and good post-processability using a substrate other than TAC is desired.

もちろん、TAC以外の基材、特にポリエチレンテレフタラート(PET)を用いた反射防止フィルムは以前より提案されている。例えば、PETフィルムを用いた特許としては、特許文献1および特許文献2などがある。一般的に、ドライコーティング法、特にスパッタリング法では、前記したように、膜厚の均一性が高いため、複数の層を重ねたち密な光学設計に基づいた極めて低い反射率の性能を持った反射防止フィルムを作ることができる。その代償に、プロセスコストが高くなるという欠点がある。   Of course, an antireflection film using a substrate other than TAC, particularly polyethylene terephthalate (PET) has been proposed. For example, there are Patent Document 1 and Patent Document 2 as patents using a PET film. In general, dry coating methods, especially sputtering methods, have high film thickness uniformity, as described above, so that reflection with extremely low reflectivity based on a dense optical design with multiple layers stacked. Preventive film can be made. The price is that the process cost is high.

そのため、ウェットコーティング法で作成した反射防止膜よりも、高性能で高額な価格設定になる。そのため、TAC等に比べ、光学性能で劣るPETフィルム等を基材に使用しても、需要が少ないのが現状であり、これまでの液晶ディスプレイなどの用途以外での様々な用途展開を考える必要がある。   For this reason, the price is higher and the price is higher than that of the antireflection film prepared by the wet coating method. Therefore, even if a PET film or the like that is inferior in optical performance is used as a base material compared to TAC, etc., there is currently little demand, and it is necessary to consider various application developments other than applications such as liquid crystal displays so far There is.

特許第3141129号公報Japanese Patent No. 3141129 特開平9−193328号公報JP-A-9-193328

以上のことを鑑みて、基材に、ポリエチレンテレフタラートフィルム(PETフィルム)を用いても、極めて高い透明性を有し、かつ機械特性に優れた反射防止フィルムであり、フィルムとして出荷後、断裁や貼り合わせ等との後加工性が良く、様々なアプリケーションで使用しやすい。   In view of the above, even if a polyethylene terephthalate film (PET film) is used as a base material, it is an antireflection film having extremely high transparency and excellent mechanical properties. It is easy to use in various applications.

更に、水濡れ、手垢、磨耗等の日常生活レベルでの劣化に強い高付加価値な性能を有し、作製した膜は、緻密な膜が形成されるため、水蒸気バリア性能の高い膜を備えた反射防止フィルムを形成することを課題とした。   In addition, it has high value-added performance that is resistant to deterioration at daily living levels such as water wetting, dirt, and wear, and since the film produced is a dense film, it has a film with high water vapor barrier performance. An object was to form an antireflection film.

上記課題を解決するために請求項1に係る発明としては、透明基材の少なくとも一方の面上に、ハードコート層と反射防止層を順次積層してなり、前記反射防止層が、高屈折材料層と低屈折率層を交互に積層させた4層以上の積層体で、前記反射防止層の最外層の薄膜が低屈折率層である反射防止フィルムにおいて、
(a)透明基材の厚みが70μm以上200μm以下、ヘイズが0.5%以下、全光線透過率が88%以上であり、
(b)ハードコート層の厚みが1.5μm以上6μm以下であり、
(c)反射防止層の総厚が100nm以上300nm以下であり、
(d)反射防止フィルムのヘイズが0.3%以下、全光線透過率が92%以上であり、視感反射率が0.9%以下であり、水蒸気透過速度が2.0g/m/day以下であることを特徴とする反射防止フィルムである。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is characterized in that a hard coat layer and an antireflection layer are sequentially laminated on at least one surface of a transparent substrate, and the antireflection layer is made of a highly refractive material. In the antireflection film in which the thin film of the outermost layer of the antireflection layer is a low refractive index layer in a laminate of four or more layers in which layers and low refractive index layers are alternately laminated,
(A) The thickness of the transparent substrate is 70 μm or more and 200 μm or less, the haze is 0.5% or less, and the total light transmittance is 88% or more,
(B) The thickness of the hard coat layer is 1.5 μm or more and 6 μm or less,
(C) The total thickness of the antireflection layer is 100 nm or more and 300 nm or less,
(D) The haze of the antireflection film is 0.3% or less, the total light transmittance is 92% or more, the luminous reflectance is 0.9% or less, and the water vapor transmission rate is 2.0 g / m 2 /. It is an antireflection film characterized by being not more than day.

また、請求項2に係る発明としては、前記透明基材が、ポリエチレンテレフタラートフィルムであることを特徴とする請求項1に記載の反射防止フィルムである。   The invention according to claim 2 is the antireflection film according to claim 1, wherein the transparent substrate is a polyethylene terephthalate film.

また、請求項3に係る発明としては、前記反射防止層の低屈折率層が酸化珪素と、高屈折率層が酸化ニオブであることを特徴とする請求項1および2に記載の反射防止フィルムである。   The invention according to claim 3 is characterized in that the low refractive index layer of the antireflection layer is silicon oxide and the high refractive index layer is niobium oxide. It is.

また、請求項4に係る発明としては、前記ハードコート層と反射防止層との間に、金属、または、2種類以上の金属からなる合金、または、金属化合物、または、それらの混合物よりなり、1層以上からなるプライマー層を設けることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の反射防止フィルムである。   In addition, as an invention according to claim 4, between the hard coat layer and the antireflection layer, a metal, an alloy composed of two or more metals, a metal compound, or a mixture thereof, 4. The antireflection film according to claim 1, wherein a primer layer comprising one or more layers is provided.

また、請求項5に係る発明としては、前記反射防止層の表面に、フッ素化合物を含む防汚層を設けることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の反射防止フィルムである。   The invention according to claim 5 is the antireflection film according to any one of claims 1 to 4, wherein an antifouling layer containing a fluorine compound is provided on the surface of the antireflection layer.

また、請求項6に係る発明としては、透明基材の少なくとも一方の面上に、ハードコート層と反射防止層を順次積層してなり、前記反射防止層が、高屈折材料層と低屈折率層を交互に積層させた4層以上の積層体で、前記反射防止層の最外層の薄膜が低屈折率層である反射防止フィルムの製造方法において、
前記反射防止層をスパッタリング法により積層する工程と、
前記防汚層を真空蒸着法により積層する工程と、
を具備することを特徴とする反射防止フィルムの製造方法である。
According to a sixth aspect of the present invention, a hard coat layer and an antireflection layer are sequentially laminated on at least one surface of a transparent substrate, and the antireflection layer comprises a high refractive material layer and a low refractive index. In a laminate of four or more layers in which layers are alternately stacked, the outermost thin film of the antireflection layer is a low-refractive index layer manufacturing method,
Laminating the antireflection layer by sputtering;
Laminating the antifouling layer by vacuum deposition;
It is a manufacturing method of the antireflection film characterized by comprising.

本発明の反射防止フィルムとすることにより、請求項1に記載の発明によれば、日常生活環境で耐久性が高く、高透明性を有し、耐擦傷性試験、鉛筆硬度試験などの機械特性に優れた反射防止フィルムを得ることができる。   By using the antireflection film of the present invention, according to the invention described in claim 1, it has high durability in daily living environment, high transparency, and mechanical properties such as scratch resistance test and pencil hardness test. Can be obtained.

また、請求項2に記載の発明によれば、ポリエチレンテレフタラートフィルムの厚さ100μmの場合、水蒸気透過速度は、温度40℃相対湿度90%で6.5g/m/dayであり、水蒸気はフィルムをより透過しにくくなることが可能であり、反射防止フィルムに用いたときに、高い水蒸気バリア性能を得ることができる。 According to the invention described in claim 2, when the thickness of the polyethylene terephthalate film is 100 μm, the water vapor transmission rate is 6.5 g / m 2 / day at a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90%. The film can be more difficult to transmit, and when used in an antireflection film, high water vapor barrier performance can be obtained.

また、請求項3に記載の発明によれば、また、請求項2に記載のフィルム上に膜を積層することで、水蒸気はフィルムをより透過しにくくなることが可能である。   Further, according to the invention described in claim 3, by laminating the film on the film described in claim 2, it is possible for water vapor to be more difficult to permeate the film.

また、請求項4に記載の発明によれば、ハードコート層と反射防止層との密着性を向上させることができる。   Moreover, according to the invention of Claim 4, the adhesiveness of a hard-coat layer and an antireflection layer can be improved.

また、請求項5に記載の発明によれば、請求項1から請求項4の効果を用いて、最表面における指紋、汗、化粧、油分、水滴などの表面汚れが付きにくく、更に、汚れが付いた場合でも拭き取り性能を上げることができる。   Further, according to the invention of claim 5, by using the effects of claims 1 to 4, surface contamination such as fingerprints, sweat, makeup, oil, water droplets and the like on the outermost surface is difficult to be attached, and further, contamination is not caused. Even when attached, the wiping performance can be improved.

また、請求項6に記載の発明によれば、反射防止層をスパッタリング法のドライコーティング法で形成することにより、膜厚均一性が高く、ピンホール等の欠陥が少ないため、視認性に優れ、耐擦傷性などの機械特性に優れた薄膜の形成ができる。また、スパッタで圧力を制御して形成した膜は、緻密な膜が形成されるため、高い水蒸気バリア性能を得ることができるさらにフッ素化合物を主とする材料を真空蒸着法により形成することにより、均一でかつ薄膜に膜形成することができる。   In addition, according to the invention described in claim 6, by forming the antireflection layer by the dry coating method of the sputtering method, the film thickness uniformity is high, and there are few defects such as pinholes, so the visibility is excellent. A thin film having excellent mechanical properties such as scratch resistance can be formed. In addition, since the film formed by controlling the pressure by sputtering forms a dense film, by forming a material mainly containing a fluorine compound that can obtain high water vapor barrier performance by vacuum deposition, A uniform and thin film can be formed.

本発明の一実施例の反射防止フィルムの断面図である。It is sectional drawing of the antireflection film of one Example of this invention.

以下、本発明の実施の形態について説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

図1は、本発明の反射防止フィルムの一実施形態を示した断面図である。図1において、本発明の反射防止フィルム(100)は、透明基材(1)上に、ハードコート層(2)、プライマー層(3)、反射防止層(4)が順次積層されている。さらに反射防止層(4)上に防汚層(5)が積層されている。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the antireflection film of the present invention. In FIG. 1, in the antireflection film (100) of the present invention, a hard coat layer (2), a primer layer (3), and an antireflection layer (4) are sequentially laminated on a transparent substrate (1). Further, an antifouling layer (5) is laminated on the antireflection layer (4).

本発明における透明基材(1)としては、ポリエチレンテレフタラート(ポリエチレンテレフタラート(Polyethylene terephthalate) は、ポリエステルの一種であり、英語読みをしてポリエチレンテレフタレートと呼ばれることも多く、その頭文字からPETと略称される。よって、本発明においては、ポリエチレンテレフタラート、ポリエチレンテレフタレート、PETのいずれかで称する。)フィルムを用いる。   As the transparent substrate (1) in the present invention, polyethylene terephthalate (polyethylene terephthalate) is a kind of polyester and is often referred to as polyethylene terephthalate in English reading. Therefore, in the present invention, it is referred to as polyethylene terephthalate, polyethylene terephthalate, or PET.) A film is used.

透明基材(1)の厚さは、目的の用途に応じて、適宜選択すればよいが、通常70μm以上200μm以下のものを使用する。さらには、75μm以上100μm以下のものが光学的特性や、加工取り扱い上で好ましい。   The thickness of the transparent substrate (1) may be appropriately selected according to the intended use, but usually a thickness of 70 μm or more and 200 μm or less is used. Furthermore, the thing of 75 micrometers or more and 100 micrometers or less is preferable on optical characteristics or processing handling.

また、本発明においては、透明基材(1)であるPETフィルムには、可塑剤や紫外線吸収剤、劣化防止剤の添加物が含まれていてもよいが、高透明なフィルムを選択する必要があるため、粒子形状をした添加物等は光の透過性および光の直進性を低くしてしまい、透明性を下げる原因となるため、あまり好ましくない。できる限り、内部への粒子状の添加物は避ける必要がある。ハンドリング上、易接着層などは、必要となるが、PETの外側に、なるべく表面粗さを抑えた状態で、コーティングする必要がある。また、フィルムの透明度に関しては、ヘイズや光線透過率の値で、決めることが出来る。本発明においては、PETフィルムの、ヘイズが0.5%以下、全光線透過率が88%以上のものを使用する。   In the present invention, the PET film as the transparent substrate (1) may contain additives such as a plasticizer, an ultraviolet absorber and a deterioration preventing agent, but it is necessary to select a highly transparent film. Therefore, an additive or the like in the form of a particle is not preferable because it lowers the light transmittance and the straightness of light and lowers the transparency. As far as possible, particulate additives inside should be avoided. In terms of handling, an easy-adhesion layer or the like is necessary, but it is necessary to coat the PET outside with as little surface roughness as possible. Further, the transparency of the film can be determined by the values of haze and light transmittance. In the present invention, a PET film having a haze of 0.5% or less and a total light transmittance of 88% or more is used.

透明基材(1)上に、反射防止層(4)の機械強度を十分に発揮させるためのハードコート層(2)を設ける。本発明におけるハードコート層(2)としては、電離線や紫外線を用いて硬化させる光硬化性樹脂が使用され、紫外線硬化型のアクリル酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリル酸エステル類、メタクリルアミド等のアクリル系樹脂や有機珪素系樹脂やポリシロキサン樹脂が最適である。これらの材料の中には、硬化性を向上させるために、重合開始剤を添加してもよい。PETフィルムの片面に易接着層を有する場合は、易接着面側にHCを塗工することが好ましい。ヘイズを下げ、更に、ハードコートとPETフィルムの密着性を上げる効果がある。   On the transparent base material (1), a hard coat layer (2) for sufficiently exhibiting the mechanical strength of the antireflection layer (4) is provided. As the hard coat layer (2) in the present invention, a photocurable resin that is cured by using ionizing rays or ultraviolet rays is used, and ultraviolet curable acrylic esters, acrylamides, methacrylic esters, methacrylamide, and the like are used. Acrylic resins, organosilicon resins, and polysiloxane resins are most suitable. A polymerization initiator may be added to these materials in order to improve curability. When having an easy-adhesion layer on one side of the PET film, it is preferable to coat HC on the easy-adhesion side. It has the effect of lowering the haze and further increasing the adhesion between the hard coat and the PET film.

また、ハードコート層の塗布方法としては、湿式成膜法が一般的であり、ロールコーター、リバースロールコーター、グラビアコーター、マイクログラビアコーター、ナイフコーター、バーコーター、ワイヤーバーコーター、ダイコーター、ディップコーターを用いた塗布方法を用いることができる。   Moreover, as a coating method of the hard coat layer, a wet film forming method is generally used, and a roll coater, a reverse roll coater, a gravure coater, a micro gravure coater, a knife coater, a bar coater, a wire bar coater, a die coater, and a dip coater. A coating method using can be used.

また、ハードコート層の硬化方法としては、電離放射線としては、紫外線、電子線を用いることができる。紫外線硬化の場合は、高圧水銀灯、低圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、カーボンアーク、キセノンアーク等の光源が利用できる。また、電子線硬化の場合はコックロフトワルト型、バンデグラフ型、共振変圧型、絶縁コア変圧器型、直線型、ダイナミトロン型、高周波型等の各種電子線加速器から放出される電子線が利用できる。   Moreover, as a hardening method of a hard-coat layer, an ultraviolet-ray and an electron beam can be used as ionizing radiation. In the case of ultraviolet curing, a light source such as a high pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a carbon arc, or a xenon arc can be used. In the case of electron beam curing, electron beams emitted from various electron beam accelerators such as cockloftwald type, bandegraph type, resonant transformer type, insulated core transformer type, linear type, dynamitron type, and high frequency type can be used. .

ハードコート層(2)の厚みとしては、物理膜厚1.5μm以上6μm以下とすることが好ましい。ハードコート層(2)の厚みが1.5μm以下だと、機械強度の性能が出にくく、紫外線照射エネルギーが膜厚を超えてしまい硬化不良となってしまうこともある。
また、厚みが6μm以上だと、フィルムの曲げや引張りなどにより、ハードコートクラックが発生しやすく、硬化時の樹脂収縮が起き、フィルムのカール(反り)が生じてしまうことがあり、後加工性が悪くなる。
The thickness of the hard coat layer (2) is preferably a physical film thickness of 1.5 μm or more and 6 μm or less. When the thickness of the hard coat layer (2) is 1.5 μm or less, the mechanical strength performance is difficult to be obtained, and the ultraviolet irradiation energy may exceed the film thickness, resulting in poor curing.
If the thickness is 6 μm or more, hard coat cracks are likely to occur due to bending or pulling of the film, resin shrinkage at the time of curing may occur, and curling (warping) of the film may occur. Becomes worse.

本発明における反射防止フィルム(100)においては、反射防止層が極めて薄いため、反射防止フィルム層全体の固さは、下地層であるハードコートの固さの影響を受けやすい。そのため、できるだけ機械強度が高いハードコート層を選択する必要がある。鉛筆硬度試験において、鉛筆硬度2H、500gf荷重で5回試験を行った時に、2本以上傷がつかないハードコート層を使用する。   In the antireflection film (100) of the present invention, since the antireflection layer is extremely thin, the hardness of the entire antireflection film layer is easily affected by the hardness of the hard coat as the underlayer. Therefore, it is necessary to select a hard coat layer having as high mechanical strength as possible. In the pencil hardness test, a hard coat layer that is not damaged by two or more when a test is performed five times with a pencil hardness of 2H and a load of 500 gf is used.

透明基材(1)と接する面とは反対側のハードコート層(2)に表面処理を施しても良い。このとき、表面処理方法としては、コロナ放電処理や電子ビーム処理、火炎処理、グロー放電処理、大気圧プラズマ処理等の処理が挙げられる。   Surface treatment may be applied to the hard coat layer (2) opposite to the surface in contact with the transparent substrate (1). At this time, examples of the surface treatment method include corona discharge treatment, electron beam treatment, flame treatment, glow discharge treatment, and atmospheric pressure plasma treatment.

本発明では、低温プラズマ表面処理を施すのが特に好ましい。低温プラズマ処理を行うことで、親水性の向上や、適度に表面を荒らすことにより、その後に積層する薄膜との密着性を向上させる。   In the present invention, it is particularly preferable to perform a low temperature plasma surface treatment. By performing the low temperature plasma treatment, the hydrophilicity is improved and the surface is moderately roughened, thereby improving the adhesion with a thin film to be subsequently laminated.

この後、ハードコート層(2)に、プライマー層(3)を設けてもよい。プライマー層(3)の材料としては、例えば、シリコン、ニッケル、クロム、錫、金、銀、白金、亜鉛、チタン、タングステン、アルミニウム、ジルコニウム、パラジウム等の金属、または、これら金属の2種類以上からなる合金、または、これらの酸化物、弗化物、硫化物、窒化物などが挙げられ、これは混合物であってもよい。また、プライマー層(3)は2層以上の構成であってもよい。   Thereafter, the primer layer (3) may be provided on the hard coat layer (2). As a material of the primer layer (3), for example, a metal such as silicon, nickel, chromium, tin, gold, silver, platinum, zinc, titanium, tungsten, aluminum, zirconium, palladium, or two or more kinds of these metals. Or their oxides, fluorides, sulfides, nitrides, etc., which may be mixtures. Further, the primer layer (3) may have two or more layers.

プライマー層(3)は、密着性を向上させるために用いる。その厚みは、透明基材(1)の透明性を損なわない程度あればよく、好ましくは、物理膜厚で、1nm以上10nm以下程度である。これらのプライマー層は、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法、化学蒸着(CVD)法などのドライコーティング方法を用いることが好ましい。特に、スパッタリング法が好ましい。なお、プライマー層と反射防止層を同一の真空装置内にて形成する場合には、デュアル・マグネトロン・スパッタリング(DMS)法を用いて成膜することが可能である。   The primer layer (3) is used for improving adhesion. The thickness should just be a grade which does not impair the transparency of a transparent base material (1), Preferably, it is a physical film thickness and is about 1 nm or more and 10 nm or less. These primer layers are preferably formed by a dry coating method such as a sputtering method, a reactive sputtering method, a vapor deposition method, an ion plating method, or a chemical vapor deposition (CVD) method. In particular, a sputtering method is preferable. In the case where the primer layer and the antireflection layer are formed in the same vacuum apparatus, it is possible to form the film using a dual magnetron sputtering (DMS) method.

光学薄膜層からなる反射防止層(4)は、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法、化学蒸着(CVD)法などのドライコーティング方法で形成できる。膜厚均一性が高く、ピンホール等の欠陥が少ないため、視認性に優れ、緻密であり、耐擦傷性などの機械特性に優れた薄膜の形成が可能であるスパッタリング法を用いることが好ましい。スパッタリング法の中でも、より高い成膜速度と高い放電安定性により高生産性を得ることができることから、中周波領域の電圧印加により成膜を行うデュアル・マグネトロン・スパッタリング(以降 DMSと称する。)法が最適である。   The antireflection layer (4) comprising the optical thin film layer can be formed by a dry coating method such as a sputtering method, a reactive sputtering method, a vapor deposition method, an ion plating method, or a chemical vapor deposition (CVD) method. It is preferable to use a sputtering method that has high film thickness uniformity and few defects such as pinholes, and that is excellent in visibility, dense, and capable of forming a thin film with excellent mechanical properties such as scratch resistance. Among the sputtering methods, high productivity can be obtained due to a higher film formation rate and higher discharge stability. Therefore, a dual magnetron sputtering (hereinafter referred to as DMS) method in which film formation is performed by applying a voltage in the middle frequency range. Is the best.

なお、スパッタリング法とは、一般的に、原子あるいはイオンを個体(ターゲット)表面に衝突させた際に、その個体表面原子が外部に放出される現象をいい、この放出された原子を対向する基板に堆積することにより薄膜を形成する。種々の材料を比較的容易に作製でき、回路素子構成等のための技術として工業的に積極的に利用されている。スパッタリングの手法として、マグネトロンスパッタリング、高周波(RF)スパッタリングなどがある。   The sputtering method generally refers to a phenomenon in which atoms or ions are released to the outside when the atoms or ions collide with the surface of the solid (target). A thin film is formed by depositing. Various materials can be produced relatively easily, and are actively used industrially as a technique for circuit element configuration and the like. Sputtering techniques include magnetron sputtering and radio frequency (RF) sputtering.

また、DMS法の選択としては、一般的にはSiOx、TiOなどの成膜は、導電性の金属ターゲットから反応性スパッタリングにより行うが、この際に問題になるのが絶縁性皮膜の装置内部への堆積に伴うアノード消失の問題となり、成膜方法について適宜最良の方法を選択する必要がある。この問題を解消するのがDMS法であり、DMS蒸発源の構造である。 As a selection of the DMS method, generally, film formation of SiOx, TiO 2 or the like is performed by reactive sputtering from a conductive metal target. Therefore, it is necessary to select the best method as the film forming method. The DMS method solves this problem, and the structure of the DMS evaporation source.

具体的には、DMS蒸発源は、並置した2台のスパッタカソードを中間周波数の交流電源の両極に接続するもので、2台の蒸発源が交互に負極・正極として動作する。負極として動作する間に表面がスパッタされることでターゲット表面は常に導電性に維持されるため、アノードとしての機能を長時間維持し、安定的に放電を維持できる。また、スパッタロールコータでは大面積のフィルムを処理するため、蒸発源の連続動作時間は長くなり、このような安定性はきわめて重要である。加えて、スパッタ電圧や発生するプラズマからの発光をモニタリングして酸素など反応ガス流量を高速制御して、スパッタの放電モードをいわゆる遷移領域に保つ技術も使用され、高い成膜速度を実現している方法であり、本発明の反射防止層の形成における方法としては最適である。なお、積層時の真空圧力としては、0.1Pa以上0.6Pa以下が適していた。   Specifically, the DMS evaporation source connects two sputter cathodes juxtaposed to both electrodes of an intermediate frequency AC power supply, and the two evaporation sources operate alternately as a negative electrode and a positive electrode. Since the surface of the target is always kept conductive by being sputtered while operating as a negative electrode, the function as an anode can be maintained for a long time, and discharge can be stably maintained. In addition, since the sputter roll coater processes a large area film, the continuous operation time of the evaporation source becomes long, and such stability is extremely important. In addition, technology that keeps the sputtering discharge mode in the so-called transition region by monitoring the sputtering voltage and the light emission from the generated plasma and controlling the flow rate of the reactive gas such as oxygen at high speed is also used to realize a high film deposition rate. And is the most suitable method for forming the antireflection layer of the present invention. In addition, as a vacuum pressure at the time of lamination | stacking, 0.1 Pa or more and 0.6 Pa or less were suitable.

反射防止層(4)としては、波長550nmにおける光の屈折率が1.6未満でかつ波長550nmにおける光の消衰係数が0.5以下の低屈折率透明薄膜層単層からなるものや、波長550nmにおける光の屈折率が1.9以上の高屈折率透明薄膜層、光の屈折率1.6未満の低屈折率透明薄膜層、光の屈折率1.6以上1.9未満程度の中屈折率透明薄膜層などの屈折率の異なる光学薄膜を積層した複数層からなるものなどが挙げられる。複数層からなる反射防止層は反射率がきわめて低く、反射防止性能が高いため、特に好ましい。複数層からなる反射防止層(4)としては、基材側より順番に、高屈折率透明薄膜層、低屈折率透明薄膜層、高屈折率透明薄膜層、低屈折率透明薄膜層とを積層した構成のものが挙げられる。また、100nm以下では、十分な反射防止機能を得られる光学設計ができない。また、300nm以上では、光学設計はできるが、著しく生産性が悪くなることを考慮して、反射防止層の層厚は、100nm以上300nm以下であることが好ましい。   The antireflection layer (4) is composed of a single layer of a low refractive index transparent thin film having a refractive index of light at a wavelength of 550 nm of less than 1.6 and an extinction coefficient of light at a wavelength of 550 nm of 0.5 or less, A high refractive index transparent thin film layer having a light refractive index of 1.9 or more at a wavelength of 550 nm, a low refractive index transparent thin film layer having a light refractive index of less than 1.6, or a light refractive index of 1.6 or more but less than 1.9. Examples thereof include a plurality of layers in which optical thin films having different refractive indexes such as a medium refractive index transparent thin film layer are laminated. An antireflection layer comprising a plurality of layers is particularly preferred because of its extremely low reflectance and high antireflection performance. As the antireflection layer (4) composed of a plurality of layers, a high refractive index transparent thin film layer, a low refractive index transparent thin film layer, a high refractive index transparent thin film layer, and a low refractive index transparent thin film layer are laminated in order from the substrate side. The thing of the structure which was made is mentioned. If the thickness is 100 nm or less, an optical design that can obtain a sufficient antireflection function is not possible. In addition, although optical design can be performed at 300 nm or more, the thickness of the antireflection layer is preferably 100 nm or more and 300 nm or less considering that productivity is remarkably deteriorated.

高屈折率透明薄膜層の材料としては、インジウム、錫、チタン、シリコン、亜鉛、ジルコニウム、ニオブ、マグネシウム、ビスマス、セリウム、タンタル、アルミニウム、ゲルマニウム、カリウム、アンチモン、ネオジウム、ランタン、トリウム、ハフニウム等の金属、あるいは、これら金属の2種類以上からなる合金、これらの酸化物、弗化物、硫化物、窒化物などが挙げられる。具体的には、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化セリウム等が挙げられるがこれに限られるものではない。また、複数積層する場合、必ずしも同じ材料を選択する必要はなく、目的にあわせて、適宜選択すればよい。中でも、スパッタリング法を用いる場合は、作成した薄膜のピンホールの少なさから、酸化ニオブが適している。   As the material for the high refractive index transparent thin film layer, indium, tin, titanium, silicon, zinc, zirconium, niobium, magnesium, bismuth, cerium, tantalum, aluminum, germanium, potassium, antimony, neodymium, lanthanum, thorium, hafnium, etc. Examples thereof include metals or alloys composed of two or more of these metals, oxides thereof, fluorides, sulfides, and nitrides. Specific examples include titanium oxide, niobium oxide, zirconium oxide, tantalum oxide, zinc oxide, indium oxide, and cerium oxide, but are not limited thereto. In addition, when a plurality of layers are stacked, it is not always necessary to select the same material, and the material may be appropriately selected according to the purpose. In particular, when sputtering is used, niobium oxide is suitable because of the small number of pinholes in the thin film produced.

低屈折率透明薄膜層の材料としては、例えば、酸化シリコン、窒化チタン、弗化マグネシウム、弗化バリウム、弗化カルシウム、弗化ハフニウム、弗化ランタン等の材料が、挙げられるがこれに限られるものでなく、更に、複数積層する場合、必ずしも同じ材料を選択する必要なく、目的にあわせて、適宜選択すればよい。特に、光学特性、機械強度、コスト、成膜適正などの面などから、酸化シリコンが最適な材料である。   Examples of the material for the low refractive index transparent thin film layer include, but are not limited to, materials such as silicon oxide, titanium nitride, magnesium fluoride, barium fluoride, calcium fluoride, hafnium fluoride, and lanthanum fluoride. In addition, when a plurality of layers are stacked, it is not always necessary to select the same material, and it may be appropriately selected according to the purpose. In particular, silicon oxide is an optimal material in terms of optical characteristics, mechanical strength, cost, film formation appropriateness, and the like.

ところで、これらの反射防止フィルムの水蒸気透過量は、基材や機能層の材質、厚み、更には温湿度の影響を受けて変化する。透湿率の温度依存性は、P=P0e−E/RT (なお、P:透湿率(単位厚さ、単位水蒸気圧差あたりの水蒸気透過速度)、P0:絶対零度の透湿率、E:透湿率の活性化エネルギー、R:気体定数、T:絶対温度を示す。)とされるアレニウス式で表される。   By the way, the water vapor transmission amount of these antireflection films changes under the influence of the material and thickness of the base material and the functional layer, and further the temperature and humidity. The temperature dependence of moisture permeability is P = P0e-E / RT (where P: moisture permeability (unit thickness, water vapor transmission rate per unit water vapor pressure difference), P0: moisture permeability at absolute zero, E: (Activation energy of moisture permeability, R: gas constant, T: absolute temperature).

偏光板の表面保護膜として汎用されているTACフィルムの場合、厚さ100μmの水蒸気透過速度は、温度40℃相対湿度90%で380g/m/dayとなる。一方で、PETフィルムの場合、6.5g/m/dayとなり、TACに比べ、格段に水蒸気バリア性が高い。 In the case of a TAC film widely used as a surface protective film for a polarizing plate, the water vapor transmission rate with a thickness of 100 μm is 380 g / m 2 / day at a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90%. On the other hand, in the case of a PET film, it is 6.5 g / m 2 / day, which is much higher in water vapor barrier properties than TAC.

この透明基材(1)上に膜を積層することで、水蒸気はフィルムをより透過しにくくなることが可能であるが、特に、スパッタで作製した膜は、緻密な膜が形成されるため、水蒸気バリア性能の高い膜が形成される。このようにして、作成した反射防止フィルムは、高い水蒸気バリア性能を得ることが出来る。この時、反射防止フィルムの水蒸気透過速度は、2.0g/m/day以下とするのが好ましい。更に好ましくは、1.0g/m/day以下である。 By laminating a film on this transparent substrate (1), it is possible for water vapor to be more difficult to permeate the film, but in particular, a film produced by sputtering forms a dense film, A film having high water vapor barrier performance is formed. Thus, the produced antireflection film can obtain high water vapor barrier performance. At this time, the water vapor transmission rate of the antireflection film is preferably 2.0 g / m 2 / day or less. More preferably, it is 1.0 g / m 2 / day or less.

また、反射防止層(4)の上にあたる最表面層に防汚層(5)を設けることが好ましい。防汚層(5)は、反応性官能基と結合している珪素原子を2つ以上有するフッ素含有珪素化合物から得られた層である。   Moreover, it is preferable to provide an antifouling layer (5) on the outermost surface layer on the antireflection layer (4). The antifouling layer (5) is a layer obtained from a fluorine-containing silicon compound having two or more silicon atoms bonded to a reactive functional group.

本発明における反応性官能基とは、反射防止層(4)の最上層と反応し、結合しうる基を意味する。また、フッ素含有珪素化合物の反応性官能基同士を反応させることにより形成される層である。これにより、表面に汚れが付きにくく、更に、汚れが付いた場合でも拭き取り性能を上げることができる。ここで、防汚層の成膜方法は特に限らないが、真空蒸着法による成膜方法が好適である。   The reactive functional group in the present invention means a group capable of reacting with and bonding to the uppermost layer of the antireflection layer (4). Moreover, it is a layer formed by making the reactive functional groups of a fluorine-containing silicon compound react. Thereby, it is hard to get dirt on the surface, and even if it gets dirty, the wiping performance can be improved. Here, the film formation method of the antifouling layer is not particularly limited, but a film formation method by vacuum vapor deposition is suitable.

この方法によれば、防汚層形成時の作業環境や、防汚層の膜厚の制御の点からは、希釈溶媒を必要とせず、従来困難であった防汚層の膜厚をオングストロームオーダーで正確に制御することができ、所望の防汚層を有する反射防止フィルムを提供できる。さらに、薄膜形成ができることより、ヘイズや、水蒸気透過速度に影響を与えず、色設定が難しい反射防止膜の干渉色を変化させることなく、容易に防汚性を付与することが可能であり、連続的に膜厚の均一性良く、成膜することが可能である。   According to this method, from the viewpoint of the work environment when forming the antifouling layer and the control of the film thickness of the antifouling layer, a diluting solvent is not required, and the film thickness of the antifouling layer, which has been difficult in the past, is angstrom order Therefore, it is possible to provide an antireflection film having a desired antifouling layer. Furthermore, it is possible to easily impart antifouling property without changing the interference color of the antireflection film, which does not affect haze, water vapor transmission rate, and color setting is difficult, because it can form a thin film, It is possible to form a film continuously with good film thickness uniformity.

なお、防汚層をドライコーティング法により形成する場合、その膜厚は防汚剤の蒸発量に依存して変化する。したがって、防汚層の膜厚を正確に制御するためには、防汚剤の蒸発量を正確に制御することが好ましい。また、被処理基材上に防汚層を成膜した後には、必要に応じて、加熱、加湿、光照射、電子線照射等を行ってもよい。   When the antifouling layer is formed by a dry coating method, the film thickness varies depending on the evaporation amount of the antifouling agent. Therefore, in order to accurately control the film thickness of the antifouling layer, it is preferable to accurately control the evaporation amount of the antifouling agent. In addition, after forming the antifouling layer on the substrate to be treated, heating, humidification, light irradiation, electron beam irradiation, or the like may be performed as necessary.

この際、十分な防汚性能を有するためには、少なくとも、水滴接触角が100度以上必要である。これにより、十分な水はじき性や表面の汚れのふき取り性が得られる。更に、摩擦係数も下がるため、より耐擦傷性能も向上することもできる。   At this time, in order to have sufficient antifouling performance, at least the water droplet contact angle needs to be 100 degrees or more. Thereby, sufficient water repellency and surface dirt wiping properties can be obtained. Further, since the friction coefficient is lowered, the scratch resistance can be further improved.

本発明の反射防止フィルムにあっては、ヘイズは0.3%以下、全光線透過率は92%以上、視感反射率は0.9%以下であることが好ましい。ヘイズ、全光線透過率、および視感反射率が上記範囲に入ることで、極めて高透明かつ低反射な機能性PETフィルムを実現することができる。   In the antireflection film of the present invention, the haze is preferably 0.3% or less, the total light transmittance is 92% or more, and the luminous reflectance is 0.9% or less. When the haze, the total light transmittance, and the luminous reflectance are within the above ranges, a functional PET film having extremely high transparency and low reflection can be realized.

以下、本発明を実施例および比較例によりさらに説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example further demonstrate this invention, this invention is not limited to the following Example.

図1に示すように、透明基材フィルム(1)に厚さ100μmのPETフィルムを用い、紫外線硬化型アクリル系樹脂を塗布し、乾燥・紫外線硬化させて任意の厚みのハードコート層(2)を設けた。グロープラズマ処理を施し、プライマー層(3)として、スパッタリング法にて、SiO層を、膜厚3nmで成膜した後、反射防止層(4)をスパッタリング法にて、任意の成膜圧力条件にて、層構成をハードコート側からNb/SiO/Nb/SiO、各層の膜厚は、それぞれ15nm/25nm/105nm/85nmとなるように成膜を実施した。 As shown in FIG. 1, a 100 μm thick PET film is applied to the transparent substrate film (1), an ultraviolet curable acrylic resin is applied, dried and UV cured, and a hard coat layer (2) having an arbitrary thickness. Was provided. Glow plasma treatment is performed, and as a primer layer (3), an SiO layer is formed with a film thickness of 3 nm by a sputtering method, and then an antireflection layer (4) is formed under an arbitrary film formation pressure condition by a sputtering method. Then, the layers were formed from Nb 2 O 5 / SiO 2 / Nb 2 O 5 / SiO 2 from the hard coat side, and the film thickness of each layer was 15 nm / 25 nm / 105 nm / 85 nm, respectively.

(実施例1)
透明基材に、ヘイズ0.34%、全光線透過率93.4%のPETフィルムを使用して、ハードコート層は、厚みを3μm、鉛筆硬度が2H、500gf荷重で5/5、反射防止層の成膜圧力条件を0.3Paとして、反射防止層の成膜を実施した。
Example 1
Using a PET film with a haze of 0.34% and a total light transmittance of 93.4% as the transparent substrate, the hard coat layer has a thickness of 3 μm, a pencil hardness of 2H, 5/5 at 500 gf load, and antireflection The antireflection layer was formed at a layer pressure of 0.3 Pa.

(実施例2)
透明基材に、ヘイズ0.27%、全光線透過率90.4%のPETフィルムを使用して、ハードコート層は、厚みを2μm、鉛筆硬度が2H、500gf荷重で4/5、反射防止層の成膜圧力条件を0.5Paとして、反射防止層の成膜を実施した。
(Example 2)
Using a PET film having a haze of 0.27% and a total light transmittance of 90.4% as the transparent substrate, the hard coat layer has a thickness of 2 μm, a pencil hardness of 2H, 4/5 at 500 gf load, and antireflection The antireflection layer was formed at a pressure of 0.5 Pa.

(比較例1)
透明基材に、ヘイズ1.0%、全光線透過率89%のPETフィルムを使用して、ハードコート層は、厚みを5μm、鉛筆硬度が2H、500gf荷重で5/5、反射防止層の成膜圧力条件を0.8Paとして、反射防止層の成膜を実施した。
(Comparative Example 1)
Using a PET film having a haze of 1.0% and a total light transmittance of 89% as the transparent substrate, the hard coat layer has a thickness of 5 μm, a pencil hardness of 2H, 5/5 at a load of 500 gf, and an antireflection layer. The antireflection layer was formed under a film forming pressure condition of 0.8 Pa.

(比較例2)
透明基材に、ヘイズ0.34%、全光線透過率93.4%のPETフィルムを使用して、ハードコート層は、厚みを6μm、鉛筆硬度が2H、500gf荷重で5/5、反射防止層の成膜圧力条件を1.0Paとして、反射防止層の成膜を実施した。
(Comparative Example 2)
Using a PET film having a haze of 0.34% and a total light transmittance of 93.4% as the transparent substrate, the hard coat layer has a thickness of 6 μm, a pencil hardness of 2H, 5/5 at 500 gf load, and antireflection The antireflection layer was formed at a pressure of 1.0 Pa.

その後、(実施例1)〜(実施例2)及び(比較例1)〜(比較例2)で形成された、反射防止層の最表面上に、フッ素含有珪素化合物をパーフルオロヘキサンで20wt%に希釈した防汚剤にて、真空蒸着法により成膜して防汚層(5)を形成した。   Thereafter, a fluorine-containing silicon compound was added in an amount of 20 wt% with perfluorohexane on the outermost surface of the antireflection layer formed in (Example 1) to (Example 2) and (Comparative Example 1) to (Comparative Example 2). The antifouling layer (5) was formed by vacuum evaporation using a diluted antifouling agent.

評価に際して、真空蒸着法の抵抗加熱法を用いた。抵抗加熱法を行うに際しては、固形量5mgの防汚剤をボート内に収容し、5×10−5torr以下に真空排気した。その後、ボートを400℃に加熱して、防汚剤を蒸発させ、防汚層の成膜をおこなった。 In the evaluation, a resistance heating method of a vacuum evaporation method was used. When performing the resistance heating method, an antifouling agent having a solid amount of 5 mg was accommodated in a boat and evacuated to 5 × 10 −5 torr or less. Thereafter, the boat was heated to 400 ° C. to evaporate the antifouling agent and form an antifouling layer.

また、実施例、比較例で得られたサンプルを以下の方法で評価した。結果を(表1)に示す。   Moreover, the sample obtained by the Example and the comparative example was evaluated with the following method. The results are shown in (Table 1).

(光学特性評価)
(a)反射率測定
分光光度計(日立製作所社製 U−4000)を用いて反射率(視感反射率)測定を実施した。なお、裏面からの反射をカットするために、サンプルの裏面側を艶消し黒塗りスプレーにより処理を施した。また、測定の際には正反射5°ユニットを使用した。
(Optical property evaluation)
(A) Reflectance measurement The reflectance (luminous reflectance) was measured using a spectrophotometer (U-4000 manufactured by Hitachi, Ltd.). In addition, in order to cut off the reflection from the back surface, the back surface side of the sample was treated with a matte black paint spray. In the measurement, a regular reflection 5 ° unit was used.

(b)ヘイズおよび全光線透過率測定
ヘイズメータ(日本電色工業社製 NDH2000)を用いて、測定を実施した。この際、入射光は、防汚層(反射防止層)側より入射させた。なお、ヘイズ測定に関しては、JIS−K7105に基づいて測定を行った。
(B) Haze and total light transmittance measurement The haze meter (NDH2000 by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.) was used for the measurement. At this time, incident light was incident from the antifouling layer (antireflection layer) side. In addition, about haze measurement, it measured based on JIS-K7105.

(機械特性評価)
(c)耐擦傷性試験
学振型摩擦堅牢度試験機(テスター産業社製 AB−301)を用いて、防眩フィルムに500、1000gfの荷重をかけたスチールウール(日本スチールウール製ボンスター#0000)を用い、10往復擦り、各サンプルの反射防止層に対して行い、サンプルの磨耗状態(傷本数)を目視で観測した。判定基準を以下に示す。
◎:傷無し
○:傷10本未満
×:傷10本以上
(Mechanical property evaluation)
(C) Scratch resistance test Steel wool (Bonster # 0000 made by Nippon Steel Wool) with a load of 500 or 1000 gf applied to the antiglare film using a Gakushin type friction fastness tester (AB-301 manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) ) Was rubbed back and forth for 10 times on the antireflection layer of each sample, and the wear state (number of scratches) of the sample was visually observed. Judgment criteria are shown below.
◎: No scratch ○: Less than 10 scratches ×: 10 or more scratches

(d)鉛筆硬度試験
JIS−K5400に基づいて、鉛筆硬度2Hの鉛筆に、500gfの荷重をかけて、5回フィルム上をなぞり、サンプルの磨耗状態(傷本数)を目視で観測した。5回、線を引き、傷のない場合は5/5、傷が5本入っている場合は、0/5と表記する。判定基準を以下に示す。
◎:5/5、4/5
○:3/5
△:2/5
×:1/5、0/5
(D) Pencil hardness test Based on JIS-K5400, a load of 500 gf was applied to a pencil with a pencil hardness of 2H, and the film was traced five times to visually observe the abrasion state (number of scratches) of the sample. If the line is drawn 5 times and there is no scratch, it is expressed as 5/5, and if there are 5 scratches, it is expressed as 0/5. Judgment criteria are shown below.
A: 5/5, 4/5
○: 3/5
Δ: 2/5
X: 1/5, 0/5

(e)水蒸気透過速度
反射防止フィルム(100)において、温度40℃、相対湿度90%Rhの環境下における、水蒸気透過速度を測定した。なお、水蒸気透過速度の測定は、JIS−Z0208に準ずる方法を用いて測定した。
(E) Water vapor transmission rate In the antireflection film (100), the water vapor transmission rate in an environment of a temperature of 40 ° C and a relative humidity of 90% Rh was measured. In addition, the water vapor transmission rate was measured using a method according to JIS-Z0208.

(f)曲げ試験
直径12mmの丸棒に、サンプルに荷重をかけずに、反射防止層面を外側にして巻きつける。サンプルを棒よりはずした後、目視でクラックの発生を確認する。1サンプルにつき5回行う。
◎:5回中5回、クラックが発生しない
○:5回中3〜4回、クラックが発生しない
△:5回中3回以上クラックは発生するが、クラックの本数が10本以内
×:5回中5回クラックが無数に発生
(F) Bending test A round bar having a diameter of 12 mm is wound with the antireflection layer surface facing outward without applying a load to the sample. After removing the sample from the bar, visually check for cracks. Repeat 5 times per sample.
◎: No cracks occurred 5 times out of 5 times ○: No cracks occurred 3-4 times out of 5 times △: Cracks occurred 3 times or more out of 5 times, but the number of cracks is within 10 ×: 5 Unlimited number of 5 cracks

(g)接触角測定
接触角計(協和界面科学社製 CA−X型)を用いて、乾燥状態(20℃−65%RH)で直径1.8mmの液滴を針先に作り、これを試料(固体)の表面に接触させて液滴を作った。接触角とは、固体と液体とが接触する点における液体表面に対する接線と固体表面とがなす角であり、液体を含む側の角度で定義した。液体としては、蒸留水及びn−ヘキサデカンをそれぞれ使用した。
(G) Contact angle measurement Using a contact angle meter (CA-X type, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.), a droplet having a diameter of 1.8 mm is formed on the needle tip in a dry state (20 ° C.-65% RH). Droplets were made in contact with the surface of the sample (solid). The contact angle is an angle formed by a tangent to the liquid surface at a point where the solid and the liquid are in contact with the solid surface, and is defined as an angle on the side including the liquid. As the liquid, distilled water and n-hexadecane were used, respectively.

(h)油性ペンの付着性
油性ペン(マジックインキ 細書き用No.500)を用いて、試料表面に長さ1cmの直線を書き、その付き易さあるいは目立ち易さの目視判定にて行った。判定基準は次の通りとした。
○:油性ペンによる筆跡が球状にはじけている
×:油性ペンによる筆跡がはじかれずに、直線が描けている
(H) Adhesiveness of oil-based pen Using an oil-based pen (Magic ink, No. 500 for fine writing), a straight line having a length of 1 cm was written on the surface of the sample, and this was determined by visual judgment of the ease of sticking or conspicuousness. . The judgment criteria were as follows.
○: The handwriting with the oil pen is repelled in a spherical shape ×: The handwriting with the oil pen is not repelled, and a straight line is drawn

(i)油性ペンの拭き取り性
試料表面に付着した油性ペンをセルロース製不織布(旭化成社製 ペンコットM−3)で拭き取り、そのとれ易さの目視判定にて行った。判定基準は次の通りとした。
○:油性ペンを完全に拭き取ることができる
△:油性ペンの拭き取り後が残る
×:油性ペンを拭き取ることができない
(I) Wipeability of oil-based pen The oil-based pen adhering to the sample surface was wiped off with a cellulose nonwoven fabric (Pencot M-3 manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.), and the ease of removal was visually determined. The judgment criteria were as follows.
○: The oil pen can be completely wiped off. Δ: The oil pen remains after being wiped. ×: The oil pen cannot be wiped off.

(j)指紋の付着性
試料表面に指を数秒押しつけて、指紋を付着させ、その付き易さあるいは目立ち易さの目視判定にて行った。判定基準は次の通りとした。
○:指紋の付着が少なく、付いた指紋が目立たない
×:指紋の付着が確認できる
(J) Adhesiveness of fingerprints A finger was pressed against the sample surface for several seconds to attach the fingerprints, and this was determined by visual judgment of the ease of attaching or conspicuous. The judgment criteria were as follows.
○: There is little adhesion of fingerprints, and attached fingerprints are not conspicuous ×: Attachment of fingerprints can be confirmed

(k)指紋の拭き取り性
試料面に付着した指紋をセルロース製不織布(旭化成社製 ペンコットM−3)で拭き取り、その取れ易さを目視判定にて行った。判定基準は次の通りとした。
○:指紋を完全に拭き取ることができる
△:指紋の拭き取り跡が残る
×:指紋を拭き取ることができない
(K) Fingerprint wiping property The fingerprint adhering to the sample surface was wiped off with a cellulose nonwoven fabric (Pencot M-3 manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.), and the ease of removal was visually determined. The judgment criteria were as follows.
○: Fingerprints can be completely wiped △: Fingerprint wipe marks remain ×: Fingerprints cannot be wiped off

Figure 2011069995
Figure 2011069995

(比較例1)〜(比較例2)で作成した反射防止フィルムに関しても、スパッタリング法による成膜のため、緻密な光学設計を可能とし、十分な反射防止性能を得ることは可能である。しかし、それぞれ何かしらの評価項目において、劣ることがわかる。   Also for the antireflection films prepared in (Comparative Example 1) to (Comparative Example 2), it is possible to achieve a precise optical design and obtain sufficient antireflection performance because of the film formation by the sputtering method. However, it can be seen that each evaluation item is inferior.

これに対し、(実施例1)、(実施例2)で作成した反射防止フィルムを用いると、光学特性、機械特性、曲げ特性、水蒸気バリア性、全ての性能において、良い結果を得ることができた。これにより、優れた反射防止機能、優れた機械特性、優れた環境耐久性、優れた水蒸気バリア性、優れた加工特性を有していることが確認できる。   On the other hand, when the antireflection film prepared in (Example 1) and (Example 2) is used, good results can be obtained in all properties such as optical properties, mechanical properties, bending properties, water vapor barrier properties. It was. Thereby, it can confirm that it has the outstanding antireflection function, the outstanding mechanical property, the outstanding environmental durability, the outstanding water vapor | steam barrier property, and the outstanding processing characteristic.

本発明で開発した反射防止フィルムによれば、反射防止機能だけではなく、機械特性や環境耐久性、後加工特性に優れるため、例えば、携帯ゲーム機や携帯電話、腕時計、携帯ゲーム機の表面、カメラ、眼鏡のレンズ等、日常生活で多く使用される機器・物に貼り合わせて使用した時に更なる付加価値を与え、利用可能性が広がる。   According to the antireflection film developed in the present invention, not only the antireflection function, but also excellent mechanical properties, environmental durability, and post-processing characteristics, for example, the surface of a portable game machine, a mobile phone, a wristwatch, a portable game machine, When added to devices and objects that are frequently used in daily life, such as cameras and eyeglass lenses, it adds additional value and expands its applicability.

1 透明基材
2 ハードコート層
3 プライマー層
4 反射防止層
5 防汚層
100 反射防止フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent base material 2 Hard-coat layer 3 Primer layer 4 Antireflection layer 5 Antifouling layer 100 Antireflection film

Claims (6)

透明基材の少なくとも一方の面上に、ハードコート層と反射防止層を順次積層してなり、前記反射防止層が、高屈折材料層と低屈折率層を交互に積層させた4層以上の積層体で、前記反射防止層の最外層の薄膜が低屈折率層である反射防止フィルムにおいて、
(a)透明基材の厚みが70μm以上200μm以下、ヘイズが0.5%以下、全光線透過率が88%以上であり、
(b)ハードコート層の厚みが1.5μm以上6μm以下であり、
(c)反射防止層の総厚が100nm以上300nm以下であり、
(d)反射防止フィルムのヘイズが0.3%以下、全光線透過率が92%以上であり、視感反射率が0.9%以下であり、水蒸気透過速度が2.0g/m/day以下であることを特徴とする反射防止フィルム。
On at least one surface of the transparent substrate, a hard coat layer and an antireflection layer are sequentially laminated, and the antireflection layer comprises four or more layers in which a high refractive material layer and a low refractive index layer are alternately laminated. In the laminate, the antireflection film in which the outermost thin film of the antireflection layer is a low refractive index layer,
(A) The thickness of the transparent substrate is 70 μm or more and 200 μm or less, the haze is 0.5% or less, and the total light transmittance is 88% or more,
(B) The thickness of the hard coat layer is 1.5 μm or more and 6 μm or less,
(C) The total thickness of the antireflection layer is 100 nm or more and 300 nm or less,
(D) The haze of the antireflection film is 0.3% or less, the total light transmittance is 92% or more, the luminous reflectance is 0.9% or less, and the water vapor transmission rate is 2.0 g / m 2 / An antireflection film characterized by being not more than day.
前記透明基材が、ポリエチレンテレフタラートフィルムであることを特徴とする請求項1に記載の反射防止フィルム。   The antireflection film according to claim 1, wherein the transparent substrate is a polyethylene terephthalate film. 前記反射防止層の低屈折率層が酸化珪素と、高屈折率層が酸化ニオブであることを特徴とする請求項1および2に記載の反射防止フィルム。   3. The antireflection film according to claim 1, wherein the low refractive index layer of the antireflection layer is silicon oxide and the high refractive index layer is niobium oxide. 前記ハードコート層と反射防止層との間に、金属、または、2種類以上の金属からなる合金、または、金属化合物、または、それらの混合物よりなり、1層以上からなるプライマー層を設けることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の反射防止フィルム。   Between the hard coat layer and the antireflection layer, a primer layer made of a metal, an alloy made of two or more metals, a metal compound, or a mixture thereof is provided. The antireflection film according to any one of claims 1 to 3, wherein 前記反射防止層の表面に、フッ素化合物を含む防汚層を設けることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の反射防止フィルム。   The antireflection film according to any one of claims 1 to 4, wherein an antifouling layer containing a fluorine compound is provided on the surface of the antireflection layer. 透明基材の少なくとも一方の面上に、ハードコート層と反射防止層を順次積層してなり、前記反射防止層が、高屈折材料層と低屈折率層を交互に積層させた4層以上の積層体で、前記反射防止層の最外層の薄膜が低屈折率層である反射防止フィルムの製造方法において、
前記反射防止層をスパッタリング法により積層する工程と、
前記防汚層を真空蒸着法により積層する工程と、
を具備することを特徴とする反射防止フィルムの製造方法。
On at least one surface of the transparent substrate, a hard coat layer and an antireflection layer are sequentially laminated, and the antireflection layer comprises four or more layers in which high refractive material layers and low refractive index layers are alternately laminated. In the laminate, in the method for producing an antireflection film in which the outermost thin film of the antireflection layer is a low refractive index layer,
Laminating the antireflection layer by sputtering;
Laminating the antifouling layer by vacuum deposition;
The manufacturing method of the antireflection film characterized by comprising.
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