JP2011069689A - 金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び製造方法 - Google Patents
金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】金属パターン形成樹脂基板1に励起光a1を照射し、金属パターン形成樹脂基板1の樹脂表面2から発せられる光及び金属パターン3が反射する励起光b1を、蛍光又は燐光に対する感度に対して前記励起光に対する感度が低減された検出系で検出する。そして、このようにして金属パターン形成樹脂基板の樹脂及び金属の表面を検査し、不良品を除いて金属パターン形成樹脂基板を製造する。
【選択図】図1
Description
前記金属パターン形成樹脂基板に前記励起光を照射し、前記金属パターン形成樹脂基板の樹脂表面から発せられる光及び金属パターンが反射する前記励起光を、前記蛍光又は燐光に対する感度に対して前記励起光に対する感度が低減された検出系で検出することを特徴とする。
一方、金属パターン上の異常は、多くは金属の反射が遮られて暗い像となるが、反射像を観察するため当然異常の状態に応じた像が得られる。
そして、金属パターン形成樹脂基板に励起光を照射することにより、金属パターン形成樹脂基板の樹脂表面から発せられる光と金属パターンが反射する励起光とでは、樹脂基板からの発光(蛍光、燐光)に比べて励起光の反射光の強度が強すぎるが、本発明では、蛍光又は燐光に対する感度に対して励起光に対する感度が低減された検出系で検出するので、励起光の反射光のかぶりに発光像が埋没する事なく、金属パターン形成樹脂基板の樹脂表面から発せられる光から、樹脂基板の表面状態を検査できる。そして、金属パターンが反射する励起光による反射像から、金属パターンの表面状態を検査できる。
このため、本発明の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法によれば、樹脂基板の表面状態と金属パターンの表面状態を同時に検査でき、少ない検査工程で正常な金属パターンが形成されているか否かや、金属パターン間の樹脂表面や金属パターン表面に残留する異物や異常の有無を容易かつ精度よく検査できるので、不良品の判別を効率よく行うことができる。
2:樹脂基板
3,4:金属パターン
11:励起光源
12:ライトガイド
13:フィルタ
14:受光部
15:励起光低減フィルタ
21:支持台
Claims (12)
- 励起光を照射されることにより蛍光又は燐光を発光する樹脂材料からなる樹脂基板に、金属層をパターン形成してなる金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法であって、
前記金属パターン形成樹脂基板に前記励起光を照射し、前記金属パターン形成樹脂基板の樹脂表面から発せられる光及び金属パターンが反射する前記励起光を、前記蛍光又は燐光に対する感度に対して前記励起光に対する感度が低減された検出系で検出することを特徴とする金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。 - 金属パターン形成樹脂基板に励起光を照射した状態の、金属パターンが反射する励起光の検出レベルをV1とし、樹脂表面の発光から該樹脂表面が反射する励起光を除した光の検出レベルをV2としたとき、
V2/V1が0.1以上10以下となるように前記検出系が設定された状態で検査を行なう請求項1の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。 - 前記蛍光又は燐光によって前記金属パターン形成樹脂基板の金属パターン間の樹脂表面に残留する異物を検出すると共に、金属パターンが反射する励起光によって前記金属パターンの金属表面の異常を検出する請求項1又は2記載の回路基板の表面検査方法。
- 金属パターン間の樹脂表面に残留する異物が金属である請求項1〜3のいずれか1項に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 前記金属パターン形成樹脂基板が、前記樹脂基板の両面に前記金属パターンを有するものからなり、前記励起光を検査すべき表面側から照射する請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 前記金属パターン形成樹脂基板が、金属層をパターン形成してなる金属配線を有する回路基板である請求項1〜5のいずれか1項に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 前記金属パターン形成樹脂基板が、金属と樹脂基材との積層体から金属を除去して得られる基板である請求項1〜6のいずれか1項に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 前記金属パターン形成樹脂基板が、金属と樹脂基材との積層体から金属をエッチングで除去して得られる基板である請求項7に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 前記樹脂基板が、芳香族ポリイミド、イミド基を含むポリウレタン、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミドから選ばれた1種からなり、前記励起光が、波長430nm以下の光である請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 前記樹脂基板が露出した表面部分の算術平均粗さRaが0.1μmを超える請求項1〜9のいずれか1項に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 前記樹脂基板が露出した表面部分の算術平均粗さRaが0.1μm以下である請求項1〜9のいずれか1項に記載の金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法。
- 請求項1〜11のいずれか記載の方法により、前記金属パターン形成樹脂基板の樹脂表面を検査し、不良品を除くことを特徴とする金属パターン形成樹脂基板の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009220193A JP5471236B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び製造方法 |
PCT/JP2010/066352 WO2011037121A1 (ja) | 2009-09-25 | 2010-09-22 | 金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び製造方法 |
TW99132303A TW201131161A (en) | 2009-09-25 | 2010-09-24 | Method for inspecting surface of and method of making resin substrate formed with metal pattern |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009220193A JP5471236B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011069689A true JP2011069689A (ja) | 2011-04-07 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP5471236B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017058618A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | 株式会社カネカ | 回路基板用絶縁膜およびその製造方法 |
JP7401294B2 (ja) | 2018-12-26 | 2023-12-19 | カムテック エルティーディー. | 埋め込み層の測定 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007335539A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Hitachi Cable Ltd | 両面配線基板の製造方法 |
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A621 | Written request for application examination |
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