JP2011066779A - 圧電振動片 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶振動片2では、主面22,23が略矩形に形成された基板21に、一対の励振電極61,62が形成されて振動領域52が構成された振動部51と、外部と接合する一対の端子電極63,64が形成された接合部53とが一体的に設けられている。一対の端子電極63,64にはそれぞれ導電性バンプ73が形成され、一対の端子電極63,64は、一対の励振電極61,62にそれぞれ電気的に接続されている。また、水晶振動片2には、一対の端子電極63,64を導電性バンプ73を介してベース3の電極パッド36,37に接合する際に基板21に生じる接合応力が振動領域52に伝わるのを遮断する切り欠き部81が、振動部51と接合部53との間に設けられている。
【選択図】図1
Description
2 水晶振動片
21 基板
22,23 両主面
24 一側辺
25 他側辺
36,37 電極パッド
51 振動部
52 振動領域
53 接合部
54 一端部
55 他端部
56 中央部
61,62 励振電極
63,64 端子電極
65,66 引出電極
71 ポスト部
72 壁面
73 導電性バンプ
74 Cr−Au膜
75 金メッキ
76 金属部
81 切り欠き部
82,83 切り欠き部
84 貫通孔
9 ウエハ
91,92 両主面
93 Cr−Au膜
94 レジスト層
95 金メッキ
Claims (8)
- 圧電振動片において、
主面が略矩形に形成された基板に、一対の励振電極が形成されて振動領域が構成された振動部と、外部と接合する一対の端子電極が形成された接合部とが一体的に設けられ、
前記一対の端子電極にはそれぞれ導電性バンプが形成され、前記一対の端子電極は、前記一対の励振電極にそれぞれ電気的に接続され、
前記一対の端子電極を前記導電性バンプを介して外部に接合する際に前記基板に生じる接合応力が前記振動領域に伝わるのを遮断する遮断手段が、前記振動部と前記接合部との間に設けられたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記一対の端子電極のうち一端子電極は、前記接合部の対向する両端部のうち一端部に形成され、
前記遮断手段は、前記基板の対向する両側辺の他側辺から一側辺に向かって形成された切り欠き部であり、
前記一端子電極が形成された前記接合部の一端部近傍のみにおいて、前記振動部と前記接合部とが一体成形されたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記一対の端子電極は、前記基板の対向する両側辺であって、前記接合部の両端部にそれぞれ形成され、
前記遮断手段は、前記基板の両側辺からそれぞれ内方に向かって形成された2つの切り欠き部と、前記切り欠き部の間に形成された貫通孔とであることを特徴とする圧電振動片。 - 圧電振動片において、
主面が略矩形に形成された基板に、一対の励振電極が形成されて振動領域が構成された振動部と、外部と接合する一対の端子電極が形成された接合部とが設けられ、
前記一対の端子電極にはそれぞれ導電性バンプが形成され、前記一対の端子電極は、前記一対の励振電極にそれぞれ電気的に接続され、
前記一対の端子電極は、前記接合部の対向する両端部のうち一端部に形成され、
前記一対の端子電極を結ぶ仮想線と直交する仮想直交線上以外の位置に、前記振動領域が配されたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項4に記載の圧電振動片において、
前記一対の端子電極は、前記振動部への距離が遠近となるように並設されたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至5のうちいずれか1つに記載の圧電振動片において、
前記一対の端子電極では、前記基板上における前記振動部までの距離が長い端子電極が、前記距離が短い端子電極よりも大きいことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至6のうちいずれか1つに記載の圧電振動片において、
前記導電性バンプは、メッキバンプであることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至7のうちいずれか1つに記載の圧電振動片において、
前記一対の端子電極が形成された位置の前記基板が、凸状のポスト部に成形されたことを特徴とする圧電振動片。
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