JP2011064942A - Ｉｄコード読取装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＩＤコード読取装置を、自動倉庫のスタッカクレーンに設置し、そのＩＤコード読取装置でガラス基板のＩＤコードを読取ることによって、製造工程のラインにガラス基板を投入することなく、ガラス基板のＩＤコードを高速に確認することを可能とするＩＤコード読取装置を提供する。
【解決手段】ＩＤコードを照明する照明手段と、照明手段から発せられた照明光を反射する第一の反射手段と、第一の反射手段によって反射された反射光をＩＤコードに照明して得られたＩＤコードの照明像を反射する第二の反射手段と、第二の反射手段によって反射されたＩＤコードの照明像を撮像する撮像手段と、基板の位置を検知する基板検知手段と、第一の反射手段と第二の反射手段を移動する第一の移動手段と、第一の反射手段と第二の反射手段と照明手段と撮像手段と基板検知手段を移動する第二の移動手段と、を有することを特徴とするＩＤコード読取装置。
【選択図】図８

Description

本発明は、例えばカラーフィルタ基板の識別コードを読取るＩＤコード読取装置に関するものであり、更に詳細にいえば、カラーフィルタ基板を収納カセットに入れた状態で識別コードを読取ることが出来るＩＤコード読取装置に関する。

図１は、例えばカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４ａ、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４ｂ、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４ｃ、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。

図２はカラーフィルタ基板を製造する場合の一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。

カラーフィルタ基板は、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ−１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ−２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ−３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ−４）、露光処理する工程（Ｃ−５）、現像処理する工程（Ｃ−６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ−７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ−８）、ＰＳを形成処理する工程（Ｃ−９）がこの順に行われ製造される。

例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素を形成する場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ−２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ−７）間ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。また、工程中に例えば異物検査工程が洗浄工程（Ｃ−２）の後に設けられるなど、適宜、検査工程が組み込まれている。

図２に示されるカラーフィルタ基板の製造工程においては、ガラス基板を管理するためにガラス基板１枚毎に識別コード（以下、ＩＤコード）が印刷等によって付与されている。一般的にはＩＤコードはカラーフィルタの非有効画像部に識別可能なバーコードや２次元コード形式で印字されている。そのＩＤコードに、ガラス基板の所在情報（投入中工程、収納カセット、段数など）や品質データや製造履歴データ等の各種データを紐付けて、コンピュータシステムに保存することで、カラーフィルタ基板のトレーサビリティ機構を構築している。

ＩＤコード読取装置は、主に画像データから文字列データにデコード（変換）するデコード装置とＣＣＤカメラから構成され、ＣＣＤカメラで撮像されたＩＤコード画像データをデコード装置にてコード認識し文字データに変換処理を行うものである。ＣＣＤカメラによるＩＤコード撮像には、光量を得る為に専用光源を用いるのが一般的であり、その光源にはＬＥＤ照明が多く用いられている。また、読取機能を具備する装置においても、ＩＤコードがＣＣＤカメラ視野内に収まるようワークの整列機構（アライメント機構）、または読取り機能部の移動機構が必要となっている。

図３にＩＤコード読取り装置の設置場所の一例を示す。図３はガラス基板が各工程で処理される毎に収納カセットに入れられ、自動倉庫に保管される場合の例を示す。例えばガ
ラス基板Ａを例として製造工程で処理される場合について説明する。ガラス基板Ａが、ＢＭ工程に投入される際は、自動倉庫からスタッカクレーンによって収納カセットに収納されたままＢＭ工程の投入口まで搬送された後、ＬＤ（Ｌｏａｄｅｒ）によって投入され、投入された直後にＩＤコード読取装置４０ａでＩＤコードが読取られる。読取られたＩＤコードによってガラス基板ＡがＢＭ工程に投入中であることがコンピュータシステムに入力、記憶される。ＢＭ工程の処理が終了した後、ＩＤコード読取装置４０ｂによってＩＤコードが読取られるとガラス基板ＡはＢＭ工程が終了したことがコンピュータシステムに入力、記憶される。ガラス基板Ａはその後ＵＬＤ（Ｕｎｌｏａｄｅｒ）によってＢＭ工程から搬出され収納カセットに収められ、自動倉庫内に保管される。

その後、ガラス基板Ａはそれに続く工程に搬入搬出される毎に、ＩＤコード読取り装置４０ｃ、４０ｄから４０ｙ、４０ｚによってＩＤコードが読取られ、ガラス基板の所在情報や品質データや履歴情報が付与されてコンピュータシステムに保存される。

特開２００８−２１６８４９号公報

しかしながら、サーバ停止などの理由でコンピュータシステム等に保存されているＩＤコードデータが欠損した場合は、対象のＩＤコード全てを読取装置で読み直し、コンピュータシステムにデータを再登録する作業が必要となる。しかし、読取装置は生産ライン内装置の特定箇所にのみ設置されている為、対象のワーク全てをいずれかのラインに投入する作業が必要となり、工場生産の効率を下げる原因となる。また、生産ライン内装置に設置されている読取装置を用いて対象のＩＤコード全てを読取装置で読み直す場合は、読み直しに費やす時間のロスだけではなく、読取りのためにガラス基板を搬送させるため、カラーフィルタ基板に汚れや傷が発生することもある。

ＩＤコードデータを、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）等のデータキャリアに保存し、収納カセットに付属させている運用例も多いが、この場合においてもデータキャリア内のデータ欠損時には、上記同様のデータの再登録作業が必要となる。

コンピュータシステムに保存されているＩＤコードデータが欠損した場合というのは、実際にはコンピュータシステムに登録されているＩＤデータとその所在情報（収納カセット，段数，投入中工程など）が何らかの理由でデータと実物の整合性が合わなくなった場合を意味する。

例えば、ガラス基板Ａの実物は、Ｒ工程に投入中であるがコンピュータシステム内のデータは自動倉庫内で仕掛り状態となっているような場合を、コンピュータシステムに保存されているＩＤコードデータが欠損したという場合を指す。

整合性が合わなくなる理由として最も大きなものは、サーバ停止などの大規模システムトラブルが挙げられる。この場合、トラブル前後でのデータ整合性が大きく狂い、データ復旧に多くの時間を要する。

そこで本発明では、例えばサーバ停止などの大規模システムトラブルが発生したことによってコンピュータシステム等に保存されているＩＤコードデータが欠損した場合には、カラーフィルタ基板のすべてのＩＤコードを読み直す必要があるが、製造工程内にある読
取装置で読み直すことによる時間のロスとガラス基板の汚れや傷の発生を回避するために、ＩＤコード読取装置を、自動倉庫のスタッカクレーンに設置し、そのＩＤコード読取装置でガラス基板のＩＤコードを読取ることによって、製造工程のラインにガラス基板を投入することなく、ガラス基板のＩＤコードを高速に確認することを可能とするＩＤコード読取装置を提供することを課題とする。

本発明の請求項１に係る発明は、基板のＩＤコードを読取る装置であって、ＩＤコードを照明する照明手段と、照明手段から発せられた照明光を反射する第一の反射手段と、第一の反射手段によって反射された照明光をＩＤコードに照明して得られたＩＤコードの照明像を反射する第二の反射手段と、第二の反射手段によって反射されたＩＤコードの照明像を撮像する撮像手段と、基板の位置を検知する基板検知手段と、第一の反射手段と第二の反射手段を移動する第一の移動手段と、第一の反射手段と第二の反射手段と照明手段と撮像手段と基板検知手段を移動する第二の移動手段と、を有することを特徴とするＩＤコード読取装置である。

本発明の請求項２に係る発明は、第一の反射手段と第二の反射手段は直角の角度をなして設置されることを特徴とする請求項１に記載のＩＤコード読取装置である。

本発明の請求項３に係る発明は、上下方向に間を隔てて収納された基板の間に第一の反射手段と第二の反射手段を挿入し基板を挟みこんだ状態で基板のＩＤコードを読取ることを特徴とする請求項１または２に記載のＩＤコード読取装置である。

本発明の請求項４に係る発明は、第一の反射手段と、第二の反射手段と、を複数備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のＩＤコード読取装置である。

本発明の請求項５に係る発明は、基板収納ラックに収納された基板のＩＤコードを読取ることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のＩＤコード読取装置である。

本発明の請求項６に係る発明は、基板収納ラックを搬送するスタッカクレーンに備えられたことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のＩＤコード読取装置である。

サーバ停止などの大規模システムトラブルが発生したことによってコンピュータシステム等に保存されているＩＤデータが欠損した場合には、本発明によるＩＤコード読取装置によって、自動倉庫内でＩＤコードの読取が可能であるため、ラインへの再投入をせず、生産効率を低下させることなく、データ復旧が可能となり、データ復旧時間を大幅に短縮することが可能となる。

カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。 一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。 ＩＤコード読取り装置の設置場所の一例を示す図。 本発明に係るＩＤコード読取装置が適用される液晶カラーフィルタ製造工程を説明するための図。 本発明に係るＩＤコード読取装置を含むＩＤコード読取機構の概略構成図。 本発明に係るＩＤコード読取装置の斜視図。 本発明に係る読取ヘッド及び反射ミラーを紙面手前から見た側面の模式図。 スタッカクレーンに本発明に係るＩＤコード読取装置が備えられていることを示す図。 本発明に係る基板収納カセットに収納されたカラーフィルタ基板を示す図。 本発明に係るＩＤコード読取装置の読取動作フロー図。 本発明に係るＩＤコード読取装置の読取動作フローを説明するための概要図。 本発明に係る反射ミラーを複数設けたことを示す図。 従来のＩＤコード読取装置を排除し、本発明に係るＩＤコード読取装置を設けたカラーフィルタ製造工程の一例を示す図。

本発明を実施する形態を図を用いて説明する。

本発明に係るＩＤコード読取装置が適用される液晶カラーフィルタ製造工程を一例として説明する。図４は本発明に係るＩＤコード読取装置が適用される液晶カラーフィルタ製造工程を説明するための図である。ＢＭを形成するＢＭ工程や、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を形成するＲＧＢ工程や、検査工程へのガラス基板の投入装置（以下、ＬＤ）、回収装置（以下、ＵＬＤ）は自動倉庫８に直結されている。

自動倉庫８から直接ワーク収納キャリア（以下、基板収納カセット）がスタッカクレーン９に載置されて搬送される。カラーフィルタ基板はＢＭ工程へＬＤによって搬入された後、例えば、コンベア上を搬送されながらＩＤコード読取り装置５０ａによって、ガラス基板に印字されているＩＤコードが読取られる。更に、ＢＭ工程の処理が終わった後、ＩＤコード読取り装置５０ｂによってＩＤコードが読取られ、ＵＬＤによって基板収納カセットに収納され、スタッカクレーン９によって自動倉庫内の保管場所に搬送され保管される。以後、ＲＧＢ工程から検査工程においてもカラーフィルタ基板を工程に投入、回収される際にコード読取装置５０ｃ、５０ｄ〜５０ｙ、５０ｚによってカラーフィルタ基板に印字されているＩＤコードが読取られる。

一方、例えばサーバ停止などの大規模システムトラブルが発生したことによってコンピュータシステム等に保存されているＩＤコードデータが欠損した場合には、ＩＤコードデータの欠損を修復する必要がある。この場合、図４に示される各工程のＩＤコード読取装置５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄ〜５０ｙ、５０ｚによってカラーフィルタ基板のＩＤコードを読取っても修復しても良いが、コンベア搬送中のガラス基板の傷つきやゴミの付着が発生したり、更に生産を一時止めることによる生産効率の低下を招く恐れがあるため、本発明では、新たに設けたＩＤコード読取装置を使用して、ガラス基板のＩＤコードを読取ってＩＤコードデータの欠損を修復する。

図５は本発明に係るＩＤコード読取装置を含むＩＤコード読取機構の概略構成図を示す。読取ヘッド１７のＣＣＤカメラによって撮像されたＩＤコード画像は、カメラケーブルを用いてＩＤコードデコード装置１８に送信される。ＩＤコード画像はＩＤコードデコード装置１８により、画像データから文字列データに変換され、自動倉庫制御シーケンサ内の文字データを記憶する特定デバイス１９に格納される。制御シーケンサに格納されたＩＤコード情報は、必要に応じコンピュータシステム等に送信される。また、ＩＤコード画像を確認するためにモニタ２０がＩＤコードデコード装置１８につながっている。

図６は本発明に係るＩＤコード読取装置の斜視図を示すもので、ガラス基板２２に印字されたＩＤコード２３を照明する照明手段である撮像用ＬＥＤ光源１５と、撮像用ＬＥＤ光源１５から発せられた照明光を反射する第一の反射手段である反射ミラー１３ａと、反射ミラー１３ａによって反射された反射光をＩＤコード２３に照明して得られたＩＤコードの照明像を反射する第二の反射手段である反射ミラー１３ｂと、第二の反射手段によって反射されたＩＤコードの照明像を撮像する撮像手段であるＣＣＤカメラ１４と、ガラス基板の位置を検知するガラス基板検知手段であるガラス基板ずれ量検知センサ１６と、第
一の反射手段と第二の反射手段を移動する第一の移動手段である反射ミラー移動機構（図示せず）と、反射ミラー１３ａと反射ミラー１３ｂと撮像用ＬＥＤ光源１５と撮像用ＬＥＤ光源１５とガラス基板ずれ量検知センサ１６を移動する読取ヘッド及び反射ミラー移動機構（図示せず）を有している。

図７は図６に示される読取ヘッド１７及び反射ミラーを紙面手前の側面から見た模式図を示す。反射ミラー１３ａ、反射ミラー１３ｂは、９０度の角度をなして設置される。撮像用ＬＥＤ光源１５から発せられた照明光３０は反射ミラー１３ａによって反射される。反射された照明光をガラス基板に印字されたＩＤコード２３に照明して得られたＩＤコードの照明像は反射ミラー１３ｂで更に反射され、ＩＤコード２３の照明像はＣＣＤカメラ１４で撮像される。

撮像用ＬＥＤ光源１５から発せられた照明光３０がガラス基板に印字されたＩＤコード２３を照明し、また、ＩＤコードの反射像がＣＣＤカメラ１４の視野に入るように、反射ミラー１３ａと反射ミラー１３ｂは反射ミラー移動機構によってＸ軸、Ｙ軸方向に沿って移動する。反射ミラー１３ａと反射ミラー１３ｂのＺ軸方向の間隔ｄは、ガラス基板の収納ピッチよりも小さく且つ反射ミラー１３ａと反射ミラー１３ｂによってガラス基板２２を挟み込むことが出来ることが望ましい。

図８はスタッカクレーン１０に本発明に係るＩＤコード読取装置が備えられていることを示す図である。スタッカクレーン１０のフォーク１１上には読取ヘッド及び反射ミラー移動機構１２が備えられており、読取ヘッド及び反射ミラー移動機構１２によって反射ミラー１３ａ、反射ミラー１３ｂ、ＣＣＤカメラ１４、撮像用ＬＥＤ光源１５、ガラス基板ずれ量検知センサ１６から構成される読取ヘッド１７がＺ軸方向に移動出来る。読取ヘッド１７及びデコード装置（図示せず）、モニタ（図示せず）の電源は、スタッカクレーン１０から供給される。

図９に基板収納カセット２１に収納されたカラーフィルタ基板を示す。ＳＵＳ材等の堅牢で粉塵を発しない材料で構築された基板収納カセット２１に、等ピッチで複数のガラス基板２２−１、２２−２から２２−ｎが収納されている。収納されているガラス基板にはそれぞれ、ＩＤコード２３−１から２３−ｎ（図示せず）が印字されている。基板収納カセット２１の上面の一部には基板収納カセットのＩＤを示すＩＤコード３３が印字されている。ＩＤコード３３は、例えば、ＢＭ工程が終了した後はＢＭ工程終了後の情報を含むＩＤコードが印字されており、同様にＲ工程が終了したガラス基板が収納されるには基板収納カセットにはＲ工程が終了した情報を含むＩＤコードが印字されている。ガラス基板のＩＤコードデータの欠損が生じた場合に、データの修復をするために、本発明に係るＩＤコード読取装置によってＩＤコード３３も読取られる。

ＩＤコードを読取る場合には、ガラス基板２２が収納された基板収納カセット２１をスタッカクレーン１０のフォーク１１上に載置した状態でＩＤコードの読取りを行う。

ガラス基板のＩＤコードデータの欠損が生じた場合に、データの修復をするために、先ず、基板収納カセット２１の上面の一部に印字されている基板収納カセットのＩＤを示すＩＤコード３３を読取る。これによって基板収納カセット２１に収納されているガラス基板の収納カセット，段数，投入中工程などの情報を得られる。この基板収納カセットのＩＤを示すＩＤコード３３を読取る動作フローはガラス基板のＩＤコードを読取るフローと同じであるので、ガラス基板のＩＤコードを読取るフローを次に説明する。

読取動作フローを、図１０のフロー図と図１１のＩＤコード読取装置の読取動作フローを説明するための概要図を用いて説明する。読取り開始前には読取ヘッド１７は初期位置
にある。読取り開始後（Ｓ−１）、基板収納カセットの最上段に収納されているガラス基板２２−１に印字されているＩＤコード２３−１をＣＣＤカメラ１４が読取可能位置３１まで読取ヘッド１７は、移動する（Ｓ−２）。その際に基板位置ずれセンサ１６にて、カセット内での基板位置のずれ量を検知し（Ｓ−３）、ずれ量に応じてＹ軸方向に読取ヘッド１７の位置を補正する（Ｓ−４）。

次に、反射ミラー１３ａ、１３ｂは、Ｙ軸手前方向に移動し、更にＸ軸方向右に移動し、カセットに収納されているガラス基板２２−１側に挿入されガラス基板２２−１を挟み込む（Ｓ−５）。その際、ミラー１３ａが、ＩＤコード２３−１の鉛直方向の真下に位置するように挿入される。その後、撮像用ＬＥＤ光源１５が点灯する（Ｓ−６）。撮像用ＬＥＤ光源１５より照射した照明光３０は、撮像用ＬＥＤ光源１５と水平に位置する反射ミラー１３ａの反射面にて鉛直上方向に照明光が反射される。反射ミラー１３ａで反射された反射光をＩＤコード２３−１に照明して得られたＩＤコードの照明像は、反射ミラー１３ｂによって反射された後、ＣＣＤカメラ１４で撮像される（Ｓ−７）。撮像されたＩＤ画像は、デコード装置（図示せず）で文字列データに変換され（Ｓ−８）、ＩＤコード２３−１の読取動作は完了する。

次に反射ミラー１３ａ、１３ｂはＸ軸方向左に移動して基板収納カセットの外側に退避する。

反射ミラー１３ａ、１３ｂが基板収納カセットの外側に退避した後、読取ヘッド１７のＣＣＤカメラ１４が、カセット２段目に収納されているガラス基板２２−２に印字されているＩＤコード２３−２の読取が可能な位置３２まで移動する（Ｓ−２）。

（Ｓ−２）〜（Ｓ−９）の動作を、基板収納カセットに収納されているガラス基板枚数分繰り返し、読取動作は完了となる（Ｓ−１１）。読取動作が完了した後、反射ミラー１３ａ、１３ｂはＸ軸方向左に移動して基板収納カセットの外側に退避した後、Ｙ方向奥側に移動する。更に、反射ミラー１３ａ、１３ｂ及び読取ヘッド１７は読取ヘッド及び反射ミラー移動機構によってＺ軸上方へ移動して初期位置の状態に戻る。

尚、反射ミラー１３ａ、１３ｂの移動は、ガラス基板間に差し込む動作と退避する動作の２つの動きを要するので、読込み時間を短縮するために、反射ミラー１３ａ、１３ｂを例えば基板収納カセットに収納されているガラス基板枚数分の複数の反射ミラーを図１２に示すように備えても良い。その結果、読取り時間の更なる短縮を図ることが出来る。

また、上記本発明を実施する形態では、図４に示す本発明に係るＩＤコード読取機構が適用される液晶カラーフィルタ製造工程を例として説明したが、図４におけるＩＤコード読取装置５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄから５０ｙ、５０ｚを排除し（その結果の製造工程を例を図１３に示す）、各工程でのガラス基板の投入、回収時において行うガラス基板のＩＤコードの読取りを、本発明のＩＤコード読取装置によって行っても良い。その結果、設備費用を低減することが期待できる。

以上のように、サーバ停止などの大規模システムトラブルが発生したことによってコンピュータシステム等に保存されているＩＤコードデータが欠損した場合には、カラーフィルタ基板のすべてのＩＤコードを読み直す必要があるが、製造工程内にある読取装置で読み直すことによる時間のロスとガラス基板の汚れや傷の発生を回避するために、本発明によるＩＤコード読取装置を、自動倉庫のスタッカクレーンに設置し、そのＩＤコード読取装置でガラス基板のＩＤコードを読取ることによって、製造工程のラインにガラス基板を投入することなく、ガラス基板のＩＤコードを高速に確認することが可能となる。

１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ＢＭ
４ａ・・・Ｒ画素
４ｂ・・・Ｇ画素
４ｃ・・・Ｂ画素
５・・・透明電極
６・・・ＰＳ
７・・・ＶＡ
８・・・自動倉庫
９・・・スタッカクレーン
１０・・・スタッカクレーン
１１・・・フォーク
１２・・・読取ヘッド移動機構
１３ａ、１３ｂ・・・反射ミラー
１４・・・ＣＣＤカメラ
１５・・・撮像用ＬＥＤ光源
１６・・・基板ずれ量検知センサ
１７・・・読取ヘッド
１８・・・ＩＤコードデコード装置
１９・・・文字データを記憶する特定デバイス
２０・・・モニタ
２１・・・基板収納カセット
２２・・・ガラス基板
２２−１〜２２−ｎ・・・ガラス基板
２３・・・ＩＤコード
２３−１〜２３−ｎ・・・ＩＤコード
３０・・・照明光
３１・・・ＩＤコードの読取可能位置
３２・・・ＩＤコードの読取可能位置
３３・・・基板収納カセットの上面に印字されたＩＤコード
４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ〜４０ｙ、４０ｚ・・・ＩＤコード読取装置
５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄ〜５０ｙ、５０ｚ・・・ＩＤコード読取装置

Claims (6)

1. 基板のＩＤコードを読取る装置であって、ＩＤコードを照明する照明手段と、照明手段から発せられた照明光を反射する第一の反射手段と、第一の反射手段によって反射された反射光をＩＤコードに照明して得られたＩＤコードの照明像を反射する第二の反射手段と、第二の反射手段によって反射されたＩＤコードの照明像を撮像する撮像手段と、基板の位置を検知する基板検知手段と、第一の反射手段と第二の反射手段を移動する第一の移動手段と、第一の反射手段と第二の反射手段と照明手段と撮像手段と基板検知手段を移動する第二の移動手段と、を有することを特徴とするＩＤコード読取装置。
2. 第一の反射手段と第二の反射手段は直角の角度をなして設置されることを特徴とする請求項１に記載のＩＤコード読取装置。
3. 上下方向に間を隔てて収納された基板の間に第一の反射手段と第二の反射手段を挿入し基板を挟みこんだ状態で基板のＩＤコードを読取ることを特徴とする請求項１または２に記載のＩＤコード読取装置。
4. 第一の反射手段と、第二の反射手段と、を複数備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のＩＤコード読取装置。
5. 基板収納ラックに収納された基板のＩＤコードを読取ることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のＩＤコード読取装置。
6. 基板収納ラックを搬送するスタッカクレーンに備えられたことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のＩＤコード読取装置。

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