JP2011059539A - 光導波路及び光軸調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路において、光を伝搬する導波路1と、前記導波路1の基板水平方向の側方のうち少なくとも一方に配置される光を伝搬するスラブ導波路4と、前記スラブ導波路4内に該スラブ導波路4の端面からそれぞれ異なる距離で2列以上形成され基板垂直方向に光の光路を変換する光路変換手段を設けた。
【選択図】図1
Description
光導波路に外部から光を導入する、又は、光導波路の内部から光を取り出す方法としては、主として、直接部品同士を突き合わせ光結合を得る方法と、レンズを介して光結合を得る方法とがある。
ここで、図6(a)は光軸調整前の状態を示した図、図6(b)は光軸調整後の状態を示した図である。また、x,y,z軸方向は、図6中に示すように規定するものとする。
ここで、図7(a)は光軸調整前の状態を示した図、図7(b)は光軸調整後の状態を示した図である。なお、基板水平方向であるx軸方向、基板垂直方向であるy軸方向及び導波路内を伝搬する光の伝搬方向であるz軸方向は、図7中に示すように規定するものとする。また、図7中、破線は光の行路を示しているが、実際には目視することはできない。
光を伝搬する導波路と、
前記導波路の基板水平方向の側方のうち少なくとも一方に配置される光を伝搬するスラブ導波路と、
前記スラブ導波路内に該スラブ導波路の端面からそれぞれ異なる距離で2列以上形成され基板垂直方向に光の光路を変換する光路変換手段と
を備える
ことを特徴とする。
光を伝搬する導波路と、
前記導波路の基板水平方向の側方のうち少なくとも一方に配置される光を伝搬するスラブ導波路と、
前記スラブ導波路内に該スラブ導波路の端面からそれぞれ異なる距離で2列以上形成され基板垂直方向に光の光路を変換する光路変換手段と
を備える光導波路において、
前記導波路の端面の側方にレンズを配置し、
前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測しながら、前記レンズを基板垂直方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を基板垂直方向に移動させ、前記光路変換手段により光路を変換された光の光強度が最も強くなる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする。
さらに、前記レンズを前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させながら、前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測し、前記光路変換手段の明るくなる個数が最も少なくなる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする。
さらに、前記レンズを前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させながら、前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測し、前記導波路端面から数えて1列目の前記光路変換手段の明るくなる個数と、前記導波路端面から数えて2列目以降の前記光路変換手段の明るくなる個数との比が最大となる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする。
さらに、前記レンズを基板水平方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を基板水平方向に移動させながら、前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測し、前記光路変換手段の明るくなる個数が最も少なくなる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする。
本実施例に係る光導波路及び光軸調整方法においては、光を導波する導波路と、導波路の基板水平方向の側方のうち少なくとも一方に配置される光を導波するスラブ導波路と、スラブ導波路内にこのスラブ導波路の端面からそれぞれ異なる距離で2列以上形成され基板垂直方向に光の光路を変換する光路変換手段とを備える光導波路において、導波路の端面の側方にレンズを配置し、光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測しながら、レンズを基板垂直方向に移動させることによりこのレンズのフォーカス点を基板垂直方向に移動させ、光路変換手段により光路を変換された光の光強度が最も強くなる位置でレンズの移動を停止することを特徴とする。
ここで、図1(a)は光軸調整を実施する前の状態を示した図、図1(b)は光軸調整を実施した後の状態を示した図である。なお、基板水平方向であるx軸方向、基板垂直方向であるy軸方向及び導波路内を伝搬する光の伝搬方向であるz軸方向は、図1中に示すように規定するものとする。また、図1中、破線は光の行路を示しているが、実際には目視することはできない。
図4は、本発明の第1の実施例に係る光導波路及び光軸調整方法における光導波路の上方へ光の光路を変換する種々の構造を示した図である。
ここで、図4(a)は四角の凹部で形成したピットを示した図、図4(b)は円形のマイクロミラー構造を示した図、図4(c)は斜め方向からのドライエッチングを利用して形成したマイクロミラー構造を示した図、図4(d)はグレーティングを利用したグレーティング構造を示した図である。
図5は、本発明の第1の実施例に係る光導波路及び光軸調整方法における円形のマイクロミラー構造を形成する方法を示した図である。
ここで、図5(a)は穴が形成されたマスクが施されたスラブ導波路、図5(b)はウェットエッチングを施した穴が形成されたマスクが施されたスラブ導波路を示した図である。
本実施例に係る光導波路及び光軸調整方法は、第1の実施例に係る光導波路及び光軸調整方法において、さらに、z軸方向、すなわち、導波路1内を伝搬する光の伝搬方向の光軸調整を実施することを特徴とする。
ここで、図2(a)は図1(b)の状態からフォーカス点fをやや導波路1側に動かした状態を示した図、図2(b)は図2(a)の状態からフォーカス点fをさらに導波路1側に動かした状態を示した図である。なお、基板水平方向であるx軸方向、基板垂直方向であるy軸方向及び導波路内を伝搬する光の伝搬方向であるz軸方向は、図2中に示すように規定するものとする。また、図2中、破線は光の行路を示しているが、実際には目視することはできない。
本実施例に係る光導波路及び光軸調整方法は、第2の実施例につづいて、さらに、x軸方向、すなわち、基板水平方向の光軸調整を実施することを特徴とする。
ここで、図3(a)は図2(b)の状態を示した図、図3(b)は図3(a)の状態からフォーカス点fをさらに導波路1側に動かした状態を示した図である。なお、基板水平方向であるx軸方向、基板垂直方向であるy軸方向及び導波路内を伝搬する光の伝搬方向であるz軸方向は、図3中に示すように規定するものとする。また、図3中、破線は光の行路を示しているが、実際には目視することはできない。
2 コア
3 クラッド
4 スラブ導波路
5 前列ピット
6 後列ピット
7 マスク
8 穴
9 曲面
Claims (5)
- 光を伝搬する導波路と、
前記導波路の基板水平方向の側方のうち少なくとも一方に配置される光を伝搬するスラブ導波路と、
前記スラブ導波路内に該スラブ導波路の端面からそれぞれ異なる距離で2列以上形成され基板垂直方向に光の光路を変換する光路変換手段と
を備える
ことを特徴とする光導波路。 - 光を伝搬する導波路と、
前記導波路の基板水平方向の側方のうち少なくとも一方に配置される光を伝搬するスラブ導波路と、
前記スラブ導波路内に該スラブ導波路の端面からそれぞれ異なる距離で2列以上形成され基板垂直方向に光の光路を変換する光路変換手段と
を備える光導波路において、
前記導波路の端面の側方にレンズを配置し、
前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測しながら、前記レンズを基板垂直方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を基板垂直方向に移動させ、前記光路変換手段により光路を変換された光の光強度が最も強くなる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする光軸調整方法。 - さらに、前記レンズを前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させながら、前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測し、前記光路変換手段の明るくなる個数が最も少なくなる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする請求項2に記載の光軸調整方法。 - さらに、前記レンズを前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を前記導波路内を伝搬する光の伝搬方向に移動させながら、前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測し、前記導波路端面から数えて1列目の前記光路変換手段の明るくなる個数と、前記導波路端面から数えて2列目以降の前記光路変換手段の明るくなる個数との比が最大となる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする請求項2に記載の光軸調整方法。 - さらに、前記レンズを基板水平方向に移動させることにより該レンズのフォーカス点を基板水平方向に移動させながら、前記光路変換手段により光路を変換された光を基板垂直方向より観測し、前記光路変換手段の明るくなる個数が最も少なくなる位置で前記レンズの移動を停止する
ことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の光軸調整方法。
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WO2022157820A1 (ja) * | 2021-01-19 | 2022-07-28 | 三菱電機株式会社 | 光導波路素子、導光板および光軸調整方法 |
Citations (3)
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JP2001159719A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Nhk Spring Co Ltd | 光部品 |
JP2007156307A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Fujitsu Ltd | 光モジュール及びその製造方法、並びに、スラブ光導波路基板 |
JP2008233726A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Konica Minolta Opto Inc | 光導波路素子ならびに光モジュールおよびその光軸調整方法 |
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2009
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