JP2011033280A - Heater unit and inkjet coating equipment including the heater unit - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ヒーターユニットおよび当該ヒーターユニットを備えるインクジェット塗布装置に関するものである。 The present invention relates to a heater unit and an inkjet coating apparatus including the heater unit.
近年、フラットパネルディスプレイ(FPD)の大型化が進み、これに伴って製造プロセスに使用する基板の大型化が進んでいる。液晶表示装置に関して言えば、使用される液晶用ガラス基板は第10世代と呼ばれ、1辺の長さは3m程度にまで及んでいる。 In recent years, the flat panel display (FPD) has been increased in size, and accordingly, the substrate used for the manufacturing process has been increased in size. Regarding the liquid crystal display device, the glass substrate for liquid crystal used is called the 10th generation, and the length of one side reaches about 3 m.
このような大型基板上の全域に亘って製造される多数の電子デバイス等を欠陥なく均一に製造することは極めて困難であり、局所的に発生する欠陥を修復する修復装置が重要となっている。 It is extremely difficult to uniformly manufacture a large number of electronic devices and the like manufactured over the entire area on such a large substrate without any defect, and a repair device that repairs a locally generated defect is important. .
上記のような修復装置には、大型基板上の特定位置に精度良く修復処理が可能であることが要求される。修復方法は欠陥等の発生態様に応じて決定すべきであるが、例えば、絶縁層の局所的な欠陥により電気的な絶縁特性が確保できない場合にはケイ素化合物を含有する液体を塗布した後に焼成し、局所的な絶縁膜を形成する等の手法が考えられる。 Such a repair device is required to be able to perform a repair process with high accuracy at a specific position on a large substrate. The repair method should be determined according to the defect generation mode. For example, when electrical insulation characteristics cannot be ensured due to local defects in the insulating layer, baking is performed after applying a liquid containing a silicon compound. However, a technique such as forming a local insulating film is conceivable.
特定位置に微小量の液体を塗布する装置としては、例えば、2軸直交タイプのガントリロボットにインクジェットユニットを搭載させたインクジェット塗布装置が特許文献1に開示されている。ガントリロボットは10ミクロン以下程度の高精度の位置決め動作を行うことが可能であり、微細エリアに特定して薄膜を形成することができ、欠陥の修復動作等に好適に使用できる。
As an apparatus for applying a minute amount of liquid to a specific position, for example, an inkjet coating apparatus in which an inkjet unit is mounted on a biaxial orthogonal type gantry robot is disclosed in
また、上記の絶縁膜を形成する液体のケイ素化合物成分として、スピンオングラスに用いられる成分などが挙げられるが、ここでは詳細な説明を省略する。 In addition, examples of the liquid silicon compound component that forms the insulating film include components used in spin-on glass, but detailed description thereof is omitted here.
ところで、絶縁膜形成のみならず、一般に液体塗布によって薄膜を形成する手法の場合には液体を乾燥固化、或いは焼成処理を必要とする場合が多い。 By the way, in addition to the formation of the insulating film, in general, in the case of a method of forming a thin film by liquid application, the liquid often needs to be dried and solidified or fired.
一般的には焼成を目的とするベーク炉を準備するが、大型基板を収容するには当然大型のベーク炉が必要となる。したがって、修復箇所が数点程度の少数であれば、局所的に焼成する手段を採用する方が装置コスト、フットプリント等の面で得策と考えられる。 In general, a baking furnace intended for firing is prepared, but naturally a large baking furnace is required to accommodate a large substrate. Therefore, if the number of repaired parts is as small as several, it is considered that it is better to adopt a means for locally firing in terms of apparatus cost, footprint, and the like.
局所的に焼成する手段を採用する場合、特に、上記2軸の移動手段を有するインクジェット塗布装置に、局所加熱を行うためのヒーターユニットを搭載すれば、局所的な液体の塗布と焼成とを同一の装置で行うことが可能となる。その結果、低コストでフットプリントを抑えて一連の修復処理を行うことが可能となる。 When a means for locally baking is employed, in particular, if a heater unit for performing local heating is mounted on the inkjet coating apparatus having the biaxial moving means, the same application and baking of the local liquid are performed. It becomes possible to carry out with this apparatus. As a result, it is possible to perform a series of repair processes at a low cost while suppressing the footprint.
ヒーターユニットに用いるヒーターとしては、一般的にはランプ加熱方式が挙げられるが、以下に示す課題が考えられる。すなわち、焼成対象がガラス基板など透明材料の場合には、ランプ波長が赤外域であっても基板を透過する成分が無視できず、ガラス基板を載置するステージを加熱してしまう。そして、当該ステージからの伝熱によりガラス基板が昇温する。ここで、ステージには基板を真空吸着して保持するための吸着孔等が設けられており、局所的には不均一な構造体であるため基板への伝熱も均一ではありえない。従って、焼成温度が局所的に分布してしまう。 As a heater used in the heater unit, a lamp heating method is generally used, but the following problems are conceivable. That is, when the object to be baked is a transparent material such as a glass substrate, components that pass through the substrate cannot be ignored even if the lamp wavelength is in the infrared region, and the stage on which the glass substrate is placed is heated. Then, the glass substrate is heated by heat transfer from the stage. Here, the stage is provided with suction holes and the like for holding the substrate by vacuum suction, and since it is a locally non-uniform structure, heat transfer to the substrate cannot be uniform. Therefore, the firing temperature is locally distributed.
よって、塗布した液体は直接的に加熱される方が良く、抵抗加熱などによって昇温したヒーターによりエアを加熱し、該加熱されたエアを噴出して被処理物を加熱するエアヒーターを用いることが考えられる。エアヒーターは高温のエアを被処理物へ噴出して加熱処理を行うため、塗布した液体を直接加熱することが可能である。インクジェット塗布装置に搭載する上では極力小型のエアヒーターが好ましく、例えば、特許文献2には半田付けなどに使用される、棒状の小型エアヒーターが開示されている。
Therefore, it is better to heat the applied liquid directly. Use an air heater that heats the air with a heater heated by resistance heating or the like, and jets the heated air to heat the workpiece. Can be considered. Since the air heater performs heat treatment by ejecting high-temperature air to the object to be treated, the applied liquid can be directly heated. For mounting on an inkjet coating apparatus, a small air heater is preferable. For example,
小型のエアヒーターを採用したヒーターユニットであれば、2軸の移動手段上にインクジェットユニットと共に搭載することが可能となる。 If the heater unit adopts a small air heater, it can be mounted on the biaxial moving means together with the ink jet unit.
しかしながら、上記のようにエアヒーターを用いたヒーターユニットと、インクジェットユニットとを共にガントリに搭載するような構成を採用するに際しては、以下に示す種々の課題がある。 However, when adopting a configuration in which the heater unit using the air heater and the ink jet unit are both mounted on the gantry as described above, there are various problems shown below.
まず、エアヒーターは、抵抗加熱タイプのヒーターに通電を行うため、所望とする設定温度のエアを安定に噴出するまでには、一定の所要時間が必要となる。所望とする基板加熱の方法にもよるが、噴出するエアのエア温度を一定として焼成を行うことが要求される場合には、エアヒーターを別ポジションにて通電開始させてエアが所定温度に到達するまでエアの噴出を待機させる機能が必要となる。 First, since the air heater energizes the resistance heating type heater, a certain time is required until the air having the desired set temperature is stably ejected. Depending on the desired substrate heating method, if firing is required with the air temperature of the blown air constant, energization of the air heater is started at another position and the air reaches a predetermined temperature. It is necessary to have a function of waiting for the air to be blown out.
また、エアヒーターが抵抗加熱源を有するに対し、インクジェットユニットが有機溶剤を主成分とする液体(インク)を吐出するユニットであるため、引火の危険性があり、エアヒーターの高温部には有機溶剤の揮発成分が到達しない配慮が要求される。 In addition, since the air heater has a resistance heating source, the inkjet unit is a unit that discharges a liquid (ink) mainly composed of an organic solvent. Consideration that the volatile components of the solvent do not reach is required.
一方、インクジェット塗布装置等で使用するガントリロボットの位置精度を高く維持するためには、搭載するインクジェットユニットおよびヒーターユニットは小型軽量である必要がある。このため、ヒーターユニットとインクジェットユニットとは極力近い位置に配置する設計が要求される。 On the other hand, in order to maintain high positional accuracy of a gantry robot used in an ink jet coating apparatus or the like, the mounted ink jet unit and heater unit need to be small and light. For this reason, the heater unit and the ink jet unit are required to be arranged as close as possible.
しかし、エアヒーターは抵抗加熱源を有するために自身が高温になるとともに、高温のエアを噴出するためにヒーターユニット全体が昇温する構造である。そして該ヒーターユニットをインクジェットユニットに固定するインクジェットベース板などの部材を通じた伝熱によりインクジェットユニットも昇温することになる。そしてインクジェットヘッドを保持する保持部材の温度が変化すると、熱膨張によりインクジェットヘッドのノズル位置が変動する問題を引き起こす。 However, since the air heater has a resistance heating source, the air heater itself has a high temperature, and the temperature of the entire heater unit is increased to eject high-temperature air. The temperature of the ink jet unit is also increased by heat transfer through a member such as an ink jet base plate that fixes the heater unit to the ink jet unit. When the temperature of the holding member that holds the inkjet head changes, the nozzle position of the inkjet head fluctuates due to thermal expansion.
例えば、上記保持部材がアルミニウムから成ると仮定し、10cmに亘って3℃の温度変化が生じる場合は、約7ミクロンの膨張が生じる。このため、インクジェットヘッドのノズル位置がずれることによりインクジェット塗布装置の位置決め精度が大幅に低下することとなる。なお、上記の例では単純に均等に熱膨張した場合のみを考慮したが、現実には保持部材の形状や材料が異なることなどから捩れなどの成分も発生してさらなる精度低下を引き起こすおそれがある。 For example, assuming that the holding member is made of aluminum, if a temperature change of 3 ° C. occurs over 10 cm, expansion of about 7 microns occurs. For this reason, when the nozzle position of the ink jet head is shifted, the positioning accuracy of the ink jet coating apparatus is greatly reduced. In the above example, only the case where the thermal expansion is performed evenly is considered. However, in reality, components such as torsion may occur due to different shapes and materials of the holding member, which may cause further deterioration in accuracy. .
従って、ヒーターユニットに関して、発生する熱量を効果的に排出すること、および、インクジェットユニットなどの周辺の構成部材への伝熱を極力抑制することが小型軽量化と同時に要求される。 Therefore, regarding the heater unit, it is required to effectively discharge the amount of generated heat and to suppress heat transfer to peripheral components such as an ink jet unit as much as possible while reducing the size and weight.
さらにまた、エアヒーターを採用して焼成処理を行う場合、エアヒーターに近接して配置することが要求されるインクジェットヘッドのノズル付近のインクが乾燥および固化する課題もある。 Furthermore, when the firing process is performed using an air heater, there is a problem that the ink in the vicinity of the nozzles of the inkjet head, which is required to be disposed close to the air heater, is dried and solidified.
本発明は係る課題を鑑みてなされたものであり、インクジェット塗布装置等に搭載可能なヒーターユニットであって、有機溶剤等の揮発成分が当該ヒーターユニット内部へ到達することを抑制する安全な構成であり、かつ、ヒーターユニットの周囲への熱伝播を抑制するヒーターユニットを提供することにある。 The present invention has been made in view of such problems, and is a heater unit that can be mounted on an inkjet coating apparatus or the like, and has a safe configuration that suppresses volatile components such as organic solvents from reaching the inside of the heater unit. And providing a heater unit that suppresses heat propagation to the periphery of the heater unit.
本発明のヒーターユニットは、上記課題を解決するために、被処理物を加熱する加熱空気を噴出するエア噴出口を先端に有するエアヒーターと、上記エアヒーターを格納する筐体とを備えるヒーターユニットにおいて、上記筐体には、上記エア噴出口が突出可能な突出口が形成され、上記突出口には、突出口の開閉状態を変更する第1蓋部が備えられており、上記筐体内には、上記エアヒーターを移動させることによって、上記突出口およびエアヒーターの相対距離を変化させる移動手段が配置され、上記筐体には、筐体内の温度上昇を抑制する冷却ガスを筐体内に導入させるためのガス導入口、および、冷却ガスを筐体外へ排出させるためのガス排出口が形成されていることを特徴としている。 In order to solve the above problems, a heater unit according to the present invention includes an air heater having an air outlet at the tip for ejecting heated air for heating an object to be processed, and a housing for storing the air heater. The housing is provided with a projecting port through which the air outlet can project, and the projecting port is provided with a first lid for changing the open / closed state of the projecting port. The moving means for changing the relative distance between the projection opening and the air heater by moving the air heater is arranged, and the casing introduces cooling gas into the casing to suppress the temperature rise in the casing. And a gas exhaust port for exhausting the cooling gas to the outside of the housing.
上記の発明によれば、エアヒーターが筐体に格納されている状態において、第1蓋部によって突出口を閉じることができる。また、ガス導入口から冷却ガスが筐体に導入されるため、筐体内の圧力は外部よりも高くなり、筐体の外部から有機溶剤等の揮発成分が筐体内部へ到達することを抑制できる。このため、安全な構成を実現することができる。 According to said invention, in the state in which the air heater is stored in the housing | casing, a protrusion can be closed by the 1st cover part. In addition, since the cooling gas is introduced into the housing from the gas inlet, the pressure in the housing is higher than the outside, and volatile components such as organic solvents from the outside of the housing can be prevented from reaching the inside of the housing. . For this reason, a safe configuration can be realized.
さらに、上記構成によれば、エアヒーターが筐体に格納されている状態において、冷却ガス導入口から筐体内へ冷却ガスが導入され、排出口から冷却ガスが排出されるため、筐体内の熱を排熱することができる。このため、エアヒーターから周囲の部材への熱伝播を抑制するヒーターユニットを提供することが可能である。 Furthermore, according to the above configuration, in the state where the air heater is stored in the casing, the cooling gas is introduced into the casing from the cooling gas inlet, and the cooling gas is discharged from the outlet. Can be exhausted. For this reason, it is possible to provide a heater unit that suppresses heat propagation from the air heater to surrounding members.
また、本発明のヒーターユニットでは、上記移動手段には、移動手段によってエアヒーターが移動すると共に移動して複数のガス導入口の開閉状態を変更する第2蓋部が配置されていることが好ましい。 In the heater unit of the present invention, it is preferable that the moving means is provided with a second lid portion that moves and moves the air heater to change the open / closed states of the plurality of gas inlets. .
上記の発明によれば、第2蓋部に複数のガス導入口の開閉状態が変更されることができる。すなわち、第2蓋部の移動によって、冷却ガスが導入されるガス導入口が変更されることとなる。筐体内には、部分的に高温になる箇所が生じ得るが、上記のように冷却ガス流路が変更されることによって、冷却ガスをより広範囲に導入することができ、排熱効率がさらに向上されたヒーターユニットを提供することができる。 According to said invention, the opening / closing state of several gas inlets can be changed by the 2nd cover part. That is, the gas introduction port into which the cooling gas is introduced is changed by the movement of the second lid portion. There may be a part where the temperature is partially raised in the housing. However, by changing the cooling gas flow path as described above, the cooling gas can be introduced in a wider range, and the exhaust heat efficiency is further improved. A heater unit can be provided.
また、本発明のヒーターユニットでは、上記エアヒーターが上記筐体に格納されている待機状態と、上記移動手段によって、上記エア噴出口が上記突出口から筐体外へ位置している処理状態とにおいて、上記複数のガス導入口のうち少なくとも1つの開閉状態が異なることが好ましい。 Further, in the heater unit of the present invention, in the standby state in which the air heater is stored in the housing, and in the processing state in which the air outlet is located outside the housing from the protruding port by the moving means. It is preferable that at least one of the plurality of gas inlets is opened and closed.
上記待機状態および処理状態では、ヒーターユニットから発生する熱量の発生態様が大きく異なる。このような両状態に関して冷却ガス流路を変更することによって、排熱効率を非常に大きく向上させることができる。 In the standby state and the processing state, the generation of heat generated from the heater unit is greatly different. By changing the cooling gas flow path for both of these states, the exhaust heat efficiency can be greatly improved.
また、本発明のヒーターユニットでは、上記待機状態において、加熱空気が移動するエア流路と、ガス導入口から導入される冷却ガスが移動する冷却ガス流路とが交差するように、上記ガス導入口およびガス排出口が形成されており、上記ガス導入口が、開口状態になっていることが好ましい。 In the heater unit of the present invention, in the standby state, the gas introduction is performed so that the air flow path through which the heated air moves and the cooling gas flow path through which the cooling gas introduced from the gas introduction port intersect. It is preferable that a mouth and a gas discharge port are formed, and the gas introduction port is in an open state.
これにより、高温の加熱空気が流れるエア流路に対して開口状態となっているガス導入口から冷却ガスを直接導入することができる。このため、筐体内の最も温度の高い箇所に対して、冷却ガスが速やかに導入され、筐体内の温度上昇を非常に効率的に抑制することができる。すなわち、ヒーターユニットの周囲への熱伝播を、非常に効率的に抑制することができる。 Thereby, it is possible to directly introduce the cooling gas from the gas introduction port that is in an open state with respect to the air flow path through which the high-temperature heated air flows. For this reason, the cooling gas is promptly introduced into the hottest portion in the housing, and the temperature rise in the housing can be suppressed very efficiently. That is, heat propagation to the periphery of the heater unit can be suppressed very efficiently.
また、本発明のヒーターユニットでは、上記エア流路と交差する上記冷却ガス流路へ冷却ガスを導入するガス導入口に対向する位置にガス排出口が形成されていることが好ましい。 In the heater unit of the present invention, it is preferable that a gas discharge port is formed at a position opposite to the gas introduction port for introducing the cooling gas into the cooling gas channel intersecting with the air channel.
このため、冷却ガス流路は、ガス導入口およびガス排出口間に位置することとなる。したがって、エア流路および冷却ガス流路の交差する位置にて加熱空気と合流した冷却ガスは、速やかにガス排出口から排出される。したがって、発生する熱量を効率的に外部へ排出することが可能となる。 For this reason, the cooling gas channel is located between the gas inlet and the gas outlet. Therefore, the cooling gas that merges with the heated air at the position where the air flow path and the cooling gas flow path intersect is quickly discharged from the gas discharge port. Therefore, it is possible to efficiently discharge the generated heat amount to the outside.
また、本発明のヒーターユニットでは、上記筐体が、微小液滴を吐出するインクジェットヘッドを備えるインクジェットユニットに固定される固定部材を含んでおり、上記固定部材は、上記ガス導入口へ冷却ガスを供給するガス供給経路の少なくとも一部を形成することが好ましい。 In the heater unit of the present invention, the casing includes a fixing member fixed to an ink jet unit including an ink jet head that discharges micro droplets, and the fixing member supplies cooling gas to the gas inlet. It is preferable to form at least a part of the gas supply path to be supplied.
これにより、ガス排出口からの排熱に加えて、上記固定部材へ冷却ガスが通じるため固定部材を空冷することができる。したがって、固定部材を通じて、インクジェットユニットへ熱伝導する熱量を非常に低く抑えることが可能なヒーターユニットを提供することができる。なお、当該ヒーターユニットを備えるインクジェット塗布装置によれば、特に非常に高い位置精度での液滴塗布が要求される場合などに、熱膨張などによってインクジェットヘッドの位置ずれ量を抑制させる効果を得ることができる。 Thereby, in addition to the exhaust heat from a gas exhaust port, since a cooling gas leads to the said fixing member, a fixing member can be air-cooled. Therefore, it is possible to provide a heater unit that can keep the amount of heat conducted to the inkjet unit through the fixing member very low. In addition, according to the ink jet coating apparatus provided with the heater unit, an effect of suppressing the positional deviation amount of the ink jet head by thermal expansion or the like can be obtained particularly when droplet application with very high positional accuracy is required. Can do.
本発明のインクジェット塗布装置は、上記ヒーターユニットと、微小液滴を吐出するインクジェットヘッドを備えるインクジェットユニットとを備え、上記ヒーターユニットおよびインクジェットユニットが連結されていることを特徴としている。 The ink jet coating apparatus of the present invention includes the heater unit and an ink jet unit including an ink jet head that discharges micro droplets, and the heater unit and the ink jet unit are connected to each other.
当該インクジェット塗布装置は、本発明に係るヒーターユニットを備えるため、ヒーターユニットは有機溶剤等の揮発成分に対して安全である。それゆえ、エアヒーターから周囲の部材への熱伝播を抑制することが可能な、インクジェット塗布装置を提供することができる。 Since the inkjet coating apparatus includes the heater unit according to the present invention, the heater unit is safe against volatile components such as organic solvents. Therefore, it is possible to provide an ink jet coating apparatus capable of suppressing heat propagation from the air heater to surrounding members.
本発明のインクジェット塗布装置では、上記インクジェットユニットはインクジェットヘッドを昇降させる昇降手段を備えることが好ましい。 In the ink jet coating apparatus of the present invention, it is preferable that the ink jet unit includes lifting / lowering means for moving the ink jet head up and down.
上記の構成によれば、インクジェットヘッドが微小液滴の塗布処理を終了した後に、昇降手段によってインクジェットヘッドを上昇させて退避させることが可能である。これにより、エアヒーターから噴出される加熱ガスがインクジェットヘッドに到達することを抑制できる。つまり、インクジェット塗布装置の安全性、および正常な動作が可能な状態での保持性能を向上させることが可能である。 According to said structure, after an inkjet head complete | finishes the application | coating process of a micro droplet, it is possible to raise and retreat an inkjet head by a raising / lowering means. Thereby, it is possible to suppress the heated gas ejected from the air heater from reaching the inkjet head. That is, it is possible to improve the safety of the inkjet coating apparatus and the holding performance in a state where normal operation is possible.
本発明のインクジェット塗布装置では、前記インクジェットユニットは、インクジェットヘッドのノズル部を保湿するノズル保湿手段を備えることが好ましい。 In the ink jet coating apparatus of the present invention, it is preferable that the ink jet unit includes a nozzle moisturizing means for moisturizing the nozzle portion of the ink jet head.
上記ノズル保湿手段によって、インクジェットヘッドのノズル部を保湿することができる。すなわち、上記ノズル部でのインクの乾燥および固化を抑制することができる。 The nozzle moisturizing means can moisturize the nozzle portion of the inkjet head. That is, it is possible to suppress drying and solidification of the ink at the nozzle portion.
本発明のヒーターユニットは、以上のように、筐体には、エアヒーターのエア噴出口が突出可能な突出口が形成され、上記突出口には、突出口の開閉状態を変更する第1蓋部が備えられており、上記筐体内には、上記エアヒーターを移動させることによって、上記突出口およびエアヒーターの相対距離を変化させる移動手段が配置され、上記筐体には、筐体内の温度上昇を抑制する冷却ガスを筐体内に導入させるためのガス導入口、および、冷却ガスを筐体外へ排出させるためのガス排出口が形成されているものである。 As described above, in the heater unit of the present invention, the casing is formed with a projecting port from which the air outlet of the air heater can project, and the projecting port has a first lid that changes the open / closed state of the projecting port. A moving means for changing the relative distance between the projection opening and the air heater by moving the air heater is disposed in the housing, and the housing includes a temperature in the housing. A gas inlet for introducing a cooling gas that suppresses the rise into the casing and a gas outlet for discharging the cooling gas to the outside of the casing are formed.
それゆえ、エアヒーターが筐体に格納されている状態において、第1蓋部によって突出口を閉じることができ、ガス導入口から冷却ガスが筐体に導入されるため、筐体内の圧力は外部よりも高くなり、筐体の外部から有機溶剤等の揮発成分が筐体内部へ到達することを抑制することができる。このため、安全な構成を実現することができる。さらに、エアヒーターが筐体に格納されている状態において、冷却ガス導入口から筐体内へ冷却ガスが導入され、排出口から冷却ガスが排出されるため、筐体内の熱を排熱することができる。このため、エアヒーターから周囲の部材への熱伝播を抑制するヒーターユニットを提供することができるという効果を奏する。 Therefore, in a state where the air heater is stored in the housing, the projecting port can be closed by the first lid portion, and the cooling gas is introduced into the housing from the gas introduction port. It is possible to prevent volatile components such as organic solvents from reaching the inside of the housing from the outside of the housing. For this reason, a safe configuration can be realized. Furthermore, in a state where the air heater is stored in the housing, the cooling gas is introduced from the cooling gas inlet into the housing and the cooling gas is discharged from the outlet, so that the heat in the housing can be exhausted. it can. For this reason, there exists an effect that the heater unit which suppresses the heat propagation from an air heater to the surrounding member can be provided.
本発明の一実施形態について図1ないし図6に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態は、特許請求の範囲に記載された発明に関する例示であり、特許請求の範囲を限定するものではない。すなわち、本発明の範囲は、明細書の記載でなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の範囲に属する全ての変更を含むものである。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6 as follows. In addition, this Embodiment is the illustration regarding the invention described in the claim, and does not limit a claim. That is, the scope of the present invention is shown not by the description of the specification but by the scope of claims, and includes all modifications belonging to the scope equivalent to the scope of claims.
〔ヒーターユニットの構成〕
図1(a)はエアヒーター1が移動機構(移動手段)2によって上方に配置された状態でヒーターユニット12の筐体内に格納されている状態を示す断面図である(待機状態)。一方、図1(b)はシャッター5を開いて開口させた状態でエアヒーター1を移動機構2により下方に配置した状態を示す断面図である。
[Configuration of heater unit]
FIG. 1A is a cross-sectional view showing a state in which the
図1(a)に示すように、エアヒーター1は、ヒーターユニットベース板3、底板4およびカバー6から構成される筐体に格納されている。筐体内の固定板3aには移動機構2が固定されており、移動機構2は蓋材11と接続されている。また、蓋材11は、エアヒーター1と連結されている。
As shown in FIG. 1 (a), the
また、上記筐体には、エアヒーター1の長軸方向に対向する位置に、エアヒーター1のエア噴出口が突出可能な突出口5aが形成されており、ヒーターユニットベース板3にはガス供給口7が、カバ−6にはガス排出口10がそれぞれ形成されている。筐体外側には突出口5aに対してシャッター(第1蓋部)5が備えられている。上記エア噴出口は、被処理物を加熱する加熱空気を噴出するものである。
Further, the casing is formed with a projecting
エアヒーター1は、筐体外部の突出口5aに沿った位置に配置される被処理物を加熱空気によって加熱できればよく、公知のエアヒーターを用いることができる。例えば、インフリッヂ工業株式会社製スーパーエアヒーターSEN、有限会社フィンテック製熱風ヒーターSAHなどを挙げることができる。
The
上記エアヒーター1は、蓋材(第2蓋部)11を介して移動機構2に接続されている。移動機構2は、蓋材11に連結する軸部分が移動機構2の筐体内部へ移動することによって、図1(b)に示すようにエアヒーター1を突出口5aの方向へ移動させることができる。
The
エアヒーター1の上方には空気を供給する柔軟な配管(点線により図示)が接続されており、図示しない開閉弁によりエアヒーター1に空気を導入することができる。なお、本実施の形態に係るヒーターユニット12において、エアヒーター1の加熱した空気を噴出するエア噴出口は、エアヒーター1の下方(先端)に配置されている。
A flexible pipe (illustrated by a dotted line) for supplying air is connected above the
ガス供給口7には、図示しない冷却ガス配管がヒーターユニット12の外部から接続されている。さらに、ヒーターユニットベース板3には、ガス供給口7から筐体内部へ冷却ガスが導入されるガス流路が設けられており、ガス流路は、上部ガス導入口(ガス導入口)8および下部ガス導入口(ガス導入口)9に繋がっている。また、下部ガス導入口9およびガス排出口10は対向する位置に配置されている。
A cooling gas pipe (not shown) is connected to the
なお、上記冷却ガスは、筐体内の温度上昇を抑制することができればよく、例えば、アルゴンなどの不活性ガス、空気、窒素などを用いることができる。 In addition, the said cooling gas should just be able to suppress the temperature rise in a housing | casing, For example, inert gas, such as argon, air, nitrogen, etc. can be used.
ヒーターユニット12では、ガス供給口7は1箇所形成されているが、複数形成されていてもよい。しかしながら、図1(a)のように、蓋材11が備えられている場合、上部ガス導入口8および下部ガス導入口9の一方は、蓋材11にて覆われ得る。図1(b)のように、下部ガス導入口9が蓋材11によって覆われると、蓋材11によって覆われていない上部ガス導入口8から冷却ガスの大部分が筐体に導入されることとなる。すなわち、ガス供給口7が、上部ガス導入口8および下部ガス導入口9の両方に連結されているため、ガス流路にて内圧が不要に上昇することを回避することができる。
In the
ヒーターユニット12では、エアヒーター1が筐体内に格納された状態において、エアヒーター1にて加熱された加熱空気が移動するエア流路は、エアヒーター1のエア噴出口から突出口5aに向かう方向Aに沿って形成される。一方、下部ガス導入口9から導入される冷却ガスが移動するガス流路は、下部ガス導入口9からガス排出口10へ向かう方向Bに沿って形成される。
In the
本構成によれば、高温の加熱空気が流れるエア流路に対して、開口状態になっている下部ガス導入口9から冷却ガスを直接導入することができる。このため、筐体内の最も温度の高い箇所に対して、冷却ガスが速やかに導入され、筐体内の温度上昇を非常に効率的に抑制することができる。すなわち、ヒーターユニット12の周囲への熱伝播を非常に効率的に抑制することができる。なお、下部ガス導入口9が「開口状態になっている」とは、「主たるガス導入口となっている」と換言することができる。
According to this configuration, the cooling gas can be directly introduced into the air flow path through which the high-temperature heated air flows from the
また、ヒーターユニット12では、上記エア流路と交差する上記ガス流路に位置する下部ガス導入口9に対向する位置にガス排出口10が形成されている。このため、図1(a)に示すように、冷却ガス流路は、上部ガス導入口8およびガス排出口10間に位置することとなる。したがって、エア流路および冷却ガス流路の交差する位置にて加熱空気と合流した冷却ガスは、速やかにガス排出口10から排出される。したがって、発生する熱量を効率的に外部へ排出することが可能となる。
Further, in the
ヒーターユニット12は、図1(a)のように、エアヒーター1を移動機構2によって筐体内に移動させ格納することができる。そして、エアヒーター1が筐体に格納されている状態において、シャッター5は突出口5aを覆っている。また、ガス供給口7を通して、主に下部ガス導入口9から冷却ガスが筐体に導入されるため、筐体内の圧力は外部よりも高くなり、筐体の外部から有機溶剤等の揮発成分が筐体内部へ到達することを抑制することができる。このため、安全な構成のヒーターユニットを実現することができる。
As shown in FIG. 1A, the
さらに、上記構成によれば、エアヒーター1が筐体に格納されている状態において、筐体内へ冷却ガスが導入され、ガス排出口10から排出されるため、筐体内の熱を排熱することができる。このため、エアヒーター1から周囲の部材への熱伝播を抑制するヒーターユニット12を提供することが可能である。
Furthermore, according to the above configuration, in the state where the
ヒーターユニット12では、筐体が上記のように、ヒーターユニットベース板3、底板4およびカバー6から構成されている。しかしながら、筐体は、ヒーターユニット12を格納し、突出口5a等の開口部が形成されていればよく、ヒーターユニットベース板3、底板4およびカバー6による構成だけに限定されない。例えば、底板4およびカバー6を一体的に構成し、後にヒーターユニットベース板3と組み合わせることによって筐体を構成してもよい。
In the
次に、図1(b)のヒーターユニット12の状態は、エアヒーター1によって加熱された空気をヒーターユニット12の下方へ噴出するためのであり、本状態においてヒーターユニット12の下方に被処理物を配置して加熱処理を行う。
Next, the state of the
図1(b)に示すように、ヒーターユニット12は、エアヒーター1のエア噴出口を突出させるべく、移動機構2によって突出口5aの方向へ移動されている。すなわち、移動機構2は、突出口5aおよびエアヒーター1の相対距離を変化させている。上記ヒーターユニット12の移動に伴い、蓋材11も同時に移動している。
As shown in FIG. 1B, the
ところで、エアヒーター1が上方に位置している待機状態(図1(a)を参照)では、上部ガス導入口8は蓋材11によって開口が狭まり、主たる冷却ガスの導入口は下部ガス導入口9である。一方、エアヒーター1が下方に位置している処理状態(図1(b)を参照)では、下部ガス導入口9が蓋材11によって開口が狭まり、主たる冷却ガスの導入口は蓋材11に覆われていない上部ガス導入口8となる。すなわち、図1(a)の待機状態と、図1(b)の処理状態とにおいて、上部ガス導入口8および下部ガス導入口9の蓋材11による被覆状態は異なっている。
By the way, in the standby state in which the
ヒーターユニット12では、上記のように移動機構2によってエアヒーター1が移動すると共に、蓋材11が移動して上部ガス導入口8および下部ガス導入口9の開閉状態が変更される。このように、両ガス導入口の開閉状態が変更されることによって、冷却ガス流路が変更される。筐体内には、部分的に高温になる箇所が生じ得るが、上記のように冷却ガス流路が変更されることによって、冷却ガスをより広範囲に導入することができ、排熱効率を向上させることができる。
In the
また、上記冷却流路の変更は、上記のように、熱量の発生態様が大きく異なる両状態においてなされていることが好ましい。上記の両状態に関して冷却ガス流路を変更することによって、排熱効率を非常に大きく向上させることができる。 In addition, it is preferable that the cooling channel is changed in both states in which the amount of heat generation is greatly different as described above. By changing the cooling gas flow path for both the above states, the exhaust heat efficiency can be greatly improved.
ヒーターユニットの変形例として、図2に示すヒーターユニット12aのように、ヒーター1およびこれを固定保持する機構部品類が、上部ガス導入口8および下部ガス導入口9の付近に配置され、エアヒーター1によって開閉状態が変更するような配置であってもよい。
As a modification of the heater unit, as in the
図2を用いて、具体的な構成を説明する。図2(a)はエアヒーター1が移動機構(移動手段)2によって上方に配置された状態でヒーターユニット12の筐体内に格納されている状態を示す断面図である(待機状態)。一方、図2(b)はシャッター5を開いて開口させた状態でエアヒーター1を移動機構2により下方に配置した状態を示す断面図である。
A specific configuration will be described with reference to FIG. FIG. 2A is a cross-sectional view showing a state in which the
図2(a)はエアヒーター1が上方に配置されている状態であり、上部ガス導入口8がエアヒーター1を保持固定する機構部品により遮蔽されており、相対的に開口状態にある下部ガス導入口9が主たるガス導入口となる。また、図2(b)はエアヒーター1が下方に降りた状態であり、下部ガス導入口9がエアヒーター1によって遮蔽され、相対的に開口状態にある上部ガス導入口8が主たるガス導入口となっている。ガス導入口の変更は異なるものの、排熱効率を向上させる効果は図1と同じであるため、排熱に関する説明を省略する。
FIG. 2A shows a state in which the
なお、本発明に係るヒーターユニットでは、ガス導入口(上部ガス導入口および下部ガス導入口)は少なくとも1箇所形成されていれば、筐体内に冷却ガスを導入することができ、ヒーターユニットの周囲への熱伝播を抑制することが可能である。ガス導入口が1箇所である場合、蓋材11は不要である。しかしながら、排気効率の観点から、ガス導入口は3箇所以上設けられていてももちろんよい。
In the heater unit according to the present invention, if at least one gas inlet (upper gas inlet and lower gas inlet) is formed, the cooling gas can be introduced into the casing, It is possible to suppress the heat propagation to. When there is one gas inlet, the
〔インクジェット塗布装置〕
次に、本実施の形態に係るインクジェット塗布装置14について説明する。図3は、インクジェット塗布装置14を示す斜視図である。図3に示すように、インクジェット塗布装置14は、基板15を載置するステージ16、基板15にインクを吐出するインクジェットヘッドを備えるインクジェットユニット13、ヒーターユニット12b、インクジェットユニット13をx軸方向に移動させる駆動部17a、および、インクジェットユニット13をy軸方向に移動させる駆動部17bを備えている。
[Inkjet coating equipment]
Next, the ink
また、図4は、図3におけるインクジェットユニット13の内部構造を示す透過斜視図である。図4に示すように、インクジェットユニット13は、インクジェットヘッド18、インクジェットヘッド18を上下方向に昇降させる昇降機構(昇降手段)19を基本構成とし、さらにノズル保湿部(ノズル保湿手段)20が、ノズル保湿部20を駆動させるノズル保湿部駆動機構21上に搭載されている。
FIG. 4 is a transparent perspective view showing the internal structure of the
さらに、インクジェットユニット13に隣接してヒーターユニット12bが配置されており、昇降機構(昇降手段)19が設置されているインクジェットユニットベース板(固定部材)22の裏面にヒーターユニット12bのヒーターユニットベース板3が固定されている。上記ヒーターユニット12bとインクジェットユニット13とは連結されている。
Further, the
なお、図4に示す配置構成においては、ヒーターユニット12へ冷却ガスを導入するためのガス供給口7に図示しない冷却ガス配管が接続できるように、インクジェットユニットベース板22にはガス供給口23が設けられている。これによりガス供給口23を通じて上記冷却ガス配管がヒーターユニット12bへと接続可能である。上記のように、図1にて説明したヒーターユニット12とは異なり、ガス供給口7は、ヒーターユニットベース板3に設けられていない構成とすることもできる。
In the arrangement shown in FIG. 4, a
インクジェットユニット13に連結されたヒーターユニット12bについて、以下説明する。図5は、ヒーターユニット12bを示す断面図である。ヒーターユニット12bは、ヒーターユニット12と基本的な構成が同じであり、共通する部材については同一の部材番号を付してその説明を省略する。ヒーターユニット12bの筐体は、微小液滴を吐出するインクジェットヘッドを備えるインクジェットユニットに固定されるインクジェットユニットベース板22を含んでおり、インクジェットユニットベース板22は、ガス導入口である上部ガス導入口8および下部ガス導入口9へ冷却ガスを供給するガス供給経路の少なくとも一部を形成している。
The
上記の構成によれば、ヒーターユニット12bが待機状態となった際に、エアヒーター1が空気を加熱するに従って、筐体内に加熱空気が生じる。しかしながら、ガス排出口10からの排熱に加えて、ガス供給口23から供給される冷却ガスがインクジェットユニットベース板22を空冷することができる。これらの作用によって、インクジェットユニットベース板22を通じて、熱伝導する熱量を非常に低く抑えることが可能である。従って、インクジェット塗布装置14によれば、特に高精度の位置精度で液滴塗布が要求される場合などに、熱膨張などによってインクジェットヘッド18の位置ずれ量を抑制させる効果を得ることができる。
According to said structure, when the
或いは、図6のヒーターユニット12cのように、ガス供給口23は複数あってもよい。図6は、ヒーターユニット12cを示す断面図である。図6においてはガス供給口23が上下2箇所配置され、点線で示すガス経路が分岐して2箇所のガス供給口23にそれぞれ接続されている。
Alternatively, there may be a plurality of
次に、図3および図4を参照して、インクジェット塗布装置14の処理動作を説明する。図示しないコントロールユニットからの制御信号に基づいて、x軸方向に移動させる駆動部17aおよびy軸方向に移動させる駆動部17bが駆動してインクジェットヘッド18が移動し、所望の処理位置上、すなわち、基板15上の被処理物の位置上となるようにインクジェットユニット13が移動する。上記コントロールユニットは、CPU(central controlling unit)などから構成された公知の制御ユニットを用いることができる。
Next, the processing operation of the
このとき、エアヒーター1およびインクジェットヘッド18は待機状態にある。すなわち、エアヒーター1は移動機構2に、インクジェットヘッド18は昇降機構19にそれぞれ移動されてヒーターユニット12およびインクジェットユニット13内に格納されている。なお、インクジェットユニット13においては、ノズル保湿部20がインクジェットヘッド18下面のノズル部(図示せず)付近へとノズル保湿部駆動機構21により移動することができる。ノズル保湿部20がインクジェットヘッド18に対向する位置に設置されることによって、上記ノズル部でのインクの乾燥および固化を抑制することができる。
At this time, the
本実施の形態に係るノズル保湿部20は、特に限定されるものではなく、例えば、インクジェットヘッド18で使用されるインクの主溶媒を蓄える構造物であって、インクジェットヘッド18のノズル面と対向する位置において、上記主溶媒蒸気が発生する機能を有していればよい。例えばPVA(ポリビニルアルコール)スポンジ等の多孔質部材を溶媒吸収部材としてノズル保湿部20に配置し、該溶媒吸収部材に主溶媒を蓄えて上部から蒸気が発生する構造を用いればよい。また、上記主溶媒を定期的に供給するための配管および溶媒供給システムを別に備えていてもよいし、上記溶媒吸収部材下に溶媒貯留空間が設けられた溶媒を溜め込む構造を備え、溶媒補給の頻度を下げる構造としてもよい。上記ノズル保湿部20によってインクジェットヘッド18のノズル部を保湿する保湿方法は、インクジェット技術に係る公知の保湿手法を用いればよい。また、必要に応じて予備吐出の検査を行うことのできる機能をノズル保湿部20に付与してもよい。
The
そして、インクジェットユニット13が所望の位置に移動した後に、昇降機構19を用いて、インクジェットユニット底板24の開口部25から下方へインクジェットヘッド18を降下させて、図示しないインク供給システムによりインクをインクジェットヘッド18へ供給するとともに、インクジェットヘッド18を動作することにより、基板15へ微小液滴を吐出して所望の塗布動作を行う。
After the
上記インクジェットヘッド18を用いた塗布動作が完了した後は、再度待機状態に戻せばよい。すなわちインクジェットヘッド18を再度上昇させ、ノズル保湿部20をインクジェットヘッド18のノズル面付近に対向するように配置させておく。
After the coating operation using the
一般的なインクジェット技術においては、インクジェットヘッドと基板等の対象物とのギャップは1mm以下程度の狭ギャップに設定した状態で微小液滴を吐出する。この状態でエアヒーターから高温のガスを基板上の被処理物に吹き付けた場合、高温のガスがインクジェットヘッドへと到達して引火の危険がある、或いはインクジェットヘッドのノズル付近のインクが乾燥して正常な吐出動作が可能な状態を保持することができない、という問題が発生し得る。 In a general ink jet technique, fine droplets are ejected in a state where a gap between an ink jet head and an object such as a substrate is set to a narrow gap of about 1 mm or less. If high temperature gas is blown from the air heater onto the substrate to be processed in this state, the high temperature gas reaches the inkjet head and there is a risk of ignition, or the ink near the nozzle of the inkjet head dries out. There may be a problem that a state in which a normal discharge operation is possible cannot be maintained.
インクジェット塗布装置14では、インクジェットヘッド18を昇降させる昇降機構19を備えており、インクジェットヘッド18が微小液滴の塗布処理を終了した後にインクジェットヘッド18を上昇させて退避させることが可能である。これにより、エアヒーター1から噴出される高温のガスがインクジェットヘッドに到達することを抑制することができる。つまり、インクジェット塗布装置14の安全性、および正常な動作が可能な状態での保持性能を向上させることが可能である。
The ink
かかる待機状態へ戻る動作と並行して、或いは動作が完了した後に、x軸方向に移動させる駆動部17a、y軸方向に移動させる駆動部17bによりエアヒーター1を上記液滴塗布位置上に配置させる。
In parallel with the operation of returning to the standby state or after the operation is completed, the
また、上記移動動作と並行して、或いは動作が完了した後に、ヒーターユニット12のエアヒーター1にエアを供給すると共に、エアヒーター1への通電を開始させ、温度上昇させる。
Further, in parallel with the moving operation or after the operation is completed, air is supplied to the
エアヒーター1から噴出させる加熱空気は、エア噴出口付近に設置された図示しない熱電対により温度を計測し、通電量を制御することで所望とする設定温度に到達させ、温度を保持させる。そして噴出する空気が所定の温度に到達して安定した後に、シャッター5を動作させて開口状態とし、ついで移動機構2によりエアヒーター1を降下させる。上記操作は、熱電対の温度に係る出力信号を受信した上記図示しないコントロールユニットによって制御がなされる。
The temperature of the heated air ejected from the
これにより、塗布した微小液滴に対して所定温度に加熱した熱風を吹き付けることができ、上記微小液滴を加熱して溶質成分の焼成を行うことができる。なお、ヒーターユニット12に導入する冷却ガスは、ガス供給口23から常時供給しておけばよい。以上のように本実施の形態に係るインクジェット塗布装置14においては、インクジェットヘッド18による微小液滴の特定位置への高精度の塗布動作と、塗布した微小液滴をエアヒーター1により直接的に焼成する動作との2つの処理動作を行うことが可能となる。
Thereby, hot air heated to a predetermined temperature can be sprayed on the applied fine droplets, and the solute components can be fired by heating the fine droplets. The cooling gas introduced into the
上記のように液滴の塗布動作は、インクジェットヘッド18によって行う。一方、塗布動作の間、基板15上にインクの主要な溶媒成分が揮発して蒸気濃度が高くなっている状態では、エアヒーター1をヒーターユニット12b内に格納して退避させておくことができる。
As described above, the droplet application operation is performed by the
ここで、ヒーターユニット12bに冷却ガスを常時供給しておけば、ヒーターユニット12bの内部は、圧力が外部よりも常に高くなり、外部へとガスが流れ出ることとなる。つまり、ヒーターユニット12bに対して加圧防爆を施していることになるので、上記インクの主要な溶媒成分がヒーターユニット12bの内部に侵入することを抑制する効果がある。
Here, if the cooling gas is constantly supplied to the
また、上記の一連の処理動作においてはエアヒーター1をヒーターユニット12b内に格納した状態にて、エアヒーター1への通電を開始する。このような通電を従来のエアユニットで行った場合、エアヒーターから徐々に高温のガスがヒーターユニット12bの内部に噴出する事態が発生することが想起される。
In the above series of processing operations, energization of the
しかしながら、本実施の形態に基づくヒーターユニット12bにおいては、以下に示す効果により、効果的に熱量を排熱する或いは、伝熱による周辺の構造物への熱伝導を抑制する効果がある。
However, the
すなわち、本実施の形態に基づくヒーターユニット12bでは、エアヒーター1が格納されている状態で、冷却ガスは下部ガス導入口9を主たるガス導入口としてヒーターユニット12内に導入される。このとき、冷却ガスのガス流路は下部ガス導入口9に対向して配置されるガス排出口10へと直線的に形成される。エアヒーター1から噴出される高温のエアが形成する流路は、冷却ガスの冷却ガス流路と交差して、加熱空気と冷却ガスとの混合が生じ、ガス温度を低下させる。
That is, in the
さらに、エアヒーター1から噴出する高温の加熱空気の流量よりも十分に多量の冷却ガスを導入すれば、冷却ガスのガス流路をほぼ変化させず、冷却ガスをガス排出口10に到達させて外部に排出することができる。つまり、冷却ガスによって、エアヒーター1から噴出する高温のガスを短距離でガス排出口10へと押し流して外部に放出することができるので、排熱の効果が高く、ヒーターユニット12bの温度上昇を抑制させることができる。
Furthermore, if a sufficiently large amount of cooling gas is introduced than the flow rate of the high-temperature heated air ejected from the
また、エアヒーター1を降下させて焼成処理を行っている状態では、主たるガス導入口として上部ガス導入口8から冷却ガスがヒーターユニット12内に導入される。本処理状態では、エアヒーター1から噴出する高温の加熱空気はヒーターユニット12bの外部に放出されるので、ヒーターユニット12の温度を上昇させる熱量成分として無視してよい。本処理状態では、エアヒーター1の抵抗加熱部が配置される付近の筒側面部が主要な熱量発生部となる。
In the state where the
本実施例に基づくヒーターユニット12では上部ガス導入口8から導入された冷却ガスは、エアヒーター1の長手方向に沿って下方に進み、ガス排出口10から放出されるので、上記主要な熱量発生部に沿って冷却ガスを流すことで効果的に排熱することが可能となる。またヒーターユニット12内の空間の温度分布としては、上部空間の温度が高くなるが、本状態により、効率的に排熱を行うことが可能である。
In the
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and the technical means disclosed in different embodiments can be appropriately combined. Such embodiments are also included in the technical scope of the present invention.
本発明は、液晶ディスプレイなどの大型基板上に多量の電子デバイスを製造する工程に適用することができ、特に少量の欠陥の修復動作として特定箇所に微小液滴の塗布と該液滴の乾燥、焼成とを必要とする工程に、好適に適用することができる。 The present invention can be applied to a process of manufacturing a large amount of electronic devices on a large substrate such as a liquid crystal display, and in particular, as a repair operation for a small amount of defects, application of a microdroplet to a specific location and drying of the droplet, It can be suitably applied to a process that requires firing.
1 エアヒーター
2 移動機構(移動手段)
3 ヒーターユニットベース板(筐体)
4 底板(筐体)
5 シャッター(第1蓋部)
5a 突出口
6 カバー(筐体)
7 ガス供給口
8 上部ガス導入口
9 下部ガス導入口
10 ガス排出口
11 蓋材(第2蓋部)
12・12a・12b・12c ヒーターユニット
13 インクジェットユニット
14 インクジェット塗布装置
15 基板
16 ステージ
17a x軸方向に移動させる駆動部
17b y軸方向に移動させる駆動部
18 インクジェットヘッド
19 昇降機構(昇降手段)
20 ノズル保湿部(ノズル保湿手段)
21 ノズル保湿部駆動機構
22 インクジェットユニットベース板
23 ガス供給口
24 インクジェットユニット底板
25 開口部
1
3 Heater unit base plate (housing)
4 Bottom plate (housing)
5 Shutter (first lid)
7
12, 12a, 12b,
20 Nozzle moisturizing part (nozzle moisturizing means)
21 Nozzle Moisturizing
Claims (9)
上記筐体には、上記エア噴出口が突出可能な突出口が形成され、
上記突出口には、突出口の開閉状態を変更する第1蓋部が備えられており、
上記筐体内には、上記エアヒーターを移動させることによって、上記突出口およびエアヒーターの相対距離を変化させる移動手段が配置され、
上記筐体には、筐体内の温度上昇を抑制する冷却ガスを筐体内に導入させるためのガス導入口、および、冷却ガスを筐体外へ排出させるためのガス排出口が形成されていることを特徴とするヒーターユニット。 In a heater unit comprising an air heater having an air outlet at the tip for ejecting heated air for heating an object to be processed, and a housing for storing the air heater,
The casing is formed with a projecting port from which the air jet can project,
The protruding port is provided with a first lid for changing the open / closed state of the protruding port,
In the housing, moving means is arranged to change the relative distance between the protrusion and the air heater by moving the air heater,
The casing is provided with a gas inlet for introducing a cooling gas for suppressing a temperature rise in the casing into the casing, and a gas outlet for discharging the cooling gas to the outside of the casing. A featured heater unit.
上記移動手段には、移動手段によってエアヒーターが移動すると共に移動して複数のガス導入口の開閉状態を変更する第2蓋部が配置されていることを特徴とする請求項1に記載のヒーターユニット。 A plurality of the gas inlets are formed,
2. The heater according to claim 1, wherein the moving means is provided with a second lid portion that moves and moves the air heater to change the open / closed state of the plurality of gas inlets. unit.
上記移動手段によって、上記エア噴出口が上記突出口から筐体外へ位置している処理状態とにおいて、
上記複数のガス導入口のうち少なくとも1つの開閉状態が異なることを特徴とする請求項2に記載のヒーターユニット。 A standby state in which the air heater is stored in the housing;
In the processing state in which the air ejection port is located outside the housing from the protruding port by the moving means,
The heater unit according to claim 2, wherein at least one of the plurality of gas inlets is opened and closed.
上記ガス導入口が、開口状態になっていることを特徴とする請求項3に記載のヒーターユニット。 In the standby state, the gas introduction port and the gas discharge port are formed such that the air flow path through which the heated air moves and the cooling gas flow path through which the cooling gas introduced from the gas introduction port intersects. And
The heater unit according to claim 3, wherein the gas inlet is in an open state.
上記固定部材は、上記ガス導入口へ冷却ガスを供給するガス供給経路の少なくとも一部を形成することを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載のヒーターユニット。 The housing includes a fixing member that is fixed to an ink jet unit including an ink jet head that discharges micro droplets.
The heater unit according to any one of claims 1 to 5, wherein the fixing member forms at least a part of a gas supply path for supplying a cooling gas to the gas introduction port.
微小液滴を吐出するインクジェットヘッドを備えるインクジェットユニットとを備え、
上記ヒーターユニットおよびインクジェットユニットが連結されていることを特徴とするインクジェット塗布装置。 The heater unit according to any one of claims 1 to 6,
An inkjet unit including an inkjet head that discharges microdroplets;
An ink jet coating apparatus, wherein the heater unit and the ink jet unit are connected.
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