JP2011021964A - 密封性能測定装置 - Google Patents
密封性能測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011021964A JP2011021964A JP2009166408A JP2009166408A JP2011021964A JP 2011021964 A JP2011021964 A JP 2011021964A JP 2009166408 A JP2009166408 A JP 2009166408A JP 2009166408 A JP2009166408 A JP 2009166408A JP 2011021964 A JP2011021964 A JP 2011021964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- electrode
- cantilever
- sealing performance
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
【解決手段】密封封止可能な第1の開口及び第1の開口と対をなす第2の開口を有するフレームと、第1の開口及び第2の開口の間に配置され、フレームの側壁に接続するカンチレバー(103−1,103−2)と、カンチレバー(103−1,103−2)の下部に駆動電極105及び検出電極(106、107)を上面に配置し、駆動電極(105)と検出電極(106,107)とフレームを構成する活性層(110)のそれぞれに接続する貫通電極(109)を有し、第2の開口に接合する基板(101)とを有する密封性能測定装置(100)を提供する。
【選択図】図1
Description
101 基板
102 支持層
103 BOX層
103−1 梁部
103−2 錘部
105 駆動電極
106 検出電極
107 検出電極
108 接続電極
109 貫通電極
110 活性層
Claims (10)
- 密封封止可能な第1の開口及び前記第1の開口と対をなす第2の開口を有するフレームと、
前記第1の開口及び前記第2の開口の間に配置され、前記フレームの側壁に接続するカンチレバーと、
前記カンチレバーの下部に駆動電極及び検出電極を上面に配置し、前記駆動電極と前記検出電極と前記フレームのそれぞれに接続する貫通電極を有し、前記第2の開口に接合する基板と
を有する密封性能測定装置。 - 前記基板は、10−9Pa m3s−1以下のリーク特性を有する請求項1に記載の密封性能測定装置。
- 前記駆動電極と前記フレームとの間に、カンチレバーの共振周波数に相当する周波数で変化する電圧を印加することにより、前記カンチレバーが上下に振動することを特徴とする請求項1に記載の密封性能測定装置。
- 前記カンチレバーが上下に振動するに応じて、前記検出電極と前記カンチレバーとの間の静電容量が変化することを特徴とする請求項3に記載の密封性能測定装置。
- 前記フレームは、前記第1の開口側の上部及び前記第2の開口側であり前記カンチレバーが接続する下部を有し、前記上部と前記下部とが絶縁されていることを特徴とする請求項1に記載の密封性能測定装置。
- 前記フレームの第2の開口の材料はシリコンであり、前記基板の材料は前記貫通電極を除きガラス又はシリコンであることを特徴とする請求項1に記載の密封性能測定装置。
- 活性層、BOX層及び支持層が積層されたSOI基板の支持層を前記BOX層に至る途中までのエッチングにより第一の開口を形成し、
前記第一の開口の中央部の周辺部を前記BOX層に到るまでエッチングし、
前記活性層を前記BOX層に至る途中までのエッチングにより第二の開口を形成し、
前記第二の開口の周辺の一部と中央部とを残して他の部分をBOX層に至るまでエッチングし、
露出しているBOX層の部分を除去し、
貫通電極を有するガラス基板に駆動電極及び検出電極を形成し、
前記ガラス基板と前記SOI基板の活性層とを接合することを特徴とする密封性能測定装置の製造方法。 - 前記SOI基板の活性層と接合する前記ガラス基板のリークレートは、10−9Pa m3s−1以下である数値により特徴付けられる請求項7に記載の密封性能測定装置の製造方法。
- 前記貫通電極を有するガラス基板とは別の貫通電極を有するガラス基板に開口を形成し、
前記開口の底面に請求項6の製造方法で製造された密封性能測定装置を配置する密封性能測定装置の製造方法。 - 密封封止可能な第1の開口及び前記第1の開口と対をなす第2の開口を有するフレームと、前記第1の開口及び前記第2の開口の間に配置され、前記フレームの側壁に接続するカンチレバーと、前記カンチレバーの下部に駆動電極及び検出電極を上面に配置し、前記駆動電極と前記検出電極と前記フレームのそれぞれに接続する貫通電極を有し、前記第2の開口に接合する、リークレート性は、10−9Pa m3s−1以下である基板とを有する装置を減圧環境に配し、
前記第1の開口を密封封止し、
前記駆動電極に変動する電圧を印加し、
前記カンチレバーと前記検出電極との静電容量の変化を測定し、
前記密封封止の経時変化を測定する密封性能試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009166408A JP2011021964A (ja) | 2009-07-15 | 2009-07-15 | 密封性能測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009166408A JP2011021964A (ja) | 2009-07-15 | 2009-07-15 | 密封性能測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011021964A true JP2011021964A (ja) | 2011-02-03 |
Family
ID=43632187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009166408A Withdrawn JP2011021964A (ja) | 2009-07-15 | 2009-07-15 | 密封性能測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011021964A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01253657A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Hitachi Ltd | 加速度センサ |
JPH02245632A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-10-01 | Olympus Optical Co Ltd | 局部真空計 |
JPH0438047U (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-31 | ||
JP2005331362A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Canon Inc | 真空計 |
JP3137252U (ja) * | 2007-09-07 | 2007-11-15 | 株式会社ミツトヨ | 密封容器用圧力センサ及び密封容器 |
JP2008504549A (ja) * | 2004-06-30 | 2008-02-14 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | Memsに関してのまたは小型封入デバイスに関しての密封試験 |
-
2009
- 2009-07-15 JP JP2009166408A patent/JP2011021964A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01253657A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Hitachi Ltd | 加速度センサ |
JPH02245632A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-10-01 | Olympus Optical Co Ltd | 局部真空計 |
JPH0438047U (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-31 | ||
JP2005331362A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Canon Inc | 真空計 |
JP2008504549A (ja) * | 2004-06-30 | 2008-02-14 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | Memsに関してのまたは小型封入デバイスに関しての密封試験 |
JP3137252U (ja) * | 2007-09-07 | 2007-11-15 | 株式会社ミツトヨ | 密封容器用圧力センサ及び密封容器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Yamaner et al. | A three-mask process for fabricating vacuum-sealed capacitive micromachined ultrasonic transducers using anodic bonding | |
US8665672B2 (en) | Process for producing capacitive electromechanical conversion device, and capacitive electromechanical conversion device | |
US7972886B2 (en) | Method of manufacturing micro electro mechanical systems device | |
JP5486312B2 (ja) | 封入能力を有するマイクロミラーアクチュエータ及びその製造方法 | |
JP2011022137A (ja) | Mems装置及びその製造方法 | |
JPH10308519A (ja) | センサの製造方法 | |
CN104902400A (zh) | 用于感测压力波以及环境压力的变化的mems传感器结构 | |
JP2007215177A (ja) | 容量性マイクロマシン加工超音波トランスジューサ並びにその製作方法 | |
JP2012225920A (ja) | マイクロ−電子機械システム(mems)デバイス | |
EP2619536A2 (en) | Microelectromechanical pressure sensor including reference capacitor | |
JP2004205523A (ja) | 水平振動の垂直型memsジャイロスコープ及びその作製方法 | |
US8516905B2 (en) | MEMS pressure sensor | |
RU2568947C2 (ru) | Способ изготовления герметизированной конструкции | |
KR20200110627A (ko) | Mems 디바이스 및 그 제조 방법 | |
KR101785346B1 (ko) | 트랜스듀서, 트랜스듀서의 제조방법, 및 피검체 정보 취득장치 | |
KR20130022083A (ko) | 초음파 변환기 및 그 제조 방법 | |
CN211580197U (zh) | Mems麦克风 | |
JP2009272477A (ja) | Memsセンサおよびその製造方法 | |
JP2013024762A (ja) | Memsセンサ | |
JP5598420B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2011021964A (ja) | 密封性能測定装置 | |
JP2006234720A (ja) | 力学量センサ及び電子機器並びに力学量センサの製造方法 | |
JP2010216853A (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP5067019B2 (ja) | 力学量検出センサの製造方法 | |
JP2009198327A (ja) | Memsセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120713 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120717 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20131021 |