JP2011021210A - Ecrプラズマ源およびecrプラズマ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】細長くて均一かつ安定なプラズマを形成することができる、ECRプラズマ源の提供。
【解決手段】ECRプラズマ源は、細長い長方形状の誘電体窓(18)およびプラズマ引き出し用の開口(12a)を有し、誘電体窓(18)に平行な断面形状が長方形状であるプラズマ生成室(12)と、ECR条件を満足するとともに開口(12a)からプラズマを引き出すための磁場を、プラズマ生成室(12)内に形成する磁気コイル(14)と、マイクロ波導入口からマイクロ波導出口にかけて幅寸法が大きくなるようなテーパ形状を有し、マイクロ波をほぼ等しい2つのマイクロ波に分岐するとともに、マイクロ波導出口を定在波の管内波長の長さ相当間隔で仕切る仕切り板(161a〜161c)を有するテーパ導波管(16)と、を備える。
【選択図】図2
【解決手段】ECRプラズマ源は、細長い長方形状の誘電体窓(18)およびプラズマ引き出し用の開口(12a)を有し、誘電体窓(18)に平行な断面形状が長方形状であるプラズマ生成室(12)と、ECR条件を満足するとともに開口(12a)からプラズマを引き出すための磁場を、プラズマ生成室(12)内に形成する磁気コイル(14)と、マイクロ波導入口からマイクロ波導出口にかけて幅寸法が大きくなるようなテーパ形状を有し、マイクロ波をほぼ等しい2つのマイクロ波に分岐するとともに、マイクロ波導出口を定在波の管内波長の長さ相当間隔で仕切る仕切り板(161a〜161c)を有するテーパ導波管(16)と、を備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、ECRプラズマ源およびECRプラズマ装置に関する。
従来、ECRプラズマCVD装置などにおいては、TE11モードの円筒状空洞共振器を用いたプラズマ発生室が設けられている。一般的には、プラズマ発生室の直径は200mm程度であって、直径120mm程度のプラズマ引き出し孔から、発散磁界によってプラズマを反応室内部へ輸送するというものであった。プラズマ発生室の周囲には、磁場発生用の磁気コイルがプラズマ発生室の周囲を囲むように設けられている。
近年基板サイズの大型化が進行しており、フィルムやガラス基板ヘの成膜や、それらの基板の前処理としてのプラズマ処理では、少なくとも500mm以上の幅に対して有効なプラズマ源が必要とされる。しかしながら、ECRプラズマ源においては、その中心領域にてECR条件を満たすために磁場(2.45GHzのマイクロ波に対しては875ガウスの磁場)を発生させる必要があり、円筒状プラズマ源の直径を500mm領域がカバーできる程度まで大きくすると、巨大なサイズの磁気コイルが必要となる。そのため、装置自体が大型化するとともに高価となり、大型基板を処理するプラズマ装置にECRを適用する上で大きな阻害要因となっていた。
請求項1の発明によるECRプラズマ源は、細長い長方形状のマイクロ波導入窓およびプラズマ引き出し口を有し、該マイクロ波導入窓に平行な断面形状が長方形状であるプラズマ生成室と、ECR条件を満足するとともにプラズマ引き出し口からプラズマを引き出すための磁場を、プラズマ生成室内に形成する磁気コイルと、マイクロ波導入口からマイクロ波導出口にかけて幅寸法が大きくなるようなテーパ形状を有し、マイクロ波をほぼ等しい2つのマイクロ波に分岐するとともに、マイクロ波導出口を定在波の管内波長の長さ相当間隔で仕切る仕切り板を少なくとも一つ有するテーパ導波管と、を備えたことを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載のECRプラズマ源において、マイクロ波導出口の仕切り板で仕切られた各空間に、インピーダンス調整手段を各々設けたことを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のECRプラズマ源において、インピーダンス調整手段が、マイクロ波導出口から管内波長の略1/2の距離に配置され、管内挿入量が調整可能な金属棒であることを特徴とする。
請求項4の発明によるECRプラズマ装置は、請求項1〜3のいずれか一項に記載のECRプラズマ源と、プラズマ引き出し口の長手方向に対してほぼ直交する方向に処理対象物を移動する移動装置と、を備え、移動する処理対象物を、プラズマ引き出し口から引き出されたプラズマによりプラズマ処理することを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載のECRプラズマ源において、マイクロ波導出口の仕切り板で仕切られた各空間に、インピーダンス調整手段を各々設けたことを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のECRプラズマ源において、インピーダンス調整手段が、マイクロ波導出口から管内波長の略1/2の距離に配置され、管内挿入量が調整可能な金属棒であることを特徴とする。
請求項4の発明によるECRプラズマ装置は、請求項1〜3のいずれか一項に記載のECRプラズマ源と、プラズマ引き出し口の長手方向に対してほぼ直交する方向に処理対象物を移動する移動装置と、を備え、移動する処理対象物を、プラズマ引き出し口から引き出されたプラズマによりプラズマ処理することを特徴とする。
本発明によれば、細長くて均一かつ安定なプラズマを形成することができ、大面積の対象に対して均一なECRプラズマ処理が可能となる。
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図1,2は本発明によるプラズマ装置の一実施の形態を示す図であり、ECRプラズマCVD装置の概略構成を示す。図1は装置全体の断面図である。図2はプラズマ発生部の部分を示す図であり、(a)は平面図、(b)はB−B断面図である。なお、図1は、図2(a)のA−A断面図である。
ECRプラズマCVD装置1は、真空チャンバ10と、真空チャンバ10に連結されたプラズマ生成室12とを備えている。図1において、プラズマ生成室12を含む上側の構成がECRプラズマ源を構成している。真空チャンバ10とプラズマ生成室12とは開口12aを介して連通している。図1,2からも分かるように、プラズマ生成室12は、横長の直方体形状を成している。プラズマ生成室12の周囲には、プラズマ生成室12内に磁場を生成するための磁気コイル14が設けられている。
プラズマ生成室12の上面には、テーパ導波管16が接続されている。プラズマ生成室12のテーパ導波管16が接続されている部分には、石英等の誘電体で形成された長方形の誘電体窓18が嵌め込まれている。テーパ導波管16は導波管20を介してマイクロ波出力部22に接続されている。マイクロ波出力部22で発生されたマイクロ波は、導波管20によりテーパ導波管16へと伝達され、誘電体窓18を通してプラズマ生成室12へと導入される。
例えば、マイクロ波出力部22で生成されるマイクロ波の周波数が2.45GHzである場合には、磁気コイル14により875ガウスの磁場が形成され、ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電によるプラズマがプラズマ生成室12に内に形成される。なお、図示は省略したが、マイクロ波出力部22は、マイクロ波電源、マイクロ波発振器 、アイソレータ 、方向性結合器および整合器を備えている。
プラズマ生成室12には、図示を省略したガス導入系により、成膜する薄膜に応じたガスが導入される。例えば、炭素系のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)薄膜を成膜する場合には、プラズマ生成室12内に炭化水素ガス(あるいは、炭化水素ガスとアルゴンガスとの混合ガス)が導入される。これらのガス分子がマイクロ波のエネルギーを吸収することにより、高密度、高活性なプラズマが形成される。磁気コイル14により形成される磁場は、磁力線がプラズマ生成室12から真空チャンバ10の方向へと延びる発散磁界であり、プラズマ生成室12内に生成された細長い断面形状を有するプラズマを、発散磁界により開口12aから真空チャンバ10へと輸送する。
本実施の形態におけるECRプラズマCVD装置1はフィルム24に薄膜を成膜する装置であって、真空チャンバ10内には、リール26,28およびキャンロール30が設けられている。図示左側のリール26には未成膜のフィルム24が巻かれており、成膜されたフィルム24はリール28に巻き取られる。リール26,28は成膜対象であるフィルム24を移動させる移動装置として機能する。
フィルム24は、開口12aに対向する位置に配置されたキャンロール30に架け回されるように、図示左方向から図示右方向へ移動する。そのため、フィルム24が開口12aに対向する領域を通過する間に、開口12aから引き出されたイオンがフィルム24上に照射され、フィルム24に薄膜が形成される。なお、32,34はフィルム24のテンションを調整するアイドラーである。
リール26,28およびアイドラー32,34はケーシング36内に収納されている。ケーシング36は、フィルム24の出入り口がスリットとなっている以外は、真空チャンバ10に対して隔離されている。ケーシング36内および真空チャンバ10は個別に真空排気されており、ケーシング36内の圧力は真空チャンバ10内の圧力よりも若干低めに設定されている。すなわち、真空チャンバ10に対してケーシング36を負圧にすることで、ケーシング36の雰囲気(ガスやゴミ)によって真空チャンバ10内が汚染されるのを防止している。
次に、テーパ導波管16の構造について説明する。図3は、テーパ導波管16を詳細に示す図であり、(a)は断面図、(b)はC矢視図である。なお、図3(b)では一部を破断面とした。テーパ導波管16に接続される導波管20は標準の導波管であって、例えば、2.45GHzのマイクロ波を使用する場合には、内径寸法が109.22×54.61(mm)の導波管が接続される。そのため、テーパ導波管16の入口側フランジ16aの開口寸法は、導波管20の内径寸法と同一となっている。
テーパ導波管16は、厚さ寸法(紙面に垂直な方向の寸法)を一定に維持したまま図示下方に向けて幅寸法(図示左右方向の寸法)が拡大している。本実施の形態におけるテーパ導波管16は、単にテーパ形状になっているというものではなく、導入されたマイクロ波のTE01モードを維持しつつ、マイクロ波を複数に分岐して伝搬する構成となっている。そのために、仕切り板161a,161b,161cを設けるとともに、インピーダンス調整手段としての金属棒40が設けられている。
一般的に、入口側から出口側へと広がっているだけの単なるテーパ管では、入口からTE10モードのマイクロ波が導入された場合でも、TE10モードがそのまま維持されず、テーパ管を伝搬する間に様々な高次モードが発生する。そのような場合、放電時にモードのジャンピングが発生する。例えば、TE10モードで放電しているものが、急にTE20モードとかTE40モードとかに跳んでしまう。そのような放電状態のふらつきは、均一なプラズマ生成にとって障害となり、均一な膜の生成が困難となる。
一方、本実施の形態におけるテーパ導波管16では、入口側から導入されたTE10モードのマイクロ波が、TE10モードのままテーパ導波管16の出口側まで伝搬されるように、仕切り板161a〜161cを設けた。テーパ導波管16の出口開口は、仕切り板により4つの領域(開口)162a〜162dに区分されている。出口側フランジ16bの開口162a〜162dの幅寸法は、定在波の管内波長λgとほぼ等しく設定されている。各仕切り板161a〜161cは、マイクロ波の進行方向に沿って延びている。それらの長さは、管内波長λgのほぼ整数倍に設定するのが好ましい。仕切り板161a〜161cは導入されたマイクロ波の分岐に関係するものであり、仕切り板161a,161cは等しい長さに設定され、中央の仕切り板161bは仕切り板161a,161cよりも長く設定されている。
また、出口側フランジ16bの近傍には、各開口162a〜162dからプラズマ生成室12に伝搬されるマイクロ波の位相を調整するインピーダンス調整手段として、金属棒40が各々設けられている。金属棒40には雄ネジが形成され、一方、金属棒40が装着されるボス163には雌ネジが形成されている。そのため、金属棒40を回転することにより、金属棒40のテーパ導波管内部への挿入量を調整することができ、開口162a〜162dの出口におけるマイクロ波の位相を揃えることが可能となる。その結果、プラズマ生成室12において安定な放電を得ることができる。
金属棒40のフランジ16bからの距離hは、例えば、管内波長λgの1/2に設定される。もちろん、寸法hはλg/2でなくても構わず、位相調整が可能な位置であれば良い。さらに、出口付近に設けられる金属棒40に加えて、例えば、マイクロ波分岐が行われる位置の近傍(各仕切り板161a〜161cの上端近傍)に位相調整用のスタブを設けても構わない。
テーパ導波管16の入口側から導入されたマイクロ波は、仕切り板161bの所で2つに分岐される。左側に分岐したマイクロ波は、仕切り板161aのところで再び2つに分岐される。分岐した2つのマイクロ波はそれぞれ開口162a,162bから、誘電体窓18を介してプラズマ生成室12に導入される。一方、仕切り板161bの所で図示右側に分岐したマクロ波は、仕切り板161cのところで再び2つに分岐される。分岐した2つのマイクロ波はそれぞれ開口162c,162dから、誘電体窓18を介してプラズマ生成室12に導入される。
このように、テーパ導波管16においては、各仕切り板161a〜161cのところでマイクロ波が1/2に分割されるように構成されている。図3に示すテーパ導波管16では、マイクロ波は仕切り板161bと仕切り板161a,162cとで2度分岐されて、総計で22個に分岐されることになる。その結果、y方向に細長いプラズマ生成室12に対して、位相の揃ったTE10モードのマイクロ波を均一に導入することができる。
プラズマ生成室12は空洞共振器を構成しており、その形状に応じたモードのマイクロ波が存在する。上述したように、プラズマ生成室12内には磁気コイル14により875ガウスの磁場が形成されており、マイクロ波が導入されるとECR放電によるプラズマがプラズマ生成室12に内に形成される。
さらに、各開口162a〜162dの出口付近にマイクロ波の位相を調整するための金属棒40を設けたので、例えば、機械的な寸法誤差によってテーパ導波管16の出口における位相が揃わない場合であっても、金属棒40の挿入量を調整することで位相を合わせることができる。
本実施の形態のプラズマ装置では、図1,2に示すように、移動する成膜対象(フィルム)に対して細長いプラズマ領域を生成する。この場合、プラズマ生成領域の長手方向寸法は、膜厚の均一性を確保するために、フィルム24の幅寸法よりも若干大きな寸法とされる。なお、ここでは成膜対象としてフィルム24を例に説明しているが、ガラス基板のような平面基板に関しても同様に適用することができる。その場合、平面基板をプラズマ生成領域の長手方向と直交する方向に移動させる移動装置を設けて、基板を移動させながら成膜を行う。
このように、成膜対称を移動させながら成膜を行う移動成膜装置においては、移動方向に関するプラズマの範囲を狭めることができる。そのため、本実施の形態では、標準的な導波管20に対してテーパ導波管16を接続し、マイクロ波を移動方向に対して直交する方向に分岐し、細長くて均一なプラズマ領域が得られるようにした。その結果、フィルムや長尺の平面基板に対して、均一な膜を容易に形成することが出来る。
以上説明したように、本実施の形態のプラズマ装置では、テーパ導波管16の出口を定在波の管内波長λgの長さ相当の間隔で仕切り板161a〜161cを設け、仕切られた各空間にインピーダンス調整手段としての金属棒40を配置することで、高次モードの発生を防止することができ、プラズマ発生室12において安定な放電を得ることができる。また、放電の安定維持とともに長手方向のプラズマ密度の均一化を図ることができる。また、インピーダンス調整手段によって、広範なプロセス条件に対応して均一で安定な放電が可能となる。
なお、本実施の形態のプラズマ装置に設けられたプラズマ源は、主としてCVD成膜のために考案されたものであるが、Arガス等の不活性ガスプラズマとした場合には、ECRプラズマの特徴でもある基板の低ダメージクリーニングができる。これによって同一真空中で成膜前処理が可能となり、膜密着性が飛躍的に向上する。これは、ECR高密度プラズマのポテンシャルによって基板に5〜15eV程度の自己バイアスを発生させ、基板に適度の運動エネルギーでイオンを入射させることができる為、基板にダメージを与えず基板表面に物理吸着したH2O等を除去できるからである。フィルム等のポリマーでは、この処理によって表面に官能基を生成できることが知られており、これも密着性向上効果が高い。一方、RFプラズマによるイオンボンバードのようなクリーニング手法では、基板自己バイアス電位レベルが低くクリーニング効果が小さい。
上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。例えば、上述したECRプラズマ源は、CVD装置に限らず、ECRプラズマを利用したエッチング装置などにも適用することができる。また、図3に示したテーパ導波管16では、マイクロ波の分岐を2度行って22=4個のマイクロ波に分岐したが、1度だけ分岐する構成であっても、3度以上分岐する構成であても構わない。マイクロ波の周波数は、2.45GHzに限らず915MHz等であっても構わない。
1:ECRプラズマCVD装置、10:真空チャンバ、12:プラズマ生成室、12a,162a〜162d:開口、14:磁気コイル、16:テーパ導波管、18:誘電体窓、20:導波管、22:マイクロ波出力部、24:フィルム、26,28:リール、30:キャンロール、40:金属棒、161a〜161c:仕切り板
Claims (4)
- 細長い長方形状のマイクロ波導入窓およびプラズマ引き出し口を有し、該マイクロ波導入窓に平行な断面形状が長方形状であるプラズマ生成室と、
ECR条件を満足するとともに前記プラズマ引き出し口からプラズマを引き出すための磁場を、前記プラズマ生成室内に形成する磁気コイルと、
マイクロ波導入口からマイクロ波導出口にかけて幅寸法が大きくなるようなテーパ形状を有し、マイクロ波をほぼ等しい2つのマイクロ波に分岐するとともに、前記マイクロ波導出口を定在波の管内波長の長さ相当間隔で仕切る仕切り板を少なくとも一つ有するテーパ導波管と、を備えたことを特徴とするECRプラズマ源。 - 請求項1に記載のECRプラズマ源において、
前記マイクロ波導出口の前記仕切り板で仕切られた各空間に、インピーダンス調整手段を各々設けたことを特徴とするECRプラズマ源。 - 請求項1または2に記載のECRプラズマ源において、
前記インピーダンス調整手段は、前記マイクロ波導出口から前記管内波長の略1/2の距離に配置され、管内挿入量が可変な金属棒であることを特徴とするECRプラズマ源。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のECRプラズマ源と、
前記プラズマ引き出し口の長手方向に対してほぼ直交する方向に処理対象物を移動する移動装置と、を備え、
移動する前記処理対象物を、前記プラズマ引き出し口から引き出されたプラズマによりプラズマ処理することを特徴とするECRプラズマ装置。
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