JP2011009543A - 光強度検出装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
光強度検出装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光強度検出装置25は、入射する露光光ELの少なくとも一部を反射可能な第2ビームスプリッタ26及び第3ビームスプリッタ27と、該第2ビームスプリッタ26及び第3ビームスプリッタ27からの反射光を受光する第2光電センサ29及び第3光電センサ30とを備えている。そして、光強度検出装置25における第2ビームスプリッタ26よりも光源側には、該第2ビームスプリッタ26への露光光ELの入射角が変化した場合に第2光電センサ29及び第3光電センサ30で受光される光量の変化が小さくなるように該露光光ELの直線偏光成分を第2ビームスプリッタ26に対して回転させる1/2波長板32が配置されている。
【選択図】図2
Description
本発明の光強度検出装置は、入射する光(EL)の少なくとも一部を反射可能な光学素子(26,27)と、該光学素子(26,27)からの反射光(EL)を受光する受光部(29,30)とを備えた光強度検出装置(25)であって、前記光学素子(26,27)よりも光源(12)側に配置され、該光学素子(26,27)への前記光(EL)の入射角が変化した場合に前記受光部(29,30)で受光される光量の変化が小さくなるように前記光(EL)の偏光状態を調整する偏光状態調整光学系(32)をさらに備えることを要旨とする。
図2に示すように、光強度検出装置25は、入射する露光光ELを反射及び透過させる第2ビームスプリッタ26と、該第2ビームスプリッタ26によって反射された露光光ELを反射及び透過させる第3ビームスプリッタ27とを備えている。さらに、光強度検出装置25は、第2ビームスプリッタ26を透過させた露光光ELを検出する第1光電センサ28と、第2ビームスプリッタ26及び第3ビームスプリッタ27で反射させた露光光ELを検出する第2光電センサ29と、第2ビームスプリッタ26で反射させるとともに第3ビームスプリッタ27を透過させた露光光ELを検出する第3光電センサ30とを備えている。各センサ28〜30は、フォトダイオードによって構成され、それぞれ算出部31と電気的に接続されている。
また、光強度検出装置25における第1ビームスプリッタ20と第2ビームスプリッタ26との間の露光光ELの光路には1/2波長板32と集光レンズ33とが互いに隣り合うように配置されており、1/2波長板32は集光レンズ33よりも第1ビームスプリッタ20側に位置している。図3に示すように、円板状の1/2波長板32は、台座34によって、該1/2波長板32に入射する露光光ELの進行方向に延びる軸線Sを中心に回転可能に支持されている。なお、1/2波長板32は、入射する光の直線偏光成分(S偏光成分及びP偏光成分)の偏光方向を第2ビームスプリッタ26に対して回転させる光学素子である。
図1及び図2に示すように、露光装置11は、該露光装置11全体の稼働状態を制御する制御部37を備えている。制御部37には、光源装置12、光強度検出装置25(算出部31)、レチクルステージ14、及びウエハステージ16がそれぞれ電気的に接続されている。そして、制御部37は、光強度検出装置25(算出部31)から送信される信号に基づいて、光源装置12を制御するとともに、レチクルステージ14及びウエハステージ16を駆動制御するようになっている。
さて、第1ビームスプリッタ20により、照明光学系13の光路の露光光ELの一部が反射されて第2ビームスプリッタ26に入射すると、第2ビームスプリッタ26に入射した露光光EL(光路の露光光ELの一部)のうち、第2ビームスプリッタ26を透過した露光光ELは第1光電センサ28で受光される一方、第2ビームスプリッタ26で反射された露光光ELは第3ビームスプリッタ27に入射する。
(1)光強度検出装置25における第1ビームスプリッタ20と第2ビームスプリッタ26との間の露光光ELの光路には、1/2波長板32が回転可能に配置されている。このため、第2ビームスプリッタ26に入射する露光光ELの直線偏光成分(S偏光成分及びP偏光成分)の入射角のずれに対する光強度(光量)の増減率が最も低くなるように1/2波長板32を回転させて位置調整することで、第2ビームスプリッタ26に入射する露光光ELの入射角度がずれても、第2光電センサ29及び第3光電センサ30で受光される光強度の変化量を小さくすることができる。したがって、第2ビームスプリッタ26に入射する露光光ELの入射角度のずれに起因する光強度検出装置25の検出精度の低下を抑制することができる。
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・第1ビームスプリッタ20は、例えば特開2002−33259号公報に示すように、マイクロフライアイレンズ19の入射側に配置してもよい。また、第1ビームスプリッタ20は、コンデンサ光学系21よりもレチクルR側に配置してもよい。
・第1ビームスプリッタ20を透過した露光光ELが光強度検出装置25に入射するように構成してもよい。この場合、第1ビームスプリッタ20で反射された露光光ELがレチクルRやウエハWに達することとなる。このように光学系を構成する場合には、第1ビームスプリッタ20の反射面での反射率を、本実施形態の第1ビームスプリッタ20の反射面での反射率よりも十分に大きくすることが望ましい。
・1/2波長板32の代わりに旋光子を用いてもよい。
・1/2波長板32は、必ずしも回転可能に配置する必要はない。
・1/2波長板32は、第2ビームスプリッタ26と第3ビームスプリッタ27との間の露光光ELの光路に配置してもよい。
・オプティカルインテグレータとして、マイクロフライアイレンズ19の代わりに、複数のレンズを組み合わせてなるフライアイレンズ、回折光学素子、及び角柱状のロッド型インテグレータなどを用いてもよい。
次に、本発明の実施形態の露光装置11によるデバイスの製造方法をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法の実施形態について説明する。図5は、マイクロデバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造例のフローチャートを示す図である。
ステップS111(酸化ステップ)おいては、基板の表面を酸化させる。ステップS112(CVDステップ)においては、基板表面に絶縁膜を形成する。ステップS113(電極形成ステップ)においては、基板上に電極を蒸着によって形成する。ステップS114(イオン打込みステップ)においては、基板にイオンを打ち込む。以上のステップS111〜ステップS114のそれぞれは、基板処理の各段階の前処理工程を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選択されて実行される。
Claims (10)
- 入射する光の少なくとも一部を反射可能な光学素子と、該光学素子からの反射光を受光する受光部とを備えた光強度検出装置であって、
前記光学素子よりも光源側に配置され、該光学素子への前記光の入射角が変化した場合に前記受光部で受光される光量の変化が小さくなるように前記光の偏光状態を調整する偏光状態調整光学系をさらに備えることを特徴とする光強度検出装置。 - 前記偏光状態調整光学系は、該偏光状態調整光学系から射出される光の直線偏光成分の偏光方向を前記光学素子に対して回転させることを特徴とする請求項1に記載の光強度検出装置。
- 前記偏光状態調整光学系は、波長板を備えていることを特徴とする請求項2に記載の光強度検出装置。
- 前記波長板は、該波長板に入射する光の進行方向に延びる軸線又は該軸線と平行な軸線を中心に回転可能であることを特徴とする請求項3に記載の光強度検出装置。
- 前記光学素子よりも光源側に配置され、該光学素子を介する前記反射光を前記受光部に集光させるための集光部材をさらに備えることを特徴とする請求項1〜請求項4のうちいずれか一項に記載の光強度検出装置。
- 光源からの光で被照射面を照射する光学系であって、
前記光の一部を光路外に分岐する分岐光学系と、
該分岐光学系によって分岐される前記光の強度を検出する請求項1〜請求項5のうちいずれか一項に記載の光強度検出装置とを備えることを特徴とする光学系。 - 前記光強度検出装置の前記受光部によって受光される前記光の受光量に基づいて前記被照射面を照射する光の照射量を算出する算出部をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の光学系。
- 前記光源からの光の光路に配置されるオプティカルインテグレータをさらに備え、
前記分岐光学系は、前記オプティカルインテグレータの射出側に配置されていることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の光学系。 - 光源から出力される光を前記被照射面上の所定のパターンへ導く請求項6〜請求項8のうちいずれか一項に記載の光学系を備え、
該光学系から射出される光で前記所定のパターンを照明することにより形成されたパターンの像を、感光性材料が塗布された基板上に投影することを特徴とする露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置を用いて、前記パターンの像を前記基板の表面に露光する露光ステップと、
該露光ステップ後において、前記基板を現像して前記パターンの像に対応する形状のマスク層を前記基板の表面に形成する現像ステップと、
該現像ステップ後において、前記マスク層を介して前記基板の表面を加工する加工ステップと
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
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JP2007180088A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Nikon Corp | 照明光学装置、照明光学装置の調整方法、露光装置、およびデバイスの製造方法 |
JP2007263897A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Nikon Corp | 偏光計測装置の校正方法及び装置、偏光計測装置及び該装置を備えた露光装置、並びに位相遅れ量の計測方法及び波長板 |
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JP2006059833A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
JP2007180088A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Nikon Corp | 照明光学装置、照明光学装置の調整方法、露光装置、およびデバイスの製造方法 |
JP2007263897A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Nikon Corp | 偏光計測装置の校正方法及び装置、偏光計測装置及び該装置を備えた露光装置、並びに位相遅れ量の計測方法及び波長板 |
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