JP2011003776A - 半導体パッケージ基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノイズ除去性能が高い半導体パッケージ基板を提供する。
【解決手段】この半導体パッケージ基板3では、基板3を貫通して半導体チップ1の電源バンプB1とプリント配線基板2の電源パッドP11とを接続するためのビアホールVH1と、基板3を貫通して半導体チップ1の接地バンプB2とプリント配線基板2の接地パッドP12とを接続するためのビアホールVH2との間に、比誘電率が高く、ビアホールVH1,VH2と略同じ長さを有する絶縁部材7を設け、ビアホールVH1,VH2と絶縁部材7とでコンデンサ8を構成する。したがって、半導体チップ1で発生したノイズは、コンデンサ8でバイパスされる。
【選択図】図2
【解決手段】この半導体パッケージ基板3では、基板3を貫通して半導体チップ1の電源バンプB1とプリント配線基板2の電源パッドP11とを接続するためのビアホールVH1と、基板3を貫通して半導体チップ1の接地バンプB2とプリント配線基板2の接地パッドP12とを接続するためのビアホールVH2との間に、比誘電率が高く、ビアホールVH1,VH2と略同じ長さを有する絶縁部材7を設け、ビアホールVH1,VH2と絶縁部材7とでコンデンサ8を構成する。したがって、半導体チップ1で発生したノイズは、コンデンサ8でバイパスされる。
【選択図】図2
Description
この発明は半導体パッケージ基板に関し、特に、半導体チップをプリント配線基板に実装するための半導体パッケージ基板に関する。
従来より、基板の電源配線と接地配線との間にコンデンサを接続し、そのコンデンサによってノイズを除去する方法が提案されている。
たとえば特許文献1の図1には、多層配線基板の下面(プリント配線基板側の表面)の電源電極と接地電極との間に高誘電体を配置し、電源電極と接地電極と高誘電体によってコンデンサを構成し、半導体チップで発生したノイズが多層配線基板を介してプリント配線基板に流入するのを防止する方法が開示されている。
また、特許文献2の図3には、プリント配線基板の電源配線層と接地配線層との間に高誘電率樹脂を入れてローパスフィルタ用コンデンサを形成する方法が開示されている。
また、特許文献3の図1には、多層配線基板の電源配線層と接地配線層との間に高誘電体層を配置してコンデンサを形成し、電源配線層の一方端部を電源電圧供給用のビアホールに接続するとともに、接地配線層の他方端部を接地電圧供給用のビアホールに接続し、ノイズを除去する方法が開示されている。
また、特許文献4には、インターポーザ内の隣接する2つのスルービア行の間の高誘電率材内に、インターポーザの表面と垂直な電源電極と接地電極を配置してコンデンサを形成する方法が開示されている。
しかし、特許文献1では、多層配線基板の下面にコンデンサを配置したので、そのコンデンサと多層配線基板の上面に搭載された半導体チップとの間の配線が長くなる。このため、配線のインダクタンス成分が増加し、ノイズの高周波成分に対するインピーダンスが増加し、コンデンサによってノイズをバイパスする性能が劣化する。これは、特許文献2,3でも同様である。
また、特許文献3では、電源配線層の一方端部を電源電圧供給用のビアホールに接続するとともに、接地配線層の他方端部を接地電圧供給用のビアホールに接続したので、コンデンサの寄生インダクタンスが増加し、コンデンサによってノイズをバイパスする性能が劣化してしまう(図4〜図6参照)。
また、特許文献4の図3では、コンデンサの一方電極が接地電圧供給用ビアホールの上端に接続されるとともに、コンデンサの他方電極が電源電圧供給用ビアホールの下端に接続されているので、コンデンサの寄生インダクタンスが増加し、コンデンサによってノイズをバイパスする性能が劣化してしまう(図4〜図6参照)。
それゆえに、この発明の主たる目的は、ノイズ除去性能が高い半導体パッケージ基板を提供することである。
この発明に係る半導体パッケージ基板は、半導体チップをプリント配線基板に実装するための半導体パッケージ基板であって、絶縁層、第1の貫通電極、第2の貫通電極、および絶縁部材を備える。絶縁層は、第1の絶縁材料で形成されている。第1の貫通電極は、絶縁層を貫通して半導体チップの電源端子とプリント配線基板の電源端子とを接続する。第2の貫通電極は、絶縁層を貫通して半導体チップの接地端子とプリント配線基板の接地端子とを接続する。絶縁部材は、第1および第2の貫通電極間に設けられて第1の絶縁材料よりも比誘電率が高い第2の絶縁材料で形成され、第1および第2の貫通電極と略同じ長さを有する。第1および第2の貫通電極と絶縁部材とはコンデンサを構成している。
この発明に係る半導体パッケージ基板では、絶縁層を貫通して半導体チップの電源端子とプリント配線基板の電源端子とを接続する第1の貫通電極と、絶縁基板を貫通して半導体チップの接地端子とプリント配線基板の接地端子とを接続する第2の貫通電極との間に、比誘電率が高く、第1および第2の貫通電極と略同じ長さを有する絶縁部材を設け、第1および第2の貫通電極と絶縁部材とでコンデンサを構成する。したがって、半導体チップで発生して第1および第2の貫通電極に流入したノイズを低インピーダンスでバイパスすることができ、高いノイズ除去性能を得ることができる。
図1に示すように、この半導体装置は、LSIチップのような半導体チップ1と、プリント配線基板2と、半導体チップ1をプリント配線基板2に実装するための半導体パッケージ基板3とを備える。半導体チップ1の下面には複数(図では4つ)のバンプB1〜B4が所定のピッチで設けられている。半導体パッケージ基板3の上面には複数(図では4つ)のパッドP1〜P4がバンプB1〜B4と同じピッチで設けられている。バンプB1〜B4は、それぞれパッドP1〜P4の表面に接合される。
半導体パッケージ基板3の下面には、複数(図では4つ)のパッドP11〜P14がパッドP1〜P4よりも大きなピッチで設けられている。パッドP1〜P4は、配線、貫通電極などを介してそれぞれパッドP11〜P14に接続されている。プリント配線基板2の上面には、複数(図では4つ)のパッドP21〜P24がパッドP11〜P14と同じピッチで設けられている。パッドP11〜P14は、それぞれ半田ボールSB1〜SB4を介してパッドP21〜P24に接合される。
たとえば、電源電圧VCCは、プリント配線基板2のパッドP21から半導体パッケージ基板3およびバンプB1を介して半導体チップ1に供給される。接地電圧GNDは、プリント配線基板2のパッドP22から半導体パッケージ基板3およびバンプB2を介して半導体チップ1に供給される。信号は、半導体パッケージ基板3を介して、プリント配線基板2のパッドP23,P24と半導体チップ1のバンプB3,B4との間で授受される。
図2は、半導体パッケージ基板3の要部を模式的に示す図である。図2において、半導体パッケージ基板3は、順次積層された絶縁層4、接地電極5、および絶縁層6を含む。絶縁層4,6は、比誘電率が5程度の一般的な絶縁樹脂で形成されている。
絶縁層4の下面には、パッドP11,P12が所定の間隔を開けて配置されている。パッドP11,P12の上にそれぞれビアホール(貫通電極)VH1,VH2が形成され、絶縁層6の上面においてビアホールVH1,VH2の上にそれぞれパッドP5,P6が形成されている。ビアホールVH1,VH2と接地電極5の間には絶縁膜(図示せず)が形成されており、ビアホールVH1,VH2と接地電極5は電気的に絶縁されている。ビアホールVH1,VH2の下端はそれぞれパッドP11,P12に接合され、それらの上端はそれぞれパッドP5,P6に接合されている。
ビアホールVH1とVH2の間には、絶縁層4,6および接地電極5を貫通するようにして絶縁部材7が設けられている。絶縁部材7は、比誘電率が5よりも大きな高誘電率樹脂で形成されている。絶縁部材7の両端はビアホールVH1,VH2の外周面に接触しており、絶縁部材7の長さはビアホールVH1,VH2の長さに略等しい。ビアホールVH1,VH2と絶縁部材7とは、コンデンサ8を構成している。絶縁層6の上面には、パッドP1,P2が形成されている。パッドP5は、電源配線PLaを介してパッドP1に接続されている。パッドP6は、接地配線GLaを介してパッドP2に接続されている。
半導体チップ1のスイッチング動作に伴ってバンプB1,B2間に発生したノイズは、ビアホールVH1,VH2および絶縁部材7で構成されたコンデンサ8でバイパスされる。このため、ノイズがプリント配線基板2の電源配線に流入して他の電気機器に悪影響を及ぼすことが防止される。
なお、ビアホールVH1,VH2の間隔を小さくすると、コンデンサ8の容量値が大きくなり、コンデンサ8のノイズ除去性能が高くなる。したがって、ビアホールVH1,VH2の間隔は、可能な限り小さくすることが望ましい。
また、電源電圧供給用のビアホールVH1に隣接する接地電圧供給用のビアホールVH2が複数ある場合、ビアホールVH1と各ビアホールVH2の間に絶縁部材7を設けるとよい。これにより、コンデンサ8の容量値を大きくして、コンデンサ8のノイズ除去性能を高めることができる。
また、半導体チップ1側の配線PLa,GLaを可能な限り短くするとよい。これにより、配線PLa,GLaのインダクタンスを小さくしてコンデンサ8のバイパス性能を高めることができる。
次に、本願発明の半導体パッケージ基板3のノイズ除去性能と、従来の半導体パッケージ基板のノイズ除去性能とを比較する。図3は、半導体パッケージ基板3の等価回路図である。図3において、半導体パッケージ基板3は、コンデンサ8と、コンデンサ8よりも半導体チップ1側の配線部3aと、コンデンサ8よりもプリント配線基板2側の配線部3bとに分けられる。配線部3aは電源配線PLaおよび接地配線GLaを含み、配線部3bは電源配線PLbおよび接地配線GLbを含む。
電源配線PLaおよび接地配線GLaの各々はインダクタンスLaを有し、配線PLa,GLa間には相互インダクタンスMaおよびキャパシタンスCaがある。電源配線PLbおよび接地配線GLbの各々はインダクタンスLbを有し、配線PLb,GLb間には相互インダクタンスMbおよびキャパシタンスCbがある。
半導体チップ1側の配線部3aのノイズに対する実効インダクタンスLeff1は、電源配線PLaのインダクタンスLaと接地配線GLaのインダクタンスLaとの和から配線PLa,GLa間の相互インダクタンスMaを減算した値になり、Leff1=2La−Maとなる。したがって、配線部3aが長いと、配線部3aの実効インダクタンスLeffが増大する。実効インダクタンスLeff1は、半導体チップ1から見てコンデンサ8に直列に接続されるので、コンデンサ8の寄生インダクタンスとなる。したがって、配線部3aは短いほど良い。
コンデンサ8では、ビアホールVH1はインダクタンスL1を有し、ビアホールVH2はインダクタンスL2を有する。ビアホールVH1,VH2の実効インダクタンスLeff2は、ビアホールVH1のインダクタンスLcとビアホールVH2のインダクタンスLcとの和からビアホールVH1,VH2間の相互インダクタンスMを減算した値になり、Leff2=2Lc−Mcとなる。また、ビアホールVH1,VH2間にはキャパシタンスCが存在する。実効インダクタンスLeff2は、コンデンサ8の寄生インダクタンスとなる。ビアホールVH1,VH2およびコンデンサ8は、半導体チップ1側の2端子とプリント配線基板2側の2端子とを有する伝送線路型フィルタを構成している。
このように、コンデンサ8には、寄生インダクタンスLeff1,Leff2が存在するが、寄生インダクタンスLeff1,Leff2は配線部3aおよびコンデンサ8のインダクタンス2L+2Lcから相互インダクタンスMa+Mcを減算した値になる。したがって、本願発明では、寄生インダクタンスLeff1,Leff2によるコンデンサ8のバイパス性能の劣化は比較的小さくなる。
図4は、本願発明の比較例となる従来の半導体パッケージ基板30の要部を示す断面図である。図4において、この半導体パッケージ基板30では、絶縁層31内に電源電極32と接地電極33が上下に形成され、電極32,33間に高誘電体層34が形成されてコンデンサ35が構成されている。
電源電極32の一方端部は、ビアホールVH31を介して絶縁層31の上面のパッドP31に接続されるとともに、ビアホールVH41を介して絶縁層31の下面のパッドP41に接続されている。また、接地電極33の他方端部は、ビアホールVH32を介して絶縁層31の上面のパッドP32に接続されるとともに、ビアホールVH42を介して絶縁層31の下面のパッドP42に接続されている。
パッドP31,P32の各々は、半導体チップのバンプに接合される。パッドP41、P42の各々は、プリント配線基板のバッドに接合される。半導体チップで発生したノイズは、コンデンサ35によって除去される。
図5は、図4に示した半導体パッケージ基板30の等価回路図である。図5において、半導体パッケージ基板30は、コンデンサ35と、コンデンサ35よりも半導体チップ1側の配線部30aと、コンデンサ35よりもプリント配線基板2側の配線部30bとに分けられる。配線部30aは電源配線PLaおよび接地配線GLaを含み、配線部30bは電源配線PLbおよび接地配線GLbを含む。
電源配線PLaおよび接地配線GLaの各々はインダクタンスLaを有し、配線PLa,GLa間には相互インダクタンスMaおよびキャパシタンスCaがある。電源配線PLbおよび接地配線GLbの各々はインダクタンスLbを有し、配線PLb,GLb間には相互インダクタンスMbおよびキャパシタンスCbがある。
半導体チップ1側の配線部30aのノイズに対する実効インダクタンスLeff1は、電源配線PLaのインダクタンスLaと、接地配線GLaのインダクタンスLaと、配線PLa,GLa間の相互インダクタンスMaの差となり、Leff3=2La−Maとなる。したがって、配線部30aが長いと、配線部30aの実効インダクタンスLeff3が増大する。実効インダクタンスLeff3は、半導体チップ1から見てコンデンサ35に直列に接続されるので、コンデンサ35の寄生インダクタンスとなる。
コンデンサ35では、ビアホールVH31はインダクタンスLcを有し、電源電極32はインダクタンスLdを有し、接地電極33はインダクタンスLeを有し、ビアホールVH32はインダクタンスLfを有する。また、電極32,33間には、相互インダクタンスMcがある。この場合、電極32,33の実効インダクタンスLeff4は、Leff2=Ld+Le+Mcとなる。また、電極32,33間には、キャパシタンスCcが存在する。インダクタンスLc,Lf,Leff4は、コンデンサ35の寄生インダクタンスとなる。
このように、コンデンサ35には、大きな寄生インダクタンスLeff3,Leff4,Lc,Lfが存在する。この寄生インダクタンスLeff3,Leff4,Lc,Lfは、半導体チップ1で発生したノイズに対して大きなインピーダンスになるので、コンデンサ35のバイパス性能は劣化する。
また、半導体チップ1の電源バンプ(VCC)でノイズが発生し、そのノイズが電源配線PLaを通過してコンデンサ35に到達した場合、そのノイズは、コンデンサ35および接地配線GLbを介してパッドP22に流れるとともに、電源配線PLbを介してパッドP21に流れる。したがって、全てのノイズを接地用のパッドP22に流すことはできない。
以上より、本願発明の半導体パッケージ基板3のノイズ除去性能は、従来の半導体パッケージ基板30のノイズ除去性能よりも高くなる。
なお、図6は、市販されている一般的なコンデンサのインピーダンスの周波数特性を示す図である。図6において、コンデンサのインピーダンスは、ある周波数f0よりも低い周波数帯域では容量性を示し、その周波数f0よりも高い周波数帯域では寄生インダクタンス成分の影響で、誘導性の特性を示す。このことから、本願発明のように、コンデンサのインダクタンス成分を低減することが高周波ノイズの低減に向けて有効な手段であることが分かる。
図7は、この実施の形態の変更例となる半導体パッケージ基板50の要部を示す平面図である。図7において、この半導体パッケージ基板50では、絶縁層51の上面に2つの電源パッドP51,P52と2つの接地パッドP53,P54が設けられている。電源パッドP51,P52は電源配線PL51によって接続され、接地パッドP53,P54は接地配線GL51によって接続されている。
パッドP52,P54の近傍には、2つのビアホールVH51,VH52が形成されている。ビアホールVH51,VH52の間隔は、パッドP52,P54の間隔よりも小さい。パッドP52とビアホールVH51の上端との間は電極EL51によって接続され、パッドP54とビアホールVH52の上端との間は電極EL52によって接続されている。ビアホールVH51,VH52の隙間には、ビアホールVH51,VH52と略同じ長さの絶縁部材52が設けられている。絶縁部材52は、絶縁部材7と同様に、高い比誘電率を有する。ビアホールVH51,VH52および絶縁部材52は、コンデンサ53を構成している。
半導体パッケージ基板50は、半導体チップ(図示せず)をプリント配線基板に実装するために使用される。電源パッドP51,P52の各々は半導体チップの電源バンプに接合され、接地パッドP53,P54の各々は半導体チップの接地バンプに接合される。ビアホールVH51,VH52の下端は、それぞれプリント配線基板(図示せず)の電源パッドおよび接地パッドに接続される。半導体チップで発生したノイズは、コンデンサ53でバイパスされる。この変更例でも、実施の形態と同じ効果が得られる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 半導体チップ、2 プリント配線基板、3,30,50 半導体パッケージ基板、P パッド、B バンプ、SB 半田ボール、4,6,31,51 絶縁層、5,34 接地電極、7,52 絶縁部材、8,35,53 コンデンサ、VH ビアホール、PL 電源配線、GL 接地配線、32 電源電極、32 接地電極、34 高誘電体層。
Claims (2)
- 半導体チップをプリント配線基板に実装するための半導体パッケージ基板であって、
第1の絶縁材料で形成された絶縁層と、
前記絶縁層を貫通して前記半導体チップの電源端子と前記プリント配線基板の電源端子とを接続するための第1の貫通電極と、
前記絶縁層を貫通して前記半導体チップの接地端子と前記プリント配線基板の接地端子とを接続するための第2の貫通電極と、
前記第1および第2の貫通電極間に設けられて前記第1の絶縁材料よりも比誘電率が高い第2の絶縁材料で形成され、前記第1および第2の貫通電極と略同じ長さを有する絶縁部材とを備え、
前記第1および第2の貫通電極と前記絶縁部材とはコンデンサを構成している、半導体パッケージ基板。 - 前記第1および第2の貫通電極と前記絶縁部材とは、前記コンデンサを含み、前記半導体チップで発生したノイズが前記プリント配線基板に流入するのを防止する伝送線路型フィルタ回路を構成している、請求項1に記載の半導体パッケージ基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009146460A JP2011003776A (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 半導体パッケージ基板 |
Applications Claiming Priority (1)
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2009
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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