JP2011003615A - 基板バックアップ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】幅の異なる複数種類の基板を、略隙間無く支持可能な基板バックアップ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板バックアップ装置２は、複数のバックアップ片２０の上面が、バックアップ片２０の並置方向に連なることにより、基板Ｂの下面を支持する基板支持部Ｆを形成する。複数のバックアップ片２０のうち、並置方向に隣り合う、少なくとも一対のバックアップ片２０は、調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒである。調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒの上面縁は、並置方向に略直交する水平方向である直交方向両端ａ、ｂ、ｃ、ｄが並置方向にずれる当接部２００Ｆａ、２００Ｒａを有する。一対の当接部２００Ｆａ、２００Ｒａが当接する当接区間２０２の長さを変更することにより、基板支持部Ｆの並置方向幅Ｌ１を調整する。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えば、スクリーン印刷機や電子部品実装機に用いられる基板バックアップ装置に関する。

基板バックアップ装置は、スクリーン印刷機においては、基板にはんだを印刷する際、基板の下面を支持するために用いられる（例えば、特許文献１参照）。図１５に、従来のスクリーン印刷機の右側面図を示す。なお、説明の便宜上、マスク１０９を断面で示す。

図１５に示すように、スクリーン印刷機１００には、基板バックアップ装置１０１が配置されている。基板バックアップ装置１０１は、複数のバックアップ片１０２と、バックアップテーブル１０４と、を備えている。バックアップ片１０２は、直方体ブロック状を呈している。バックアップ片１０２は、バックアップテーブル１０４の上面に配置されている。複数のバックアップ片１０２の上面は、基板１０３の下面を支持している。

特開２００９−０４００１６号公報

基板１０３の下面における一対のコンベアベルト１０５間の部分の前後方向幅Ｌ１００が、単一のバックアップ片１０２の前後方向幅Ｌ１０１の整数倍の場合、適当な数のバックアップ片１０２により、基板１０３を略隙間無く支持することができる。しかしながら、前後方向幅Ｌ１００が前後方向幅Ｌ１０１の整数倍ではない場合、バックアップ片１０２により、基板１０３を隙間無く支持することが困難になる。

図１６に、図１５の円ＸＶＩ内の拡大図を示す。前後方向幅Ｌ１００が前後方向幅Ｌ１０１の整数倍ではない場合、図１６に示すように、任意の一対のバックアップ片１０２間に隙間１０６が生じることになる。このため、基板１０３にはんだ１０７を印刷する際、スキージ１０８の摺動に伴い、マスク１０９上面における当該隙間１０６部分に、はんだ１０７が入り込んでしまう。この場合、印刷品質が低下するおそれがある。

本発明の基板バックアップ装置は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、幅の異なる複数種類の基板を、略隙間無く支持可能な基板バックアップ装置を提供することを目的とする。

（１）上記課題を解決するため、本発明の基板バックアップ装置は、複数のバックアップ片の上面が、該バックアップ片の並置方向に連なることにより、基板の下面を支持する基板支持部を形成する基板バックアップ装置であって、複数の前記バックアップ片のうち、前記並置方向に隣り合う、少なくとも一対の該バックアップ片は、調整用バックアップ片であり、該調整用バックアップ片の上面縁は、該並置方向に略直交する水平方向である直交方向両端が該並置方向にずれる当接部を有し、一対の該当接部が当接する当接区間の長さを変更することにより、前記基板支持部の該並置方向幅を調整することを特徴とする（請求項１に対応）。

本発明の基板バックアップ装置によると、当接区間を介して、基板支持部の直交方向幅の伸縮量を、基板支持部の並置方向幅の伸縮量に、変換することができる。このため、並置方向幅の異なる複数種類の基板を、略隙間無く支持することができる。

（２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記当接部は、略直線状である構成とする方がよい（請求項２に対応）。本構成によると、基板支持部の直交方向幅の伸縮量と、基板支持部の並置方向幅の伸縮量と、が所定の割合で対応する。このため、基板支持部の並置方向幅の伸縮量つまり調整量を、制御しやすい。

（２−１）好ましくは、上記（２）の構成において、前記当接部は、前記直交方向に対して、４５°未満の角度で延在している構成とする方がよい。本構成によると、（基板支持部の並置方向幅の伸縮量）／（基板支持部の直交方向幅の伸縮量）＜１となる。このため、並置方向幅の調整量を制御しやすい。

（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、前記基板支持部の前記直交方向中心がずれないように、前記当接区間の長さを変更する構成とする方がよい（請求項３に対応）。

本構成によると、基板支持部の並置方向幅を調整する際、基板支持部の直交方向中心がずれない。言い換えると、段取り替えなどにより基板の種類を変更する場合であっても、基板支持部の直交方向中心がずれない。このため、基板支持部の直交方向中心を位置決めの基準として、並置方向幅の異なる複数種類の基板に対して、所定の処理を施すことができる。

（４）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、複数の前記バックアップ片は、さらに、前記並置方向と前記直交方向とに延在する四角形状の上面を有する基準バックアップ片を有し、前記基板支持部の該並置方向幅の調整量のうち、該基準バックアップ片の該並置方向幅の整数倍に対応する部分については、該基準バックアップ片を加除することにより、該並置方向幅を調整し、該調整量のうち、該基準バックアップ片の該並置方向幅の整数倍から余る部分については、前記当接区間の長さを変更することにより、該並置方向幅を調整する構成とする方がよい（請求項４に対応）。

本構成によると、基板支持部の並置方向幅の調整量のうち、基準バックアップ片の並置方向幅の整数倍に対応する部分については、基準バックアップ片を加除することにより、並置方向幅を調整する。また、調整量のうち、基準バックアップ片の並置方向幅の整数倍から余る部分については、当接区間の長さを変更することにより、並置方向幅を調整する。

例えば、基板支持部の並置方向幅の伸張量が、基準バックアップ片の並置方向幅の２．５倍の場合、基準バックアップ片を二つ追加することにより、伸張量の２倍部分を填補する。並びに、当接区間の長さを変更することにより、伸張量の０．５倍部分を填補する。

本構成によると、基準バックアップ片として、既存のバックアップ片を用いることができる。また、調整用バックアップ片の配置数を少なくすることができる。また、基板支持部の並置方向幅の調整量が大きくなる。このため、基板の種類に対する汎用性が高い。

（５）好ましくは、上記（１）ないし（４）のいずれかの構成において、前記並置方向は、マスクのパターン孔を介して基板にはんだを印刷するスキージの摺動方向である構成とする方がよい（請求項５に対応）。

本構成は、基板バックアップ装置をスクリーン印刷機に用いるものである。本構成によると、基板の種類によらず、マスク上面をスキージが摺動する際、基板の下面が略隙間無く基板支持部により支持されている。このため、マスク上面に、掻き残しのはんだが残留しにくい。したがって、印刷品質が低下しにくい。

本発明によると、並置方向幅の異なる複数種類の基板を、略隙間無く支持可能な基板バックアップ装置を提供することができる。

第一実施形態の基板バックアップ装置を備えるスクリーン印刷機の斜視図である。 同スクリーン印刷機の上面図である。 同スクリーン印刷機の右側面図である。 図２の枠ＩＶ内の拡大図である。 同スクリーン印刷機の印刷時における右側面図である。 基板の前後方向幅が伸張する場合のバックアップ片の上面図である。 基板の前後方向幅が収縮する場合のバックアップ片の上面図である。 第二実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図である。 第三実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図である。 第四実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図である。 第五実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図である。 第六実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図である。 その他の実施形態のバックアップ装置の基板の前後方向幅が伸張する場合のバックアップ片の上面図である。 同バックアップ装置の基板の前後方向幅が収縮する場合のバックアップ片の上面図である。 従来のスクリーン印刷機の右側面図である。 図１５の円ＸＶＩ内の拡大図である。

以下、本発明の基板バックアップ装置をスクリーン印刷機に用いた実施の形態について説明する。

＜第一実施形態＞
［スクリーン印刷機の構成］
まず、本実施形態の基板バックアップ装置を備えるスクリーン印刷機の構成について説明する。図１に、本実施形態の基板バックアップ装置を備えるスクリーン印刷機の斜視図を示す。図２に、同スクリーン印刷機の上面図を示す。図３に、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。なお、説明の便宜上、図１、図２においては、スキージ装置７、マスク装置６を省略して示す。また、図１においては、基板Ｂを透過して示す。また、図３においては、マスク装置６を断面で示す。

図１〜図３に示すように、スクリーン印刷機１は、基板バックアップ装置２と、メインテーブル３と、クランプ装置４と、基板搬送装置５と、マスク装置６と、スキージ装置７と、を備えている。図中、前後方向は、本発明の並置方向に対応する。左右方向は、本発明の直交方向に対応する。

メインテーブル３は、長方形板状を呈している。メインテーブル３は、上下方向に移動可能である。メインテーブル３の上面の左右方向両縁には、各々、ガイドリブ３０が配置されている。ガイドリブ３０は、前後方向に延在している。

クランプ装置４は、固定クランプ４０と、可動クランプ４１と、を備えている。固定クランプ４０および可動クランプ４１は、各々、下方に開口するＣ字状を呈している。固定クランプ４０は、メインテーブル３の上面の前縁付近に配置されている。固定クランプ４０は、左右方向に延在している。固定クランプ４０は、後述する基板バックアップ装置２を跨いでいる。可動クランプ４１は、固定クランプ４０の後方に配置されている。可動クランプ４１は、左右方向に延在している。可動クランプ４１は、後述する基板バックアップ装置２を跨いでいる。可動クランプ４１のＣ字両端（左右方向両端）には、各々、被ガイド部材４１０が配置されている。被ガイド部材４１０は、ガイドリブ３０に摺接している。このため、可動クランプ４１と固定クランプ４０との間の前後方向幅は、変更可能である。

基板搬送装置５は、一対のコンベアベルト５０、５１を備えている。コンベアベルト５０は、固定クランプ４０の後面の上縁付近に配置されている。コンベアベルト５０は、左右方向に延在している。コンベアベルト５１は、可動クランプ４１の前面の上縁付近に配置されている。コンベアベルト５１は、左右方向に延在している。コンベアベルト５１は、コンベアベルト５０に前後方向に対向している。基板Ｂは、一対のコンベアベルト５０、５１間に架設されている。一対のコンベアベルト５０、５１により、基板Ｂは、左方（上流側）から右方（下流側）に搬送される。

マスク装置６は、フレーム６０と、メッシュ６１と、マスク６２と、を備えている。マスク装置６は、クランプ装置４の上方に配置されている。フレーム６０は、長方形枠状を呈している。メッシュ６１は、長方形枠状を呈している。メッシュ６１は、フレーム６０の枠内に配置されている。マスク６２は、長方形薄板状を呈している。マスク６２は、メッシュ３１に張設されている。マスク６２には、多数のパターン孔（図略）が形成されている。パターン孔は、基板Ｂの印刷箇所に応じて、所定のパターンで配置されている。

スキージ装置７は、一対のエアシリンダ７０、７１と、一対のスキージ７２、７３と、ガイドレール７４と、を備えている。スキージ装置７は、マスク装置６の上方に配置されている。ガイドレール７４は、前後方向に延在している。一対のエアシリンダ７０、７１は、ガイドレール７４に摺接している。一対のエアシリンダ７０、７１のうち、前方のエアシリンダ７０のピストンには、スキージ７２が接続されている。スキージ７２は、エアシリンダ７０に対して、上下方向に移動可能である。後方のエアシリンダ７１のピストンには、スキージ７３が接続されている。スキージ７３は、エアシリンダ７１に対して、上下方向に移動可能である。また、スキージ７２、７３は、ガイドレール７４に沿って、前後方向に移動可能である。前方から後方に向かってはんだを印刷する場合は、前方のスキージ７２をマスク６２の上面に摺接させる。後方から前方に向かってはんだを印刷する場合は、後方のスキージ７３をマスク６２の上面に摺接させる。

基板バックアップ装置２は、五つのバックアップ片２０と、バックアップテーブル２１と、を備えている。バックアップテーブル２１は、長方形板状を呈している。バックアップテーブル２１は、メインテーブル３の上方に配置されている。バックアップテーブル２１の下面は、シャフト９０により、支持されている。このため、バックアップテーブル２１は、メインテーブル３から独立して、上下方向に移動可能である。

五つのバックアップ片２０は、バックアップテーブル２１に載置されている。五つのバックアップ片２０は、一対のコンベアベルト５０、５１間に配置されている。図４に、図２の枠ＩＶ内の拡大図を示す。図４に示すように、五つのバックアップ片２０は、二つの調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒと、三つの基準バックアップ片２０１と、からなる。五つのバックアップ片２０は、前後方向に並んでいる。

基準バックアップ片２０１は、左右方向に長い直方体ブロック状を呈している。三つの基準バックアップ片２０１は、前方のコンベアベルト５０の後方に、隙間無く連なっている。

調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒは、台形ブロック状を呈している。調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒの上底、下底は、左右方向に延在している。二つの調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒは、三つの基準バックアップ片２０１の後方に、隙間無く連なっている。

前方の調整用バックアップ片２００Ｆの後面は、左右方向に対して、所定の角度で傾斜している。前方の調整用バックアップ片２００Ｆの上面の後縁には、当接部２００Ｆａが配置されている。当接部２００Ｆａは、左前方から右後方に向かって、直線状に延在している。当接部２００Ｆａは、左右方向に対して、４５°未満の角度で延在している。当接部２００Ｆａの左右方向両端ａ、ｂは、前後方向にずれている。

後方の調整用バックアップ片２００Ｒは、前方の調整用バックアップ片２００Ｆを、ちょうど水平方向に１８０°回動させたものである。すなわち、調整用バックアップ片２００Ｒの前面は、左右方向に対して、所定の角度で傾斜している。調整用バックアップ片２００Ｒの上面の前縁には、当接部２００Ｒａが配置されている。当接部２００Ｒａは、左前方から右後方に向かって、直線状に延在している。当接部２００Ｒａは、左右方向に対して、４５°未満の角度で延在している。当接部２００Ｒａの左右方向両端ｃ、ｄは、前後方向にずれている。当接部２００Ｆａと当接部２００Ｒａとの間には、当接部２００Ｆａ、２００Ｒａ同士が互いに当接することにより、当接区間２０２が区画されている。

図４にハッチングで示すように、基板支持部Ｆは、五つのバックアップ片２０が隙間無く連なる部分に配置されている。基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１は、基準バックアップ片２０１の前後方向幅Ｌ２の４倍である。基板支持部Ｆの左右方向幅Ｌ３は、当接区間２０２の左右方向幅（具体的には、点ｂ−ｃ間の距離）と一致している。

［スクリーン印刷機の動き］
次に、本実施形態の基板バックアップ装置を備えるスクリーン印刷機の、印刷時における動きについて説明する。図５に、本実施形態の基板バックアップ装置を備えるスクリーン印刷機の印刷時における右側面図を示す。図５においては、マスク装置６を断面で示す。

まず、基板Ｂを印刷位置まで移動させる。具体的には、図３に白抜き矢印Ｙ１で示すように、まず、シャフト９０により、基板バックアップ装置２を上昇させる。そして、バックアップ片２０により、基板Ｂを、クランプ装置４の高さまで、持ち上げる。この際、基板Ｂの下面は、図４にハッチングで示す基板支持部Ｆにより、支持される。図３に戻って、続いて、白抜き矢印Ｙ２で示すように、可動クランプ４１を前方に微動させ、固定クランプ４０と可動クランプ４１とにより、基板Ｂを前後方向から挟持する。それから、白抜き矢印Ｙ３で示すように、基板バックアップ装置２ごと、メインテーブル３を上昇させる。そして、図５に示すように、基板Ｂの上面をマスク６２の下面に当接させる。このようにして、基板Ｂを印刷位置まで移動させる。

続いて、基板Ｂにはんだを印刷する。具体的には、図３に白抜き矢印Ｙ４で示すように、スキージ７２を下降させる。そして、図５に示すように、スキージ７２をマスク６２の上面に当接させる。続いて、図５に白抜き矢印Ｙ５で示すように、スキージ７２を、前方から後方に向かって、移動させる。すなわち、マスク６２に対してスキージ７２を摺動する。ここで、マスク６２の上面には、はんだが配置されている。はんだは、摺動するスキージ７２により、パターン孔に押し込まれる。パターン孔に押し込まれたはんだは、基板Ｂの所定の位置に転写される。このようにして、基板Ｂにはんだを印刷する。

最後に、基板Ｂをスクリーン印刷機１の下流側に払い出す。具体的には、まず、マスク６２に対して、スキージ７２を上昇させる。すなわち、いわゆる版離れを行う。続いて、マスク６２に対して、基板Ｂを下降させる。それから、基板Ｂを、再び一対のコンベアベルト５０、５１に載置する。その後、一対のコンベアベルト５０、５１を駆動し、基板Ｂを下流側に払い出す。

［基板バックアップ装置の動き］
次に、本実施形態の基板バックアップ装置の段取り替え時における動きについて説明する。

まず、段取り替えにより基板Ｂの前後方向幅が伸張する場合について、説明する。図６に、基板の前後方向幅が伸張する場合のバックアップ片の上面図を示す。なお、図６は、図４と対応している。まず、図６に白抜き矢印Ｙ６で示すように、基板Ｂの前後方向幅の伸張量に応じて、可動クランプ４１を後方に移動させる。続いて、白抜き矢印Ｙ７で示すように、調整用バックアップ片２００Ｆを左方に移動させる。並びに、白抜き矢印Ｙ８で示すように、調整用バックアップ片２００Ｒを右方に移動させる。白抜き矢印Ｙ７、Ｙ８で示すように調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒを動かすと、当接区間２０２が短くなる。このため、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１が長くなる。このようにして、基板Ｂの前後方向幅の伸張量に応じて、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を伸張している。なお、基板支持部Ｆの左右方向幅Ｌ３は収縮する。また、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を伸張しても、基板支持部Ｆの左右方向中心Ｃ１はずれない。

次に、段取り替えにより基板Ｂの前後方向幅が収縮する場合について、説明する。図７に、基板の前後方向幅が収縮する場合のバックアップ片の上面図を示す。なお、図７は、図４と対応している。まず、図７に白抜き矢印Ｙ９で示すように、基板Ｂの前後方向幅の収縮量に応じて、可動クランプ４１を前方に移動させる。続いて、白抜き矢印Ｙ１０で示すように、調整用バックアップ片２００Ｆを右方に移動させる。並びに、白抜き矢印Ｙ１１で示すように、調整用バックアップ片２００Ｒを左方に移動させる。白抜き矢印Ｙ１０、Ｙ１１で示すように調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒを動かすと、当接区間２０２が長くなる。このため、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１が短くなる。このようにして、基板Ｂの前後方向幅の収縮量に応じて、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を収縮している。なお、基板支持部Ｆの左右方向幅Ｌ３は伸張する。また、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を収縮しても、基板支持部Ｆの左右方向中心Ｃ１はずれない。

［作用効果］
次に、本実施形態の基板バックアップ装置の作用効果について説明する。本実施形態の基板バックアップ装置２によると、当接区間２０２を介して、基板支持部Ｆの左右方向幅Ｌ３の伸縮量を、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の伸縮量に、変換することができる。このため、前後方向幅の異なる複数種類の基板Ｂを、略隙間無く支持することができる。

また、当接部２００Ｆａ、２００Ｒａは、各々、直線状を呈している。このため、基板支持部Ｆの左右方向幅Ｌ３の伸縮量と、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の伸縮量と、が、一定の割合で対応する。したがって、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の伸縮量つまり調整量を、制御しやすい。

また、当接部２００Ｆａ、２００Ｒａは、左右方向に対して、４５°未満の角度で延在している。このため、（基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の伸縮量）／（基板支持部Ｆの左右方向幅Ｌ３の伸縮量）＜１となる。したがって、前後方向幅Ｌ１の調整量を制御しやすい。

また、本実施形態の基板バックアップ装置２によると、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を調整する際、基板支持部Ｆの左右方向中心Ｃ１がずれない。言い換えると、基板Ｂの種類を変更する場合であっても、基板支持部Ｆの左右方向中心Ｃ１がずれない。このため、基板Ｂの種類を変更しても、印刷位置の左右方向中心を一定に保つことができる。

また、本実施形態の基板バックアップ装置２によると、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の調整量のうち、基準バックアップ片２０１の前後方向幅Ｌ２の整数倍に対応する部分については、基準バックアップ片２０１を加除することにより、前後方向幅Ｌ１を調整する。また、調整量のうち、基準バックアップ片２０１の前後方向幅Ｌ２の整数倍から余る部分については、当接区間２０２の長さを変更することにより、前後方向幅Ｌ１を調整する。このため、基準バックアップ片２０１として、既存のバックアップ片を用いることができる。また、調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒの配置数を少なくすることができる。また、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の調整量が大きくなる。このため、基板Ｂの種類に対する汎用性が高い。

また、本実施形態の基板バックアップ装置２によると、基板Ｂの種類によらず、マスク６２上面をスキージ７２、７３が摺動する際、基板Ｂの下面が隙間無く基板支持部Ｆにより支持されている。このため、マスク６２上面に、掻き残しのはんだが残留しにくい。

＜第二実施形態＞
本実施形態の基板バックアップ装置と第一実施形態の基板バックアップ装置との相違点は、全てのバックアップ片が調整用バックアップ片である点である。ここでは相違点についてのみ説明する。

図８に、本実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図を示す。なお、図４と対応する部位については、同じ符号で示す。図８に示すように、八つのバックアップ片２０は、全て調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒである。前後方向に隣り合う任意の一対の調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒ間の当接区間２０２の長さを変更することにより、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を調整することができる。

本実施形態の基板バックアップ装置は、構成が共通する部分については、第一実施形態の基板バックアップ装置と同様の作用効果を有している。また、本実施形態の基板バックアップ装置によると、バックアップ片２０の加除を伴わずに、前後方向幅Ｌ１の調整量を大きくすることができる。

＜第三実施形態＞
本実施形態の基板バックアップ装置と第一実施形態の基板バックアップ装置との相違点は、既存のバックアップ片を調整用バックアップ片として用いている点である。ここでは相違点についてのみ説明する。

図９に、本実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図を示す。なお、図４と対応する部位については、同じ符号で示す。図９に示すように、五つのバックアップ片２０のうち、前方二つのバックアップ片２０は、調整用バックアップ片２０３Ｆ、２０３Ｒである。また、後方二つのバックアップ片２０は、調整用バックアップ片２０４Ｆ、２０４Ｒである。また、中央のバックアップ片２０は、基準バックアップ片２０１である。

調整用バックアップ片２０３Ｒ、２０４Ｆ、基準バックアップ片２０１は、第一実施形態の基準バックアップ片同様に、直方体ブロック状を呈している。調整用バックアップ片２０３Ｒ、２０４Ｆ、基準バックアップ片２０１は、左右方向に対して、左前方から右後方に向かって、斜めに配置されている。調整用バックアップ片２０３Ｒの上面の前縁には、当接部２０３Ｒａが配置されている。当接部２０３Ｒａの左右方向両端ｇ、ｈは、前後方向にずれている。調整用バックアップ片２０４Ｆの上面の後縁には、当接部２０４Ｆａが配置されている。当接部２０４Ｆａの左右方向両端ｋ、ｌは、前後方向にずれている。

調整用バックアップ片２０３Ｆ、２０４Ｒは、直角三角形ブロック状を呈している。調整用バックアップ片２０３Ｆの上面の後縁には、当接部２０３Ｆａが配置されている。当接部２０３Ｆａの左右方向両端ｅ、ｆは、前後方向にずれている。調整用バックアップ片２０４Ｒの上面の前縁には、当接部２０４Ｒａが配置されている。当接部２０４Ｒａの左右方向両端ｍ、ｎは、前後方向にずれている。当接部２０３Ｆａと当接部２０３Ｒａとの間、および当接部２０４Ｆａと当接部２０４Ｒａとの間には、当接区間２０２が区画されている。二つの当接区間２０２の長さを変更することにより、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を調整することができる。

本実施形態の基板バックアップ装置は、構成が共通する部分については、第一実施形態の基板バックアップ装置と同様の作用効果を有している。また、本実施形態の基板バックアップ装置によると、既存のバックアップ片を調整用バックアップ片２０３Ｒ、２０４Ｆとして用いることができる。

＜第四実施形態＞
本実施形態の基板バックアップ装置と第一実施形態の基板バックアップ装置との相違点は、幅の異なる二種類の基準バックアップ片が用いられている点である。ここでは相違点についてのみ説明する。

図１０に、本実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図を示す。なお、図４と対応する部位については、同じ符号で示す。図１０に示すように、前方二つのバックアップ片２０は、基準バックアップ片２０５、２０１である。基準バックアップ片２０５、２０１は、直方体ブロック状を呈している。基準バックアップ片２０５の前後方向幅は、基準バックアップ片２０１の前後方向幅の二倍である。

基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の調整量のうち、基準バックアップ片２０１の前後方向幅の二倍に対応する部分については、基準バックアップ片２０５を加除することにより、対応する。基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の調整量のうち、基準バックアップ片２０１の前後方向幅に対応する部分については、基準バックアップ片２０１を加除することにより、対応する。基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の調整量のうち、基準バックアップ片２０１の前後方向幅に足りない部分については、当接区間２０２の長さを変更することにより、対応する。

本実施形態の基板バックアップ装置は、構成が共通する部分については、第一実施形態の基板バックアップ装置と同様の作用効果を有している。また、本実施形態の基板バックアップ装置によると、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１の調整作業が簡単になる。また、隣り合うバックアップ片２０の上面間に形成される隙間（継ぎ目）の数を、少なくすることができる。

＜第五実施形態＞
本実施形態の基板バックアップ装置と第一実施形態の基板バックアップ装置との相違点は、上面の前後両縁に当接部を持つ調整用バックアップ片が用いられている点である。ここでは相違点についてのみ説明する。

図１１に、本実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図を示す。なお、図４と対応する部位については、同じ符号で示す。図１１に示すように、五つのバックアップ片２０は、全て調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒ、２０６Ｆ、２０６Ｍ、２０６Ｒである。真ん中の三つの調整用バックアップ片２０６Ｆ、２０６Ｍ、２０６Ｒは、二等辺三角形ブロック状を呈している。調整用バックアップ片２０６Ｆの上面の前後両縁には、当接部２０６Ｆａ、２０６Ｆｂが配置されている。調整用バックアップ片２０６Ｍの上面の前後両縁には、当接部２０６Ｍａ、２０６Ｍｂが配置されている。調整用バックアップ片２０６Ｒの上面の前後両縁には、当接部２０６Ｒａ、２０６Ｒｂが配置されている。当接部２００Ｆａと当接部２０６Ｆａとの間、当接部２０６Ｆｂと当接部２０６Ｍａとの間、当接部２０６Ｍｂと当接部２０６Ｒａとの間、当接部２０６Ｒｂと当接部２００Ｒａとの間には、各々、当接区間２０２が区画されている。四つの当接区間２０２の長さを変更することにより、基板支持部Ｆの前後方向幅Ｌ１を調整することができる。

本実施形態の基板バックアップ装置は、構成が共通する部分については、第一実施形態の基板バックアップ装置と同様の作用効果を有している。また、本実施形態の基板バックアップ装置によると、隣り合うバックアップ片２０の上面間に形成される隙間（継ぎ目）の数を、少なくすることができる。また、本実施形態の基板バックアップ装置によると、バックアップ片２０の加除を伴わずに、前後方向幅Ｌ１の調整量を大きくすることができる。

＜第六実施形態＞
本実施形態の基板バックアップ装置と第一実施形態の基板バックアップ装置との相違点は、傾斜の異なる二つの当接区間を有する点である。ここでは相違点についてのみ説明する。

図１２に、本実施形態の基板バックアップ装置のバックアップ片の上面図を示す。なお、図４と対応する部位については、同じ符号で示す。図１２に示すように、五つのバックアップ片２０のうち、前端に配置されているバックアップ片２０以外の四つのバックアップ片２０は、調整用バックアップ片２０７Ｆ、２０７Ｒ、２００Ｆ、２００Ｒである。

調整用バックアップ片２０７Ｆの当接部２０７Ｆａと、調整用バックアップ片２０７Ｒの当接部２０７Ｒａと、の間には当接区間２０８が区画されている。左右方向に対する当接区間２０８の傾斜は、左右方向に対する当接区間２０２の傾斜よりも、大きく設定されている。このため、基板支持部Ｆの左右方向幅Ｌ３の伸縮量が同じ場合、当接区間２０２による前後方向幅Ｌ１の伸縮量よりも、当接区間２０８による前後方向幅Ｌ１の伸縮量の方が、大きくなる。

本実施形態の基板バックアップ装置は、構成が共通する部分については、第一実施形態の基板バックアップ装置と同様の作用効果を有している。また、本実施形態の基板バックアップ装置によると、左右方向幅Ｌ３の伸縮に対して応答性の低い当接区間２０２と、左右方向幅Ｌ３の伸縮に対して応答性の高い当接区間２０８と、を組み合わせて用いることができる。このため、前後方向幅Ｌ１の調整量を制御しやすい。

＜その他＞
以上、本発明の基板バックアップ装置の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。

図１３に、その他の実施形態のバックアップ装置の、基板の前後方向幅が伸張する場合のバックアップ片の上面図を示す。図１４に、同バックアップ装置の、基板の前後方向幅が収縮する場合のバックアップ片の上面図を示す。なお、図１３、図１４において、図４と対応する部位については、同じ符号で示す。また、図１３、図１４は、図４の状態の基板支持部の前後方向幅を、伸張、収縮させたものである。

基板Ｂの前後方向幅が伸張する場合、図１３に白抜き矢印Ｙ１２で示すように、調整用バックアップ片２００Ｒだけを右方に移動させてもよい。また、基板Ｂの前後方向幅が収縮する場合、図１４に白抜き矢印Ｙ１３で示すように、調整用バックアップ片２００Ｒだけを左方に移動させてもよい。なお、基板支持部Ｆの左右方向中心Ｃ１は、図４の左右方向中心Ｃ１と比較して、図１３の場合は右側に、図１４の場合は左側に、それぞれシフトする。

また、上記実施形態においては、バックアップ片２０の並置方向を前後方向としたが、左右方向としてもよい。こうすると、スキージ７２、７３の摺動方向が左右方向の場合に便利である。また、スキージ７２、７３の摺動方向と、バックアップ片２０の並置方向と、が一致していなくてもよい。また、本発明の基板バックアップ装置は、電子部品実装機において、電子部品を基板に実装する際、基板の下面を支持するために用いてもよい。

また、調整用バックアップ片２００Ｆ、２００Ｒ、２０３Ｆ、２０３Ｒ、２０４Ｆ、２０４Ｒ、２０６Ｆ、２０６Ｍ、２０６Ｒ、２０７Ｆ、２０７Ｒの当接部２００Ｆａ、２００Ｒａ、２０３Ｆａ、２０３Ｒａ、２０４Ｆａ、２０４Ｒａ、２０６Ｆａ、２０６Ｆｂ、２０６Ｍａ、２０６Ｍｂ、２０６Ｒａ、２０６Ｒｂ、２０７Ｆａ、２０７Ｒａは、少なくとも上面縁に配置されていればよい。すなわち、隣り合う調整用バックアップ片の当接部より下の部分同士が、互いに非接触でもよい。

１：スクリーン印刷機、２：基板バックアップ装置、３：メインテーブル、４：クランプ装置、５：基板搬送装置、６：マスク装置、７：スキージ装置。
２０：バックアップ片、２１：バックアップテーブル、３０：ガイドリブ、３１：メッシュ、４０：固定クランプ、４１：可動クランプ、５０：コンベアベルト、５１：コンベアベルト、６０：フレーム、６１：メッシュ、６２：マスク、７０：エアシリンダ、７１：エアシリンダ、７２：スキージ、７３：スキージ、７４：ガイドレール、９０：シャフト。
２００Ｆ：調整用バックアップ片、２００Ｆａ：当接部、２００Ｒ：調整用バックアップ片、２００Ｒａ：当接部、２０１：基準バックアップ片、２０２：当接区間、２０３Ｆ：調整用バックアップ片、２０３Ｆａ：当接部、２０３Ｒ：調整用バックアップ片、２０３Ｒａ：当接部、２０４Ｆ：調整用バックアップ片、２０４Ｆａ：当接部、２０４Ｒ：調整用バックアップ片、２０４Ｒａ：当接部、２０５：基準バックアップ片、２０６Ｆ：調整用バックアップ片、２０６Ｆａ：当接部、２０６Ｆｂ：当接部、２０６Ｍ：調整用バックアップ片、２０６Ｍａ：当接部、２０６Ｍｂ：当接部、２０６Ｒ：調整用バックアップ片、２０６Ｒａ：当接部、２０６Ｒｂ：当接部、２０７Ｆ：調整用バックアップ片、２０７Ｆａ：当接部、２０７Ｒ：調整用バックアップ片、２０７Ｒａ：当接部、２０８：当接区間、４１０：被ガイド部材。
Ｂ：基板、Ｃ１：左右方向中心、Ｆ：基板支持部、Ｌ１：前後方向幅、Ｌ２：前後方向幅、Ｌ３：左右方向幅。

Claims (5)

1. 複数のバックアップ片の上面が、該バックアップ片の並置方向に連なることにより、基板の下面を支持する基板支持部を形成する基板バックアップ装置であって、
   複数の前記バックアップ片のうち、前記並置方向に隣り合う、少なくとも一対の該バックアップ片は、調整用バックアップ片であり、
   該調整用バックアップ片の上面縁は、該並置方向に略直交する水平方向である直交方向両端が該並置方向にずれる当接部を有し、
   一対の該当接部が当接する当接区間の長さを変更することにより、前記基板支持部の該並置方向幅を調整することを特徴とする基板バックアップ装置。
2. 前記当接部は、略直線状である請求項１に記載の基板バックアップ装置。
3. 前記基板支持部の前記直交方向中心がずれないように、前記当接区間の長さを変更する請求項１または請求項２に記載の基板バックアップ装置。
4. 複数の前記バックアップ片は、さらに、前記並置方向と前記直交方向とに延在する四角形状の上面を有する基準バックアップ片を有し、
   前記基板支持部の該並置方向幅の調整量のうち、該基準バックアップ片の該並置方向幅の整数倍に対応する部分については、該基準バックアップ片を加除することにより、該並置方向幅を調整し、
   該調整量のうち、該基準バックアップ片の該並置方向幅の整数倍から余る部分については、前記当接区間の長さを変更することにより、該並置方向幅を調整する請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板バックアップ装置。
5. 前記並置方向は、マスクのパターン孔を介して基板にはんだを印刷するスキージの摺動方向である請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板バックアップ装置。

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