JP2010530141A - ウェーハレベルにおいて半導体をパッケージするための方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図10
Description
Claims (17)
- 半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法であって、該方法は、
前記半導体ウェーハの前記表面部分の上に配置される材料内に、前記デバイスを露出させるデバイス露出開口部と、前記デバイスのための電気コンタクトパッドを露出させる電気コンタクトパッド開口部とをリソグラフィによって形成すること、及び
前記形成された材料上に硬質の誘電体層をマウントすることを含み、該硬質の材料は、前記材料内の前記デバイス露出開口部上に、且つ前記材料内の前記電気コンタクトパッド開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法。 - 前記方法は、前記デバイスの電気コンタクトパッド上に配置される前記硬質の誘電体層の部分の中に電気コンタクトパッド開口部を形成することを含み、前記硬質の誘電体層の他の部分は前記材料内の前記デバイス露出開口部上に懸架されたままである、請求項1に記載の方法。
- 半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法であって、該方法は、
前記ウェーハの前記表面部分にわたって、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料を堆積すること、
前記半導体デバイス上にある前記材料の部分、及び前記デバイスのための電気コンタクトパッド上にある前記材料の部分にフォトリソグラフィによって開口部を形成すること、及び
前記形成された材料上に硬質の誘電体層をマウントすることを含み、該硬質の材料は前記材料内の前記開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法。 - 前記方法は、前記デバイスの電気コンタクト上に配置される前記硬質の誘電体層の部分の中に開口部を形成することを含み、前記硬質の誘電体層の他の部分は前記半導体デバイス上に懸架されたままである、請求項3に記載の方法。
- 半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージであって、
前記半導体ウェーハの前記表面部分の上に配置されるリソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料であって、前記デバイスを露出させるためにその中にある開口部と、前記デバイスのための電気コンタクトパッドを露出させるためにその中にある電気コンタクトパッド開口部とを有する、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と、
前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料の上にある硬質の誘電体層であって、該硬質の材料は前記材料内の前記デバイス露出開口部上に懸架される、硬質の誘電体層とを備える、半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージ。 - 前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料はBCBであり、前記硬質の材料は液晶ポリマーである、請求項5に記載のパッケージ。
- 前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料はBCBであり、前記硬質の材料は液晶ポリマーである、請求項1に記載の方法。
- 半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法であって、該方法は、
前記ウェーハの前記表面部分にわたって、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料を堆積すること、
前記半導体デバイス上にある前記材料の部分、及び前記デバイスのための電気コンタクトパッド上にある前記材料の部分にフォトリソグラフィによって開口部を形成すること、
硬質の構造を形成することであって、該硬質の構造は、該硬質の構造の表面上に、前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と同じ材料を含む層を有する、形成すること、及び、
前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料上に前記硬質の構造の層をマウントすることを含み、該硬質の構造は、前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料内にある前記開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法。 - 半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージであって、
前記半導体ウェーハの前記表面部分の上に配置されるリソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料であって、前記デバイスを露出させるためにその中にある開口部と、前記デバイスのための電気コンタクトパッドを露出させるためにその中にある電気コンタクトパッド開口部とを有する、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と、
前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と同じ材料を含む層を有する硬質の誘電体構造とを備え、前記層は前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料上に配置され、前記硬質の材料は前記材料内の前記デバイス露出開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージ。 - 半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法であって、該方法は、
前記半導体ウェーハの前記表面部分の上に配置される材料内に、前記デバイスを露出させるデバイス露出開口部と、前記デバイスのための電気コンタクトパッドを露出させる電気コンタクトパッド開口部とをリソグラフィによって形成すること、及び
前記形成された材料上に自立構造をマウントすることを含み、該自立構造は、前記材料内の前記デバイス露出開口部上に、且つ前記材料内の前記電気コンタクトパッド開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法。 - 前記方法は、前記デバイスの電気コンタクトパッド上に配置される前記自立構造の部分の中に電気コンタクトパッド開口部を形成することを含み、前記自立構造の他の部分は前記材料内の前記デバイス露出開口部上に懸架されたままである、請求項10に記載の方法。
- 半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法であって、該方法は、
前記ウェーハの前記表面部分にわたって、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料を堆積すること、
前記半導体デバイス上にある前記材料の部分、及び前記デバイスのための電気コンタクトパッド上にある前記材料の部分にフォトリソグラフィによって開口部を形成すること、及び
前記形成された材料上に自立構造をマウントすることを含み、該自立構造は前記材料内の前記開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法。 - 前記方法は、前記デバイスの電気コンタクト上に配置される前記自立構造の部分の中に開口部を形成することを含み、前記自立構造の他の部分は前記半導体デバイス上に懸架されたままである、請求項12に記載の方法。
- 半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージであって、
前記半導体ウェーハの前記表面部分の上に配置されるリソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料であって、前記デバイスを露出させるためにその中にある開口部と、前記デバイスのための電気コンタクトパッドを露出させるためにその中にある電気コンタクトパッド開口部とを有する、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と、
前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料の上にある自立構造であって、該自立構造は前記材料内の前記デバイス露出開口部上に懸架される、自立構造とを備える、半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージ。 - 前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料はBCBであり、前記自立構造は液晶ポリマーである、請求項14に記載のパッケージ。
- 半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法であって、該方法は、
前記ウェーハの前記表面部分にわたって、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料を堆積すること、
前記半導体デバイス上にある前記材料の部分、及び前記デバイスのための電気コンタクトパッド上にある前記材料の部分にフォトリソグラフィによって開口部を形成すること、
自立構造を形成することであって、該自立構造は、該自立構造の表面上に、前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と同じ材料を含む層を有する、形成すること、及び、
前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料上に前記自立構造の層をマウントすることを含み、該自立構造は、前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料内にある前記開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される複数の半導体デバイスをパッケージするための方法。 - 半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージであって、
前記半導体ウェーハの前記表面部分の上に配置されるリソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料であって、前記デバイスを露出させるためにその中にある開口部と、前記デバイスのための電気コンタクトパッドを露出させるためにその中にある電気コンタクトパッド開口部とを有する、リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と、
前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料と同じ材料を含む層を有する自立構造とを備え、前記層は前記リソグラフィによって処理可能なエッチング可能材料上に配置され、前記自立構造は前記材料内の前記デバイス露出開口部上に懸架される、半導体ウェーハの表面部分に形成される半導体デバイスのためのパッケージ。
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