JP2010522093A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 工作物表面の欠陥を修復する方法であって、
   被駆動工具のシャフトを用い、回転軸を中心として研磨体の研磨面を回転往復運動させることによって工作物表面の１以上の欠陥をサンディングする工程であって、前記研磨体の研磨面が前記回転軸を中心として回転往復運動する際に、前記研磨体の研磨面に付着された研磨粒子によって前記工作物表面を研磨する工程と、
   前記工作物表面をパッドの作業面と接触させることによって、前記１以上の欠陥のそれぞれを囲み、かつ含む前記工作物表面のある領域をポリッシュする工程であって、前記パッドの作業面は前記工作物表面及び前記パッドの作業面を通じて延びる回転軸を中心として一方向に回転せしめられ、研磨スラリーが前記パッドの作業面によって前記工作物表面に押し付けられ、前記研磨スラリーは前記研磨体の研磨面に付着された前記研磨粒子よりも細かい研磨粒子を含む、工程と、を含む方法。
2. 前記１以上の欠陥を囲み、かつ含む各領域に対して行われる１回以上の後続のポリッシュ操作を更に含み、前記１回以上の後続のポリッシュ操作は、それぞれ、前記工作物表面をパッドの作業面と接触させることを含み、前記パッドの作業面は前記工作物表面及び前記パッドの作業面を通じて延びる回転軸を中心として一方向に回転せしめられ、研磨スラリーが前記パッドの作業面によって前記工作物表面に押し付けられ、前記後続のポリッシュ操作のそれぞれで用いられる前記研磨スラリーは、同じ領域に対して行われる先のポリッシュ操作で用いられる前記研磨スラリーに含まれる研磨粒子よりも細かい研磨粒子を含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記研磨体が圧縮可能部材を有し、該圧縮可能部材が前記シャフトと前記研磨面との間に配置されるように前記研磨体が前記圧縮可能部材に取り付けられる、請求項１に記載の方法。
4. 前記研磨体が、前記シャフトの末端に取り付けられた剛性のベースプレートを含み、前記圧縮可能部材が前記剛性ベースプレートに取り付けられる、請求項３に記載の方法。
5. 前記研磨体が、取付け面を有するベースプレートであって、前記シャフトに取り付けられたベースプレートと、
   前記ベースプレートの取付け面に取り付けられ、前記ベースプレートの取付け面に面した第１の主面と、取り付け面とは異なる方向に面した第２の主面とを有する弾性圧縮可能部材であって、該第１の主面及び該第２の主面はそれぞれ前記ベースプレートの取り付け面と同じ大きさであるか、又は取付け面よりも大きい、弾性圧縮可能部材と、
   前記圧縮可能部材に取り付けられ、前記圧縮可能部材に面した第１の主面と、前記圧縮可能部材とは異なる方向に面した第２の主面とを有する可撓性の支持層であって、該第１の主面及び該第２の主面はそれぞれ前記弾性圧縮可能部材の第２の主面よりも大きい支持層と、
   前記研磨面を有する研磨部材であって、前記研磨面が前記圧縮可能部材及び前記ベースプレートとは異なる方向に面するようにして前記支持層の第２の主面に取り付けられ、前記研磨面が前記支持層の第２の主面と同一の広がりを有する平坦な研磨面を含む研磨部材と、を含む、請求項１に記載の方法。