JP2010285343A - 融液から単結晶を引き上げるための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶5が引き上げられるチャンバ1内の圧力と同じく、大気圧より低い圧力下に収容されているワイヤケーブル回転ヘッド8の回転軸線を中心にワイヤケーブル6を回転させる単結晶の引き上げ方法において、るつぼ軸18の回転軸線にワイヤケーブル回転ヘッド8の回転軸線を整合させ、かつ、ワイヤケーブル6の振り子運動の能動的な減衰を行うために、大気圧中に設置されたX−Yステージ13を用いて、ワイヤケーブル回転ヘッド8の制御された移動を行う。X−Yステージ13は、大気圧に配置された環境にあるため、特定の複雑な技術を用いることなく、駆動することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- るつぼに収容された融液から単結晶を引き上げる方法において、
ワイヤケーブルがドラムに巻き取られることによって、ワイヤケーブルにおいて融液から単結晶を引き上げ、
ワイヤケーブル回転ヘッドの回転軸線を中心にワイヤケーブルを回転させ、前記ワイヤケーブル回転ヘッドに前記ドラムが配置されており、前記ワイヤケーブル回転ヘッドが、単結晶が引き上げられている時に大気圧よりも低い圧力にあり、
るつぼを支持するるつぼ軸の回転軸線を中心にるつぼを回転させ、るつぼが、単結晶が引き上げられている時に大気圧よりも低い圧力にある引上げチャンバに収容されており、
るつぼ軸の回転軸線にワイヤケーブル回転ヘッドの回転軸線を整合させるために及びワイヤケーブルの振り子運動の能動的な減衰のために、大気圧中のX−Yステージにおいてワイヤケーブル回転ヘッドの制御された移動を行うことを特徴とする、るつぼに収容された融液から単結晶を引き上げる方法。 - 融液から単結晶を引き上げるための装置において、
るつぼ軸に支持されたるつぼを有する引上げチャンバと、
該引上げチャンバの上方に配置されたワイヤケーブル回転ヘッドとが設けられており、該ワイヤケーブル回転ヘッドに、融液から単結晶を引き上げるためにワイヤケーブルを巻き取るためのドラムが配置されており、
引上げチャンバ及びワイヤケーブル回転ヘッド内の圧力が大気圧よりも低いが、ワイヤケーブル回転ヘッドを大気圧中で移動させるためのX−Yステージが設けられており、
るつぼ軸の回転軸線にワイヤケーブル回転ヘッドの回転軸線を整合させるために及びワイヤケーブルの振り子運動の能動的な減衰のために、X−Yステージにおいてワイヤケーブル回転ヘッドの制御された移動を行うための機器が設けられていることを特徴とする、融液から単結晶を引き上げるための装置。 - ワイヤケーブル回転ヘッドの回転軸受からX−Yステージに設けられたアクセスボアを通って引上げチャンバまで延びておりかつワイヤケーブル回転ヘッドと引上げチャンバとを大気圧の環境から気密に隔離している弾性のベローズが設けられている、請求項2記載の装置。
- X−Yステージが、鉛直方向に配置されたベースフレームに支持されている、請求項3又は4記載の装置。
- 前記ドラムが、ワイヤケーブルがドラムから引き出されている転動箇所がワイヤケーブル回転ヘッドの回転軸線上に位置するように、ワイヤケーブル回転ヘッドに配置されている、請求項2から4までのいずれか1項記載の装置。
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