JP2010283275A5 - - Google Patents
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上記課題を解決するためになされた本発明は、光入射側の表面側に第1導電型層を有し、かつ、裏面側に第2導電型層を有する半導体基板を備え、前記半導体基板の第1導電型層上に、反射防止膜と、受光面電極とが設けられるとともに、前記半導体基板の第2導電型層上に接続用裏面電極が設けられ、前記受光面電極が、導体からなるワイヤによって構成されている結晶系太陽電池セルである。
本発明では、前記ワイヤが、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、又はこれらの合金からなる場合にも効果的である。
本発明では、前記受光面電極が、ガラスフリットを含有する導電性焼結体からなる接続膜を介して前記半導体基板の第1導電型層に電気的に接続されている場合にも効果的である。
本発明では、前記受光面電極が、前記半導体基板の第1導電型層上に設けられた第1の受光面電極と、当該第1の受光面電極上に設けられた第2の受光面電極とを有し、前記第1の受光面電極が、前記導電性焼結体からなる第1の接続膜を介して前記半導体基板の前記第1導電型層に電気的に接続されるとともに、前記第2の受光面電極が、前記導電性焼結体からなる第2の接続膜を介して前記第1の受光面電極に電気的に接続されている場合にも効果的である。
一方、本発明は、光入射側の表面側に第1導電型層を有し、かつ、裏面側に第2導電型層を有する半導体基板の第1導電型層上に、反射防止膜が設けられた太陽電池用基板を用意し、ガラスフリットを含有する導電性ペーストを用い、当該導電性ペーストを焼結させることにより、導体からなるワイヤによって構成された受光面電極を前記太陽電池用基板上に固着するとともに、当該受光面電極を前記半導体基板の第1導電型層に対して電気的に接続させる工程を有する結晶系太陽電池セルの製造方法である。
本発明では、前記受光面電極が、第1及び第2の受光面電極を備え、前記反射防止膜上に前記導電性ペーストを塗布乾燥して第1の接続膜を形成する工程と、前記第1の接続膜上に前記第1の受光面電極を配置する工程と、前記第1の接続膜を焼結させる工程と、前記第1の受光面電極上に前記導電性ペーストを塗布乾燥して第2の接続膜を形成する工程と、前記第2の接続膜を焼結させる工程とを有する場合にも効果的である。
本発明では、前記ワイヤに前記導電性ペーストを塗布乾燥して接続膜を形成した受光面電極を用意し、前記受光面電極を前記太陽電池用基板上に配置する工程と、前記受光面電極の接続膜を焼結させる工程とを有する場合にも効果的である。
本発明では、前記導電性ペーストを塗布する工程が、ディスペンサ法又はインクジェット法によるものである場合にも効果的である。
本発明では、前記ワイヤが、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、又はこれらの合金からなる場合にも効果的である。
本発明では、前記受光面電極が、ガラスフリットを含有する導電性焼結体からなる接続膜を介して前記半導体基板の第1導電型層に電気的に接続されている場合にも効果的である。
本発明では、前記受光面電極が、前記半導体基板の第1導電型層上に設けられた第1の受光面電極と、当該第1の受光面電極上に設けられた第2の受光面電極とを有し、前記第1の受光面電極が、前記導電性焼結体からなる第1の接続膜を介して前記半導体基板の前記第1導電型層に電気的に接続されるとともに、前記第2の受光面電極が、前記導電性焼結体からなる第2の接続膜を介して前記第1の受光面電極に電気的に接続されている場合にも効果的である。
一方、本発明は、光入射側の表面側に第1導電型層を有し、かつ、裏面側に第2導電型層を有する半導体基板の第1導電型層上に、反射防止膜が設けられた太陽電池用基板を用意し、ガラスフリットを含有する導電性ペーストを用い、当該導電性ペーストを焼結させることにより、導体からなるワイヤによって構成された受光面電極を前記太陽電池用基板上に固着するとともに、当該受光面電極を前記半導体基板の第1導電型層に対して電気的に接続させる工程を有する結晶系太陽電池セルの製造方法である。
本発明では、前記受光面電極が、第1及び第2の受光面電極を備え、前記反射防止膜上に前記導電性ペーストを塗布乾燥して第1の接続膜を形成する工程と、前記第1の接続膜上に前記第1の受光面電極を配置する工程と、前記第1の接続膜を焼結させる工程と、前記第1の受光面電極上に前記導電性ペーストを塗布乾燥して第2の接続膜を形成する工程と、前記第2の接続膜を焼結させる工程とを有する場合にも効果的である。
本発明では、前記ワイヤに前記導電性ペーストを塗布乾燥して接続膜を形成した受光面電極を用意し、前記受光面電極を前記太陽電池用基板上に配置する工程と、前記受光面電極の接続膜を焼結させる工程とを有する場合にも効果的である。
本発明では、前記導電性ペーストを塗布する工程が、ディスペンサ法又はインクジェット法によるものである場合にも効果的である。
本発明の場合、受光面電極が導体からなるワイヤによって構成されており、従来技術のスクリーン印刷による受光面電極と比較して、同等の配線抵抗を有する電極を作成する場合に、受光面電極の幅を非常に小さくすることができる。その結果、従来技術では93%程度であった太陽電池セルの開口率を、99%程度と大幅に向上させることができる。
さらに、本発明においては、ワイヤからなる受光面電極を導電性ペーストを介して反射防止膜上に配置し、その状態で、ガラスフリットを含有する導電性ペーストからなる第1の接続膜を焼結させることから、反射防止膜と第1の接続膜の反応によるファイアースルーにより、焼結された接続膜を介して受光面電極と半導体基板の第1導電型層とを確実に電気的に接続することができる。
本実施の形態においては、以上説明した導電性ペーストからなる第1の接続膜15を、反射防止膜12上に複数塗布形成した後、これらの第1の接続膜15を乾燥させる。この場合、好ましい乾燥温度は、180℃以下である。
さらに、図1(c)に示すように、第1の接続膜15のそれぞれの上に、ワイヤからなるフィンガー電極21を位置合わせして配置(載置)する。
本発明の場合、フィンガー電極21を構成するワイヤの材料は、特に限定されることはないが、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、パラジウム(Pd)、又はこれらの合金からなるものを好適に用いることができる。
これらのうちでも、導電性を向上させる観点からは、銀(Ag)を用いることが好ましい。
なお、フィンガー電極21を構成するワイヤの断面形状は真円形状であり、開口率を向上させる観点からは、その直径は、小さい程好ましい。
ただし、電極として要求される強度や配線抵抗の大きさを考慮すると、直径が10〜100μmとすることが好ましい。
さらに、図1(c)に示すように、第1の接続膜15のそれぞれの上に、ワイヤからなるフィンガー電極21を位置合わせして配置(載置)する。
本発明の場合、フィンガー電極21を構成するワイヤの材料は、特に限定されることはないが、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、パラジウム(Pd)、又はこれらの合金からなるものを好適に用いることができる。
これらのうちでも、導電性を向上させる観点からは、銀(Ag)を用いることが好ましい。
なお、フィンガー電極21を構成するワイヤの断面形状は真円形状であり、開口率を向上させる観点からは、その直径は、小さい程好ましい。
ただし、電極として要求される強度や配線抵抗の大きさを考慮すると、直径が10〜100μmとすることが好ましい。
さらに、図2(b)に示すように、第2の接続膜17のそれぞれの上に、ワイヤからなるバスバー電極22を位置合わせして配置(載置)する。
本発明の場合、バスバー電極22を構成するワイヤの材料は、特に限定されることはないが、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、パラジウム(Pd)、又はこれらの合金からなるものを好適に用いることができる。
これらのうちでも、導電性を向上させる観点からは、銀(Ag)を用いることが好ましい。
なお、バスバー電極22を構成するワイヤの断面形状は真円形状であり、太陽電池セルの開口率を向上させる観点からは、その直径は、小さい程好ましい。
ただし、電極として要求される強度や配線抵抗の大きさを考慮すると、直径が120〜500μm以下とすることが好ましい。
本発明の場合、バスバー電極22を構成するワイヤの材料は、特に限定されることはないが、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、パラジウム(Pd)、又はこれらの合金からなるものを好適に用いることができる。
これらのうちでも、導電性を向上させる観点からは、銀(Ag)を用いることが好ましい。
なお、バスバー電極22を構成するワイヤの断面形状は真円形状であり、太陽電池セルの開口率を向上させる観点からは、その直径は、小さい程好ましい。
ただし、電極として要求される強度や配線抵抗の大きさを考慮すると、直径が120〜500μm以下とすることが好ましい。
以上述べたように本実施の形態においては、受光面電極であるフィンガー電極21及びバスバー電極22が、導体からなるワイヤによって構成されており、従来技術のスクリーン印刷による受光面電極と比較して、同等の配線抵抗を有する電極を作成する場合に、受光面電極の幅を非常に小さくすることができる。その結果、結晶系太陽電池セルの開口率を大幅に向上させることができる。
また、本実施の形態においては、ワイヤからなるフィンガー電極21を導電性ペーストを介して反射防止膜12上に配置し、その状態で、ガラスフリットを含有する導電性ペーストからなる第1の接続膜15を焼結させることから、反射防止膜12と第1の接続膜15の反応によるファイアースルーにより、第1の焼結接続膜16を介してフィンガー電極21と半導体基板10のn+型半導体層11とを確実に電気的に接続することができる。
Claims (8)
- 光入射側の表面側に第1導電型層を有し、かつ、裏面側に第2導電型層を有する半導体基板を備え、
前記半導体基板の第1導電型層上に、反射防止膜と、受光面電極とが設けられるとともに、前記半導体基板の第2導電型層上に接続用裏面電極が設けられ、
前記受光面電極が、導体からなるワイヤによって構成されている結晶系太陽電池セル。 - 前記ワイヤが、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、又はこれらの合金からなる請求項1記載の結晶系太陽電池セル。
- 前記受光面電極が、ガラスフリットを含有する導電性焼結体からなる接続膜を介して前記半導体基板の第1導電型層に電気的に接続されている請求項1又は2のいずれか1項記載の結晶系太陽電池セル。
- 前記受光面電極が、前記半導体基板の第1導電型層上に設けられた第1の受光面電極と、当該第1の受光面電極上に設けられた第2の受光面電極とを有し、前記第1の受光面電極が、前記導電性焼結体からなる第1の接続膜を介して前記半導体基板の前記第1導電型層に電気的に接続されるとともに、前記第2の受光面電極が、前記導電性焼結体からなる第2の接続膜を介して前記第1の受光面電極に電気的に接続されている請求項3記載の結晶系太陽電池セル。
- 光入射側の表面側に第1導電型層を有し、かつ、裏面側に第2導電型層を有する半導体基板の第1導電型層上に、反射防止膜が設けられた太陽電池用基板を用意し、
ガラスフリットを含有する導電性ペーストを用い、当該導電性ペーストを焼結させることにより、導体からなるワイヤによって構成された受光面電極を前記太陽電池用基板上に固着するとともに、当該受光面電極を前記半導体基板の第1導電型層に対して電気的に接続させる工程を有する結晶系太陽電池セルの製造方法。 - 請求項5において、前記受光面電極が、第1及び第2の受光面電極を備え、
前記反射防止膜上に前記導電性ペーストを塗布乾燥して第1の接続膜を形成する工程と、
前記第1の接続膜上に前記第1の受光面電極を配置する工程と、
前記第1の接続膜を焼結させる工程と、
前記第1の受光面電極上に前記導電性ペーストを塗布乾燥して第2の接続膜を形成する工程と、
前記第2の接続膜を焼結させる工程とを有する結晶系太陽電池セルの製造方法。 - 請求項5において、前記ワイヤに前記導電性ペーストを塗布乾燥して接続膜を形成した受光面電極を用意し、
前記受光面電極を前記太陽電池用基板上に配置する工程と、
前記受光面電極の接続膜を焼結させる工程とを有する結晶系太陽電池セルの製造方法。 - 前記導電性ペーストを塗布する工程が、ディスペンサ法又はインクジェット法によるものである請求項5乃至7のいずれか1項記載の結晶系太陽電池セルの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009137387A JP5380166B2 (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | 結晶系太陽電池セル及びその製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009137387A JP5380166B2 (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | 結晶系太陽電池セル及びその製造方法 |
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JP5380166B2 JP5380166B2 (ja) | 2014-01-08 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009137387A Active JP5380166B2 (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | 結晶系太陽電池セル及びその製造方法 |
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