JP2010283215A - Electronic device and method of manufacturing the same - Google Patents

Electronic device and method of manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2010283215A
JP2010283215A JP2009136302A JP2009136302A JP2010283215A JP 2010283215 A JP2010283215 A JP 2010283215A JP 2009136302 A JP2009136302 A JP 2009136302A JP 2009136302 A JP2009136302 A JP 2009136302A JP 2010283215 A JP2010283215 A JP 2010283215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solder
electronic device
polymer layer
electronic component
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2009136302A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ichiro Hirata
一郎 平田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2009136302A priority Critical patent/JP2010283215A/en
Publication of JP2010283215A publication Critical patent/JP2010283215A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic device with high connection reliability, and a method of manufacturing the electronic device. <P>SOLUTION: The electronic device 10 includes an electronic component 11, a substrate 12, solder 13, a first polymer layer 14, and a second polymer layer 15, wherein the electronic component 11 and substrate 12 are electrically connected to each other with the solder 13, the first polymer layer 14 is formed between the electronic component 11 and substrate 12 where the solder 13 is not present, and the second polymer layer 15 is formed in contact with a circumference of the electronic component 11 and the substrate 12 to surround at least part of a side face of the first polymer layer 14, the first polymer layer 14 having a lower elastic modulus than the second polymer layer 15. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子装置および電子装置を製造する方法に関する。   The present invention relates to an electronic device and a method for manufacturing the electronic device.

近年、電子装置の小型化・薄型化が急速に進んでおり、電子装置の基板に実装する電子部品の小型化・薄型化も必要となっている。電子装置における基板への電子部品の実装には、例えば、電子部品の周囲にリード線を配した「Quad Flat Package(QFP)」が、一般的に用いられている。しかし、このQFPでは、入出力端子数を増加させるためには、電子部品の外形寸法を大きくする必要がある。そこで、さらに高密度・小型化を実現するために、例えば、電子部品の底面にボール状の突起端子(例えば、はんだボールを含む端子等)を配した「Ball Grid Array(BGA)」構造を有する電子部品等が用いられている。   In recent years, electronic devices have been rapidly reduced in size and thickness, and it is also necessary to reduce the size and thickness of electronic components mounted on the substrate of the electronic device. For mounting electronic components on a board in an electronic device, for example, “Quad Flat Package (QFP)” in which lead wires are arranged around the electronic components is generally used. However, in this QFP, it is necessary to increase the external dimensions of the electronic component in order to increase the number of input / output terminals. Therefore, in order to realize further high density and downsizing, for example, it has a “Ball Grid Array (BGA)” structure in which ball-shaped protruding terminals (for example, terminals including solder balls) are arranged on the bottom surface of the electronic component. Electronic parts etc. are used.

電子装置の基板への電子部品の実装は、電子部品と基板とを、はんだにより電気的に接続するのが一般的である。前述のはんだとしては、例えば、Sn−Ag−Cu合金はんだ(融点:200℃以上)等の鉛フリーはんだがあげられる。この実装には、例えば、リフローと呼ばれる実装工程が使用される。この実装工程では、リフロー炉内を、はんだの融点より高い温度に加熱することで、はんだを溶融し、電子部品と基板とを接続する。リフロー後、リフロー炉内温度を下げて、はんだを凝固させる。   In mounting an electronic component on a substrate of an electronic device, the electronic component and the substrate are generally electrically connected by solder. Examples of the aforementioned solder include lead-free solder such as Sn—Ag—Cu alloy solder (melting point: 200 ° C. or higher). For this mounting, for example, a mounting process called reflow is used. In this mounting process, the interior of the reflow furnace is heated to a temperature higher than the melting point of the solder to melt the solder and connect the electronic component and the substrate. After reflow, the temperature in the reflow furnace is lowered to solidify the solder.

前述のBGA構造を有する電子部品を実装した電子装置では、例えば、使用環境における熱、衝撃、振動等が、はんだボールに直接加わってしまう。これによる悪影響(例えば、はんだボールのクラック発生等)を防止するため、電子部品と基板とのはんだによる接続部分のギャップ(隙間)に、例えば、エポキシ樹脂等のアンダーフィルと呼ばれる樹脂を充填し、熱硬化させて、はんだボールを補強する。このようにして、はんだボールのクラック発生を防止し、電子部品と基板との電気的接続の信頼性を確保するのが必須となっている。また、前述のように、電子部品の小型化・薄型化が進んでいるため、基板との接続部分の剛性が低下傾向にある。このため、電子部品と基板との間を、例えば、樹脂等により被覆して補強することも、前述と同様に、電子部品と基板との電気的接続の信頼性の確保に、必要となってきている。   In an electronic device in which an electronic component having the above-described BGA structure is mounted, for example, heat, impact, vibration, etc. in the usage environment are directly applied to the solder ball. In order to prevent adverse effects due to this (for example, cracking of solder balls, etc.), a gap called a gap between the electronic component and the substrate is filled with a resin called an underfill such as an epoxy resin, Heat cure to reinforce the solder balls. Thus, it is essential to prevent the solder ball from cracking and to ensure the reliability of the electrical connection between the electronic component and the substrate. In addition, as described above, since the electronic components are becoming smaller and thinner, the rigidity of the connection portion with the substrate tends to be lowered. For this reason, it is necessary to cover and reinforce between the electronic component and the substrate, for example, with a resin or the like in order to ensure the reliability of the electrical connection between the electronic component and the substrate, as described above. ing.

このような背景にあって、電子部品と基板との電気的接続の信頼性を高めるために、例えば、特許文献1に記載の電子装置が提案されている。
前記特許文献1に記載の電子装置では、低誘電率層が形成された半導体チップにおける前記低誘電率層の破壊防止を目的として、前記半導体チップ直下にアンダーフィル樹脂が形成され、前記半導体チップの外周に前記アンダーフィル樹脂より弾性率の低いアンダーフィル樹脂が形成されている(同文献の請求項1、図1参照)。
In such a background, in order to improve the reliability of the electrical connection between the electronic component and the substrate, for example, an electronic device described in Patent Document 1 has been proposed.
In the electronic device described in Patent Document 1, an underfill resin is formed immediately below the semiconductor chip for the purpose of preventing the breakdown of the low dielectric constant layer in the semiconductor chip on which the low dielectric constant layer is formed. An underfill resin having an elastic modulus lower than that of the underfill resin is formed on the outer periphery (see claim 1 of FIG. 1 and FIG. 1).

特開2008−277631号公報JP 2008-276731 A

近年、複数の電子部品をモジュール化してマザー基板に実装した電子装置が増えている。また、電子部品を3次元実装した電子装置も使用されるようになってきている。このような電子装置を製造する場合には、例えば、リフロー等による実装工程を、複数回実施することとなる。この場合、先の実装工程で接続に用いられたはんだは、つぎの実装工程において、融点以上の温度に加熱されると、再び溶融することとなる。溶融状態のはんだは、凝固状態と比較して、その体積が膨張する。例えば、前述のSn−Ag−Cu合金はんだの場合には、4%程度膨張する。アンダーフィル樹脂が、はんだ周辺に形成されている場合、はんだの膨張により、アンダーフィル樹脂に高い圧力が加わり、アンダーフィル樹脂にクラックが発生する可能性がある。前記クラックが発生すると、溶融状態のはんだが、前記クラックをつたって流出してしまう。この状態で、はんだが再度凝固すると、はんだ量が不足して、電子部品と基板との電気的接続が断線してしまう可能性がある。このように、アンダーフィル樹脂にクラックが発生する可能性があることは、電子装置の接続信頼性を著しく低下させてしまうおそれがある。   In recent years, an electronic device in which a plurality of electronic components are modularized and mounted on a mother board is increasing. In addition, electronic devices in which electronic components are three-dimensionally mounted have been used. When manufacturing such an electronic device, for example, a mounting process by reflow or the like is performed a plurality of times. In this case, the solder used for connection in the previous mounting process will be melted again when heated to a temperature equal to or higher than the melting point in the next mounting process. The molten solder expands in volume compared to the solidified state. For example, in the case of the above-mentioned Sn—Ag—Cu alloy solder, it expands by about 4%. When the underfill resin is formed around the solder, a high pressure is applied to the underfill resin due to the expansion of the solder, and the underfill resin may crack. When the crack occurs, the molten solder flows out through the crack. If the solder is solidified again in this state, the amount of solder may be insufficient, and the electrical connection between the electronic component and the board may be broken. As described above, the possibility of cracking in the underfill resin may significantly reduce the connection reliability of the electronic device.

前述のアンダーフィル樹脂のクラック発生を防止するには、例えば、弾性率の低いアンダーフィル樹脂を用いればよい。しかし、弾性率の低いアンダーフィル樹脂を用いると、はんだボール等のはんだの補強が充分でなくなる。すなわち、はんだの体積膨張に伴うアンダーフィル樹脂のクラック発生防止と、はんだの補強とは、トレードオフの関係にある。はんだの補強が充分でない場合には、はんだ部分の耐衝撃性が低下し、例えば、衝撃等の応力により、はんだにクラックが発生する可能性がある。このように、はんだにクラックが発生する可能性があることは、電子装置の接続信頼性を著しく低下させてしまうおそれがある。   In order to prevent the occurrence of cracks in the above-described underfill resin, for example, an underfill resin having a low elastic modulus may be used. However, when an underfill resin having a low elastic modulus is used, the reinforcement of solder such as solder balls is not sufficient. That is, the prevention of cracking of the underfill resin due to the volume expansion of the solder and the reinforcement of the solder are in a trade-off relationship. When the solder is not sufficiently reinforced, the impact resistance of the solder portion is lowered, and for example, cracks may occur in the solder due to stress such as impact. As described above, the possibility of cracks in the solder may significantly reduce the connection reliability of the electronic device.

本発明の目的は、接続信頼性が高い電子装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an electronic device with high connection reliability.

前記目的を達成するために、本発明の電子装置は、
電子部品と、基板と、はんだと、第1の高分子層と、第2の高分子層とを有し、
前記電子部品と前記基板とが、前記はんだにより電気的に接続され、
前記電子部品と前記基板との間の前記はんだが存在しない部分に、前記第1の高分子層が形成され、
前記第2の高分子層が、前記電子部品周囲および前記基板に接して、かつ前記第1の高分子層の側面の少なくとも一部を囲むように形成され、
前記第1の高分子層の弾性率が、前記第2の高分子層の弾性率より低いことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an electronic device of the present invention includes:
An electronic component, a substrate, solder, a first polymer layer, and a second polymer layer;
The electronic component and the substrate are electrically connected by the solder,
The first polymer layer is formed in a portion where the solder does not exist between the electronic component and the substrate,
The second polymer layer is formed so as to be in contact with the periphery of the electronic component and the substrate and surround at least a part of a side surface of the first polymer layer;
The elastic modulus of the first polymer layer is lower than the elastic modulus of the second polymer layer.

本発明によれば、接続信頼性が高い電子装置を提供することができる。   According to the present invention, an electronic device with high connection reliability can be provided.

(a)は、本発明の電子装置の実施形態1における一例の構成を示す平面図であり、(b)は、(a)に示す電子装置のI−I方向に見た断面図である。(A) is a top view which shows the structure of an example in Embodiment 1 of the electronic device of this invention, (b) is sectional drawing seen in the II direction of the electronic device shown to (a). 本発明の電子装置の実施形態1におけるその他の例を示す平面図である。It is a top view which shows the other example in Embodiment 1 of the electronic device of this invention. (a)は、本発明の電子装置の実施形態1におけるさらにその他の例の構成を示す平面図であり、(b)は、(a)に示す電子装置のII−II方向に見た断面図である。(A) is a top view which shows the structure of the other example in Embodiment 1 of the electronic device of this invention, (b) is sectional drawing seen in the II-II direction of the electronic device shown to (a). It is. (a)は、本発明の電子装置の実施形態1におけるさらにその他の例の構成を示す平面図であり、(b)は、(a)に示す電子装置のIII−III方向に見た断面図である。(A) is a top view which shows the structure of the other example in Embodiment 1 of the electronic device of this invention, (b) is sectional drawing seen in the III-III direction of the electronic device shown to (a). It is.

以下、本発明の電子装置および電子装置を製造する方法について、詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の実施形態に限定されない。   Hereinafter, the electronic device and the method of manufacturing the electronic device of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the following embodiments.

(実施形態1)
図1に、本実施形態の電子装置の一例の構成を示す。図1(a)は、本実施形態の電子装置の平面図であり、図1(b)は、図1(a)のI−I方向に見た断面図である。前記両図において、同一部分には、同一符号を付している。図1(a)および(b)に示すとおり、この電子装置10は、はんだボール13が形成されているBGA構造を有する電子部品11と、基板12と、第1の熱硬化性樹脂層14と、第2の熱硬化性樹脂層15とを有する。前記電子部品11と前記基板12とは、前記はんだボール13により電気的に接続されている。前記電子部品11と前記基板12との間の前記はんだボール13が存在しない部分のほぼ全域に、前記第1の熱硬化性樹脂層14が形成されている。前記電子部品11の下端側の側面全周と前記基板12に接して、かつ前記第1の熱硬化性樹脂層14の側面全周とに接するようにして、前記第2の熱硬化性樹脂層15が形成されている。本実施形態の電子装置10では、前記第1の熱硬化性樹脂層14の弾性率は、前記第2の熱硬化性樹脂層15の弾性率より低い。
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a configuration of an example of an electronic apparatus according to this embodiment. FIG. 1A is a plan view of the electronic device according to the present embodiment, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line II in FIG. 1A. In both the drawings, the same parts are denoted by the same reference numerals. As shown in FIGS. 1A and 1B, the electronic device 10 includes an electronic component 11 having a BGA structure on which solder balls 13 are formed, a substrate 12, a first thermosetting resin layer 14, and the like. And a second thermosetting resin layer 15. The electronic component 11 and the substrate 12 are electrically connected by the solder ball 13. The first thermosetting resin layer 14 is formed over almost the entire area where the solder balls 13 do not exist between the electronic component 11 and the substrate 12. The second thermosetting resin layer is in contact with the entire periphery of the side surface on the lower end side of the electronic component 11 and the entire periphery of the side surface of the first thermosetting resin layer 14. 15 is formed. In the electronic device 10 of this embodiment, the elastic modulus of the first thermosetting resin layer 14 is lower than the elastic modulus of the second thermosetting resin layer 15.

前述のとおり、例えば、リフロー等の実装工程を複数回実施した場合、または本実施形態の電子装置を使用する場合等において、前記はんだボールの融点以上の温度環境となった場合には、はんだが再度溶融される。本実施形態の電子装置では、前述のとおり、前記第1の熱硬化性樹脂層の弾性率は、前記第2の熱硬化性樹脂層の弾性率より低い。このため、この溶融によるはんだの体積膨張に伴う前記第1の熱硬化性樹脂層にクラックが発生するのを防止可能である。この結果、前記BGA構造を有する電子部品と前記基板との間の電気的接続が断線することがない。また、電子装置に落下衝撃等の応力が加わると、前記電子部品の曲げ剛性が変化してしまう。この曲げ剛性の変化によって、前記電子部品の外周付近で前記基板が局所的に曲がることにより、前記第1の熱硬化性樹脂層に強い引っ張り力が発生する。このような場合に、前記第1の熱硬化性樹脂層にクラックが発生する可能性がある。しかしながら、本実施形態の電子装置では、前記クラックの発生も防止可能である。   As described above, for example, when the mounting process such as reflow is performed a plurality of times, or when the electronic device of the present embodiment is used, when the temperature environment is higher than the melting point of the solder ball, the solder is It is melted again. In the electronic device of this embodiment, as described above, the elastic modulus of the first thermosetting resin layer is lower than the elastic modulus of the second thermosetting resin layer. For this reason, it is possible to prevent the first thermosetting resin layer from being cracked due to the volume expansion of the solder due to the melting. As a result, the electrical connection between the electronic component having the BGA structure and the substrate does not break. Further, when a stress such as a drop impact is applied to the electronic device, the bending rigidity of the electronic component changes. Due to this change in bending rigidity, the substrate is locally bent in the vicinity of the outer periphery of the electronic component, whereby a strong tensile force is generated in the first thermosetting resin layer. In such a case, cracks may occur in the first thermosetting resin layer. However, in the electronic device of this embodiment, the occurrence of the crack can be prevented.

また、本実施形態の電子装置では、前述のとおり、前記第2の熱硬化性樹脂層の弾性率が、前記第1の熱硬化性樹脂層の弾性率より高く、前述のように形成されている。このため、前記はんだボールを充分に補強可能であり、この結果、前記はんだボールにクラックが発生するのを防止可能である。これらの効果により、本実施形態の電子装置は、その接続信頼性が高い。なお、本実施形態の電子装置では、前記第2の熱硬化性樹脂層は、前記第1の熱硬化性樹脂層の側面全周と接するようにして形成されているが、本発明は、これに限定されない。落下等により前記電子部品の外周で発生する基板の局所変形を防止可能であれば、前記第2の熱硬化性樹脂層は、例えば、前記第1の熱硬化性樹脂層と接していない状態で形成されていてもよい。このようにするには、前記第2の熱硬化性樹脂層が、例えば、前記BGA構造を有する電子部品と前記基板とを強固に接続するように形成されていればよい。   In the electronic device of the present embodiment, as described above, the elastic modulus of the second thermosetting resin layer is higher than that of the first thermosetting resin layer, and is formed as described above. Yes. For this reason, it is possible to sufficiently reinforce the solder balls, and as a result, it is possible to prevent cracks from occurring in the solder balls. Due to these effects, the electronic device of this embodiment has high connection reliability. In the electronic device of the present embodiment, the second thermosetting resin layer is formed so as to be in contact with the entire side surface of the first thermosetting resin layer. It is not limited to. If it is possible to prevent local deformation of the substrate that occurs on the outer periphery of the electronic component due to dropping or the like, the second thermosetting resin layer is not in contact with the first thermosetting resin layer, for example. It may be formed. In order to do this, the second thermosetting resin layer may be formed so as to firmly connect the electronic component having the BGA structure and the substrate, for example.

本実施形態の電子装置では、前述のとおり、電子部品として、BGA構造を有する電子部品を用いているが、本発明は、これに限定されない。電子部品としては、BGA構造を有する電子部品のほか、例えば、QFP構造を有する電子部品等があげられる。なお、前記電子部品は、パッケージ化されていなくてもよい。   In the electronic device of this embodiment, as described above, an electronic component having a BGA structure is used as the electronic component, but the present invention is not limited to this. Examples of the electronic component include an electronic component having a BFP structure and an electronic component having a QFP structure, for example. The electronic component may not be packaged.

前記基板は、例えば、従来公知のものが使用可能である。前記基板としては、例えば、有機基板、無機基板等があげられる。前記有機基板としては、例えば、ガラス繊維にエポキシ樹脂を含侵させたガラスエポキシ基板、液晶ポリマー基板、テフロン(登録商標)基板等があげられる。前記無機基板としては、例えば、ガラスセラミック基板等があげられる。これらの基板は、単体で用いてもよいし、例えば、AlやCu等の金属板等と一体化したメタルベース基板等として用いてもよい。   As the substrate, for example, a conventionally known substrate can be used. Examples of the substrate include an organic substrate and an inorganic substrate. Examples of the organic substrate include a glass epoxy substrate in which an epoxy resin is impregnated into a glass fiber, a liquid crystal polymer substrate, a Teflon (registered trademark) substrate, and the like. Examples of the inorganic substrate include a glass ceramic substrate. These substrates may be used alone or, for example, as a metal base substrate integrated with a metal plate such as Al or Cu.

本実施形態の電子装置では、前述のとおり、はんだとして、BGA構造を有する電子部品に形成されているはんだボールを用いているが、本発明は、これに限定されない。はんだとしては、従来公知のはんだを使用可能である。なお、本発明において、「はんだ」とは、低融点のろう付け用合金を意味する。前記融点は、特に制限されないが、例えば、450℃以下である。前記はんだとしては、例えば、鉛フリーはんだがあげられる。前記鉛フリーはんだとしては、例えば、Sn−Ag−Cu合金はんだ(融点:200℃以上)等の高融点はんだ;Sn−52In(融点117℃)、In−3Ag(融点141℃)等の低融点はんだがあげられる。前記はんだとして、例えば、前記低融点はんだを用いた場合において、本実施形態の電子装置が、例えば、前記低融点はんだの融点以上の温度で使用(例えば、自動車等のエンジンルーム付近(120℃程度)で使用)される場合には、低融点はんだは、使用時に溶融した状態となるが、このような場合であっても、本実施形態の電子装置は、前述の効果により、高い接続信頼性を確保できる。なお、このような場合には、使用時において、はんだが液相状態にあるため、はんだにクラックが発生しないという効果も得られる。   In the electronic device according to the present embodiment, as described above, the solder balls formed on the electronic component having the BGA structure are used as the solder, but the present invention is not limited to this. Conventionally known solder can be used as the solder. In the present invention, “solder” means a low melting point brazing alloy. The melting point is not particularly limited, but is, for example, 450 ° C. or lower. Examples of the solder include lead-free solder. Examples of the lead-free solder include high melting point solder such as Sn—Ag—Cu alloy solder (melting point: 200 ° C. or higher); low melting point such as Sn-52In (melting point: 117 ° C.), In-3Ag (melting point: 141 ° C.) For example, solder. For example, when the low-melting-point solder is used as the solder, the electronic device of the present embodiment is used at a temperature equal to or higher than the melting point of the low-melting-point solder (for example, in the vicinity of an engine room of an automobile or the like (about 120 ° C. ), The low-melting-point solder is in a molten state at the time of use. Even in such a case, the electronic device of this embodiment has high connection reliability due to the above-described effects. Can be secured. In such a case, since the solder is in a liquid phase at the time of use, an effect that the crack does not occur in the solder is also obtained.

本実施形態の電子装置では、前述のとおり、第1の高分子層として、第1の熱硬化性樹脂層を用いているが、本発明は、これに限定されない。第1の高分子層は、前記第2の高分子層より、その弾性率が低ければよい。また、前記第1の高分子層は、リフロー等の実装工程が複数回実施された場合、または本実施形態の電子装置を使用する場合において、前記はんだボールの融点以上の温度環境となった場合でも、前記はんだの流出を防止可能なものであることが好ましい。前記第1の高分子層の形成材料としては、例えば、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、ゴム等があげられる。前記熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等があげられる。前記第1の高分子層の形成材料は、一種類を単独で用いてもよいし、二種類以上を組合せて用いてもよい。   In the electronic device of this embodiment, as described above, the first thermosetting resin layer is used as the first polymer layer, but the present invention is not limited to this. The first polymer layer only needs to have a lower elastic modulus than the second polymer layer. In addition, when the mounting process such as reflow is performed a plurality of times, or when the electronic device of the present embodiment is used, the first polymer layer becomes a temperature environment equal to or higher than the melting point of the solder ball. However, it is preferable that the solder can be prevented from flowing out. Examples of the material for forming the first polymer layer include a thermosetting resin, a photocurable resin, a thermoplastic resin, and rubber. Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin and a polyimide resin. As the material for forming the first polymer layer, one kind may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

前記第1の熱硬化性樹脂層の弾性率は、例えば、0.001〜10GPaの範囲である。前記第1の熱硬化性樹脂層の弾性率は、例えば、JIS K 6911に準じて求めることができる。   The elastic modulus of the first thermosetting resin layer is, for example, in the range of 0.001 to 10 GPa. The elastic modulus of the first thermosetting resin layer can be determined according to JIS K 6911, for example.

本実施形態の電子装置では、前述のとおり、第2の高分子層として、第2の熱硬化性樹脂層を用いているが、本発明は、これに限定されない。第2の高分子層は、前記第1の高分子層の弾性率より、その弾性率が高ければよい。この点を除いて、前記第2の高分子層の形成材料は、前記第1の高分子層の形成材料と同様のものがあげられる。   In the electronic device of this embodiment, as described above, the second thermosetting resin layer is used as the second polymer layer, but the present invention is not limited to this. The second polymer layer only needs to have a higher elastic modulus than that of the first polymer layer. Except for this point, the material for forming the second polymer layer may be the same as the material for forming the first polymer layer.

前記第2の熱硬化性樹脂層の弾性率は、例えば、10GPaを超え40GPa以下の範囲である。前記第2の熱硬化性樹脂層の弾性率は、例えば、JIS K 6911に準じて求めることができる。前記第1の熱硬化性樹脂層と前記第2の熱硬化性樹脂層との組み合わせとしては、例えば、前記第1の熱硬化性樹脂層の形成材料を低弾性のポリイミド樹脂とし、前記第2の熱硬化性樹脂層の形成材料を、高弾性のエポキシ樹脂とする組み合わせがあげられる。   The elastic modulus of the second thermosetting resin layer is, for example, in the range of more than 10 GPa and 40 GPa or less. The elastic modulus of the second thermosetting resin layer can be determined according to JIS K 6911, for example. As a combination of the first thermosetting resin layer and the second thermosetting resin layer, for example, a material for forming the first thermosetting resin layer is a low-elasticity polyimide resin, and the second thermosetting resin layer is used. A combination of the material for forming the thermosetting resin layer is a highly elastic epoxy resin.

つぎに、本実施形態の電子装置を製造する方法を説明する。本実施形態の電子装置を製造する方法は、はんだ接続工程と、第1の熱硬化性樹脂層形成工程と、第2の熱硬化性樹脂層形成工程とを含む。本実施形態の電子装置を製造する方法では、第1の高分子層形成工程および前記第2の高分子層形成工程を、それぞれ、前記第1の熱硬化性樹脂層形成工程および前記第2の熱硬化性樹脂層形成工程としている。   Next, a method for manufacturing the electronic device of this embodiment will be described. The method for manufacturing the electronic device of the present embodiment includes a solder connection step, a first thermosetting resin layer forming step, and a second thermosetting resin layer forming step. In the method for manufacturing the electronic device of the present embodiment, the first polymer layer forming step and the second polymer layer forming step are respectively performed as the first thermosetting resin layer forming step and the second polymer layer forming step. The thermosetting resin layer forming step is used.

〔はんだ接続工程〕
まず、はんだボールが形成されたBGA構造を有する電子部品を、クリームはんだを塗布した基板の所定の位置に搭載する。この状態で、前記はんだボールの溶融温度以上の温度条件とすることで、前記はんだボールを溶融する。その後、温度を下げることで、前記はんだを凝固させる。このようにして、前記電子部品と前記基板とを、はんだを用いて電気的に接続する。本工程は、例えば、リフロー等の従来公知の実装工程により実施可能である。
[Solder connection process]
First, an electronic component having a BGA structure on which solder balls are formed is mounted on a predetermined position of a substrate coated with cream solder. In this state, the solder ball is melted by setting the temperature condition to be equal to or higher than the melting temperature of the solder ball. Thereafter, the solder is solidified by lowering the temperature. In this way, the electronic component and the substrate are electrically connected using solder. This step can be performed by a conventionally known mounting step such as reflow, for example.

〔第1の熱硬化性樹脂層形成工程〕
つぎに、前記電子部品と前記基板との間の前記はんだが存在しない部分のほぼ全域に、第1の熱硬化性樹脂層を形成する材料を充填する。前記第1の熱硬化性樹脂層を形成する材料は、前述のとおりである。この状態で、この材料が、熱硬化する温度まで昇温することにより、第1の熱硬化性樹脂層を形成する。前記第1の熱硬化性樹脂層の形成材料としては、その硬化温度が、例えば、前記はんだの溶融温度以下である材料を選択する。前記第1の熱硬化性樹脂層の弾性率は、前述のとおりである。前記第1の熱硬化性樹脂層を形成した後であれば、前述のように、再度はんだが溶融されても、溶融状態のはんだを保持可能である。
[First thermosetting resin layer forming step]
Next, a material for forming the first thermosetting resin layer is filled in almost the entire region where the solder does not exist between the electronic component and the substrate. The material for forming the first thermosetting resin layer is as described above. In this state, the first thermosetting resin layer is formed by raising the temperature of the material to a temperature for thermosetting. As a material for forming the first thermosetting resin layer, a material whose curing temperature is, for example, equal to or lower than the melting temperature of the solder is selected. The elastic modulus of the first thermosetting resin layer is as described above. After the first thermosetting resin layer is formed, the molten solder can be held even if the solder is melted again as described above.

〔第2の熱硬化性樹脂層形成工程〕
つぎに、第2の熱硬化性樹脂層を形成する材料を、第2の熱硬化性樹脂層が前記電子部品と前記基板とに接した状態で形成されるように、前記電子部品の外側面の全周にわたって塗布する。この状態で、この材料が、熱硬化する温度まで昇温することにより、第2の熱硬化性樹脂層を形成する。前記第2の熱硬化性樹脂層の形成材料は、任意の硬化温度のものを使用可能である。前記第2の熱硬化性樹脂層の弾性率は、前述のとおりである。このようにして、本実施形態の電子装置を製造可能である。ただし、本実施形態の電子装置を製造する方法は、この例に限定されない。なお、3次元実装を実施する場合には、例えば、本実施形態の電子装置を製造する方法を、繰り返し実施すればよい。このようにすることで、再度溶融されたはんだの体積膨張に伴い、第1の熱硬化性樹脂層にクラックが発生するのを防止可能である。
[Second thermosetting resin layer forming step]
Next, a material for forming the second thermosetting resin layer is formed such that the second thermosetting resin layer is formed in a state where the second thermosetting resin layer is in contact with the electronic component and the substrate. Apply over the entire circumference. In this state, the second thermosetting resin layer is formed by raising the temperature of the material to a temperature at which it is thermoset. As the material for forming the second thermosetting resin layer, one having an arbitrary curing temperature can be used. The elastic modulus of the second thermosetting resin layer is as described above. In this way, the electronic device of this embodiment can be manufactured. However, the method for manufacturing the electronic device of the present embodiment is not limited to this example. In the case of implementing the three-dimensional mounting, for example, the method for manufacturing the electronic device of the present embodiment may be repeated. By doing in this way, it can prevent that a crack generate | occur | produces in the 1st thermosetting resin layer with the volume expansion of the solder fuse | melted again.

本実施形態の電子装置では、例えば、第2の熱硬化性樹脂層が電子部品の一部に接して形成されていてもよい。図2に、この電子装置の一例の構成を示す。同図において、図1と同一部分には同一符号を付している。図2に示すとおり、この電子装置20は、電子部品11の4つの角部付近に、第2の熱硬化性樹脂層25が形成されている。これら以外の構成は、前述の電子装置10と同様である。このような形態であっても、落下等により前記電子部品の外周で発生する基板の局所変形を防止可能である。このため、この電子装置20は、前述の電子装置10と同様の効果を奏することが可能である。   In the electronic device of this embodiment, for example, the second thermosetting resin layer may be formed in contact with a part of the electronic component. FIG. 2 shows a configuration of an example of this electronic device. In this figure, the same parts as those in FIG. As shown in FIG. 2, in the electronic device 20, the second thermosetting resin layer 25 is formed in the vicinity of the four corners of the electronic component 11. Other configurations are the same as those of the electronic device 10 described above. Even in such a form, it is possible to prevent local deformation of the substrate that occurs on the outer periphery of the electronic component due to dropping or the like. For this reason, the electronic device 20 can achieve the same effects as the electronic device 10 described above.

本実施形態の電子装置では、例えば、第2の熱硬化性樹脂層が電子部品全体を覆うように形成されていてもよい。図3に、この電子装置の一例の構成を示す。図3(a)は、この電子装置の平面図であり、図3(b)は、図3(a)のII−II方向に見た断面図である。前記両図において、図1と同一部分には、同一符号を付している。図3(a)および(b)に示すとおり、この電子装置30は、電子部品11全体を覆うようにして、第2の熱硬化性樹脂層35が形成されている。これら以外の構成は、前述の電子装置10と同様である。このような形態であれば、耐衝撃性をさらに向上可能である。このため、この電子装置30は、前述の電子装置10と同様の効果を奏することが可能である。   In the electronic device of this embodiment, for example, the second thermosetting resin layer may be formed so as to cover the entire electronic component. FIG. 3 shows an example of the configuration of this electronic device. FIG. 3A is a plan view of the electronic device, and FIG. 3B is a cross-sectional view as viewed in the II-II direction of FIG. In both the drawings, the same parts as those in FIG. As shown in FIGS. 3A and 3B, in the electronic device 30, the second thermosetting resin layer 35 is formed so as to cover the entire electronic component 11. Other configurations are the same as those of the electronic device 10 described above. With such a configuration, the impact resistance can be further improved. For this reason, the electronic device 30 can achieve the same effect as the electronic device 10 described above.

本実施形態の電子装置では、例えば、第2の熱硬化性樹脂層が、複数の層からなる積層体であってもよい。図4に、この電子装置の一例の構成を示す。図4(a)は、この電子装置の平面図であり、図4(b)は、図4(a)のIII−III方向に見た断面図である。前記両図において、図1と同一部分には、同一符号を付している。図4(a)および(b)に示すとおり、この電子装置40では、第2の熱硬化性樹脂層45は、第2−1の熱硬化性樹脂層45aと、第2−2の熱硬化性樹脂層45bと、第2−3の熱硬化性樹脂層45cとが、前記順序で電子部品11と接する側から基板12の外側に向かって積層された積層体である。前記第2−1の熱硬化性樹脂層45aの弾性率は、前記第2−2の熱硬化性樹脂層45bの弾性率より低い。前記第2−2の熱硬化性樹脂層45bの弾性率は、前記第2−3の熱硬化性樹脂層45cの弾性率より低い。これら以外の構成は、前述の電子装置10と同様である。このような形態であれば、前述の電子装置10と同様の効果が奏されるのに加えて、第2の熱硬化性樹脂層として、より弾性率の高い層を形成可能であり、かつ前記第1の熱硬化性樹脂層と接する部分での、弾性率の差を小さくすることが可能である。   In the electronic device of the present embodiment, for example, the second thermosetting resin layer may be a laminated body including a plurality of layers. FIG. 4 shows an example of the configuration of this electronic device. FIG. 4A is a plan view of the electronic device, and FIG. 4B is a cross-sectional view as viewed in the III-III direction of FIG. In both the drawings, the same parts as those in FIG. As shown in FIGS. 4A and 4B, in the electronic device 40, the second thermosetting resin layer 45 includes a 2-1 thermosetting resin layer 45a and a 2-2 thermosetting. The laminated resin layer 45b and the second and third thermosetting resin layers 45c are laminated in this order from the side in contact with the electronic component 11 toward the outside of the substrate 12. The elastic modulus of the 2-1 thermosetting resin layer 45a is lower than the elastic modulus of the 2-2 thermosetting resin layer 45b. The elastic modulus of the 2-2 thermosetting resin layer 45b is lower than the elastic modulus of the 2-3 thermosetting resin layer 45c. Other configurations are the same as those of the electronic device 10 described above. In such a form, in addition to the same effect as the electronic device 10 described above, a layer having a higher elastic modulus can be formed as the second thermosetting resin layer, and It is possible to reduce the difference in elastic modulus at the portion in contact with the first thermosetting resin layer.

前述のとおり、本発明の電子装置は、接続信頼性が高い。従って、本発明の電子装置の用途としては、例えば、エンジン制御ユニットとしてBGA構造を有する電子部品の使用が検討されている用途等があげられる。ただし、その用途は限定されず、広い分野に適用可能である。   As described above, the electronic device of the present invention has high connection reliability. Therefore, as an application of the electronic device of the present invention, for example, an application in which the use of an electronic component having a BGA structure as an engine control unit is being considered can be cited. However, its use is not limited and can be applied to a wide range of fields.

つぎに、本発明の実施例について説明する。なお、本発明は、下記の実施例によってなんら限定ないし制限されない。   Next, examples of the present invention will be described. The present invention is not limited or restricted by the following examples.

[実施例1]
図1に示す電子装置10を作製した。以下に、実施例1で用いた電子装置の構成について説明する。
[Example 1]
The electronic device 10 shown in FIG. 1 was produced. The configuration of the electronic device used in Example 1 will be described below.

〔電子装置の作製〕
1.はんだ接続工程
まず、BGA構造を有する電子部品(NECエレクトロニクス(株)製、ファインピッチBGA)を、電子部品11とした。この電子部品11では、はんだボール13は、ピッチサイズ:0.5mm、はんだ径:0.3mm、高さ:0.25mmである。このはんだボール13の材料は、Sn−3.0Ag−0.5Cu鉛フリーはんだ(融点:220℃、体積膨張率:約4%)である。クリームはんだが塗布された基板((株)トッパンNECサーキットソリューションズ製、ビルドアップ・プリント配線板)を、基板12とした。この基板12の所定の位置に、前記電子部品11を搭載し、リフロー炉に導入した。この状態で、炉内をはんだ溶融温度よりも高い温度(220℃以上)にして、前記はんだボール13を溶融し、その後、室温まで冷却した。このようにして、前記電子部品11と前記基板12とを、はんだボール13を用いて電気的に接続した。
[Production of electronic devices]
1. First, an electronic component having a BGA structure (manufactured by NEC Electronics Co., Ltd., fine pitch BGA) was used as the electronic component 11. In this electronic component 11, the solder balls 13 have a pitch size: 0.5 mm, a solder diameter: 0.3 mm, and a height: 0.25 mm. The material of the solder ball 13 is Sn-3.0Ag-0.5Cu lead-free solder (melting point: 220 ° C., volume expansion coefficient: about 4%). A substrate coated with cream solder (made by Toppan NEC Circuit Solutions, a build-up printed wiring board) was used as the substrate 12. The electronic component 11 was mounted on a predetermined position of the substrate 12 and introduced into a reflow furnace. In this state, the furnace was heated to a temperature higher than the solder melting temperature (220 ° C. or higher) to melt the solder ball 13 and then cooled to room temperature. In this way, the electronic component 11 and the substrate 12 were electrically connected using the solder balls 13.

2.第1の熱硬化性樹脂層形成工程
つぎに、前記電子部品11と前記基板12との間(高さ:約0.25mm)の前記はんだ13が存在しない部分のほぼ全域に、第1の熱硬化性樹脂層14を形成する材料を充填した。この状態で、85℃まで加熱して、この材料を硬化させた。このようにして、第1の熱硬化性樹脂層14を形成した。この材料として、アンダーフィル材(ナミックス(株)製、商品名「アンダーフィルU8443」)を用いた。このアンダーフィル材の弾性率は、6.5GPaである。このアンダーフィル材は、低粘度であるため、前記電子部品11と前記基板12との間の高さが、0.25mmと非常に狭い場合であっても充填可能である。
2. First Thermosetting Resin Layer Formation Step Next, a first heat is applied to almost the entire area where the solder 13 does not exist between the electronic component 11 and the substrate 12 (height: about 0.25 mm). The material for forming the curable resin layer 14 was filled. In this state, the material was cured by heating to 85 ° C. Thus, the 1st thermosetting resin layer 14 was formed. As this material, an underfill material (product name “Underfill U8443” manufactured by NAMICS Co., Ltd.) was used. The elastic modulus of this underfill material is 6.5 GPa. Since this underfill material has a low viscosity, it can be filled even when the height between the electronic component 11 and the substrate 12 is as narrow as 0.25 mm.

3.第2の熱硬化性樹脂層形成工程
つぎに、前記電子部品11の外側面の全周にわたって、第2の熱硬化性樹脂層15を形成する材料を塗布した。この状態で、90℃まで加熱することにより、この材料を硬化させた。このようにして、第2の熱硬化性樹脂層15を形成した。この材料としては、アンダーフィル材(ナミックス(株)製、商品名「アンダーフィルU8449」)を用いた。このアンダーフィル材の弾性率は、14.0GPaである。このようにして、第2の熱硬化性樹脂層15を形成し、本実施例の電子装置10を作製した。
3. Second Thermosetting Resin Layer Forming Step Next, a material for forming the second thermosetting resin layer 15 was applied over the entire outer surface of the electronic component 11. In this state, the material was cured by heating to 90 ° C. In this way, a second thermosetting resin layer 15 was formed. As this material, an underfill material (trade name “Underfill U8449” manufactured by Namics Co., Ltd.) was used. The elastic modulus of this underfill material is 14.0 GPa. Thus, the 2nd thermosetting resin layer 15 was formed and the electronic apparatus 10 of a present Example was produced.

〔実施例2〕
はんだボール13の材料として、Sn−In鉛フリーはんだ(融点:117℃)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、本実施例の電子装置10を作製した。
[Example 2]
An electronic device 10 of this example was fabricated in the same manner as in Example 1 except that Sn—In lead-free solder (melting point: 117 ° C.) was used as the material of the solder ball 13.

10、20、30、40 電子装置
11 BGA構造を有する電子部品(電子部品)
12 基板
13 はんだボール(はんだ)
14 第1の熱硬化性樹脂層(第1の高分子層)
15、25、35、45 第2の熱硬化性樹脂層(第2の高分子層)
45a 第2−1の熱硬化性樹脂層
45b 第2−2の熱硬化性樹脂層
45c 第2−3の熱硬化性樹脂層
10, 20, 30, 40 Electronic device 11 Electronic component having BGA structure (electronic component)
12 Substrate 13 Solder ball (solder)
14 1st thermosetting resin layer (1st polymer layer)
15, 25, 35, 45 Second thermosetting resin layer (second polymer layer)
45a 2-1 thermosetting resin layer 45b 2-2 thermosetting resin layer 45c 2-3 thermosetting resin layer

Claims (6)

電子部品と、基板と、はんだと、第1の高分子層と、第2の高分子層とを有し、
前記電子部品と前記基板とが、前記はんだにより電気的に接続され、
前記電子部品と前記基板との間の前記はんだが存在しない部分に、前記第1の高分子層が形成され、
前記第2の高分子層が、前記電子部品周囲および前記基板に接して、かつ前記第1の高分子層の側面の少なくとも一部を囲むように形成され、
前記第1の高分子層の弾性率が、前記第2の高分子層の弾性率より低いことを特徴とする電子装置。
An electronic component, a substrate, solder, a first polymer layer, and a second polymer layer;
The electronic component and the substrate are electrically connected by the solder,
The first polymer layer is formed in a portion where the solder does not exist between the electronic component and the substrate,
The second polymer layer is formed so as to be in contact with the periphery of the electronic component and the substrate and surround at least a part of a side surface of the first polymer layer;
An electronic device, wherein an elastic modulus of the first polymer layer is lower than an elastic modulus of the second polymer layer.
前記1の高分子層の弾性率が、0.001〜10GPaの範囲であり、
前記2の高分子層の弾性率が、10GPaを超え40GPa以下の範囲であることを特徴とする請求項1記載の電子装置。
The elastic modulus of the one polymer layer is in the range of 0.001 to 10 GPa,
The electronic device according to claim 1, wherein the elastic modulus of the second polymer layer is in a range of more than 10 GPa and not more than 40 GPa.
前記第1の高分子層および前記第2の高分子層が、熱硬化性樹脂層であることを特徴とする請求項1または2記載の電子装置。   3. The electronic device according to claim 1, wherein the first polymer layer and the second polymer layer are thermosetting resin layers. 前記はんだが、鉛フリーはんだであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電子装置。   The electronic device according to claim 1, wherein the solder is lead-free solder. 前記はんだが、はんだボールを含み、
前記電子部品が、前記はんだボールを含むBGA構造を有する電子部品であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電子装置。
The solder includes solder balls;
5. The electronic device according to claim 1, wherein the electronic component is an electronic component having a BGA structure including the solder balls. 6.
前記電子部品を、前記基板に前記はんだを用いて電気的に接続するはんだ接続工程と、
前記電子部品と前記基板との間の前記はんだが存在しない部分に、前記第1の高分子層を形成する第1の高分子層形成工程と、
前記電子部品周囲および前記基板に接するように、かつ前記第1の高分子層の側面の少なくとも一部を囲むように前記第2の高分子層を形成する第2の高分子層形成工程とを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電子装置を製造する方法。
A solder connection step of electrically connecting the electronic component to the substrate using the solder;
A first polymer layer forming step of forming the first polymer layer in a portion where the solder is not present between the electronic component and the substrate;
A second polymer layer forming step of forming the second polymer layer so as to contact the periphery of the electronic component and the substrate and surround at least a part of the side surface of the first polymer layer; A method for manufacturing an electronic device according to any one of claims 1 to 5, further comprising:
JP2009136302A 2009-06-05 2009-06-05 Electronic device and method of manufacturing the same Withdrawn JP2010283215A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009136302A JP2010283215A (en) 2009-06-05 2009-06-05 Electronic device and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009136302A JP2010283215A (en) 2009-06-05 2009-06-05 Electronic device and method of manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010283215A true JP2010283215A (en) 2010-12-16

Family

ID=43539691

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009136302A Withdrawn JP2010283215A (en) 2009-06-05 2009-06-05 Electronic device and method of manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010283215A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011119381A (en) * 2009-12-02 2011-06-16 Nec Corp Structure and method for mounting semiconductor device
EP2466798A1 (en) 2010-12-20 2012-06-20 Yokogawa Electric Corporation Monitoring management apparatus, monitoring management method, and device storing monitoring management program
JPWO2012096277A1 (en) * 2011-01-12 2014-06-09 株式会社村田製作所 Resin-sealed module
JP2014148586A (en) * 2013-01-31 2014-08-21 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition for sealing, electronic device, automobile, and method for manufacturing electronic device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011119381A (en) * 2009-12-02 2011-06-16 Nec Corp Structure and method for mounting semiconductor device
EP2466798A1 (en) 2010-12-20 2012-06-20 Yokogawa Electric Corporation Monitoring management apparatus, monitoring management method, and device storing monitoring management program
JPWO2012096277A1 (en) * 2011-01-12 2014-06-09 株式会社村田製作所 Resin-sealed module
JP5892388B2 (en) * 2011-01-12 2016-03-23 株式会社村田製作所 Resin-sealed module
US9583409B2 (en) 2011-01-12 2017-02-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Resin sealed module
JP2014148586A (en) * 2013-01-31 2014-08-21 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition for sealing, electronic device, automobile, and method for manufacturing electronic device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4390541B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP5436557B2 (en) Electronic module and manufacturing method thereof
JP2008226946A (en) Semiconductor device and its manufacturing method
US20060272150A1 (en) Module and method for fabricating the same
JP2011222986A (en) Method of manufacturing semiconductor device
JP2013058606A (en) Manufacturing method of semiconductor device
US7928559B2 (en) Semiconductor device, electronic component module, and method for manufacturing semiconductor device
JP2010283215A (en) Electronic device and method of manufacturing the same
JP2009049218A (en) Semiconductor device, and manufacturing method of semiconductor device
KR102561718B1 (en) Integrated circuit packaging system with interposer support structure mechanism and method of manufacture thereof
US9760132B2 (en) Stiffening electronic packages by disposing a stiffener ring between substrate center area and conductive pad
JP2018137276A (en) Printed circuit board and manufacturing method thereof, and electronic device
JP5556808B2 (en) Electronic device, substrate, and method of manufacturing electronic device
US10439586B2 (en) Electronic module having a filler in a sealing resin
TWI461125B (en) Assembly structure and assembly method
JP4979542B2 (en) Mounting structure and manufacturing method thereof
JP5115144B2 (en) Electronic equipment
US10833050B1 (en) Interposer, electronic substrate, and method for producing electronic substrate
JP2013004648A (en) Manufacturing method of semiconductor package
JP2010267792A (en) Semiconductor device and manufacturing method therefor
JP7089453B2 (en) Wiring board and its manufacturing method
US20050029658A1 (en) Circuit board and semiconductor device using the same
JP2010283216A (en) Electronic device and method of manufacturing the same
JP2007048987A (en) Flip chip packaging method
JP5934057B2 (en) Printed circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20120807