JP2010274245A - Washing apparatus, drying apparatus, and washing system - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a washing apparatus, a drying apparatus, and a washing system which an efficiently suppress washing unevenness and drying unevenness even having compact configurations. <P>SOLUTION: When a valve V1 is opened after apertures 11 and 12 are shut with a shutter 13, hot water supplied from a liquid supply source WP is continuously sprayed to a component W (herein, an object to be washed) fixed in a chuck 20 through fine holes 31e and 31f as well as fine holes 31g and 31h. Alternatively, a valve V2 is periodically opened or closed to intermittently spray air supplied from an air pressure source AP through fine holes 31i and 31j as well as fine holes 31k and 31m. Consequently, the surface of the component W is washed in a state that air and hot water are mixed, so that a high washing effect can be obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は,加工した部品等の洗浄に好適な洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムに関する。   The present invention relates to a cleaning device, a drying device, and a cleaning system suitable for cleaning processed parts and the like.

旋盤等を用いて部品を機械加工すると、加工された部品には切り粉や切削油などの異物が付着するので、通常は組み付け前に部品を洗浄する工程が必要になる。これに対し特許文献1には、ノズルからエアと洗浄液を吹き付けてワークを洗浄する装置が開示されている。   When a part is machined using a lathe or the like, foreign matters such as swarf and cutting oil adhere to the processed part. Therefore, a process for washing the part is usually required before assembly. On the other hand, Patent Document 1 discloses an apparatus for cleaning a workpiece by spraying air and a cleaning liquid from a nozzle.

特開2008−253960号公報JP 2008-253960 A

しかるに、特許文献1の装置によれば、回転するワークの外周に対して、固定されたノズルからエアと洗浄液とを吹き付けるために、エアと洗浄液とは厳密にワークの半径方向に当たらず、回転方向によって部分的に洗浄ムラが生じる恐れがある。同様に、ワークの乾燥は、回転するワークの外周に対して、固定されたノズルからエアを吹き付けるために、エアが厳密にワークの半径方向に当たらず、回転方向によって部分的に乾燥ムラが生じる恐れがある。又、ワークを回転させる構成であるため、比較的大型の装置が必要になり、また回転するワークから遠心力で洗浄液が飛散し易いため、チャンバーの密封を確実に行う必要もある。   However, according to the apparatus of Patent Document 1, in order to blow air and cleaning liquid from the fixed nozzle against the outer periphery of the rotating work, the air and the cleaning liquid do not exactly hit the radial direction of the work and rotate. Depending on the direction, there may be partial cleaning unevenness. Similarly, in the drying of the workpiece, air is blown from the fixed nozzle to the outer periphery of the rotating workpiece, so that the air does not strictly hit the workpiece in the radial direction, and uneven drying occurs partially depending on the rotation direction. There is a fear. In addition, since the workpiece is rotated, a relatively large apparatus is required, and the cleaning liquid is likely to be scattered from the rotating workpiece by centrifugal force, so that the chamber needs to be securely sealed.

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり,コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a cleaning device, a drying device, and a cleaning system that can effectively suppress cleaning unevenness and drying unevenness while having a compact configuration.

請求項1に記載の洗浄装置は、
洗浄物を内側に配置可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を備えた洗浄装置であって、
前記本体部の内側に洗浄物を配置(相対移動させる場合を含む)した状態で、少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする。
The cleaning device according to claim 1 comprises:
An annular main body having an inner diameter capable of arranging the cleaning object inside;
A plurality of liquid passages that are arranged side by side in the circumferential direction on the inner periphery of the main body and are connected to an external liquid supply source;
A plurality of gas passages arranged in the circumferential direction on the inner periphery of the main body portion and connected to an external gas supply source,
Liquid is ejected from the opening of the liquid passage at least inward in the direction orthogonal to the axis of the main body in a state where the cleaning object is disposed inside the main body (including the case of relative movement), and the gas Gas is ejected from the opening of the passage.

本発明によれば、前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を有するので、洗浄物を回転させずとも、洗浄物の外周全体を有効に洗浄できる。又、洗浄物の外周に当たって跳ね返った液体は、対向した位置にある前記本体部の内周に当たるので、それにより外部への飛散が抑制されると共に、前記本体部の内周で跳ね返った液体が、再度洗浄物に当たり、洗浄効果が増大されるというメリットも期待できる。尚、「少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって」とは、本体部の軸線直交方向内方に向かう成分を有すれば良く、必ずしも軸線に直交させる必要はない。   According to the present invention, the plurality of liquid passages connected to the external liquid supply source are arranged in the circumferential direction on the inner circumference of the main body, and the circumferential direction is opened on the inner circumference of the main body. Therefore, the entire outer periphery of the cleaning object can be effectively cleaned without rotating the cleaning object. In addition, the liquid that bounces off the outer periphery of the cleaning object hits the inner periphery of the main body at the opposite position, thereby suppressing splashing to the outside, and the liquid rebounding on the inner periphery of the main body is A merit that the cleaning effect is increased by hitting the object again can be expected. Note that “at least inward in the direction perpendicular to the axis of the main body” may have a component that goes inward in the direction perpendicular to the axis of the main body, and is not necessarily perpendicular to the axis.

請求項2に記載の洗浄装置は、前記本体部の軸線に対して傾いた方向に、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。   The cleaning apparatus according to claim 2, wherein liquid is ejected from the opening of the liquid passage and gas is ejected from the opening of the gas passage in a direction inclined with respect to the axis of the main body. To do. Thereby, the cleaning object can be cleaned more effectively.

請求項3に記載の洗浄装置は、前記液体通路が2組設けられ、一方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向は、他方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向と異なっており、
前記気体通路は2組設けられ、一方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向は、他方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっていることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
In the cleaning device according to claim 3, two sets of the liquid passages are provided, and the ejection direction of the liquid ejected from one set of liquid passages is the ejection direction of the liquid ejected from the other set of liquid passages. Is different,
Two sets of the gas passages are provided, and the ejection direction of the gas ejected from one set of gas passages is different from the ejection direction of the gas ejected from the other set of gas passages. Thereby, the cleaning object can be more effectively cleaned.

請求項4に記載の洗浄装置は、前記本体部において、前記液体通路が、前記気体通路に対して軸線方向外側に配置されていることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。   According to a fourth aspect of the present invention, in the main body portion, the liquid passage is disposed on the outer side in the axial direction with respect to the gas passage. Thereby, the cleaning object can be cleaned more effectively.

請求項5に記載の洗浄装置において、前記液体の噴出は連続的であり、前記気体の噴出は間欠的であることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。   6. The cleaning apparatus according to claim 5, wherein the ejection of the liquid is continuous and the ejection of the gas is intermittent. Thereby, the cleaning object can be cleaned more effectively.

請求項6に記載の乾燥装置は、
乾燥物が通過可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の第1気体通路と、
前記本体部の内周において周方向に連続して開口し、外部の気体供給源に接続された第2気体通路と、を備えた乾燥装置であって、
前記第1気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記第2気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっており、
乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第1気体通路から噴出させた気体と、前記第2気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるようになっていることを特徴とする。
The drying device according to claim 6 is:
An annular main body having an inner diameter through which dry matter can pass;
A plurality of first gas passages that are arranged side by side in the circumferential direction on the inner periphery of the main body and are connected to an external gas supply source;
A second gas passage that continuously opens in the circumferential direction on the inner circumference of the main body and is connected to an external gas supply source,
The ejection direction of the gas ejected from the first gas passage is different from the ejection direction of the gas ejected from the second gas passage,
The gas ejected from the first gas passage and the gas ejected from the second gas passage are blown toward the dry matter while passing the dry substance inside the main body. Features.

本発明によれば、乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第1気体通路から噴出させた気体と、前記第2気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるので、前記第2気体通路から噴出した気体によって、前記本体部の内側に連続したエアカーテンを形成することで、前記第1気体通路から噴出した気体によって乾燥物の表面から吹き飛ばされた液体や異物を有効に捕捉でき、外部への飛散を抑制することができる。   According to the present invention, the gas ejected from the first gas passage and the gas ejected from the second gas passage are blown toward the dry matter while passing the inside of the main body portion through the dry matter. By forming a continuous air curtain inside the main body portion with the gas ejected from the second gas passage, the liquid and foreign matter blown off from the surface of the dry matter by the gas ejected from the first gas passage It can be captured effectively and scattering to the outside can be suppressed.

請求項7に記載の乾燥装置は、前記第2気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して直交する方向であり、前記第1気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して傾いていることを特徴とする。これにより、気体の混合によって乱流が発生するため、乾燥物が複雑な形状を有している場合でも、細部まで気体が侵入し、より有効に乾燥を行うことができる。   The drying apparatus according to claim 7, wherein a jet direction of the gas ejected from the second gas passage is a direction orthogonal to an axis of the main body portion, and the gas ejected from the first gas passage is The ejection direction is inclined with respect to the axis of the main body. Thereby, since turbulent flow is generated by the mixing of the gas, even when the dried product has a complicated shape, the gas can penetrate into the details and can be dried more effectively.

請求項8に記載の乾燥装置は、前記気体の噴出時に、乾燥物と前記乾燥装置とが繰り返し相対移動するようになっており、乾燥物が前記乾燥装置に対して重力方向上方に相対移動する速度は、重力方向下方に相対移動する速度より遅いことを特徴とする。これにより液体等の飛散を抑制しつつ、より有効に乾燥を行うことができる。   The drying device according to claim 8 is configured such that when the gas is ejected, the dried product and the drying device repeatedly move relative to each other, and the dried product moves relative to the drying device upward in the gravity direction. The speed is characterized by being slower than the speed of relative movement downward in the direction of gravity. Thereby, drying can be performed more effectively while suppressing scattering of liquid or the like.

請求項9に記載の洗浄システムは、請求項1〜5に記載の洗浄装置と請求項6〜8のいずれかに記載の乾燥装置とを有することを特徴とする。   A cleaning system according to a ninth aspect includes the cleaning apparatus according to the first to fifth aspects and the drying apparatus according to any one of the sixth to eighth aspects.

本発明によれば,コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a cleaning device, a drying device, and a cleaning system that can effectively suppress cleaning unevenness and drying unevenness with a compact configuration.

本実施の形態の洗浄システムを示す図である。It is a figure which shows the washing | cleaning system of this Embodiment. 本実施の形態の洗浄システムを示す図である。It is a figure which shows the washing | cleaning system of this Embodiment. 本実施の形態の洗浄システムを示す図である。It is a figure which shows the washing | cleaning system of this Embodiment. 本実施の形態の洗浄システムを示す図である。It is a figure which shows the washing | cleaning system of this Embodiment. チャック20の斜視図である。2 is a perspective view of a chuck 20. FIG. 図6(a)は、洗浄装置30の中央環状部31の上面図(図6(b)の矢印VIA方向に見た図)であり、図6(b)は、洗浄装置30の断面図であるが、内周の細孔は一部のみ描いている。6A is a top view of the central annular portion 31 of the cleaning device 30 (viewed in the direction of arrow VIA in FIG. 6B), and FIG. 6B is a cross-sectional view of the cleaning device 30. FIG. However, only a part of the pores on the inner periphery are drawn. 図7(a)は、乾燥装置40の上面図であり、図7(b)は、図7(a)の乾燥装置40をVIIB-VIIB線で切断して矢印方向に見た断面図である。7A is a top view of the drying device 40, and FIG. 7B is a cross-sectional view of the drying device 40 of FIG. 7A taken along the line VIIB-VIIB and viewed in the direction of the arrow. .

以下、本発明を、図面の簡単な説明を参照して説明する。図1〜4は、本実施の形態にかかる洗浄システムを示す図である。図において、筐体状のチャンバー10は、上部に開口11,12を有していると共に、開口11,12を遮蔽するシャッター13(図3)を有している。   The invention will now be described with reference to the brief description of the drawings. 1-4 is a figure which shows the washing | cleaning system concerning this Embodiment. In the figure, a housing-like chamber 10 has openings 11 and 12 at the top, and a shutter 13 (FIG. 3) for shielding the openings 11 and 12.

チャンバー10の底面には、基部14が固定されている。基部14に取り付けられた支持板15により、開口11の下方において支持されたタンク16は、上部が開放した筐体状であって、内部に洗浄液としての温水LQを貯留している。タンク16の底には、栓をしたドレーン孔16aが形成されており、栓を抜くことでドレーン孔16aから温水LQを抜き出すことができるようになっている。   A base 14 is fixed to the bottom surface of the chamber 10. A tank 16 supported below the opening 11 by a support plate 15 attached to the base 14 has a casing shape with an open top, and stores hot water LQ as a cleaning liquid therein. A drain hole 16a with a stopper is formed at the bottom of the tank 16, and the hot water LQ can be extracted from the drain hole 16a by removing the stopper.

更に、基部14は、支持台座17を介して、チャック20を支持している。又、チャック20の上方には、それと同軸に洗浄装置30がチャンバー10に固定され、洗浄装置30の上方であって開口12の下方には、それと同軸に乾燥装置40がチャンバー10に固定されている。尚、洗浄装置30と乾燥装置40との間を、筒状の遮蔽カーテンを設けて密封しても良い。   Further, the base portion 14 supports the chuck 20 via the support base 17. A cleaning device 30 is fixed to the chamber 10 coaxially with the chuck 20 above, and a drying device 40 is fixed to the chamber 10 coaxially with the cleaning device 30 above and below the opening 12. Yes. In addition, you may seal between the washing | cleaning apparatus 30 and the drying apparatus 40 by providing a cylindrical shielding curtain.

図5は、チャック20の斜視図である。図5において、チャック20は、支持台座17(図1〜4)に取り付けられる円盤状の本体21と、本体21の軸線回りに取り付けられた8個の扇形柱状の爪部22とを有する。本体20に対して不図示の空気圧源から圧縮空気を供給することで、各爪部22は、本体21の軸線に接近もしくは離反可能となっており、その間に後述する部品W(図1〜4)を保持固定可能となっている。このようなチャックとしては、例えば特開2007−15038号公報に記載のものを好適に用いることができる。   FIG. 5 is a perspective view of the chuck 20. In FIG. 5, the chuck 20 includes a disk-shaped main body 21 attached to the support base 17 (FIGS. 1 to 4) and eight fan-shaped columnar claw portions 22 attached around the axis of the main body 21. By supplying compressed air from an air pressure source (not shown) to the main body 20, each claw portion 22 can approach or separate from the axis of the main body 21, and a component W (described later) (see FIGS. 1 to 4). ) Can be held and fixed. As such a chuck, for example, the one described in JP 2007-15038 A can be suitably used.

図6(a)は、洗浄装置30の中央環状部31の上面図であり、図6(b)は、洗浄装置30の断面図である。洗浄装置30は、本体部を構成する中央環状部31と外側環状部32,32とからなり、これらは同じ内径及び外径を有する環状である。中央環状部31は、その上面に、上面内側周溝31aと上面外側周溝31bとを有し、その下面に、下面内側周溝31cと下面外側周溝31dとを有する。尚、内側周溝31a,31cは、外側周溝31b、31dより浅くなっている。   FIG. 6A is a top view of the central annular portion 31 of the cleaning device 30, and FIG. 6B is a cross-sectional view of the cleaning device 30. The cleaning device 30 includes a central annular portion 31 and outer annular portions 32 and 32 constituting a main body, and these are annular shapes having the same inner diameter and outer diameter. The central annular portion 31 has an upper surface inner circumferential groove 31a and an upper surface outer circumferential groove 31b on its upper surface, and has a lower surface inner circumferential groove 31c and a lower surface outer circumferential groove 31d on its lower surface. The inner circumferential grooves 31a and 31c are shallower than the outer circumferential grooves 31b and 31d.

上面内側周溝31aの底面から、中央環状部31の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約60度(即ち下向き)で傾くようにして、φ0.8mmの2組の細孔31e、31fが並んで延在し、中央環状部31の内周で開口している。細孔31eは、周方向に角度10度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔31fは、隣接する細孔31e、31eの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部31の軸線方向内側にシフトしている。一方、下面内側周溝31cの底面から、中央環状部31の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約120度(即ち上向き)で傾くようにして、φ0.8mmの2組の細孔31g、31hが並んで延在し、中央環状部31の内周で開口している。細孔31gは、周方向に角度10度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔31hは、隣接する細孔31g、31gの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部31の軸線方向内側にシフトしている(すなわち周方向に千鳥状に2列に並んでいる)。尚、細孔31e、31fと細孔31g、31hの延長線は、中央環状部31の軸線上で互いに約60度の角度で交差することとなる。   From the bottom surface of the upper surface inner circumferential groove 31a to the inner circumference of the central annular portion 31, it is inclined toward the axis and at an angle of about 60 degrees (that is, downward) with respect to it, and two sets of pores 31e of φ0.8 mm , 31f extend side by side and open at the inner periphery of the central annular portion 31. The pores 31e are arranged radially at equal intervals of 10 degrees in the circumferential direction, and the pores 31f are arranged radially between the adjacent pores 31e, 31e. It is shifted inward in the axial direction. On the other hand, from the bottom surface of the lower surface inner circumferential groove 31c to the inner periphery of the central annular portion 31, it is inclined toward the axis and at an angle of about 120 degrees (that is, upward) with respect to two sets of φ0.8 mm. The holes 31 g and 31 h extend side by side and open at the inner periphery of the central annular portion 31. The pores 31g are radially arranged at equal intervals of 10 degrees in the circumferential direction, and the pores 31h are radially arranged between the adjacent pores 31g and 31g. Are shifted inward in the axial direction (that is, arranged in two rows in a zigzag manner in the circumferential direction). The extension lines of the pores 31e and 31f and the pores 31g and 31h intersect each other at an angle of about 60 degrees on the axis of the central annular portion 31.

また、上面外側周溝31bの側面から、中央環状部31の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約60度(即ち下向き)で傾くようにして、φ0.8mmの2組の細孔31i、31jが並んで延在し、中央環状部31の内周で開口している。細孔31iは、周方向に角度10度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔31jは、隣接する細孔31i、31iの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部31の軸線方向内側にシフトしている。一方、下面外側周溝31dの側面から、中央環状部31の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約120度(即ち上向き)で傾くようにして、φ0.8mmの2組の細孔31k、31mが並んで延在し、中央環状部31の内周で開口している。細孔31kは、周方向に角度10度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔31mは、隣接する細孔31k、31kの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部31の軸線方向内側にシフトしている(すなわち周方向に千鳥状に2列に並んでいる)。尚、細孔31i、31jと細孔31k、31mの延長線は、中央環状部31の軸線上で互いに約60度の角度で交差することとなる。本実施の形態では、中央環状部31の軸線方向に対して、液体通路である細孔31e、31fと細孔31g、31hの内側に、気体通路である細孔31i、31jと細孔31k、31mが開口しているが、この関係を逆にしても良い。   Further, from the side surface of the upper outer circumferential groove 31b to the inner circumference of the central annular portion 31, it is inclined toward the axis and at an angle of about 60 degrees (that is, downward) with respect to the two sets of φ0.8 mm. The holes 31 i and 31 j extend side by side and open at the inner periphery of the central annular portion 31. The pores 31i are radially arranged at equal intervals of 10 degrees in the circumferential direction, and the pores 31j are radially arranged between the adjacent pores 31i, 31i. It is shifted inward in the axial direction. On the other hand, from the side surface of the lower outer circumferential groove 31d to the inner circumference of the central annular portion 31, it is inclined toward the axis and at an angle of about 120 degrees (that is, upward), and two sets of φ0.8 mm The holes 31k and 31m extend side by side and open at the inner periphery of the central annular portion 31. The pores 31k are arranged radially at equal intervals of 10 degrees in the circumferential direction, and the pores 31m are arranged radially between the adjacent pores 31k, 31k. Are shifted inward in the axial direction (that is, arranged in two rows in a zigzag manner in the circumferential direction). The extended lines of the pores 31i, 31j and the pores 31k, 31m intersect each other at an angle of about 60 degrees on the axis of the central annular portion 31. In the present embodiment, with respect to the axial direction of the center annular portion 31, the pores 31e and 31f that are liquid passages and the pores 31g and 31h, the pores 31i and 31j that are gas passages and the pores 31k, Although 31 m is open, this relationship may be reversed.

中央環状部31は、外周から軸線直交方向に延在する通孔31n、31pを有している。通孔31nは上面外側周溝31bに連通し、配管及びバルブV1を介して外部の空気圧源(気体供給源としての工場エアでよい)APからの加圧空気を供給するようになっている。又、通孔31pは下面外側周溝31dに連通し、配管及びバルブV1を介して外部の空気圧源APからの加圧空気を供給するようになっている。   The central annular portion 31 has through holes 31n and 31p extending from the outer periphery in the direction orthogonal to the axis. The through hole 31n communicates with the upper outer circumferential groove 31b, and supplies pressurized air from an external air pressure source (which may be factory air as a gas supply source) AP through a pipe and a valve V1. The through hole 31p communicates with the lower outer circumferential groove 31d and supplies pressurized air from an external air pressure source AP via a pipe and a valve V1.

中央環状部31の軸線方向両側に密着して用いられる外側環状部32,32は、それぞれ軸線方向に延在する通孔32a、32aを有している。上方の外側環状部32の通孔32aは、上面内側周溝31aに連通し、配管及びバルブV2を介して外部の液体供給源WP(例えばポンプとタンクを含む)に貯留された温水を供給するようになっている。又、下方の外側環状部32の通孔32aは、下面内側周溝31cに連通し、配管及びバルブV2を介して外部の液体供給源WPに貯留された温水を供給するようになっている。中央環状部31と外側環状部32,32との間に、シール手段としてのガスケットやO−リングを介在させても良い。   The outer annular portions 32 and 32 used in close contact with both sides in the axial direction of the central annular portion 31 have through holes 32a and 32a extending in the axial direction, respectively. The through hole 32a of the upper outer annular portion 32 communicates with the upper surface inner circumferential groove 31a, and supplies hot water stored in an external liquid supply source WP (including a pump and a tank, for example) via a pipe and a valve V2. It is like that. Further, the through hole 32a of the lower outer annular portion 32 communicates with the lower surface inner circumferential groove 31c and supplies hot water stored in an external liquid supply source WP via a pipe and a valve V2. A gasket or O-ring as a sealing means may be interposed between the central annular portion 31 and the outer annular portions 32 and 32.

図7(a)は、乾燥装置40の上面図であり、図7(b)は、図7(a)の乾燥装置40をVIIB-VIIB線で切断して矢印方向に見た断面図である。乾燥装置40は、本体部を構成する上側環状部41と下側環状部42とからなり、これらは同じ内径及び外径を有する環状であって、同軸に密着するようにして取り付けられる。上側環状部41は、その下面に、周方向に等間隔に8つの袋孔41aを形成している。各袋孔41aには、外周から軸線方向に直交する方向に延在する通孔41bが形成されており、通孔41bは、配管及びバルブV3を介して外部の空気圧源(気体供給源としての工場エアでよい)APからの加圧空気を供給するようになっている。   7A is a top view of the drying device 40, and FIG. 7B is a cross-sectional view of the drying device 40 of FIG. 7A taken along the line VIIB-VIIB and viewed in the direction of the arrow. . The drying device 40 includes an upper annular portion 41 and a lower annular portion 42 that constitute a main body, and these are annular shapes having the same inner diameter and outer diameter, and are attached so as to be in close contact with each other. The upper annular portion 41 has eight bag holes 41a formed at equal intervals in the circumferential direction on the lower surface thereof. Each bag hole 41a is formed with a through hole 41b extending from the outer periphery in a direction orthogonal to the axial direction. The through hole 41b is connected to an external air pressure source (as a gas supply source) through a pipe and a valve V3. Pressurized air from the AP is supplied.

又、各袋孔41aの側面から、上側環状部41の内周に向かって、その軸線に向かい且つそれに対して角度約60度(即ち下向き)で傾くようにして、φ0.8mmの細孔41cが放射状に延在し、上側環状部41の内周で開口している。   In addition, from the side surface of each bag hole 41a toward the inner circumference of the upper annular portion 41, it is inclined toward the axis and at an angle of about 60 degrees (that is, downward) with respect to the pore 41c of φ0.8 mm. Extends radially and opens at the inner periphery of the upper annular portion 41.

一方、下側環状部42の上面には、内周側が一段シフトした(下がった)平面を含む段部42aが、上面に平行に且つ周方向に連続して形成されている。上側環状部41の下面と下側環状部42の上面とを密着させたとき、段部42aと、上側環状部41の下面とで、周方向に連続した周溝43が形成され、袋孔41aの開口端は周溝43に開口している。従って、通孔41bから供給された空気は、第1気体通路である細孔41cを介して乾燥装置40の内側に、軸線に対して約60度の傾きで噴出され、その一方、第2気体通路である周溝43を介して軸線直交方向内方に向かって、周方向に連続的に噴出されて途切れのないエアカーテンを形成するようになっている。   On the other hand, on the upper surface of the lower annular portion 42, a step portion 42a including a plane whose inner peripheral side is shifted (lowered) by one step is formed in parallel to the upper surface and continuously in the circumferential direction. When the lower surface of the upper annular portion 41 and the upper surface of the lower annular portion 42 are brought into close contact with each other, a circumferential groove 43 continuous in the circumferential direction is formed by the step portion 42a and the lower surface of the upper annular portion 41, and the bag hole 41a. The open end of each is open to the circumferential groove 43. Therefore, the air supplied from the through-hole 41b is ejected at an inclination of about 60 degrees with respect to the axis to the inside of the drying device 40 through the pore 41c that is the first gas passage, while the second gas An air curtain is formed by being continuously ejected in the circumferential direction toward the inner side in the direction orthogonal to the axis via a circumferential groove 43 serving as a passage.

次に、本実施の形態の洗浄システムの動作について、図1〜4を参照して説明する。ここでは、搬送装置50を用いるものとする。搬送装置50は、接近/離反可能な一対の爪部51,51を有し、図1〜4で上下左右に移動可能となっている。   Next, operation | movement of the washing | cleaning system of this Embodiment is demonstrated with reference to FIGS. Here, it is assumed that the transport device 50 is used. The conveyance apparatus 50 has a pair of claw portions 51 and 51 that can approach / separate, and is movable up and down and left and right in FIGS.

初期状態で、バルブV1,V2、V3は閉止位置にある。まず、シャッター13を退避させて、チャンバー10の開口11,12を開放する。次に、機械加工を終えた円筒状(但し円筒状に限られない)の部品Wを、搬送装置50の爪部51,51で把持して開口11の上方まで搬送し、更に開口11を通して下降させ、図1に示すように、タンク16内の洗浄液LQに浸漬し、搬送装置50を上下に動かして、表面(特に下部)に付着した異物を洗い落とす。尚、搬送装置50の上下動作は、3〜10回程度で、回数は変更可能であることが望ましい。   In the initial state, the valves V1, V2, V3 are in the closed position. First, the shutter 13 is retracted, and the openings 11 and 12 of the chamber 10 are opened. Next, the cylindrical (but not limited to) cylindrical part W that has been machined is gripped by the claw portions 51 and 51 of the transport device 50 and transported to above the opening 11, and further lowered through the opening 11. As shown in FIG. 1, it is immersed in the cleaning liquid LQ in the tank 16, and the transfer device 50 is moved up and down to wash away foreign substances adhering to the surface (particularly the lower part). In addition, it is desirable that the up-and-down operation of the transfer device 50 is about 3 to 10 times and the number of times can be changed.

その後、部品Wと共に搬送装置50を上昇させ、開口12の上方へと移動させ、更に開口12、乾燥装置40及び洗浄装置30の内側を通して下降させ、図2に示すように、爪部51,51を開いて部品Wをチャック20に受け渡した後、搬送装置50を開口12の外部へと退避させる。ここで、図3に示すように、シャッター13により開口11,12を遮蔽した後、バルブV1を開放すると、チャック20に固定された部品W(ここでは洗浄物)に対して、細孔31e、31fと細孔31g、31hを介して、液体供給源WPから供給された温水が連続的に噴射される。又、バルブV2を周期的に開閉することで、細孔31i、31jと細孔31k、31mを介して、空気圧源APから供給された空気が間欠的に噴射される。これにより、空気と温水とが混じり合った状態で、部品Wの表面が洗浄されるので高い洗浄効果を得ることができる。但し、空気は連続的に噴出させても良い。   Thereafter, the conveying device 50 is lifted together with the parts W, moved above the opening 12, and further lowered through the inside of the opening 12, the drying device 40 and the cleaning device 30, as shown in FIG. 2, as shown in FIG. 2. Is opened and the parts W are delivered to the chuck 20, and then the conveying device 50 is retracted to the outside of the opening 12. Here, as shown in FIG. 3, when the valve V <b> 1 is opened after the openings 11 and 12 are shielded by the shutter 13, the pores 31 e and the parts W (here, the cleaning object) fixed to the chuck 20. Hot water supplied from the liquid supply source WP is continuously ejected through 31f and the pores 31g and 31h. Further, by periodically opening and closing the valve V2, air supplied from the air pressure source AP is intermittently injected through the pores 31i and 31j and the pores 31k and 31m. Thereby, since the surface of the component W is cleaned in a state where air and hot water are mixed, a high cleaning effect can be obtained. However, the air may be continuously ejected.

特に、本実施の形態では、部品Wに吹き付けられる空気と温水が、それぞれ洗浄装置30の軸線に対して約60度で交差しており、これにより部品Wの表面が凹凸のある複雑な形状でも、細部の奥まで洗浄を行うことができる。又、部品Wの外周に当たって跳ね返った温水は、対向した位置にある中央環状部31又は外側環状部32,32の内周に当たるので、それにより外部への飛散が抑制されると共に、中央環状部31又は外側環状部32,32の内周で跳ね返った液体が、再度部品Wに当たり、洗浄効果が増大されるというメリットも期待できる。   In particular, in the present embodiment, the air and hot water sprayed onto the part W intersect with each other at about 60 degrees with respect to the axis of the cleaning device 30, so that even if the surface of the part W has a complicated shape with irregularities. , You can clean up to the details. The hot water bounced off against the outer periphery of the part W hits the inner periphery of the central annular portion 31 or the outer annular portions 32, 32 located at the opposite positions, thereby suppressing scattering to the outside and the central annular portion 31. Or the liquid which bounced off in the inner periphery of the outer side annular parts 32 and 32 hits the component W again, and the merit that a cleaning effect is increased can also be expected.

所定時間の洗浄工程後、バルブV1,V2を閉止し、シャッター13を開放して、搬送装置50を、開口12を介してチャンバー10内に進入させ、開いた爪部51,51で部品Wを把持した後、チャック20から解放する。その後、水滴の付いた部品Wと共に搬送装置50を上昇させ、バルブV3を開放する。   After the cleaning process for a predetermined time, the valves V1 and V2 are closed, the shutter 13 is opened, the transfer device 50 is made to enter the chamber 10 through the opening 12, and the parts W are opened by the opened claws 51 and 51. After gripping, it is released from the chuck 20. Thereafter, the conveying device 50 is raised together with the part W with water droplets, and the valve V3 is opened.

乾燥装置40の位置に部品Wが近づいたら、搬送装置50の上昇速度を落とし、その後、図4に示すように、乾燥装置40の内側で部品W(ここでは乾燥物)を上下に移動させる。このとき、部品Wの上面下面が周溝43の位置を超えるまで往復動作させると好ましい。又、部品Wが乾燥装置40に対して上方に移動する速度が、下方に移動する速度よりも遅くすると好ましい。これにより、乾燥装置40の細孔41cから、軸線に対して約60度の傾きで下方に噴出された空気が、部品Wから洗浄時に付着した水滴を吹き飛ばす。一方、周溝43を介して軸線直交方向内方に向かって周方向に連続的に噴出された空気は、いわゆるエアカーテンを形成するので、部品Wに吹き付けた空気により飛散した水滴が舞い上がることを制限するようになっているため、シャッター13を開放させたままでも特に問題はない。尚、搬送装置50の上下動作は、3〜10回程度で、回数は変更可能であることが望ましい。   When the part W approaches the position of the drying device 40, the ascending speed of the conveying device 50 is reduced, and thereafter, the part W (here, dry matter) is moved up and down inside the drying device 40 as shown in FIG. At this time, it is preferable to reciprocate until the lower surface of the upper surface of the component W exceeds the position of the circumferential groove 43. In addition, it is preferable that the speed at which the part W moves upward relative to the drying device 40 is slower than the speed at which the part W moves downward. As a result, the air jetted downward from the pores 41c of the drying apparatus 40 at an inclination of about 60 degrees with respect to the axis blows away water droplets adhering from the component W during cleaning. On the other hand, the air continuously blown in the circumferential direction through the circumferential groove 43 in the circumferential direction forms a so-called air curtain. Since the limit is set, there is no particular problem even if the shutter 13 is left open. In addition, it is desirable that the up-and-down operation of the transfer device 50 is about 3 to 10 times and the number of times can be changed.

乾燥工程後、バルブV3を閉止して、部品Wと共に搬送装置50を、開口12を通して上昇させ、部品Wを次工程へと搬送する。以上で、本実施の形態の洗浄システムにおける洗浄・乾燥工程が完了する。   After the drying process, the valve V3 is closed, the conveying device 50 is lifted together with the component W through the opening 12, and the component W is conveyed to the next step. Thus, the cleaning / drying process in the cleaning system of the present embodiment is completed.

本発明は、以上の実施の形態に限られない。洗浄用の液体は温水に限らず、例えば特開2004−107499号公報に記載された炭化水素系洗浄液等を用いることができる。又、搬送装置の形態も、以上に限られず部品を保持しつつ搬送可能なものであれば足り、種々の形態が可能である。或いは、チャック20を上下に移動可能な構成として、搬送装置の代わりに用いても良い。   The present invention is not limited to the above embodiment. The cleaning liquid is not limited to hot water, and for example, a hydrocarbon-based cleaning liquid described in JP-A-2004-107499 can be used. Also, the form of the conveying device is not limited to the above, and any apparatus can be used as long as it can convey parts while holding the parts. Or you may use the chuck | zipper 20 as a structure which can move up and down instead of a conveying apparatus.

10 チャンバー
11 開口
12 開口
13 シャッター
14 基部
15 支持板
16 タンク
17 支持台座
20 チャック
21 本体
22 爪部
30 洗浄装置
31 中央環状部
31a 上面内側周溝
31b 上面外側周溝
31c 下面内側周溝
31d 下面外側周溝
31e 細孔
31f 細孔
31g 細孔
31h 細孔
31i 細孔
31j 細孔
31k 細孔
31m 細孔
31n 通孔
31p 通孔
32 外側環状部
32a 通孔
40 乾燥装置
41 上側環状部
41a 袋孔
41b 通孔
41c 細孔
42 下側環状部
42a 段部
43 周溝
50 搬送装置
51 爪部
AP 空気圧源
LQ 温水
V1 バルブ
V2 バルブ
V3 バルブ
W 部品
WP 液体供給源
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Chamber 11 Opening 12 Opening 13 Shutter 14 Base 15 Support plate 16 Tank 17 Support base 20 Chuck 21 Main body 22 Claw part 30 Cleaning device 31 Central annular part 31a Upper surface inner circumferential groove 31b Upper surface outer circumferential groove 31c Lower surface inner circumferential groove 31d Lower surface outside Circumferential groove 31e Pore 31f Pore 31g Pore 31h Pore 31i Pore 31j Pore 31k Pore 31m Pore 31n Passing hole 31p Passing hole 32 Outer annular part 32a Passing hole 40 Drying device 41 Upper annular part 41a Bag hole 41b Through hole 41c Pore 42 Lower annular part 42a Step part 43 Circumferential groove 50 Conveying device 51 Claw part AP Air pressure source LQ Hot water V1 Valve V2 Valve V3 Valve W Parts WP Liquid supply source

Claims (9)

洗浄物を内側に配置可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を備えた洗浄装置であって、
前記本体部の内側に洗浄物を配置した状態で、少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする洗浄装置。
An annular main body having an inner diameter capable of arranging the cleaning object inside;
A plurality of liquid passages that are arranged side by side in the circumferential direction on the inner periphery of the main body and are connected to an external liquid supply source;
A plurality of gas passages that are aligned and opened in the circumferential direction on the inner periphery of the main body and connected to an external gas supply source,
In a state where the cleaning object is arranged inside the main body, liquid is ejected from the opening of the liquid passage and gas is ejected from the opening of the gas passage at least inward in the direction orthogonal to the axis of the main body. A cleaning device.
前記本体部の軸線に対して傾いた方向に、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。   The cleaning apparatus according to claim 1, wherein liquid is ejected from the opening of the liquid passage and gas is ejected from the opening of the gas passage in a direction inclined with respect to the axis of the main body. 前記液体通路は2組設けられ、一方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向は、他方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向と異なっており、
前記気体通路は2組設けられ、一方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向は、他方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の洗浄装置。
Two sets of the liquid passages are provided, and the ejection direction of the liquid ejected from one set of liquid passages is different from the ejection direction of the liquid ejected from the other set of liquid passages,
The gas passages are provided in two sets, and the jet direction of the gas jetted from one set of gas passages is different from the jet direction of the gas jetted from the other set of gas passages. The cleaning apparatus according to 1 or 2.
前記本体部において、前記液体通路は、前記気体通路に対して軸線方向外側に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の洗浄装置。   The cleaning apparatus according to claim 3, wherein in the main body portion, the liquid passage is disposed on the outer side in the axial direction with respect to the gas passage. 前記液体の噴出は連続的であり、前記気体の噴出は間欠的であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の洗浄装置。   The cleaning apparatus according to claim 1, wherein the ejection of the liquid is continuous and the ejection of the gas is intermittent. 乾燥物が通過可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の第1気体通路と、
前記本体部の内周において周方向に連続して開口し、外部の気体供給源に接続された第2気体通路と、を備えた乾燥装置であって、
前記第1気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記第2気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっており、
乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第1気体通路から噴出させた気体と、前記第2気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるようになっていることを特徴とする乾燥装置。
An annular main body having an inner diameter through which dry matter can pass;
A plurality of first gas passages that are arranged side by side in the circumferential direction on the inner periphery of the main body and are connected to an external gas supply source;
A second gas passage that continuously opens in the circumferential direction on the inner circumference of the main body and is connected to an external gas supply source,
The ejection direction of the gas ejected from the first gas passage is different from the ejection direction of the gas ejected from the second gas passage,
The gas ejected from the first gas passage and the gas ejected from the second gas passage are blown toward the dry matter while passing the dry substance inside the main body. Feature drying equipment.
前記第2気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して直交する方向であり、前記第1気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して傾いていることを特徴とする請求項6に記載の乾燥装置。   The ejection direction of the gas ejected from the second gas passage is a direction orthogonal to the axis of the main body, and the ejection direction of the gas ejected from the first gas passage is the axis of the main body. The drying device according to claim 6, wherein the drying device is inclined with respect to the device. 前記気体の噴出時に、乾燥物と前記乾燥装置とは繰り返し相対移動するようになっており、乾燥物が前記乾燥装置に対して重力方向上方に相対移動する速度は、重力方向下方に相対移動する速度より遅いことを特徴とする請求項6又は7に記載の乾燥装置。   When the gas is ejected, the dried product and the drying device repeatedly move relative to each other, and the speed at which the dried product moves relative to the drying device upward in the direction of gravity moves relatively downward in the direction of gravity. The drying apparatus according to claim 6 or 7, wherein the drying apparatus is slower than the speed. 請求項1〜5に記載の洗浄装置と請求項6〜8のいずれかに記載の乾燥装置とを有することを特徴とする洗浄システム。   A cleaning system comprising the cleaning device according to claim 1 and the drying device according to any one of claims 6 to 8.
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