JP2010269305A - Improved gap adjustment device for slit die, and slit die and coating apparatus having the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置に関する。より具体的には、本発明はスリットダイのリップ間のギャップを垂直方向に調整する従来のギャップ調整方式を水平方向に調整することで、ギャップ調節量を精密に制御することができ、ギャップ調整が容易になり、ギャップ調節装置の部品数を顕著に減らすことでコストが節減され、維持補修が容易な改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置に関する。 The present invention relates to an improved slit die gap adjusting device, and a slit die and a coating device having the same. More specifically, according to the present invention, the gap adjustment amount can be precisely controlled by adjusting a conventional gap adjustment method in which the gap between the lips of the slit die is adjusted in the vertical direction. The present invention relates to an improved slit die gap adjusting device, which is easy to maintain, and is easy to maintain and repair, and a slit die and a coating device including the same.
一般的に、ＰＤＰまたはＬＣＤを製造するためには、ガラス基板のような基材または作業物（ｗｏｒｋ ｐｉｅｃｅ： 以下 ”作業物”という）上に塗液を塗布するためにはスリットダイ（ｓｌｉｔ ｄｉｅ）を具備したコーティング装置が使用される。
より具体的には、図１ａに概略的に図示されたＰＤＰまたはＬＣＤを製造するために使用されるテーブルコーティング装置（ｔａｂｌｅ ｃｏａｔｅｒ）（１００）（以下 ”コーティング装置”という）ではコーティングする作業物であるガラス基板（１１０）をステージまたはサクションテーブル（ｓｕｃｔｉｏｎ ｔａｂｌｅ： １１２）上に位置させた後、ガントリー（ｇａｎｔｒｙ）（１２５）に付着したスリットダイ（１２０）を水平方向に移動させながらガラス基板（１１０）上に必要な塗液を塗布させる方法が使用されている。
In general, in order to manufacture a PDP or LCD, a slit die is used to apply a coating solution on a substrate such as a glass substrate or a work piece (hereinafter referred to as “work piece”). ) Is used.
More specifically, in a table coater (100) (hereinafter referred to as “coating apparatus”) used to manufacture the PDP or LCD schematically illustrated in FIG. After a certain glass substrate (110) is positioned on a stage or a suction table (112), the glass substrate (110) is moved while the slit die (120) attached to the gantry (125) is moved in the horizontal direction. ) A method of applying the necessary coating liquid on top is used.
上述の従来技術によるコーティング装置を使用して塗液をガラス基板（１１０）上に塗布して塗膜を形成する方法において、塗膜厚の精密度はスリットダイ（１３０）内の塗液を供給して吐出する吐出量を精密に調整するためのギャップ調整装置によって左右される。
図１ｂは上述の図１ａに図示された従来技術によるコーティング装置に使用される塗液を吐出するスリットダイの一実施例が図示されている。
図１ｂを参照すると、従来技術によるスリットダイ（１２０）は互いに対向する１対の第１リップ（ｌｉｐ）（１２２ａ）及び第２リップ（１２２ｂ）から構成される。第１リップ（１２２ａ）の内部には塗液供給部（図示しない）、及びチャンバー（１２６）が形成されている。第１リップ（１２２ａ）のチャンバー（１２６）下端部の第１リップ（１２２ａ）内側面と、これに対応する第２リップ（１２２ｂ）の内側面の間にはギャップ（Ｌ）が形成されており、ギャップ（Ｌ）の下部外側に開口したスリット形状の吐出口（１２８）が形成されている。塗液は吐出口（１２８）を介して吐出されて作業物（１１０）（図１ａ参照）の表面に塗膜を形成する。塗膜の形成において、スリットダイ（１２０）と作業物（１１０）は相対的に移動するようになる（図１ａ参照）。一例として、カラーフィルターはガラス基板のような作業物（１１０）上に黒、赤、青、緑の塗液を順次に塗布することで製造される。このようなカラーフィルターの製造工程は、フォトレジストの塗膜を形成した後、フォトリソグラフィ加工によってパターン加工をした後、カラーフィルターと作業物（１１０）の間に注入される液晶のスペースを形成する柱を形成する工程、または表面の凹凸を極めて小さくするためのオーバーコーティング塗膜を形成する工程を含む。
上述の従来技術によるスリットダイ（１２０）は第２リップ（１２２ｂ）の長手方向に沿って多数のギャップ調整装置（１３０）を具備している。以下では、一つのギャップ調整装置（１３０）について記述する。
また図１ｂを参照すると、従来技術によるギャップ調整装置（１３０）は第２リップ（１２２ｂ）の片側に垂直方向に提供される。第２リップ（１２２ｂ）にはギャップ調整装置（１３０）を収容するための収容空間（１３１）が形成されている。従来技術のギャップ調整装置（１３０）は調整ナット（１３２）、固定ボルト（１３４）、及び下部固定部材（１４８）を含む。固定ボルト（１３４）は第２リップ（１２２ｂ）の下部片側に水平方向に提供される窪み（１５４）内で下部固定部材（１４８）によってワッシャー（ｗａｓｈｅｒ）（１５０）を介して第２リップ（１２２ｂ）に固定される。下部固定部材（１４８）の下端には下部キャップ（１５２）が提供される。また、調整ナット（１３２）の上部にはストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）（１４４）が提供され、ストッパー（１４４）の上部には上部キャップ（１４２）が提供される。同時に、窪み（１５４）が提供される第２リップ（１２２ｂ）の外部側面には窪み（１５４）内に埃などの異物が流入しないように保護する保護カバー（１５６）が提供される。
以下では、従来技術によるギャップ調整装置（１３０）の動作を詳細に記述する。
また図１ｂを参照すると、上部キャップドライバー溝または六角内径溝（１４２ａ）を利用して上部キャップ（１４２）を除去する。その後、ストッパードライバー溝または六角内径溝（１４４ａ）を介して調整ナット（１３２）のドライバー溝または六角内径溝（１３２ａ）にドライバーまたは六角のレンチ工具（ｗｒｅｎｃｈ ｔｏｏｌ）を使用して調整ナット（１３２）を時計方向に回転させると、調整ナット（１３２）とネジ山で嵌合された固定ボルト（１３４）が上昇してギャップ（Ｌ）が開いて吐出口（１２８）が拡大する。これとは反対に、調整ナット（１３２）を反時計方向に回転させると、固定ボルト（１３４）とネジ山で嵌合された調整ナット（１３２）が上昇してストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）（１４４）と接触する。その後、調整ナット（１３２）を継続して反時計方向に回転させると、ストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）（１４４）と接触した調整ナット（１３２）が上昇することができないので、調整ナット（１３２）とネジ山で嵌合された固定ボルト（１３４）が下降してギャップ（Ｌ）が狭くなり吐出口（１２８）が縮小する。
上述の従来技術によるギャップ調整装置（１３０）及びこれを具備したスリットダイ（１２０）の場合、調整ナット（１３２）を緩めたり締めたりすることで吐出口（１２８）のギャップ調整が可能であるが、次のような問題点を有する。
１．ギャップ調整装置（１３０）が垂直方向の動作によってギャップを水平方向に調整するので、調整ナット（１３２）の回転量と正確に一致する値のギャップ調整を行うことができない。より具体的には、例えば、調整ナット（１３２）の回転量が５０ｕｍの場合、ギャップの調整量が５０ｕｍより小さな値または大きい値（例えば４８ｕｍまたは５２ｕｍ）に調整されて所望のギャップの調整量を精密に調整するのが困難である。
２．複数の調整ナット（１３２）が同一の回転量に対し、それぞれのギャップの調整量が互いに異なる値を有するようになり、複数の調整ナット（１３２）の調整動作を制御し難く、ギャップの調整に相当な時間が要求される。
３．上述の１及び２の問題点は、特に高精細（Ｆｕｌｌ Ｈｉｇｈ Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ： ＦＨＤ）大画面のＰＤＰまたはＬＣＤのブラックマトリックスの製造時により狭い線幅及びマトリックスサイズを具現するのに相当大きな障害要因となる。
４．ギャップ調整装置（１３０）が垂直方向に提供されるので、ギャップ調整装置（１３０）を収容するために相当に長い垂直方向の収容空間（１３１）が要求される。従って、長い収容空間（１３１）を加工するための加工時間及び加工コストが増加し、それによる維持補修が困難である。
In the method of forming a coating film by applying the coating liquid on the glass substrate (110) using the above-described conventional coating apparatus, the precision of the coating thickness is supplied by the coating liquid in the slit die (130). Thus, it depends on a gap adjusting device for precisely adjusting the discharge amount to be discharged.
FIG. 1b shows an embodiment of a slit die for discharging a coating liquid used in the prior art coating apparatus shown in FIG. 1a.
Referring to FIG. 1b, the prior art slit die (120) is composed of a pair of first lip (122a) and second lip (122b) facing each other. A coating liquid supply section (not shown) and a chamber (126) are formed inside the first lip (122a). A gap (L) is formed between the inner surface of the first lip (122a) at the lower end of the chamber (126) of the first lip (122a) and the inner surface of the corresponding second lip (122b). A slit-shaped discharge port (128) opened outside the lower portion of the gap (L) is formed. The coating liquid is discharged through the discharge port (128) to form a coating film on the surface of the work piece (110) (see FIG. 1a). In forming the coating film, the slit die (120) and the work piece (110) move relatively (see FIG. 1a). As an example, the color filter is manufactured by sequentially applying black, red, blue, and green coating liquids on a workpiece (110) such as a glass substrate. In such a color filter manufacturing process, after forming a photoresist coating film, patterning is performed by photolithography, and then a liquid crystal space injected between the color filter and the work (110) is formed. The method includes a step of forming a column or a step of forming an overcoating film for extremely reducing surface irregularities.
The slit die (120) according to the prior art described above includes a number of gap adjusting devices (130) along the longitudinal direction of the second lip (122b). Hereinafter, one gap adjusting device (130) will be described.
Referring also to FIG. 1b, a prior art gap adjustment device (130) is provided vertically on one side of the second lip (122b). An accommodation space (131) for accommodating the gap adjusting device (130) is formed in the second lip (122b). The prior art gap adjustment device (130) includes an adjustment nut (132), a fixing bolt (134), and a lower fixing member (148). The fixing bolt (134) is inserted into the second lip (122b) via a washer (150) by a lower fixing member (148) in a recess (154) provided horizontally on the lower side of the second lip (122b). ). A lower cap (152) is provided at the lower end of the lower fixing member (148). In addition, a stopper (144) is provided at the top of the adjustment nut (132), and an upper cap (142) is provided at the top of the stopper (144). At the same time, a protective cover (156) is provided on the outer side surface of the second lip (122b) provided with the depression (154) to protect foreign matters such as dust from flowing into the depression (154).
In the following, the operation of the gap adjusting device (130) according to the prior art will be described in detail.
Referring also to FIG. 1b, the upper cap (142) is removed using the upper cap driver groove or the hexagonal inner diameter groove (142a). After that, the adjustment nut (132) using a screwdriver or a hexagonal wrench tool to the driver groove or hexagonal inner diameter groove (132a) of the adjustment nut (132) through the stopper driver groove or hexagonal inner diameter groove (144a) Is rotated clockwise, the fixing bolt (134) fitted with the adjustment nut (132) and the screw thread is raised, the gap (L) is opened, and the discharge port (128) is enlarged. On the other hand, when the adjustment nut (132) is rotated counterclockwise, the adjustment nut (132) fitted with the fixing bolt (134) and the screw thread rises, and the stopper (144) Contact. After that, if the adjustment nut (132) is continuously rotated counterclockwise, the adjustment nut (132) in contact with the stopper (144) cannot be raised, so that the adjustment nut (132) and the thread The fixing bolt (134) fitted in step (4) is lowered, the gap (L) is narrowed, and the discharge port (128) is reduced.
In the case of the above-described conventional gap adjusting device (130) and the slit die (120) having the gap adjusting device (130), the gap of the discharge port (128) can be adjusted by loosening or tightening the adjusting nut (132). Have the following problems.
1. Since the gap adjusting device (130) adjusts the gap in the horizontal direction by the operation in the vertical direction, it is not possible to adjust the gap with a value that exactly matches the amount of rotation of the adjusting nut (132). More specifically, for example, when the rotation amount of the adjustment nut (132) is 50 um, the gap adjustment amount is adjusted to a value smaller than 50 um or a larger value (for example, 48 um or 52 um) to obtain a desired gap adjustment amount. It is difficult to adjust precisely.
2. The plurality of adjustment nuts (132) have different values for the respective gap adjustment amounts with respect to the same rotation amount, and it is difficult to control the adjustment operation of the plurality of adjustment nuts (132). Considerable time is required.
3. The above-mentioned problems 1 and 2 are significant obstacles to realizing a narrower line width and matrix size when manufacturing a black matrix of a PDP or LCD having a large full definition (FHD) large screen. .
4). Since the gap adjusting device (130) is provided in the vertical direction, a considerably long vertical accommodation space (131) is required to accommodate the gap adjusting device (130). Therefore, the processing time and processing cost for processing the long accommodation space (131) increase, and it is difficult to maintain and repair it.
本発明は上述の従来技術の問題点を解決するためのものであり、スリットダイのリップ間のギャップを垂直方向に調整する従来のギャップ調整方式を水平方向に調整することで、ギャップ調節量を精密に制御することができ、ギャップ調整が容易になり、ギャップ調節装置の部品数を顕著に減らすことでコストが節減され、維持補修が容易な改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置を提供する。 The present invention is for solving the above-mentioned problems of the prior art, and the gap adjustment amount is adjusted by adjusting a conventional gap adjustment method for adjusting the gap between the lips of the slit die in the vertical direction. An improved slit die gap adjusting device, which can be precisely controlled, facilitates gap adjustment, significantly reduces the number of parts of the gap adjusting device, reduces cost, and is easy to maintain and repair, and the like. A slit die and a coating apparatus are provided.
本発明の第１の特徴によれば、互いに対向する１対の第１リップ（ｌｉｐ）及び第２リップから構成されるスリットダイ用ギャップ調整装置において、ギャップ調整ナット、上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）、上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、上記固定ボルトを上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面に固定するための固定部材、及び上記ギャップ調整ナットと上記ギャップ調整ナットが収容される上記第１リップまたは上記第２リップの下部片側に形成された収容空間内に形成された段差（ｓｔｅｐ）の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）を有するスペーサーを含み、上記ギャップ調整装置は上記収容空間内に水平方向に提供され、上記固定ボルトは上記第１リップまたは上記第２リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第１リップまたは上記第２リップに固定されるスリットダイ用ギャップ調整装置を提供する。
本発明の第２の特徴によれば、スリットダイにおいて、互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ、上記第１リップまたは上記第２リップの内部に形成される塗液供給部、上記塗液供給部と連結されるチャンバー、上記第１リップの下部内側面と上記第２リップの下部内側面の間に形成されるギャップ（Ｌ）を具備するスリット形状の吐出口、上記第１リップまたは上記第２リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置を含み、上記複数のギャップ調整装置はそれぞれギャップ調整ナット、上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）、上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、上記固定ボルトを上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面に固定するための固定部材、及び上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差（ｓｔｅｐ）の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）を有するスペーサーを含み、上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第１リップまたは上記第２リップに固定されるスリットダイを提供する。
本発明の第３の特徴によれば、ＰＤＰまたはＬＣＤ製造用コーティング装置において、サクションテーブル（ｓｕｃｔｉｏｎ ｔａｂｌｅ）、上記サクションテーブル上に位置される作業物、上記サクションテーブル上で直線往復運動をするガントリー、及び上記ガントリーに付着し、上記作業物上に塗液を塗布するためのスリットダイを含み、上記スリットダイは互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ、上記第１リップまたは上記第２リップの内部に形成される塗液供給部、上記塗液供給部と連結されるチャンバー、上記第１リップの下部内側面と上記第２リップの下部内側面の間に形成されるギャップ（Ｌ）を具備するスリット形状の吐出口、上記第１リップまたは上記第２リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置を含み、上記複数のギャップ調整装置はそれぞれギャップ調整ナット、上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）、上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、上記固定ボルトを上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面に固定するための固定部材、及び上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差（ｓｔｅｐ）の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）を有するスペーサーを含み、上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第１リップまたは上記第２リップに固定されるコーティング装置を提供する。
According to a first aspect of the present invention, in a gap adjustment device for a slit die composed of a pair of first and second lips facing each other, a gap adjusting nut is disposed above the gap adjusting nut. A stopper provided, a fixing bolt screwed into the gap adjusting nut, a fixing member for fixing the fixing bolt to a lower side surface of the first lip or the second lip, and the gap adjusting nut; The gap adjustment nut is provided between steps formed in the accommodation space formed on the lower one side of the first lip or the second lip in which the gap adjustment nut is accommodated, and has a higher hardness than the gap adjustment nut. A spacer having a (hardness), wherein the gap adjusting device is horizontally disposed in the accommodating space. The fixing bolt is a slit die that is fixed to the first lip or the second lip by the fixing member in a gap adjusting recess provided vertically from a lower portion of the first lip or the second lip. A gap adjusting device for a vehicle is provided.
According to a second aspect of the present invention, in the slit die, a pair of first lip and second lip facing each other, a coating liquid supply unit formed inside the first lip or the second lip, A chamber connected to the coating liquid supply unit, a slit-shaped discharge port having a gap (L) formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip, the first lip Or a gap adjusting recess provided in a vertical direction from a lower portion of the second lip, and a housing space formed horizontally across the gap adjusting recess from a lower side surface of the first lip or the second lip. A plurality of gap adjusting devices, each of which includes a gap adjusting nut and a stopper (st pper), a fixing bolt screwed to the gap adjusting nut, a fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side surface of the first lip or the second lip, and the gap adjusting nut and the receiving space. A spacer provided between the formed step and having a hardness greater than that of the gap adjusting nut, wherein the fixing bolt is inserted into the gap adjusting recess by the fixing member by the first lip; Alternatively, a slit die fixed to the second lip is provided.
According to a third aspect of the present invention, in a PDP or LCD manufacturing coating apparatus, a suction table, a work positioned on the suction table, a gantry that reciprocates linearly on the suction table, And a slit die that adheres to the gantry and applies a coating liquid onto the work, wherein the slit die is a pair of first lip and second lip, the first lip, or the second that face each other. A coating liquid supply part formed inside the lip, a chamber connected to the coating liquid supply part, and a gap (L) formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip A slit-shaped discharge port, and a gap adjustment provided vertically from a lower portion of the first lip or the second lip A plurality of gap adjusting devices provided in a receiving space formed horizontally across the gap adjusting recess from a lower side surface of the first lip or the second lip. The adjusting device includes a gap adjusting nut, a stopper provided on an upper portion of the gap adjusting nut, a fixing bolt screwed to the gap adjusting nut, and the fixing bolt at a lower portion of the first lip or the second lip. A fixing member for fixing to a side surface, and a spacer provided between the gap adjusting nut and a step formed in the receiving space and having a hardness greater than that of the gap adjusting nut. The fixing bolt is inserted into the gap adjusting recess by the fixing member. To provide a coating apparatus which is fixed to the lip or the second lip.
本発明の改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置では、次のような長所が達成される。
１．ギャップ調整装置が水平方向の移動動作によってギャップを水平方向に調整するので、調整ナットの回転量と正確に一致する値のギャップ調整が行われるので、ギャップの調整量を精密に調整することが容易である。
２．複数の調整ナットが同一の回転量に対し、それぞれのギャップの調整量が実質的に同一の値を有するようになり、複数の調整ナットの調整動作を制御することが容易であり、ギャップの調整時間が相当減少する。
３．ギャップの精密調整が可能であるため、特に高精細（ＦＨＤ）大画面のＰＤＰまたはＬＣＤのブラックマトリックスの製造時により狭い線幅及びマトリックスサイズを具現することができる。
４．ギャップ調整装置が水平方向に提供されるので、ギャップ調整装置を収容するための収容空間の長さが短くなる。従って、短い収容空間を加工するための加工時間及び加工コストが減少し、それによる維持補修が容易である。
本発明のさらなる長所は、同一または類似する参照番号が同一の構成要素を表示する添付図面を参照し、以下の説明から明白に理解することができる。
In the improved slit die gap adjusting apparatus of the present invention and the slit die and coating apparatus including the same, the following advantages are achieved.
1. Since the gap adjustment device adjusts the gap in the horizontal direction by moving in the horizontal direction, a gap adjustment with a value that exactly matches the amount of rotation of the adjustment nut is performed, making it easy to precisely adjust the gap adjustment amount. It is.
2. The adjustment amount of each gap comes to have substantially the same value with respect to the same rotation amount of the plurality of adjustment nuts, and it is easy to control the adjustment operation of the plurality of adjustment nuts. Time is considerably reduced.
3. Since the gap can be finely adjusted, a narrower line width and matrix size can be realized particularly when manufacturing a black matrix for a high-definition (FHD) large-screen PDP or LCD.
4). Since the gap adjusting device is provided in the horizontal direction, the length of the accommodating space for accommodating the gap adjusting device is shortened. Therefore, the processing time and processing cost for processing a short accommodation space are reduced, and the maintenance and repair by it are easy.
Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which identical or similar reference numerals indicate identical components.
以下では、本発明の実施例及び図面を参照して本発明を詳細に記述する。
図２ａは本発明によるスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイを図示した図面であり、図２ｂは本発明によるスリットダイ用ギャップ調整装置の概略的な一部分解図である。図２ａに図示された本発明によるスリットダイ（２２０）及びコーティング装置はそれぞれギャップ調整装置（２３０）を除き、図１ｂ及び図１ａに図示されたスリットダイ（１２０）及びコーティング装置（１００）と実質的に同一である。
図２ａを参照すると、本発明によるスリットダイ（２２０）は、互いに対向する１対の第１リップ（２２２ａ）及び第２リップ（２２２ｂ）、上記第１リップ（２２２ａ）または上記第２リップ（２２２ｂ）の内部に形成される塗液供給部（図示しない）、上記塗液供給部と連結されるチャンバー（２２６）、上記第１リップ（２２２ａ）の下部内側面と上記第２リップ（２２２ｂ）の下部内側面の間に形成されるギャップ（Ｌ）を具備するスリット形状の吐出口（２２８）、上記第１リップ（２２２ａ）または上記第２リップ（２２２ｂ）の下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み（２５４）、及び上記第１リップ（２２２ａ）または上記第２リップ（２２２ｂ）の下部側面から上記ギャップ調整用窪み（２５４）を水平方向に横切って形成される収容空間（２３１）内に提供される複数のギャップ調整装置（２３０）を含む。複数のギャップ調整装置（２３０）はそれぞれ同一の構成を有するので、以下では、本発明による一つのギャップ調整装置（２３０）の構成及び動作を詳細に記述する。
図２ａ及び図２ｂを参照すると、本発明による一つのギャップ調整装置（２３０）は第２リップ（２２２ｂ）の片側下部に水平方向に提供される。しかし、当業者であれば本発明によるギャップ調整装置（２３０）が第１リップ（２２２ａ）の片側下部に水平方向に提供可能であることを十分に理解することができる。第２リップ（２２２ｂ）にはギャップ調整装置（２３０）を収容するための収容空間（２３１）が形成されている。本発明のギャップ調整装置（２３０）はギャップ調整ナット（２３２）、上記ギャップ調整ナット（２３２）の上部に提供されるストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）（２４４）、上記ギャップ調整ナット（２３２）と螺合される固定ボルト（２３４）、上記固定ボルト（２３４）を第２リップ（２２２ｂ）に固定するための固定部材（２４８）、及び上記ギャップ調整ナット（２３２）と上記ギャップ調整ナット（２３２）が収容される上記第２リップ（２２２ｂ）の収容空間（２３１）内に形成された段差（ｓｔｅｐ）（２６０）の間に提供されるスペーサー（２６２）を含む。固定ボルト（２３４）は第２リップ（２２２ｂ）のギャップ調整用窪み（２５４）内で固定部材（２４８）によってワッシャー（ｗａｓｈｅｒ）（２５０）を介して第２リップ（２２２ｂ）に固定される。ワッシャー（２５０）は選択仕様であり、必ず使用しなければならないものではない。また、ギャップ調整用窪み（２５４）の下部にはギャップ調整用窪み（２５４）内に埃などの異物が流入しないように保護する保護カバー（図示しない）が提供されることがある。
上述の本発明の実施例において、スペーサー（２６２）の材質は金属材質、具体的にはスチール、クロム及びマンガン（ＳＣＭ： 以下 ”ＳＣＭ”という）合金材質で具現されることが好ましい。また、スペーサー（２６２）の硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）はギャップ調整ナット（２３２）の硬度よりもさらに大きい値を有するのが好ましい。より具体的には、スペーサー（２６２）の硬度はロックウェル硬度（Ｒｏｃｋｗｅｌｌ Ｈａｒｄｎｅｓｓ）のＣスケール（ＨＲｃ）値（ダイヤモンドで作った円錐を試験面に一定の荷重で押した時に生じた跡の深さを示した値）で５８以上であることが好ましい。
以下では、本発明の実施例によるギャップ調整装置（２３０）の動作を詳細に記述する。
また図２ａ及び図２ｂを参照すると、ドライバーまたは六角のレンチ工具をストッパー（２４４）の上部溝（２４４ａ）を介してギャップ調整ナット（２３２）のドライバー溝または六角内径溝（２３２ａ）に装着する。その後、ギャップ調整ナット（２３２）を時計方向に回転させると、ギャップ調整ナット（２３２）とネジ山によって嵌合された固定ボルト（２３４）がギャップ調整ナット（２３２）の内部空間（２４６）内で上昇する（図２ｂに図示された矢印の右側方向に移動する）。その結果、ギャップ（Ｌ）が開いて結局吐出口（２２８）が拡大する。この場合、ギャップ調整ナット（２３２）の下部はスペーサー（２６２）の上部と接触し、スペーサー（２６２）の下部は第２リップ（２２２ｂ）の段差（２６０）と接触する。従って、ギャップ調整ナット（２３２）を回転させても、ギャップ調整ナット（２３２）の下端部が第２リップ（２２２ｂ）の段差（２６０）と直接接触しない。
より具体的には、 ギャップ調整ナット（２３２）を回転させると、ギャップ調整ナット（２３２）の下部はスペーサー（２６２）の上部と接触した状態で回転する。この時、ギャップ調整ナット（２３２）と接触するスペーサー（２６２）は回転しないか、若干回転する。従って、ギャップ調整ナット（２３２）を回転させても、スペーサー（２６２）の下部と接触する第２リップ（２２２ｂ）の段差（２６０）は回転力を受けないか、ほぼ受けることがない。従って、ギャップ調整ナット（２３２）と第２リップ（２２２ｂ）の段差（２６０）は摩擦による摩耗及びそれによる異物発生及び損傷発生などの問題が発生する可能性が顕著に減少する。また、スペーサー（２６２）がギャップ調整ナット（２３２）よりもさらに大きい値の硬度を有するので、ギャップ調整ナット（２３２）が摩耗してもギャップ調整ナット（２３２）だけを交替すれば良いため、維持補修を簡便かつ容易に行うことができる。
一方、ギャップ調整ナット（２３２）を反時計方向に回転させると、固定ボルト（２３４）とネジ山によって嵌合されたギャップ調整ナット（２３２）がストッパー（２４４）によって上昇不可能になるため、固定ボルト（２３４）がギャップ調整ナット（２３２）の内部空間（２４６）内で降下するようになる（図２ｂに図示された矢印の左側方向に移動する）。その結果、ギャップ（Ｌ）が狭くなり結局吐出口（２２８）が縮小する。
上述のように、本発明の実施例によるギャップ調整装置（２３０）では、ギャップ調整ナット（２３２）の回転量に直接比例して固定ボルト（２３４）が水平方向（図２ｂに図示された矢印方向）に沿って左右に移動し、固定ボルト（２３４）の移動距離だけ第２リップ（２２２ｂ）が水平方向に移動する。従って、ギャップ調整ナット（２３２）の回転量と正確に一致する値のギャップ調整が行われるので、ギャップ調整量の精密な制御が可能である。また、複数のギャップ調整ナット（２３２）が同一の回転量に対し、それぞれのギャップの調整量が実質的に同一の値を有するようになり、複数のギャップ調整ナット（２３２）の調整動作を制御することが容易であるため、ギャップの調整に必要な時間が相当減少する。
上述のように、本発明の実施例によれば、本発明のギャップ調整装置（２３０）及びこれを具備したスリットダイ（２２０）及びコーティング装置では、ギャップの精密な調整が可能であり、ギャップの調整時間が減少し、維持補修が容易である。
In the following, the present invention will be described in detail with reference to embodiments and drawings of the present invention.
FIG. 2A is a diagram illustrating a slit die gap adjusting apparatus and a slit die having the slit die according to the present invention, and FIG. 2B is a schematic partially exploded view of the slit die gap adjusting apparatus according to the present invention. The slit die (220) and the coating apparatus according to the present invention shown in FIG. 2a are substantially the same as the slit die (120) and the coating apparatus (100) shown in FIGS. 1b and 1a, respectively, except for the gap adjusting device (230). Are identical.
Referring to FIG. 2a, a slit die (220) according to the present invention includes a pair of first lip (222a) and second lip (222b) facing each other, the first lip (222a) or the second lip (222b). ) Formed inside the coating liquid supply unit (not shown), the chamber (226) connected to the coating liquid supply unit, the lower inner surface of the first lip (222a), and the second lip (222b) A slit-shaped discharge port (228) having a gap (L) formed between the lower inner surfaces, a gap provided vertically from the lower portion of the first lip (222a) or the second lip (222b). Adjust gap (254) in the horizontal direction from the adjustment dent (254) and the lower side surface of the first lip (222a) or the second lip (222b). Cut receiving space (231) formed by a plurality of gap adjusting device provided in the containing (230). Since the plurality of gap adjusting devices (230) have the same configuration, the configuration and operation of one gap adjusting device (230) according to the present invention will be described in detail below.
Referring to FIGS. 2a and 2b, one gap adjusting device (230) according to the present invention is provided in a horizontal direction at a lower portion on one side of the second lip (222b). However, those skilled in the art can fully appreciate that the gap adjusting device (230) according to the present invention can be provided horizontally at the lower part of one side of the first lip (222a). An accommodation space (231) for accommodating the gap adjusting device (230) is formed in the second lip (222b). The gap adjusting device (230) of the present invention is screwed into a gap adjusting nut (232), a stopper (244) provided on the gap adjusting nut (232), and the gap adjusting nut (232). A fixing bolt (234), a fixing member (248) for fixing the fixing bolt (234) to the second lip (222b), and the gap adjusting nut (232) and the gap adjusting nut (232) are accommodated. A spacer (262) is provided between a step (260) formed in the receiving space (231) of the second lip (222b). The fixing bolt (234) is fixed to the second lip (222b) via the washer (250) by the fixing member (248) in the gap adjusting recess (254) of the second lip (222b). The washer (250) is optional and not necessarily used. Further, a protective cover (not shown) may be provided below the gap adjusting recess (254) to protect foreign matters such as dust from flowing into the gap adjusting recess (254).
In the above-described embodiment of the present invention, the
Hereinafter, the operation of the
Referring also to FIGS. 2a and 2b, a screwdriver or hexagonal wrench tool is mounted on the driver groove or hexagonal inner diameter groove (232a) of the gap adjusting nut (232) via the upper groove (244a) of the stopper (244). Thereafter, when the gap adjusting nut (232) is rotated in the clockwise direction, the fixing bolt (234) fitted with the gap adjusting nut (232) by the screw thread is moved in the internal space (246) of the gap adjusting nut (232). Ascend (move to the right of the arrow shown in FIG. 2b). As a result, the gap (L) opens and eventually the discharge port (228) expands. In this case, the lower portion of the gap adjusting nut (232) is in contact with the upper portion of the spacer (262), and the lower portion of the spacer (262) is in contact with the step (260) of the second lip (222b). Therefore, even if the gap adjustment nut (232) is rotated, the lower end portion of the gap adjustment nut (232) does not directly contact the step (260) of the second lip (222b).
More specifically, when the gap adjusting nut (232) is rotated, the lower portion of the gap adjusting nut (232) rotates while being in contact with the upper portion of the spacer (262). At this time, the spacer (262) in contact with the gap adjusting nut (232) does not rotate or slightly rotates. Therefore, even if the gap adjusting nut (232) is rotated, the step (260) of the second lip (222b) contacting the lower portion of the spacer (262) is not or hardly receives the rotational force. Accordingly, the step (260) between the gap adjusting nut (232) and the second lip (222b) significantly reduces the possibility of occurrence of problems such as wear due to friction and the occurrence of foreign matter and damage. In addition, since the spacer (262) has a larger hardness than the gap adjustment nut (232), even if the gap adjustment nut (232) is worn, only the gap adjustment nut (232) needs to be replaced. Repair can be performed easily and easily.
On the other hand, when the gap adjustment nut (232) is rotated counterclockwise, the gap adjustment nut (232) fitted by the fixing bolt (234) and the screw thread cannot be raised by the stopper (244). The bolt (234) comes down in the internal space (246) of the gap adjusting nut (232) (moves to the left of the arrow shown in FIG. 2b). As a result, the gap (L) is narrowed and the discharge port (228) is eventually reduced.
As described above, in the gap adjusting device (230) according to the embodiment of the present invention, the fixing bolt (234) is in the horizontal direction (in the direction of the arrow shown in FIG. 2b) in direct proportion to the rotation amount of the gap adjusting nut (232). ) And the second lip (222b) moves in the horizontal direction by the moving distance of the fixing bolt (234). Accordingly, since the gap adjustment is performed with a value that exactly matches the rotation amount of the gap adjustment nut (232), the gap adjustment amount can be precisely controlled. Further, the gap adjustment amounts of the plurality of gap adjustment nuts (232) have substantially the same value with respect to the same rotation amount, and the adjustment operation of the plurality of gap adjustment nuts (232) is controlled. Since it is easy to do, the time required to adjust the gap is significantly reduced.
As described above, according to the embodiment of the present invention, the gap adjusting apparatus (230) of the present invention, the slit die (220) and the coating apparatus including the gap adjusting apparatus (230) can precisely adjust the gap. Adjustment time is reduced and maintenance is easy.
多様な変形例が本発明の範囲を超えることなく、本明細書に記述され例示された構成及び方法で作製することができるので、上記詳細な説明に含まれたり、添付図面に図示されたすべての事項は例示的なものとして本発明を制限するものではない。従って、本発明の範囲は上述の例示的な実施例によって制限されることがなく、以下の請求の範囲及びその均等物によってのみ定められる。 Various modifications may be made in the arrangements and methods described and illustrated herein without departing from the scope of the invention, and thus all that are included in the above detailed description and illustrated in the accompanying drawings. These items are illustrative and do not limit the present invention. Accordingly, the scope of the invention is not limited by the above-described exemplary embodiments, but is defined only by the following claims and their equivalents.
２２０ スリットダイ
２２２ａ 第１リップ
２２２ｂ 第２リップ
２２６ チャンバー
２２８ 吐出口
２３０ ギャップ調整装置
２３１ 収容空間
２３２ ギャップ調整ナット
２３４ 固定ボルト
２４４ ストッパー
２４８ 固定部材
２５４ ギャップ調整用窪み
220 Slit die 222a First lip 222b Second lip 226
Claims (12)
ギャップ調整ナット、
上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）、
上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、
上記固定ボルトを上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面に固定するための固定部材、及び
上記ギャップ調整ナットと上記ギャップ調整ナットが収容される上記第１リップまたは上記第２リップの下部片側に形成された収容空間内に形成された段差（ｓｔｅｐ）の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）を有するスペーサー
を含み、
上記ギャップ調整装置は上記収容空間内に水平方向に提供され、
上記固定ボルトは上記第１リップまたは上記第２リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第１リップまたは上記第２リップに固定される
スリットダイ用ギャップ調整装置。 In a slit die gap adjusting device comprising a pair of first lip and second lip facing each other,
Gap adjustment nut,
A stopper provided on top of the gap adjustment nut,
A fixing bolt screwed into the gap adjusting nut;
A fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side surface of the first lip or the second lip, and a lower one side of the first lip or the second lip in which the gap adjusting nut and the gap adjusting nut are accommodated Including a spacer provided between steps formed in the accommodation space formed in the housing, and having a hardness that is greater than the gap adjustment nut,
The gap adjusting device is provided horizontally in the accommodating space;
The fixing bolt is a gap adjustment for slit die fixed to the first lip or the second lip by the fixing member in a gap adjusting recess provided vertically from the lower part of the first lip or the second lip. apparatus.
上記スペーサーの硬度は５８以上のロックウェル硬度のＣスケール（ＨＲｃ）値を有することを特徴とする第３項に記載のスリットダイ用ギャップ調整装置。 The metal material is SCM alloy material,
4. The slit die gap adjusting device according to claim 3, wherein the spacer has a Rockwell hardness C scale (HRc) value of 58 or more.
互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ、
上記第１リップまたは上記第２リップの内部に形成される塗液供給部、
上記塗液供給部と連結されるチャンバー、
上記第１リップの下部内側面と上記第２リップの下部内側面の間に形成されるギャップ（Ｌ）を具備するスリット形状の吐出口、
上記第１リップまたは上記第２リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び
上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置
を含み、
上記複数のギャップ調整装置はそれぞれ
ギャップ調整ナット、
上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）、
上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、
上記固定ボルトを上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面に固定するための固定部材、及び
上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差（ｓｔｅｐ）の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）を有するスペーサー
を含み、
上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第１リップまたは上記第２リップに固定される
スリットダイ。 In the slit die
A pair of first and second lips facing each other;
A coating liquid supply unit formed inside the first lip or the second lip;
A chamber connected to the coating liquid supply unit;
A slit-shaped discharge port having a gap (L) formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip;
A gap adjusting recess provided vertically from a lower portion of the first lip or the second lip, and a gap adjusting recess horizontally formed from a lower side surface of the first lip or the second lip. Including a plurality of gap adjusting devices provided in the receiving space,
Each of the plurality of gap adjusting devices includes a gap adjusting nut,
A stopper provided on top of the gap adjustment nut,
A fixing bolt screwed into the gap adjusting nut;
A fixing member for fixing the fixing bolt to a lower side surface of the first lip or the second lip, and a gap formed between the gap adjusting nut and the accommodation space; Including a spacer having a greater hardness than the adjusting nut,
The fixing bolt is a slit die fixed to the first lip or the second lip by the fixing member in the gap adjusting recess.
上記スペーサーの硬度は５８以上のロックウェル硬度のＣスケール（ＨＲｃ）値を有することを特徴とする第７項に記載のスリットダイ。 The metal material is SCM alloy material,
The slit die according to item 7, wherein the spacer has a Rockwell hardness C scale (HRc) value of 58 or more.
サクションテーブル（ｓｕｃｔｉｏｎ ｔａｂｌｅ）、
上記サクションテーブル上に位置される作業物、
上記サクションテーブル上で直線往復運動をするガントリー、及び
上記ガントリーに付着し、上記作業物上に塗液を塗布するためのスリットダイ
を含み、
上記スリットダイは
互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ、
上記第１リップまたは上記第２リップの内部に形成される塗液供給部、
上記塗液供給部と連結されるチャンバー、
上記第１リップの下部内側面と上記第２リップの下部内側面の間に形成されるギャップ（Ｌ）を具備するスリット形状の吐出口、
上記第１リップまたは上記第２リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び
上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置
を含み、
上記複数のギャップ調整装置はそれぞれ
ギャップ調整ナット、
上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー（ｓｔｏｐｐｅｒ）、
上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、
上記固定ボルトを上記第１リップまたは上記第２リップの下部側面に固定するための固定部材、及び
上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差（ｓｔｅｐ）の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）を有するスペーサー
を含み、
上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第１リップまたは上記第２リップに固定される
コーティング装置。 In PDP or LCD manufacturing coating equipment,
Suction table (suction table),
A work piece located on the suction table;
A gantry that reciprocates linearly on the suction table, and a slit die that adheres to the gantry and applies a coating liquid onto the work,
The slit die has a pair of first lip and second lip facing each other,
A coating liquid supply unit formed inside the first lip or the second lip;
A chamber connected to the coating liquid supply unit;
A slit-shaped discharge port having a gap (L) formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip;
A gap adjusting recess provided vertically from a lower portion of the first lip or the second lip, and a gap adjusting recess horizontally formed from a lower side surface of the first lip or the second lip. Including a plurality of gap adjusting devices provided in the receiving space,
Each of the plurality of gap adjusting devices includes a gap adjusting nut,
A stopper provided on top of the gap adjustment nut,
A fixing bolt screwed into the gap adjusting nut;
A fixing member for fixing the fixing bolt to a lower side surface of the first lip or the second lip, and a gap formed between the gap adjusting nut and the accommodation space; Including a spacer having a greater hardness than the adjusting nut,
The said fixing bolt is a coating apparatus fixed to the said 1st lip or the said 2nd lip by the said fixing member in the said hollow for gap adjustment.
上記スペーサーの硬度は５８以上のロックウェル硬度のＣスケール（ＨＲｃ）値を有することを特徴とする第１１項に記載のコーティング装置。 The metal material is an SCM alloy material,
12. The coating apparatus according to item 11, wherein the spacer has a Rockwell hardness C scale (HRc) value of 58 or more.
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