KR20100124592A - An improved gap adjusting device for slit die, and a slit die and a coating apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A gap adjusting device for a slit die, the slit die including thereof, and a coating apparatus are provided to easily and precisely adjust a gap, and to reduce the number of spare parts for the gap adjusting device. CONSTITUTION: A gap adjusting device(230) for a slit die is formed with a pair of first and second ribs(222a,222b) facing each other, a gap-adjustable nut(232), a stopper(244) installed on the upper side of the gap-adjustable nut, a fixing bolt(234) screwed to the gap-adjustable nut, a fixing member fixing the fixing bolt to the lower side of the ribs, and a spacer with the higher hardness than the gap-adjustable nut.

Description

개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치{An Improved Gap Adjusting Device for Slit Die, and A Slit Die and A Coating Apparatus Having the Same} An Improved Gap Adjusting Device for Slit Die, and A Slit Die and A Coating Apparatus Having the Same}

본 발명은 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 슬릿 다이의 립 간의 갭을 수직방향으로 조정하는 종래 갭 조정 방식을 수평 방향으로 조정함으로써, 갭 조절량을 정밀하게 제어할 수 있고, 갭 조정이 용이하게 이루어지며, 갭 조절 장치의 부품의 수를 현저하게 줄임으로써 비용이 절감되고, 유지보수가 용이한 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an improved gap adjusting device for slit dies and to a slit die and coating device having the same. More specifically, the present invention can adjust the gap adjustment amount in the horizontal direction by adjusting the conventional gap adjustment method of vertically adjusting the gap between the lip of the slit die, the gap adjustment can be precisely controlled, the gap adjustment is made easily, the gap An improved gap adjusting device for slit die, which is cost-saving and easy to maintain, by significantly reducing the number of parts of the adjusting device, and a slit die and coating device having the same.

일반적으로 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재(基材) 또는 작업물(work piece: 이하 "작업물"이라 합니다) 상에 도액을 도포하기 위해서는 슬릿 다이(slit die)를 구비한 코팅 장치가 사용된다.In general, a coating apparatus having a slit die for applying a coating liquid onto a substrate or a work piece (hereinafter referred to as a “work piece”) such as glass for manufacturing a PDP or LCD. Is used.

좀 더 구체적으로, 도 1a에 개략적으로 도시된 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater)(100)(이하 "코팅 장치"라 합니다)에서는 코팅할 작업물인 글래스 기판(110)을 스테이지 또는 석션 테이블(suction table: 112) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)(125)에 부착된 슬릿 다이(120)를 수평방향으로 이동시키면서 글래스 기판(110) 상에 필요한 도액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.More specifically, in the table coater 100 (hereinafter referred to as “coating apparatus”) used to manufacture the PDP or LCD schematically shown in FIG. 1A, the glass substrate 110 is a work to be coated. Is placed on a stage or suction table (112) and then the necessary coating liquid is applied onto the glass substrate (110) while moving the slit die (120) attached to the gantry (125) horizontally. Is being used.

상술한, 종래 기술에 따른 코팅 장치를 사용하여 도액을 글래스 기판(110) 상에 도포하여 도막을 형성하는 방법에서, 도막 두께의 정밀도는 슬릿 다이(130) 내의 도액을 공급하고 토출하는 토출량을 정밀하게 조정하기 위한 갭 조정 장치에 의해 좌우된다.In the method for forming a coating film by applying the coating liquid onto the glass substrate 110 using the coating apparatus according to the related art described above, the precision of the coating thickness is precisely the amount of discharge to supply and discharge the coating liquid in the slit die 130. Influenced by a gap adjustment device for adjustment.

도 1b는 상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 도액을 토출하는 슬릿 다이의 일 실시예가 도시되어 있다.FIG. 1B shows one embodiment of a slit die for discharging a coating liquid used in the coating apparatus according to the prior art shown in FIG. 1A described above.

도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 슬릿 다이(120)는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(lip)(122a) 및 제 2 립(122b)으로 구성된다. 제 1 립(122a)의 내부에는 도액 공급부(124), 및 챔버(126)가 형성되어 있다. 제 1 립(122a)의 챔버(126) 하단부의 제 1 립(122a) 내측면과 이에 대응하는 제 2 립(122b)의 내측면 사이에는 갭(L)이 형성되어 있으며, 갭(L)의 하부 바깥쪽으로 개구된 슬릿 형상의 토출구(128)가 형성되어 있다. 도액은 토출구(128)를 통해 토출되어 작업물(110)(도 1a 참조)의 표면에 도막을 형성한다. 도막의 형성에 있어서, 슬릿 다이(120)와 작업물(110)은 상대적으로 이동하게 된다(도 1a 참조). 하나의 예로, 컬러 필터는 글래스 기판과 같은 작업물(110) 상에 검정, 빨강, 파랑, 초록의 도액을 순차적으로 도포함으로써 제조된다. 이러한 컬러 필터의 제조 공정은 포토레지스트의 도막을 형성한 후, 포토리소그래피 가공에 의해 패턴 가공을 한 후, 컬러 필터와 작업 물(110) 사이에 주입되는 액정의 스페이스를 형성하는 기둥을 형성하는 공정, 또는 표면의 요철을 아주 작게 하기 위한 오버코팅 도막을 형성하는 공정을 포함한다.Referring to FIG. 1B, the slit die 120 according to the prior art is composed of a pair of first lips 122a and second lips 122b facing each other. The coating liquid supply part 124 and the chamber 126 are formed in the 1st lip 122a. A gap L is formed between an inner surface of the first lip 122a of the lower end of the chamber 126 of the first lip 122a and an inner surface of the second lip 122b corresponding thereto. The slit-shaped discharge port 128 opened to the lower outer side is formed. The coating liquid is discharged through the discharge port 128 to form a coating film on the surface of the workpiece 110 (see FIG. 1A). In forming the coating film, the slit die 120 and the workpiece 110 are moved relatively (see FIG. 1A). In one example, the color filter is manufactured by sequentially applying black, red, blue, green coating liquid onto a workpiece 110 such as a glass substrate. In the manufacturing process of such a color filter, after forming a coating film of a photoresist, performing a pattern processing by photolithography, forming a pillar for forming a space of liquid crystal injected between the color filter and the workpiece 110. Or forming an overcoating coating film for making the surface irregularities very small.

상술한 종래 기술에 따른 슬릿 다이(120)는 제 2 립(122b)의 길이 방향을 따라 다수개의 갭 조정 장치(130)를 구비하고 있다. 이하에서는 하나의 갭 조정 장치(130)에 대해 기술하기로 한다.The above-described slit die 120 according to the prior art has a plurality of gap adjusting devices 130 along the longitudinal direction of the second lip 122b. Hereinafter, one gap adjustment device 130 will be described.

다시 도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 갭 조정 장치(130)는 제 2 립(122b)의 일측에 수직방향으로 제공된다. 제 2 립(122b)에는 갭 조정 장치(130)를 수용하기 위한 수용 공간(131)이 형성되어 있다. 종래 기술의 갭 조정 장치(130)는 조정 너트(132), 고정 볼트(134), 및 하부 고정부재(148)를 포함한다. 고정 볼트(134)는 제 2 립(122b)의 하부 일측에 수평방향으로 제공되는 캐비티(154) 내에서 하부 고정부재(148)에 의해 와셔(washer)(150)를 통해 제 2 립(122b)에 고정된다. 하부 고정부재(148)의 하단에는 하부 캡(152)이 제공된다. 또한, 조정 너트(132)의 상부에는 스토퍼(stopper)(144)가 제공되며, 스토퍼(144)의 상부에는 상부캡(142)이 제공된다. 아울러, 캐비티(154)가 제공되는 제 2 립(122b)의 외부 측면에는 캐비티(154) 내에 먼지 등의 이물질이 유입되지 않도록 보호하는 보호 커버(156)가 제공된다.Referring again to FIG. 1B, the gap adjusting device 130 according to the related art is provided in a vertical direction on one side of the second lip 122b. An accommodation space 131 for accommodating the gap adjusting device 130 is formed in the second lip 122b. The prior art gap adjusting device 130 includes an adjusting nut 132, a fixing bolt 134, and a lower fixing member 148. The fixing bolt 134 is provided through the washer 150 by the lower fixing member 148 in the cavity 154 provided in the horizontal direction on the lower side of the second lip 122b. Is fixed to. The lower cap 152 is provided at the lower end of the lower fixing member 148. In addition, a stopper 144 is provided at the top of the adjustment nut 132, and an upper cap 142 is provided at the top of the stopper 144. In addition, a protective cover 156 is provided on an outer side surface of the second lip 122b provided with the cavity 154 to prevent foreign substances such as dust from entering the cavity 154.

이하에서는 종래 기술에 따른 갭 조정 장치(130)의 동작을 상세히 기술한다. Hereinafter, the operation of the gap adjusting device 130 according to the prior art will be described in detail.

다시 도 1b를 참조하면, 상부 캡 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(142a)을 이용하여 상부캡(142)을 제거한다. 그 후, 스토퍼 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(144a)을 통해 조정 너트(132)의 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(132a)에 드라이 버 또는 육각의 런치공구를 사용하여 조정 너트(132)를 시계방향으로 회전시키면, 조정 너트(132)와 나사산으로 맞물린 고정 볼트(134)가 상승하게 되어 갭(L)이 벌어져 토출구(128)가 확대된다. 이와는 반대로, 조정 너트(132)를 반시계방향으로 회전시키면, 고정 볼트(134)와 나사산으로 맞물린 조정 너트(132)가 상승하게 되어 스토퍼(stopper)(144)와 접촉한다. 그 후, 조정 너트(132)를 계속 반시계방향으로 회전시키면, 스토퍼(stopper)(144)와 접촉된 조정 너트(132)가 상승하지 못하므로, 조정 너트(132)와 나사산으로 맞물린 고정 볼트(134)가 하강하게 되어 갭(L)이 좁아져 토출구(128)가 축소된다.Referring to FIG. 1B again, the upper cap 142 is removed using the upper cap driver groove or the hexagonal inner diameter groove 142a. Thereafter, the adjustment nut 132 is clocked using a screwdriver or a hexagonal launch tool to the driver groove or the hexagonal inner groove 132a of the adjustment nut 132 through the stopper driver groove or the hexagonal inner groove 144a. In the direction of rotation, the fixing bolt 134 meshed with the adjusting nut 132 rises, causing the gap L to open, thereby expanding the discharge port 128. On the contrary, when the adjusting nut 132 is rotated counterclockwise, the adjusting nut 132 meshed with the fixing bolt 134 is raised to come into contact with the stopper 144. Thereafter, if the adjustment nut 132 is rotated counterclockwise, the adjustment nut 132 in contact with the stopper 144 does not rise, so that the fixing bolt engaged with the adjustment nut 132 with a thread ( 134 is lowered and the gap L is narrowed so that the discharge port 128 is reduced.

상술한 종래 기술에 따른 갭 조정 장치(130) 및 이를 구비한 슬릿 다이(120)의 경우, 조정 너트(132)를 풀거나 조임으로써 토출구(128)의 갭 조정이 가능하지만 다음과 같은 문제점을 갖는다.In the above-described gap adjusting device 130 and the slit die 120 having the same, the gap adjustment of the discharge port 128 is possible by loosening or tightening the adjusting nut 132, but has the following problems. .

1. 갭 조정 장치(130)가 수직방향의 동작에 의해 갭을 수평 방향으로 조정하므로, 조정 너트(132)의 회전량과 정확하게 일치하는 값만큼 갭의 조정이 이루어지지 않는다. 좀 더 구체적으로, 예를 들어 조정 너트(132)의 회전량이 50㎛인 경우 갭의 조정량이 50㎛보다 작은 값 또는 큰 값(예를 들어 48㎛ 또는 52㎛)으로 조정되어 원하는 갭의 조정량을 정밀하게 조정하는 것이 어렵다.1. Since the gap adjusting device 130 adjusts the gap in the horizontal direction by the vertical operation, the gap is not adjusted by a value that exactly matches the amount of rotation of the adjusting nut 132. More specifically, for example, when the amount of rotation of the adjusting nut 132 is 50 μm, the amount of adjustment of the gap is adjusted to a value smaller or larger than 50 μm (for example, 48 μm or 52 μm), thereby adjusting the desired gap. It is difficult to precisely adjust

2. 복수개의 조정 너트(132)가 동일한 회전량에 대해 각각의 갭의 조정량이 서로 상이한 값을 갖게 되어 복수개의 조정 너트(132)의 조정 동작을 제어하기 어렵고 갭의 조정에 상당한 시간이 요구된다.2. It is difficult to control the adjustment operation of the plurality of adjustment nuts 132 because the plurality of adjustment nuts 132 have different values for adjustment of the gaps for the same rotation amount, and a considerable time is required for the adjustment of the gaps. .

3. 상술한 1 및 2의 문제점은 특히 고정세(Full High Definition: FHD) 대화 면의 PDP 또는 LCD의 블랙 메트릭스를 제조시 더 좁은 선폭 및 매트릭스 사이즈를 구현하는데 상당히 큰 장애 요인이 된다.3. The problems of 1 and 2 described above are a significant obstacle to realizing narrower line widths and matrix sizes, especially when manufacturing black matrixes of full high definition (FHD) large screen PDPs or LCDs.

4. 갭 조정 장치(130)가 수직방향으로 제공되므로 갭 조정 장치(130)를 수용하기 위해 상당히 긴 수직방향의 수용 공간(131)이 요구된다. 따라서, 긴 수용 공간(131)을 가공하기 위한 가공 시간 및 가공 비용이 증가하며, 그에 따른 유지 보수가 어렵다.4. Since the gap adjusting device 130 is provided in the vertical direction, a considerably long vertical receiving space 131 is required to accommodate the gap adjusting device 130. Therefore, the processing time and the processing cost for processing the long receiving space 131 is increased, and thus maintenance is difficult.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 슬릿 다이의 립 간의 갭을 수직방향으로 조정하는 종래 갭 조정 방식을 수평 방향으로 조정함으로써, 갭 조절량을 정밀하게 제어할 수 있고, 갭 조정이 용이하게 이루어지며, 갭 조절 장치의 부품의 수를 현저하게 줄임으로써 비용이 절감되고, 유지보수가 용이한 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and by adjusting the conventional gap adjustment method of adjusting the gap between the lip of the slit die in the vertical direction in the horizontal direction, the gap adjustment amount can be precisely controlled, and the gap adjustment is performed. The present invention provides an improved gap adjusting device for a slit die, and a slit die and coating device having the same, which are easily made and which reduce costs by significantly reducing the number of parts of the gap adjusting device. .

본 발명의 제 1 특징에 따르면, 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(lip) 및 제 2 립으로 구성되는 슬릿 다이용 갭 조정 장치에 있어서, 갭 조정 너트; 상기 갭 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper); 상기 갭 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트; 상기 고정 볼트를 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에 고정하기 위한 고정부재; 및 상기 갭 조정 너트와 상기 갭 조정 너트가 수용되는 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 형성된 수용 공간 내에 형성된 단턱(step) 사이에 제공되며, 상기 갭 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 스페이서를 포함하고, 상기 갭 조정 장치는 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 일측에 형성된 수용 공간 내에 수평 방향으로 제공되며, 상기 고정 볼트는 상기 제1 립 또는 상기 제 2 립의 하부에서 수직방향으로 제공되는 갭 조정용 캐비티 내에서 상기 고정부재에 의해 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 고정되는 슬릿 다이용 갭 조정 장치 를 제공하기 위한 것이다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a gap adjusting device for a slit die composed of a pair of first and second lips facing each other, comprising: a gap adjusting nut; A stopper provided on top of the gap adjustment nut; A fixing bolt screwed with the gap adjustment nut; A fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side of the first lip or the second lip; And a step formed in a receiving space formed in the first lip or the second lip in which the gap adjusting nut is received and having a greater hardness than the gap adjusting nut. And a spacer, wherein the gap adjusting device is provided in a horizontal direction in a receiving space formed at a lower side of the first lip or the second lip, and the fixing bolt is perpendicular to the bottom of the first lip or the second lip. It is to provide a gap adjusting device for the slit die fixed to the first lip or the second lip by the fixing member in the gap adjusting cavity provided in the direction.

본 발명의 제 2 특징에 따르면, 슬릿 다이에 있어서, 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립 및 제 2 립; 상기 제 1 립의 내부에 형성되는 도액 공급부; 상기 도액 공급부와 연결되는 챔버; 상기 제 1 립의 하부 내측면과 상기 제 2 립의 하부 내측면 사이에 형성되는 갭(L)을 구비하는 슬릿 형상의 토출구; 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부에서 수직방향으로 제공되는 갭 조정용 캐비티; 및 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에서 상기 갭 조정용 캐비티를 수평방향으로 가로질러 형성되는 수용 공간 내에 제공되는 복수의 갭 조정 장치를 포함하고, 상기 복수의 갭 조정 장치는 각각 갭 조정 너트; 상기 갭 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper); 상기 갭 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트; 상기 고정 볼트를 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에 고정하기 위한 고정부재; 및 상기 수용 공간 내에 형성된 단턱(step) 사이에 제공되며, 상기 갭 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 스페이서를 포함하며, 상기 고정 볼트는 상기 갭 조정용 캐비티 내에서 상기 고정부재에 의해 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 고정되는 슬릿 다이를 제공하기 위한 것이다.According to a second aspect of the invention there is provided a slit die, comprising: a pair of first and second lips facing each other; A coating liquid supply part formed inside the first lip; A chamber connected with the coating liquid supply part; A slit-shaped outlet having a gap L formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip; A gap adjusting cavity provided vertically under the first lip or the second lip; And a plurality of gap adjusting devices provided in a receiving space formed horizontally across the gap adjusting cavity at the lower side of the first lip or the second lip, wherein the plurality of gap adjusting devices respectively have gap adjustments. nut; A stopper provided on top of the gap adjustment nut; A fixing bolt screwed with the gap adjustment nut; A fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side of the first lip or the second lip; And a spacer provided between steps formed in the receiving space, the spacer having a greater hardness than the gap adjusting nut, wherein the fixing bolt is formed by the fixing member in the gap adjusting cavity. To provide a slit die fixed to one lip or the second lip.

본 발명의 제 3 특징에 따르면, PDP 또는 LCD 제조용 코팅 장치에 있어서, 석션 테이블(suction table); 상기 석션 테이블 상에 위치되는 작업물; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및 상기 갠트리에 부착되며, 상기 작업물 상에 도액을 도포하기 위한 슬릿 다이를 포함하고, 상기 슬릿 다이는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립 및 제 2 립; 상기 제 1 립의 내부에 형성되는 도액 공급 부; 상기 도액 공급부와 연결되는 챔버; 상기 제 1 립의 하부 내측면과 상기 제 2 립의 하부 내측면 사이에 형성되는 갭(L)을 구비하는 슬릿 형상의 토출구; 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부에서 수직방향으로 제공되는 갭 조정용 캐비티; 및 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에서 상기 갭 조정용 캐비티를 수평방향으로 가로질러 형성되는 수용 공간 내에 제공되는 복수의 갭 조정 장치를 포함하며, 상기 복수의 갭 조정 장치는 각각 갭 조정 너트; 상기 갭 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper); 상기 갭 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트; 상기 고정 볼트를 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에 고정하기 위한 고정부재; 및 상기 수용 공간 내에 형성된 단턱(step) 사이에 제공되며, 상기 갭 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 스페이서를 포함하고, 상기 고정 볼트는 상기 갭 조정용 캐비티 내에서 상기 고정부재에 의해 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 고정되는 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다. According to a third aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus for manufacturing a PDP or LCD, comprising: a suction table; A workpiece located on the suction table; A gantry for linear reciprocating motion on the suction table; And a slit die attached to the gantry, the slit die for applying a coating solution onto the workpiece, wherein the slit die comprises a pair of first and second lips facing each other; A coating liquid supply part formed inside the first lip; A chamber connected with the coating liquid supply part; A slit-shaped outlet having a gap L formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip; A gap adjusting cavity provided vertically under the first lip or the second lip; And a plurality of gap adjusting devices provided in a receiving space formed horizontally across the gap adjusting cavity at the lower side of the first lip or the second lip, wherein the plurality of gap adjusting devices respectively have gap adjustments. nut; A stopper provided on top of the gap adjustment nut; A fixing bolt screwed with the gap adjustment nut; A fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side of the first lip or the second lip; And a spacer provided between steps formed in the receiving space, the spacer having a greater hardness than the gap adjusting nut, wherein the fixing bolt is formed by the fixing member in the gap adjusting cavity. It is to provide a coating device fixed to one lip or the second lip.

본 발명의 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.In the improved gap adjusting device for slit die of the present invention and the slit die and coating device having the same, the following advantages are achieved.

1. 갭 조정 장치가 수평방향의 이동 동작에 의해 갭을 수평 방향으로 조정하므로, 조정 너트(132)의 회전량과 정확하게 일치하는 값만큼 갭의 조정이 이루어지므로 갭의 조정량을 정밀하게 조정하는 것이 용이하다.1. Since the gap adjusting device adjusts the gap in the horizontal direction by the horizontal movement operation, the gap is adjusted by a value that exactly matches the rotation amount of the adjusting nut 132, so that the gap is precisely adjusted. It is easy.

2. 복수개의 조정 너트가 동일한 회전량에 대해 각각의 갭의 조정량이 실질적으로 동일한 값을 갖게 되어 복수개의 조정 너트의 조정 동작을 제어하기 용이하 며 갭의 조정 시간이 상당히 줄어든다.2. The adjustment amount of each gap has substantially the same value for the same amount of rotation of the plurality of adjustment nuts, which makes it easy to control the adjustment operation of the plurality of adjustment nuts and the gap adjustment time is significantly reduced.

3. 갭의 정밀 조정이 가능하므로 특히 고정세(FHD) 대화면의 PDP 또는 LCD의 블랙 메트릭스를 제조시 더 좁은 선폭 및 매트릭스 사이즈를 구현하는 것이 가능하다.3. It is possible to precisely adjust the gap, so that it is possible to realize narrower line width and matrix size, especially when manufacturing black matrix of PDP or LCD of high definition (FHD) large screen.

4. 갭 조정 장치가 수평방향으로 제공되므로 갭 조정 장치를 수용하기 위한 수용 공간의 길이가 짧아진다. 따라서, 짧은 수용 공간을 가공하기 위한 가공 시간 및 가공 비용이 감소하며, 그에 따른 유지 보수가 용이하다.4. Since the gap adjusting device is provided in the horizontal direction, the length of the receiving space for accommodating the gap adjusting device is shortened. Therefore, the machining time and the machining cost for machining the short receiving space are reduced, thereby making it easy to maintain.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 기술한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments and drawings of the present invention.

도 2a는 본 발명에 따른 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 도시한 도면이고, 도 2b는 본 발명에 따른 슬릿 다이용 갭 조정 장치의 개략적인 일부 분해도이다. 도 2a에 도시된 본 발명에 따른 슬릿 다이(220) 및 코팅 장치는 각각 갭 조정 장치(230)를 제외하고는 도 1b 및 도 1a에 도시된 슬릿 다이(120) 및 코팅 장치(100)와 실질적으로 동일하다.Figure 2a is a view showing a gap adjusting device for a slit die according to the present invention and a slit die having the same, Figure 2b is a schematic partial exploded view of the gap adjusting device for a slit die according to the present invention. The slit die 220 and the coating apparatus according to the present invention shown in FIG. 2A are substantially the same as the slit die 120 and the coating apparatus 100 shown in FIGS. 1B and 1A except for the gap adjusting device 230, respectively. Same as

도 2a를 참조하면, 본 발명에 따른 슬릿 다이(220)는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(222a) 및 제 2 립(222b); 상기 제 1 립(222a)의 내부에 형성되는 도액 공급부(미도시); 상기 도액 공급부와 연결되는 챔버(226); 상기 제 1 립(222a)의 하부 내측면과 상기 제 2 립(222b)의 하부 내측면 사이에 형성되는 갭(L)을 구비하는 슬릿 형상의 토출구(228); 상기 제 1 립 (222a) 또는 상기 제 2 립(222b)의 하부에서 수직방향으로 제공되는 갭 조정용 캐비티(254); 및 상기 제 1 립(222a) 또는 상기 제 2 립(222b)의 하부 측면에서 상기 갭 조정용 캐비티(254)를 수평방향으로 가로질러 형성되는 수용 공간(231) 내에 제공되는 복수의 갭 조정 장치(230)를 포함한다. 복수의 갭 조정 장치(230)는 각각 동일한 구성을 가지므로 이하에서는 본 발명에 따른 하나의 갭 조정 장치(230)의 구성 및 동작을 상세히 기술한다.2A, a slit die 220 according to the present invention includes a pair of first lips 222a and second lips 222b facing each other; A coating liquid supply part (not shown) formed in the first lip 222a; A chamber 226 connected to the coating liquid supply part; A slit-shaped discharge port 228 having a gap L formed between a lower inner surface of the first lip 222a and a lower inner surface of the second lip 222b; A gap adjusting cavity 254 provided vertically under the first lip 222a or the second lip 222b; And a plurality of gap adjusting devices 230 provided in the receiving space 231 formed horizontally across the gap adjusting cavity 254 on the lower side of the first lip 222a or the second lip 222b. ). Since the plurality of gap adjustment devices 230 each have the same configuration, the configuration and operation of one gap adjustment device 230 according to the present invention will be described in detail below.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명에 따른 하나의 갭 조정 장치(230)는 제 2 립(222b)의 일측 하부에 수평방향으로 제공된다. 그러나, 당업자라면 본 발명에 따른 갭 조정 장치(230)가 제 1 립(222a)의 일측 하부에 수평방향으로 제공될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 제 2 립(222b)에는 갭 조정 장치(230)를 수용하기 위한 수용 공간(231)이 형성되어 있다. 본 발명의 갭 조정 장치(230)는 갭 조정 너트(232), 상기 갭 조정 너트(232)의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper)(244), 상기 갭 조정 너트(232)와 나사 결합되는 고정 볼트(234), 상기 고정 볼트(234)를 제 2 립(222b)에 고정하기 위한 고정부재(248), 상기 갭 조정 너트(232)와 상기 조정 너트(232)가 수용되는 상기 제 2 립(222b)의 수용 공간(231) 내에 형성된 단턱(step)(260) 사이에 제공되는 스페이서(262)를 포함한다. 고정 볼트(234)는 제 2 립(222b)의 갭 조정용 캐비티(254) 내에서 고정부재(248)에 의해 와셔(washer)(250)를 통해 제 2 립(222b)에 고정된다. 와셔(250)는 선택 사양으로, 반드시 사용하여야 하는 것은 아니다. 또한, 갭 조정용 캐비티(254)의 하부에는 갭 조정용 캐비티(254) 내에 먼지 등의 이물질이 유입되지 않도록 보호하는 보호 커 버(미도시)가 제공될 수 있다.2A and 2B, one gap adjusting device 230 according to the present invention is provided in a horizontal direction under one side of the second lip 222b. However, those skilled in the art will fully appreciate that the gap adjusting device 230 according to the present invention may be provided in the horizontal direction under one side of the first lip 222a. An accommodation space 231 is formed in the second lip 222b to accommodate the gap adjusting device 230. The gap adjusting device 230 of the present invention includes a gap adjusting nut 232, a stopper 244 provided on the gap adjusting nut 232, and a fixing bolt screwed with the gap adjusting nut 232. 234, a fixing member 248 for fixing the fixing bolt 234 to the second lip 222b, the second lip 222b in which the gap adjusting nut 232 and the adjusting nut 232 are received. It includes a spacer 262 provided between the step (260) formed in the receiving space 231 of the (). The fixing bolt 234 is fixed to the second lip 222b through the washer 250 by the fixing member 248 in the gap adjusting cavity 254 of the second lip 222b. Washer 250 is optional and does not have to be used. In addition, a protective cover (not shown) may be provided below the gap adjusting cavity 254 to prevent foreign substances such as dust from entering the gap adjusting cavity 254.

상술한 본 발명의 실시예에서, 스페이서(262)의 재질은 금속 재질, 구체적으로는 스틸, 크롬 및 망간(SCM: 이하 "SCM"이라 합니다) 합금 재질로 구현되는 것이 바람직하다. 또한, 스페이서(262)의 경도(hardness)는 갭 조정 너트(232)의 경도보다 더 큰 값을 가지는 것이 바람직하다. 좀 더 구체적으로 스페이서(262)의 경도는 로크웰 경도의 C 스케일(HRc) 값(다이야몬드로 만든 원추를 시험면에 일정한 하중으로 눌렀을 때 생긴 흔적의 깊이를 나타낸 값)으로 58 이상인 것이 바람직하다.In the above-described embodiments of the present invention, the spacer 262 may be formed of a metal material, specifically, steel, chromium, and manganese (SCM). In addition, the hardness of the spacer 262 preferably has a larger value than the hardness of the gap adjustment nut 232. More specifically, the hardness of the spacer 262 is preferably 58 or more as a C scale (HRc) value of the Rockwell hardness (a value representing the depth of the trace generated when the cone made of diamond is pressed with a constant load on the test surface).

이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 갭 조정 장치(230)의 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the operation of the gap adjustment device 230 according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 드라이버 또는 육각의 런치공구를 스토퍼(244)의 상부 홈(244a)을 통해 갭 조정 너트(232)의 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(232a)에 장착한다. 그 후, 갭 조정 너트(232)를 시계방향으로 회전시키면, 갭 조정 너트(232)와 나사산에 의해 맞물린 고정 볼트(234)가 갭 조정 너트(232)의 내부 공간(246) 내에서 상승한다(도 2b에 도시된 화살표의 우측 방향으로 이동한다).그 결과, 갭(L)이 벌어져 결국 토출구(228)가 확대된다. 이 경우, 갭 조정 너트(232)의 하부는 스페이서(262)의 상부와 접촉하고, 스페이서(262)의 하부는 제 2 립(222b)의 단턱(260)과 접촉한다. 따라서, 조정 너트(232)를 회전시키더라도, 조정 너트(232)의 하단부가 제 2 립(222b)의 단턱(260)과 직접 접촉하지 않는다.Referring again to FIGS. 2A and 2B, a driver or a hexagonal launch tool is mounted to the driver groove or the hexagonal inner groove 232a of the gap adjustment nut 232 through the upper groove 244a of the stopper 244. Then, when the gap adjustment nut 232 is rotated clockwise, the fixing bolt 234 meshed with the gap adjustment nut 232 and the thread rises in the internal space 246 of the gap adjustment nut 232 ( 2B). As a result, the gap L opens and eventually the discharge port 228 is enlarged. In this case, the bottom of the gap adjustment nut 232 is in contact with the top of the spacer 262, and the bottom of the spacer 262 is in contact with the step 260 of the second lip 222b. Therefore, even if the adjusting nut 232 is rotated, the lower end of the adjusting nut 232 does not directly contact the step 260 of the second lip 222b.

좀 더 구체적으로, 갭 조정 너트(232)를 회전시키면, 갭 조정 너트(232)의 하부는 스페이서(262)의 상부와 접촉한 상태에서 회전한다. 이 때, 갭 조정 너 트(232)와 접촉하는 스페이서(262)는 회전하지 않거나 약간 회전할 수 있다. 따라서, 조정 너트(232)를 회전시키더라도, 스페이서(262)의 하부와 접촉하는 제 2 립(222b)의 단턱(260)은 회전력을 받지 않거나 거의 받지 않는다. 따라서, 조정 너트(232)와 제 2 립(222b)의 단턱(260)은 마찰에 의한 마모 및 그에 따른 이물 발생 및 손상 발생 등의 문제가 발생할 가능성이 현저하게 줄어든다. 또한, 스페이서(262)가 갭 조정 너트(232)보다 더 큰 값의 경도를 가지므로, 갭 조정 너트(232)가 마모되더라도 갭 조정 너트(232)만을 교체하면 되므로 유지 보수가 간편하고 용이하게 이루어질 수 있다.More specifically, when the gap adjusting nut 232 is rotated, the lower portion of the gap adjusting nut 232 rotates in contact with the upper portion of the spacer 262. At this time, the spacer 262 in contact with the gap adjustment nut 232 may not rotate or may rotate slightly. Thus, even if the adjusting nut 232 is rotated, the step 260 of the second lip 222b in contact with the lower portion of the spacer 262 receives little or no rotational force. Therefore, the step 260 of the adjustment nut 232 and the second lip 222b is significantly reduced the possibility of problems such as wear caused by friction and the resulting foreign matter and damage. In addition, since the spacer 262 has a hardness greater than that of the gap adjusting nut 232, even if the gap adjusting nut 232 is worn, only the gap adjusting nut 232 needs to be replaced, thereby making maintenance easy and easy. Can be.

한편, 갭 조정 너트(232)를 반시계방향으로 회전시키면, 고정 볼트(234)와 나사산에 의해 맞물린 갭 조정 너트(232)가 스토퍼(244)에 의해 상승하지 못하므로 고정 볼트(234)가 갭 조정 너트(232)의 내부 공간(246) 내에서 하강하게 된다(도 2b에 도시된 화살표의 좌측 방향으로 이동한다). 그 결과, 갭(L)이 좁아져 결국 토출구(228)가 축소된다.On the other hand, when the gap adjusting nut 232 is rotated counterclockwise, the gap adjusting nut 232 engaged by the fixing bolt 234 and the thread cannot be lifted by the stopper 244, so that the fixing bolt 234 is a gap. It descends within the internal space 246 of the adjustment nut 232 (moves to the left side of the arrow shown in FIG. 2B). As a result, the gap L is narrowed and the discharge port 228 is eventually reduced.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 갭 조정 장치(230)에서는, 갭 조정 너트(232)의 회전량에 직접 비례하여 고정 볼트(234)가 수평방향(도 2b에 도시된 화살표 방향)을 따라 좌우로 이동하고, 고정 볼트(234)의 이동거리만큼 제 2 립(222b)이 수평방향으로 이동한다. 따라서, 갭 조정 너트(232)의 회전량과 정확하게 일치하는 값만큼 갭의 조정이 이루어질 수 있으므로 갭 조정량의 정밀한 제어가 가능하다. 또한, 복수개의 조정 너트(132)가 동일한 회전량에 대해 각각의 갭의 조정량이 실질적으로 동일한 값을 갖게 되어 복수개의 조정 너트(132)의 조정 동작을 제어하기가 용이하므로 갭의 조정에 필요한 시간이 상당히 감소된다.As described above, in the gap adjusting device 230 according to the embodiment of the present invention, the fixing bolt 234 is in the horizontal direction (arrow direction shown in FIG. 2B) in direct proportion to the amount of rotation of the gap adjusting nut 232. Along the right and left, the second lip 222b is moved in the horizontal direction by the moving distance of the fixing bolt 234. Therefore, since the gap can be adjusted by a value that exactly matches the rotation amount of the gap adjusting nut 232, precise control of the gap adjusting amount is possible. In addition, since the plurality of adjustment nuts 132 have substantially the same amount of adjustment for each gap with respect to the same rotation amount, it is easy to control the adjustment operation of the plurality of adjustment nuts 132, so that the time required for adjusting the gap This is considerably reduced.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명의 갭 조정 장치(230) 및 이를 구비한 슬릿 다이(220) 및 코팅 장치에서는, 갭의 정밀한 조정이 가능하고, 갭의 조정 시간이 감소되며, 유지 보수가 용이하다.As described above, according to the embodiment of the present invention, in the gap adjusting device 230 and the slit die 220 and the coating device having the same, the gap can be precisely adjusted, and the gap adjustment time is reduced. It is easy to maintain.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be defined only in accordance with the following claims and their equivalents.

도 1a는 종래 기술의 PDP 또는 LCD 제조용 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.1A is a view schematically showing a coating apparatus for manufacturing a PDP or LCD of the prior art.

도 1b는 상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 도액을 토출하는 슬릿 다이의 일 실시예를 도시한 도면이다.FIG. 1B is a view showing an embodiment of a slit die for discharging a plating liquid used in the coating apparatus according to the related art shown in FIG. 1A described above.

도 2a는 본 발명에 따른 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 도시한 도면이다.Figure 2a is a view showing a gap adjusting device for a slit die according to the present invention and a slit die having the same.

도 2b는 본 발명에 따른 슬릿 다이용 갭 조정 장치의 개략적인 일부 분해도이다. 2B is a schematic partial exploded view of a gap adjusting device for a slit die according to the present invention.

Claims (12)

서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(lip) 및 제 2 립으로 구성되는 슬릿 다이용 갭 조정 장치에 있어서,In the gap adjusting device for a slit die composed of a pair of first lip and second lip facing each other, 갭 조정 너트;Gap adjusting nut; 상기 갭 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper);A stopper provided on top of the gap adjustment nut; 상기 갭 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트;A fixing bolt screwed with the gap adjustment nut; 상기 고정 볼트를 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에 고정하기 위한 고정부재; 및A fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side of the first lip or the second lip; And 상기 갭 조정 너트와 상기 갭 조정 너트가 수용되는 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 형성된 수용 공간 내에 형성된 단턱(step) 사이에 제공되며, 상기 갭 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 스페이서A spacer provided between the gap adjustment nut and a step formed in an accommodation space formed in the first lip or the second lip in which the gap adjustment nut is received, the spacer having a greater hardness than the gap adjustment nut 를 포함하고,Including, 상기 갭 조정 장치는 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 일측에 형성된 수용 공간 내에 수평 방향으로 제공되며,The gap adjusting device is provided in a horizontal direction in an accommodation space formed at one lower side of the first lip or the second lip, 상기 고정 볼트는 상기 제1 립 또는 상기 제 2 립의 하부에서 수직방향으로 제공되는 갭 조정용 캐비티 내에서 상기 고정부재에 의해 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 고정되는The fixing bolt is fixed to the first lip or the second lip by the fixing member in a gap adjusting cavity provided vertically under the first lip or the second lip. 슬릿 다이용 갭 조정 장치.Gap adjustment device for slit dies. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 슬릿 다이용 갭 조정 장치가 상기 갭 조정용 캐비티와 상기 고정부재 사이에 제공되는 와셔(washer)를 추가로 포함하는 슬릿 다이용 갭 조정 장치.The gap adjusting device for slit die further comprises a washer provided between the gap adjusting cavity and the fixing member. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 스페이서의 재질이 금속 재질인 슬릿 다이용 갭 조정 장치.The gap adjusting device for slit die whose material of the said spacer is metal material. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 금속 재질이 SCM 합금 재질이고,The metal material is SCM alloy material, 상기 스페이서의 경도는 58 이상의 로크웰 경도의 C 스케일(HRc) 값을 갖는The hardness of the spacer has a C scale (HRc) value of Rockwell hardness of 58 or more. 슬릿 다이용 갭 조정 장치.Gap adjustment device for slit dies. 슬릿 다이에 있어서,In the slit die, 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립 및 제 2 립;A pair of first and second lips facing each other; 상기 제 1 립의 내부에 형성되는 도액 공급부;A coating liquid supply part formed inside the first lip; 상기 도액 공급부와 연결되는 챔버;A chamber connected with the coating liquid supply part; 상기 제 1 립의 하부 내측면과 상기 제 2 립의 하부 내측면 사이에 형성되는 갭(L)을 구비하는 슬릿 형상의 토출구;A slit-shaped outlet having a gap L formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip; 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부에서 수직방향으로 제공되는 갭 조정용 캐비티; 및A gap adjusting cavity provided vertically under the first lip or the second lip; And 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에서 상기 갭 조정용 캐비티를 수평방향으로 가로질러 형성되는 수용 공간 내에 제공되는 복수의 갭 조정 장치A plurality of gap adjusting devices provided in a receiving space formed horizontally across the gap adjusting cavity at the lower side of the first lip or the second lip 를 포함하고,Including, 상기 복수의 갭 조정 장치는 각각Each of the plurality of gap adjusting devices 갭 조정 너트;Gap adjusting nut; 상기 갭 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper);A stopper provided on top of the gap adjustment nut; 상기 갭 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트;A fixing bolt screwed with the gap adjustment nut; 상기 고정 볼트를 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에 고정하기 위한 고정부재; 및A fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side of the first lip or the second lip; And 상기 수용 공간 내에 형성된 단턱(step) 사이에 제공되며, 상기 갭 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 스페이서A spacer provided between steps formed in the receiving space and having a greater hardness than the gap adjustment nut 를 포함하며,Including; 상기 고정 볼트는 상기 갭 조정용 캐비티 내에서 상기 고정부재에 의해 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 고정되는The fixing bolt is fixed to the first lip or the second lip by the fixing member in the gap adjusting cavity. 슬릿 다이.Slit die. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 갭 조정 장치가 상기 갭 조정용 캐비티와 상기 고정부재 사이에 제공되는 와셔(washer)를 추가로 포함하는 슬릿 다이.And the gap adjusting device further comprises a washer provided between the gap adjusting cavity and the fixing member. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,The method according to claim 5 or 6, 상기 스페이서의 재질이 금속 재질인 슬릿 다이.A slit die, wherein the spacer is made of metal. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 금속 재질이 SCM 합금 재질이고,The metal material is SCM alloy material, 상기 스페이서의 경도는 58 이상의 로크웰 경도의 C 스케일(HRc) 값을 갖는The hardness of the spacer has a C scale (HRc) value of Rockwell hardness of 58 or more. 슬릿 다이.Slit die. PDP 또는 LCD 제조용 코팅 장치에 있어서,In the coating apparatus for manufacturing PDP or LCD, 석션 테이블(suction table);A suction table; 상기 석션 테이블 상에 위치되는 작업물;A workpiece located on the suction table; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및A gantry for linear reciprocating motion on the suction table; And 상기 갠트리에 부착되며, 상기 작업물 상에 도액을 도포하기 위한 슬릿 다이A slit die attached to the gantry for applying a coating liquid onto the workpiece 를 포함하고,Including, 상기 슬릿 다이는The slit die is 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립 및 제 2 립;A pair of first and second lips facing each other; 상기 제 1 립의 내부에 형성되는 도액 공급부;A coating liquid supply part formed inside the first lip; 상기 도액 공급부와 연결되는 챔버;A chamber connected with the coating liquid supply part; 상기 제 1 립의 하부 내측면과 상기 제 2 립의 하부 내측면 사이에 형성되는 갭(L)을 구비하는 슬릿 형상의 토출구;A slit-shaped outlet having a gap L formed between the lower inner surface of the first lip and the lower inner surface of the second lip; 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부에서 수직방향으로 제공되는 갭 조정용 캐비티; 및A gap adjusting cavity provided vertically under the first lip or the second lip; And 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에서 상기 갭 조정용 캐비티를 수평방향으로 가로질러 형성되는 수용 공간 내에 제공되는 복수의 갭 조정 장치A plurality of gap adjusting devices provided in a receiving space formed horizontally across the gap adjusting cavity at the lower side of the first lip or the second lip 를 포함하며,Including; 상기 복수의 갭 조정 장치는 각각Each of the plurality of gap adjusting devices 갭 조정 너트;Gap adjusting nut; 상기 갭 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper);A stopper provided on top of the gap adjustment nut; 상기 갭 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트;A fixing bolt screwed with the gap adjustment nut; 상기 고정 볼트를 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립의 하부 측면에 고정하기 위한 고정부재; 및A fixing member for fixing the fixing bolt to the lower side of the first lip or the second lip; And 상기 수용 공간 내에 형성된 단턱(step) 사이에 제공되며, 상기 갭 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 스페이서A spacer provided between steps formed in the receiving space and having a greater hardness than the gap adjustment nut 를 포함하고,Including, 상기 고정 볼트는 상기 갭 조정용 캐비티 내에서 상기 고정부재에 의해 상기 제 1 립 또는 상기 제 2 립에 고정되는The fixing bolt is fixed to the first lip or the second lip by the fixing member in the gap adjusting cavity. 코팅 장치.Coating device. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 갭 조정 장치가 상기 갭 조정용 캐비티와 상기 고정부재 사이에 제공되 는 와셔(washer)를 추가로 포함하는 코팅 장치.And wherein the gap adjusting device further comprises a washer provided between the gap adjusting cavity and the fixing member. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,The method according to claim 9 or 10, 상기 스페이서의 재질이 금속 재질인 코팅 장치.The coating device of which the material of the spacer is a metal material. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 금속 재질이 SCM 합금 재질이고,The metal material is SCM alloy material, 상기 스페이서의 경도는 58 이상의 로크웰 경도의 C 스케일(HRc) 값을 갖는 The hardness of the spacer has a C scale (HRc) value of Rockwell hardness of 58 or more. 코팅 장치.Coating device.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101321483B1 (en) * 2010-12-20 2013-10-25 주식회사 나래나노텍 An Improved Slit Die and A Coating Apparatus Having the Same
KR20210014387A (en) * 2019-07-30 2021-02-09 세메스 주식회사 Slit nozzle and apparatus for dispensing droplet

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102133566A (en) * 2011-03-02 2011-07-27 西南交通大学 High-temperature superconducting belt material buffering and superconducting layer continuous coating device prepared by using fluorine-free chemical solution deposition method
CN102553780A (en) * 2011-12-20 2012-07-11 深圳市浩能科技有限公司 Coating machine extrusion head for manufacturing lithium ion batteries
CN102527578A (en) * 2012-01-11 2012-07-04 深圳市信宇人科技有限公司 Novel slit type spray head and spray coating machine head
CN105964483A (en) * 2016-06-24 2016-09-28 江苏尚昆生物设备有限公司 Linear fine adjustment mechanism
CN106179890A (en) * 2016-08-18 2016-12-07 江苏中威重工机械有限公司 A kind of straight line micro-adjusting mechanism
CN109663709A (en) * 2018-12-25 2019-04-23 昆山丰巧机械有限公司 A kind of leaching curtain head of double adjustable ranges
CN109759284B (en) * 2019-03-21 2023-12-15 泉州市大疆涂布设备有限公司 Coating machine coating die head convenient for quick and accurate replacement of gasket
CN114728304B (en) * 2022-02-24 2023-11-14 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 Coating die head and coating equipment

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3641438A1 (en) * 1986-03-27 1987-10-01 Brown Inc John MECHANISM FOR ADJUSTING A MOLDING LIP
US4940012A (en) * 1986-12-23 1990-07-10 Nordson Corporation Mold coating apparatus with air flow control numbers
JPH0219523U (en) * 1988-07-22 1990-02-08
JPH0723235Y2 (en) * 1990-03-09 1995-05-31 三菱重工業株式会社 Flat die for extrusion
JP2562141Y2 (en) * 1990-05-09 1998-02-10 光洋精工株式会社 Valve rotation device for internal combustion engine
FR2697774B1 (en) * 1992-11-10 1994-12-23 Albert Plastiques Flat die for the extrusion of plastic film, sheet or plate.
JPH06262117A (en) * 1993-03-12 1994-09-20 Sumitomo Metal Ind Ltd Nozzle coater type coating device
JPH10119113A (en) * 1996-10-22 1998-05-12 Teijin Ltd Die for extrusion molding of film and production of film using the same
JPH11207236A (en) * 1998-01-20 1999-08-03 Konica Corp Die coater
JP2000334807A (en) * 1999-05-26 2000-12-05 Teijin Ltd Die for extrusion molding of film and method or producing film using the die
JP2003093944A (en) 2001-09-27 2003-04-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Apparatus for applying coating liquid to substrate
CN1195588C (en) * 2002-11-07 2005-04-06 上海耀华皮尔金顿玻璃股份有限公司 Equipment for adjusting transverse flux evenness of lacquer curtain of lacquer showering
CN100404145C (en) * 2003-03-03 2008-07-23 东丽株式会社 Slit die, and method and device for producing base material with coating film
JP4352781B2 (en) 2003-07-03 2009-10-28 三菱マテリアル株式会社 Application tool and application device
JP2005061547A (en) * 2003-08-18 2005-03-10 Topy Ind Ltd Nut with axial force control washer
JP2005137974A (en) 2003-11-04 2005-06-02 Toyo Knife Co Ltd Coating head and coating apparatus
JP4592450B2 (en) * 2005-03-07 2010-12-01 大日本印刷株式会社 Die head and slit gap adjusting method
JP2006289260A (en) * 2005-04-11 2006-10-26 Toyo Knife Co Ltd Coating head
US8092207B2 (en) * 2007-05-03 2012-01-10 Cloeren Incorporated Decoupled transverse flow metering gap and lip gap

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101321483B1 (en) * 2010-12-20 2013-10-25 주식회사 나래나노텍 An Improved Slit Die and A Coating Apparatus Having the Same
KR20210014387A (en) * 2019-07-30 2021-02-09 세메스 주식회사 Slit nozzle and apparatus for dispensing droplet

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