KR100927340B1 - Improved gap adjusting device for slit die and slit die and coating device with same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치를 개시한다.The present invention discloses an improved gap adjusting device for slit die and a slit die and coating device having the same.
본 발명에 따른 갭 조정 장치는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(lip) 및 제 2 립으로 구성되는 슬릿 다이용으로 사용된다. 또한, 본 발명에 따른 갭 조정 장치는 조정 너트; 상기 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper); 상기 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트; 상기 고정 볼트를 상기 제 2 립의 하부에 고정하기 위한 하부 고정부재; 상기 조정 너트와 상기 조정 너트가 수용되는 상기 제 2 립의 내부 단턱(step) 사이에 각각 제공되며, 상기 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 1 스페이서 및 상기 제 2 립보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 2 스페이서; 및 상기 조정 너트와 상기 스토퍼 사이에 제공되며, 상기 스토퍼보다 더 큰 경도를 갖는 제 3 스페이서를 포함하고, 상기 고정 볼트는 상기 제 2 립의 하부 일측에 수평방향으로 제공되는 캐비티 내에서 상기 하부 고정부재에 의해 상기 제 2 립에 고정되는 것을 특징으로 한다.The gap adjusting device according to the invention is used for a slit die composed of a pair of first and second lips facing each other. Further, the gap adjusting device according to the present invention includes an adjusting nut; A stopper provided on top of the adjustment nut; A fixing bolt screwed with the adjustment nut; A lower fixing member for fixing the fixing bolt to the lower portion of the second lip; A hardness between the first spacer and the second lip which is provided between the adjusting nut and an inner step of the second lip in which the adjusting nut is received and having a greater hardness than the adjusting nut a second spacer having hardness; And a third spacer provided between the adjusting nut and the stopper, the third spacer having a greater hardness than the stopper, wherein the fixing bolt is fixed in the cavity provided horizontally to the lower one side of the second lip. The member is fixed to the second lip.
도액, 펌핑장치, 노즐 장치, 코팅 장치 Coating liquid, pumping device, nozzle device, coating device
Description
본 발명은 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 종래 슬릿 다이의 갭 조정 장치에서 조정 볼트와 조정 너트 사이 및 조정 너트와 고정 너트 사이에 각각 소정 경도를 구비한 스페이서(spacer)를 제공함으로써, 갭 조정 장치의 조임 및 풀림 시에 발생하는 마모에 따른 손상 및 이물 발생을 현저하게 감소시키고, 그에 따른 고가의 슬릿 다이의 수명을 연장하기 위한 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an improved gap adjusting device for slit dies and to a slit die and coating device having the same. More specifically, the present invention provides a tightening of the gap adjusting device by providing spacers each having a predetermined hardness between the adjusting bolt and the adjusting nut and between the adjusting nut and the fixing nut in the gap adjusting device of the conventional slit die. An improved gap adjusting device for slit dies and a slit die and coating device having the same to significantly reduce the damage and foreign matter generation due to abrasion occurring at the time of loosening, thereby extending the life of expensive slit dies. .
일반적으로 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재(基材) 또는 작업물(work piece: 이하 "작업물"이라 합니다) 상에 도액을 도포하기 위해서는 슬릿 다이(slit die)를 구비한 코팅 장치가 사용된다.In general, a coating apparatus having a slit die for applying a coating liquid onto a substrate or a work piece (hereinafter referred to as a “work piece”) such as glass for manufacturing a PDP or LCD. Is used.
좀 더 구체적으로, 도 1a에 개략적으로 도시된 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater)(100)(이하 "코팅 장치"라 합니다)에 서는 코팅할 작업물인 글래스 기판(110)을 스테이지 또는 석션 테이블(suction table: 112) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)(125)에 부착된 슬릿 다이(120)를 수평방향으로 이동시키면서 글래스 기판(110) 상에 필요한 도액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.More specifically, in the table coater 100 (hereinafter referred to as "coating apparatus") used to manufacture the PDP or LCD shown schematically in FIG. 1A, the
상술한, 종래 기술에 따른 코팅 장치를 사용하여 도액을 글래스 기판(110) 상에 도포하여 도막을 형성하는 방법에서, 도막 두께의 정밀도는 슬릿 다이(130) 내의 도액을 공급하고 토출하는 토출량을 정밀하게 조정하기 위한 갭 조정 장치에 의해 좌우된다.In the method for forming a coating film by applying the coating liquid onto the
도 1b 및 도 1c는 상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)에 사용되는 도액을 토출하는 슬릿 다이(120)가 도시되어 있다.1B and 1C show a
도 1b 및 도 1c를 참조하면, 슬릿 다이(120)는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(lip)(122a) 및 제 2 립(122b)으로 구성된다. 제 1 립(122a)의 내부에는 도액 공급부(124), 및 챔버(126)가 형성되어 있다. 제 1 립(122a)의 챔버(126) 하단부의 제 1 립(122a) 내측면과 이에 대응하는 제 2 립(122b)의 내측면 사이에는 립 간극(L)이 형성되어 있으며, 립 간극(L)의 하부 바깥쪽으로 개구된 슬릿 형상의 토출구(128)가 형성되어 있다. 도액은 토출구(128)를 통해 토출되어 작업물(110)(도 1a 참조)의 표면에 도막을 형성한다. 도막의 형성에 있어서, 슬릿 다이(120)와 작업물(110)은 상대적으로 이동하게 된다(도 1a 참조). 하나의 예로, 컬러 필터는 글래스 기판 상에 검정, 빨강, 파랑, 초록의 도액을 순차적으로 도포함으로써 제조된다. 이러한 컬러 필터의 제조 공정은 포토레지스트의 도막을 형성한 후, 포토리소 그래피 가공에 의해 패턴 가공을 한 후, 컬러 필터와 어레이 기판의 사이에 주입되는 액정의 스페이스를 형성하는 기둥을 형성하는 공정, 또는 표면의 요철을 아주 작게 하기 위한 오버코팅 도막을 형성하는 공정을 포함한다.1B and 1C, the
상술한 종래 기술에 따른 슬릿 다이(120)는 제 2 립(122b)의 길이 방향을 따라 다수개의 갭 조정 장치(130)를 구비하고 있다. 갭 조정 장치(130)는 조정 너트(132), 고정 스크류(134), 및 고정핀(136)을 포함한다. 조정 너트(132)는 제 2 립(122b)의 일측면으로부터 토출구(128) 방향으로 나사 체결되는 제 1피치(예를 들어 1.5mm)의 외경나사부(132a)와, 제 1피치보다 작은 제 2피치(예를 들어 1mm)를 갖는 내경나사부(132b)를 갖는다. 조정 너트(132)는 제 2 립(122b)의 일측면(122c)으로부터 토출구(128) 방향으로 형성된 제 1 나사홈(138a)에 나사 결합된다. 조정 너트(132)의 일단에는 육각의 런치공구 또는 일자형 드라이버를 가지고 돌릴 수 있도록 육각의 내경홈(133a)과 드라이버홈(133b)을 갖는다. 고정 스크류(134)는 머리가 없는 타입으로, 조정 너트(132)의 내경나사부(132b)를 통해 제 2 립(122b)에 나사 체결되며, 이러한 고정 스크류(134)는 제 2 립(122b)의 다른 측면(122d)에 형성된 관통공(138d)을 통해 삽입되는 고정핀(136)에 의해 고정된다. 고정 스크류(134)는 고정핀(136)이 위치될 수 있는 스톱퍼 홈(135a)을 갖는다. 이 고정 스크류(134)는 제 1나사홈(138a)으로부터 연장되어 형성된 제 2나사홈(138b)에 체결되는 일단부(134a)와, 조정 너트(132)의 내경나사부(132b)에 체결되는 타단부(134b)를 갖는다. 타단부(134b)에는 육각 런치공구로 돌릴 수 있도록 육각홈(135)이 형성되어 있다. 한편, 제 1나사홈(138a)과 제 2나사홈(138b) 사이에는 고정스크류(134)의 나사 축과 직교하는 방향으로 일부 절개된 절개부(138c)를 갖는다.The above-described slit die 120 according to the prior art has a plurality of
도 1c를 참조하면, 종래 기술의 슬릿 다이(120)는 갭 조정 장치(130)가 슬릿 다이(120)의 제 2 립(122b)이 체결된 상태에서, 조정 너트(132)를 조이면(조임방향), 조정 너트(132)는 제 2 립(122b)의 제 1나사부(138a)를 따라 회전하면서 조임방향으로 진행된다. 이 때 고정스크류(134)는 조정 너트(132)의 외경나사부(132a)와 내경나사부(132b)의 피치 차이(0.5mm)만큼 풀림 방향으로 이동하려 하기 때문에 고정스크류(134)가 고정된 제 2 립(122b)의 일부분이 풀림방향으로 당겨지게 되고, 결국 토출구(128)의 갭이 확대되는 효과를 갖게 되는 것이다. 이와는 반대로, 조정 너트(132)를 풀면(풀림방향), 조정 너트(132)는 제 2 립(122b)의 제 1나사부(138a)를 따라 풀림방향으로 진행되는데, 이때 고정스크류(134)는 조정 너트(132)의 외경나사부(132a)와 내경나사부(132b)의 피치 차이(0.5mm)만큼 조임 방향으로 이동하려 하기 때문에 고정스크류(134)가 고정된 몸체(122)의 일부분이 조임방향으로 밀려나게 되고, 결국 토출구(128)의 갭이 축소되는 효과를 얻게 된다. 이러한 종래 기술에 따른 슬릿 다이(120)는 세메스 주식회사가 2005년 6월 21일에 "평판 디스플레이 제조에 사용되는 슬릿 노즐"이라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제 10-2005-0053625호로 출원하여, 2006년 12월 27일자로 공개된 대한민국 공개 특허 제 10-2006-0133783호에 상세히 기술되어 있으며, 본 명세서에 참조되어 본 발명의 일부를 이룬다.Referring to FIG. 1C, in the
본 출원인에 의해 사용되고 있으며, 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)에 사용되는 또 다른 종래 기술에 따른 도액을 토출하는 슬릿 다이(120) 가 도 1d에 도시되어 있다.Another prior art slit die 120 for discharging a coating liquid, which is used by the applicant and used in the
도 1d를 참조하면, 또 다른 종래 기술에 따른 슬릿 다이(120)는 갭 조정 장치(130)의 구조를 제외하고는 도 1b 및 도 1c에 도시된 슬릿 다이(120)와 실질적으로 동일하다. 따라서, 이하에서는 또 다른 종래 기술에 따른 슬릿 다이(120)의 갭 조정 장치(130)를 상세히 기술하기로 한다.Referring to FIG. 1D, the
다시 도 1d를 참조하면, 또 다른 종래 기술에 따른 갭 조정 장치(130)는 제 2 립(122b)의 일측에 수직방향으로 제공된다. 제 2 립(122b)에는 갭 조정 장치(130)를 수용하기 위한 수용 공간(131)이 형성되어 있다. 종래 기술의 갭 조정 장치(130)는 조정 너트(132), 고정 볼트(134), 및 하부 고정부재(148)를 포함한다. 고정 볼트(134)는 제 2 립(122b)의 하부 일측에 수평방향으로 제공되는 캐비티(154) 내에서 하부 고정부재(148)에 의해 와셔(washer)(150)를 통해 제 2 립(122b)에 고정된다. 하부 고정부재(148)의 하단에는 하부 캡(152)이 제공된다. 또한, 조정 너트(132)의 상부에는 스토퍼(stopper)(144)가 제공되며, 스토퍼(144)의 상부에는 상부캡(142)이 제공된다. 아울러, 캐비티(154)가 제공되는 제 2 립(122b)의 외부 측면에는 캐비티(154) 내에 먼지 등의 이물질이 유입도지 않도록 보호하는 보호 커버(156)가 제공된다.Referring again to FIG. 1D, another prior art
이하에서는 도 1d에 도시된 또 다른 종래 기술에 따른 갭 조정 장치(130)의 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the operation of the gap adjusting
다시 도 1d를 참조하면, 상부 캡 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(142a)을 이용하여 상부캡(142)을 제거한다. 그 후, 스토퍼 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(144a)을 통해 조정 너트(132)의 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(132a)에 드라이버 또는 육각의 런치공구를 사용하여 조정 너트(132)를 시계방향으로 회전시키면, 조정 너트(132)와 나사산으로 맞물린 고정 볼트(134)가 상승하게 되어 립 간극(L)이 벌어져 결국 토출구(128)의 갭이 확대된다. 이와는 반대로, 조정 너트(132)를 반시계방향으로 회전시키면, 고정 볼트(134)와 나사산으로 맞물린 조정 너트(132)가 상승하게 되어 스토퍼(stopper)(144)와 접촉한다. 그 후, 조정 너트(132)를 계속 반시계방향으로 회전시키면, 스토퍼(stopper)(144)와 접촉된 조정 너트(132)가 상승하지 못하므로, 조정 너트(132)와 나사산으로 맞물린 고정 볼트(134)가 하강하게 되어 립 간극(L)이 좁아져 결국 토출구(128)의 갭이 축소된다.Referring back to FIG. 1D, the
상술한 종래 기술에 따른 갭 조정 장치(130)를 구비한 슬릿 다이(120)의 경우, 조정 너트(132)를 풀거나 조임으로써 토출구(128)의 갭 조정이 가능하지만, 이러한 종래 기술에 따른 갭 조정 장치(130)를 구비한 슬릿 다이(120)는 다음과 같은 문제점을 갖는다.In the case of the slit die 120 having the
1. 갭 조정을 위해 조정 너트(132)를 회전시켜 갭을 확대하는 경우, 조정 너트(132)의 하단부와 제 2 립(122b)이 접촉하는 부분(도 1c의 경우) 또는 조정 너트(132)의 하단부가 고정 볼트(134)의 하단부 및 제 2 립(122b)이 접촉하는 부분(160)(도 1d의 경우)에서 마찰에 의해 이물(foreign matters)이 발생한다.1. When the adjusting
2. 또한, 갭을 확대하도록 조정 너트(132)를 지속적으로 사용하는 경우, 상술한 접촉하는 부분이 마모되고, 마모된 부분으로 이물이 침입하면서 조정 너트(132)와 고정 볼트(134) 간의 나사산이 손상되어 궁극적으로 갭 조정 장치(130) 가 고장나거나, 사용이 불가능해진다. 특히, 조정 너트(132)와 고정 볼트(134) 간의 나사산의 맞물리는 폭은 미세 조정을 위해 통상적으로 상당히 좁아 (대략 0.5mm 정도) 이러한 문제가 발생할 가능성이 더욱 더 높아진다.2. In addition, when the adjusting
3. 아울러, 갭 조정을 위해 조정 너트(132)를 회전시켜 갭을 축소하는 경우, 조정 너트(132)의 상단부가 스토퍼(stopper)(144)와 접촉된 상태로 계속 회전이 이루어지므로(도 1d의 경우), 스토퍼(144)의 풀림 현상이 발생하게 된다. 그 결과, 스토퍼(144)가 고정 상태를 유지하지 못하게 되어, 미세 조정이 요구되는 갭 조정이 어렵거나 또는 불가능해진다. 또한, 조정 너트(132)와 스토퍼(144)의 접촉에 따른 마찰에 의해 이물이 발생하여, 갭 조정 장치(130)가 고장나거나, 사용이 불가능해진다.3. In addition, when reducing the gap by rotating the
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 종래 슬릿 다이의 갭 조정 장치에서 조정 볼트와 조정 너트 사이, 및 조정 너트와 고정 너트 사이에 각각 소정 경도를 구비한 스페이서(spacer)를 제공함으로써, 갭 조정 장치의 조임 및 풀림 시에 발생하는 마모에 따른 손상 및 이물 발생을 현저하게 감소시키고, 그에 따른 고가의 슬릿 다이의 긴 수명을 보장하는 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the problems of the prior art described above, and provides a spacer having a predetermined hardness between the adjusting bolt and the adjusting nut and between the adjusting nut and the fixing nut in the gap adjusting device of the conventional slit die. Thereby, the gap adjustment device for the improved slit die and the device having the improved slit die, which significantly reduce the damage caused by wear and foreign matters generated during tightening and loosening of the gap adjusting device, thereby ensuring the long life of the expensive slit die To provide a slit die and coating apparatus.
본 발명의 제 1 특징에 따르면, 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(lip) 및 제 2 립으로 구성되는 슬릿 다이용 갭 조정 장치에 있어서, 조정 너트; 상기 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper); 상기 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트; 상기 고정 볼트를 상기 제 2 립의 하부에 고정하기 위한 하부 고정부재; 상기 조정 너트와 상기 조정 너트가 수용되는 상기 제 2 립의 내부 단턱(step) 사이에 각각 제공되며, 상기 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 1 스페이서 및 상기 제 2 립보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 2 스페이서; 및 상기 조정 너트와 상기 스토퍼 사이에 제공되며, 상기 스토퍼보다 더 큰 경도를 갖는 제 3 스페이서를 포함하고, 상기 갭 조정 장치는 상기 제 2 립의 일측에 형성된 수용 공간 내에 수직 방향으로 제공되며, 상기 고정 볼트는 상기 제 2 립의 하부 일측에 수평방향으로 제공되는 캐비티 내에서 상기 하부 고정부재에 의해 상기 제 2 립에 고정되는 슬릿 다이용 갭 조정 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a gap adjusting device for a slit die composed of a pair of first and second lips facing each other, comprising: an adjusting nut; A stopper provided on top of the adjustment nut; A fixing bolt screwed with the adjustment nut; A lower fixing member for fixing the fixing bolt to the lower portion of the second lip; A hardness between the first spacer and the second lip which is provided between the adjusting nut and an inner step of the second lip in which the adjusting nut is received and having a greater hardness than the adjusting nut a second spacer having hardness; And a third spacer provided between the adjusting nut and the stopper, the third spacer having a greater hardness than the stopper, wherein the gap adjusting device is provided in a vertical direction in an accommodation space formed on one side of the second lip, The fixing bolt is to provide a gap adjusting device for the slit die fixed to the second lip by the lower fixing member in a cavity provided in the horizontal direction on the lower one side of the second lip.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, 슬릿 다이에 있어서, 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립 및 제 2 립; 상기 제 1 립의 내부에 형성되는 도액 공급부; 상기 도액 공급부와 연결되는 챔버; 상기 챔버 하단부의 상기 제 1 립 내측면과 이에 대응하는 제 2 립의 내측면 사이에 형성되는 립 간극(L)을 구비하며, 상기 립 간극(L)의 하부 바깥쪽으로 개구된 슬릿 형상의 토출구; 및 상기 제 2 립의 일측에 형성된 수용 공간 내에 수직방향으로 제공되는 복수의 갭 조정 장치를 포함하고, 상기 복수의 갭 조정 장치는 각각 조정 너트; 상기 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper); 상기 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트; 상기 고정 볼트를 상기 제 2 립의 하부에 고정하기 위한 하부 고정부재; 상기 조정 너트와 상기 조정 너트가 수용되는 상기 제 2 립의 내부 단턱(step) 사이에 각각 제공되며, 상기 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 1 스페이서 및 상기 제 2 립보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 2 스페이서; 및 상기 조정 너트와 상기 스토퍼 사이에 제공되며, 상기 스토퍼보다 더 큰 경도를 갖는 제 3 스페이서를 포함하며, 상기 고정 볼트는 상기 제 2 립의 하부 일측에 수평방향으로 제공되는 캐비티 내에서 상기 하부 고정부재에 의해 상기 제 2 립에 고정되는 슬릿 다이를 제공하기 위한 것이다.According to a second aspect of the invention there is provided a slit die, comprising: a pair of first and second lips facing each other; A coating liquid supply part formed inside the first lip; A chamber connected with the coating liquid supply part; A slit-shaped outlet having a lip gap L formed between the inner side of the first lip of the lower end of the chamber and the inner side of the second lip corresponding thereto, and being opened outwardly below the lip gap L; And a plurality of gap adjusting devices provided in a vertical direction in a receiving space formed at one side of the second lip, wherein the plurality of gap adjusting devices each include an adjusting nut; A stopper provided on top of the adjustment nut; A fixing bolt screwed with the adjustment nut; A lower fixing member for fixing the fixing bolt to the lower portion of the second lip; A hardness between the first spacer and the second lip which is provided between the adjusting nut and an inner step of the second lip in which the adjusting nut is received and having a greater hardness than the adjusting nut a second spacer having hardness; And a third spacer provided between the adjustment nut and the stopper, the third spacer having a greater hardness than the stopper, wherein the fixing bolt is fixed in the cavity provided horizontally to the lower side of the second lip. It is for providing a slit die fixed to said second lip by a member.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, PDP 또는 LCD 제조용 코팅 장치에 있어서, 석션 테이블(suction table); 상기 석션 테이블 상에 위치되는 작업물; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및 상기 갠트리에 부착되며, 상기 작업물 상에 도액을 도포하기 위한 슬릿 다이를 포함하고, 상기 슬릿 다이는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립 및 제 2 립; 상기 제 1 립의 내부에 형성되는 도액 공급부; 상기 도액 공급부와 연결되는 챔버; 상기 챔버 하단부의 상기 제 1 립 내측면과 이에 대응하는 제 2 립의 내측면 사이에 형성되는 립 간극(L)을 구비하며, 상기 립 간극(L)의 하부 바깥쪽으로 개구된 슬릿 형상의 토출구; 및 상기 제 2 립의 일측에 형성된 수용 공간 내에 수직방향으로 제공되는 복수의 갭 조정 장치를 포함하며, 상기 복수의 갭 조정 장치는 각각 조정 너트; 상기 조정 너트의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper); 상기 조정 너트와 나사 결합되는 고정 볼트; 상기 고정 볼트를 상기 제 2 립의 하부에 고정하기 위한 하부 고정부재; 상기 조정 너트와 상기 조정 너트가 수용되는 상기 제 2 립의 내부 단턱(step) 사이에 각각 제공되며, 상기 조정 너트보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 1 스페이서 및 상기 제 2 립보다 더 큰 경도(hardness)를 갖는 제 2 스페이서; 및 상기 조정 너트와 상기 스토퍼 사이에 제공되며, 상기 스토퍼보다 더 큰 경도를 갖는 제 3 스페이서를 포함하고, 상기 고정 볼트는 상기 제 2 립의 하부 일측에 수평방향으로 제공되는 캐비티 내에서 상기 하부 고정부재에 의해 상기 제 2 립에 고정되는 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus for manufacturing a PDP or LCD, comprising: a suction table; A workpiece located on the suction table; A gantry for linear reciprocating motion on the suction table; And a slit die attached to the gantry, the slit die for applying a coating solution onto the workpiece, wherein the slit die comprises a pair of first and second lips facing each other; A coating liquid supply part formed inside the first lip; A chamber connected with the coating liquid supply part; A slit-shaped outlet having a lip gap L formed between the inner side of the first lip of the lower end of the chamber and the inner side of the second lip corresponding thereto, and being opened outwardly below the lip gap L; And a plurality of gap adjusting devices provided in a vertical direction in an accommodation space formed at one side of the second lip, wherein the plurality of gap adjusting devices each include an adjusting nut; A stopper provided on top of the adjustment nut; A fixing bolt screwed with the adjustment nut; A lower fixing member for fixing the fixing bolt to the lower portion of the second lip; A hardness between the first spacer and the second lip which is provided between the adjusting nut and an inner step of the second lip in which the adjusting nut is received and having a greater hardness than the adjusting nut a second spacer having hardness; And a third spacer provided between the adjusting nut and the stopper, the third spacer having a greater hardness than the stopper, wherein the fixing bolt is fixed in the cavity provided horizontally to the lower one side of the second lip. It is to provide a coating device that is fixed to the second lip by a member.
본 발명의 도액 펌핑장치 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.The following advantages are achieved in the coating liquid pumping device of the present invention, and a nozzle device and a coating device having the same.
1. 갭을 확대하는 경우, 조정 너트가 제 1 스페이서와 제 2 스페이서를 통해 제 2 립의 내부 단턱과 접촉하므로, 내부 단턱이 회전력을 받지 않아, 조정 너트와 제 2 립의 내부 단턱이 마찰에 의한 마모 및 그에 따른 이물 발생 및 손상 발생 등의 문제가 발생할 가능성이 현저하게 줄어든다.1. When the gap is enlarged, since the adjusting nut contacts the inner step of the second lip through the first spacer and the second spacer, the inner step is not subjected to rotational force, so that the inner step of the adjusting nut and the second lip is subjected to friction. The likelihood of occurrence of problems such as abrasion and the occurrence of foreign matters and damages is significantly reduced.
2. 갭을 확대하도록 조정 너트를 지속적으로 사용하더라도, 마모 및 그에 따른 이물이 실질적으로 발생하지 않으므로, 조정 너트와 고정 볼트 사이의 나사산의 손상 발생 가능성이 현저하게 줄어든다. 그 결과, 갭 조정 장치의 고장 또는 손상이 발생할 가능성이 상당히 줄어들어, 갭 조정 장치의 수명이 연장된다.2. Even if the adjusting nut is continuously used to enlarge the gap, the wear and consequently no foreign matter substantially occurs, and thus the possibility of damage of the thread between the adjusting nut and the fixing bolt is significantly reduced. As a result, the possibility of failure or damage of the gap adjusting device is considerably reduced, thereby extending the life of the gap adjusting device.
3. 갭을 축소하는 경우, 제 3 스페이서에 의해 스토퍼의 풀림 현상이 방지되어, 미세한 갭 조정이 용이하게 이루어진다.3. When the gap is reduced, loosening of the stopper is prevented by the third spacer, so that fine gap adjustment is easily performed.
4. 조정 너트가 제 3 스페이서를 통해 스토퍼와 접촉하므로, 마찰에 의한 마모 발생과 그에 따른 이물 발생 및 손상 발생 가능성이 현저하게 줄어든다.4. Since the adjusting nut is in contact with the stopper through the third spacer, the occurrence of frictional wear and the likelihood of foreign matter and damage are significantly reduced.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings in which like or like reference numerals designate like elements.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 기술한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments and drawings of the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 도시한 도면이다. 도 2에 도시된 본 발명에 따른 슬릿 다이(220) 및 코팅 장치(200)는 각각 갭 조정 장치(230)를 제외하고는 도 1d 및 도 1a에 도시된 슬릿 다이(120) 및 코팅 장치(100)와 실질적으로 동일하다.2 is a view illustrating a gap adjusting device for a slit die according to the present invention and a slit die having the same. The slit die 220 and the coating apparatus 200 according to the present invention shown in FIG. 2 are the slit die 120 and the
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 슬릿 다이(220)는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(222a) 및 제 2 립(222b); 상기 제 1 립(222a)의 내부에 형성되는 도액 공급부(224); 상기 도액 공급부(224)와 연결되는 챔버(226); 상기 챔버(226) 하단부의 상기 제 1 립(222a) 내측면과 이에 대응하는 제 2 립(222b)의 내측면 사이에 형성되는 립 간극(L)을 구비하며, 상기 립 간극(L)의 하부 바깥쪽으로 개구된 슬릿 형상의 토출구(228); 및 상기 제 2 립(222b)의 일측에 형성된 수용 공간 내에 수직방향으로 제공되는 복수의 갭 조정 장치(230)를 포함한다. 이하에서는 본 발명에 따른 갭 조정 장치(230)를 상세히 기술한다.2, the slit die 220 according to the present invention includes a pair of
다시 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 갭 조정 장치(230)는 제 2 립(222b)의 일측에 수직방향으로 제공된다. 제 2 립(222b)에는 갭 조정 장치(230)를 수용하기 위한 수용 공간(231)이 형성되어 있다. 본 발명의 갭 조정 장치(230)는 조정 너트(232), 상기 조정 너트(232)의 상부에 제공되는 스토퍼(stopper)(244), 상기 조 정 너트(232)와 나사 결합되는 고정 볼트(234), 상기 고정 볼트(234)를 제 2 립(222b)의 하부에 고정하기 위한 하부 고정부재(248), 상기 조정 너트(232)와 상기 조정 너트(232)가 수용되는 상기 제 2 립(222b)의 내부 단턱(step)(260) 사이에 제공되는 제 1 스페이서(262) 및 제 2 스페이서(264), 및 상기 조정 너트(232)와 상기 스토퍼(244) 사이에 제공되는 제 3 스페이서(266)를 포함한다. 고정 볼트(234)는 제 2 립(222b)의 하부 일측에 수평방향으로 제공되는 캐비티(254) 내에서 하부 고정부재(248)에 의해 와셔(washer)(250)를 통해 제 2 립(222b)에 고정된다. 와셔(250)는 선택 사양으로, 반드시 사용하여야 하는 것은 아니다. 하부 고정부재(248)의 하단에는 하부 캡(252)이 제공된다. 또한, 스토퍼(244)의 상부에는 상부캡(242)이 제공된다. 아울러, 캐비티(254)가 제공되는 제 2 립(222b)의 외부 측면에는 캐비티(254) 내에 먼지 등의 이물질이 유입되지 않도록 보호하는 보호 커버(256)가 제공된다. 도 2에 도시된 본 발명의 실시예에서는, 갭 조정 장치(230)가 제 2 립(222b)에 제공되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 갭 조정 장치(230)가 제 1 립(222a)에 제공될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.Referring again to FIG. 2, the
상술한 본 발명의 실시예에서, 제 1 스페이서(262), 제 2 스페이서(264) 및 제 3 스페이서(266)의 재질은 금속 재질, 구체적으로는 SCM(스틸, 크롬 및 망간) 합금 재질이다. 또한, 제 1 스페이서(262)의 경도(hardness)는 조정 너트(232)의 경도보다 더 큰 값을 가지며, 제 2 스페이서(264)의 경도는 제 2 립(222b)의 경도보다 더 큰 값을 가지는 것이 바람직하다. 또한, 제 3 스페이서(266)의 경도는 스 토퍼(244)의 경도보다 더 큰 값을 가지는 것이 바람직하다. 좀 더 구체적으로 제 1 스페이서(262), 제 2 스페이서(264) 및 제 3 스페이서(266)의 경도는 각각 로크웰 경도의 C 스케일(HRc) 값(다이아몬드로 만든 원추를 시험면에 일정한 하중으로 눌렀을 때 생긴 흔적의 깊이를 나타낸 값)으로 58 이상인 것이 바람직하다.In the above-described embodiment of the present invention, the material of the
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 갭 조정 장치(230)의 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the operation of the
다시 도 2를 참조하면, 드라이버 또는 육각의 런치공구를 상부 캡 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(242a)에 삽입하여 상부캡(242)을 제거한다. 그 후, 드라이버 또는 육각의 런치공구를 사용하여 스토퍼 드라이버 홈 또는 6각 내경 홈(244a)을 통해 조정 너트(232)를 시계방향으로 회전시키면, 조정 너트(232)와 나사산으로 맞물린 고정 볼트(234)가 조정 너트(232) 내부 공간(246) 내에서 상승하게 되어 립 간극(L)이 벌어져 결국 토출구(228)의 갭이 확대된다. 이 경우, 조정 너트(232)의 하부는 제 1 스페이서(262)의 상부와 접촉하고, 제 1 스페이서(262)의 하부는 제 2 스페이서(264)의 상부와 접촉한다. 따라서, 조정 너트(232)를 회전시키더라도, 조정 너트(232)의 하단부가 제 2 립(222b)의 내부 단턱(260)과 직접 접촉하지 않는다.Referring back to FIG. 2, the
좀 더 구체적으로, 조정 너트(232)를 회전시키면, 조정 너트(232)의 하부는 제 1 스페이서(262)의 상부와 접촉한 상태에서 제 1 스페이서(262)와 함께 회전한다. 이 때, 제 1 스페이서(262)의 하부와 접촉하는 제 2 스페이서(264)는 회전하지 않으며, 정지 상태를 유지한다. 따라서, 조정 너트(232)를 회전시키더라도, 제 2 스페이서(264)의 하부와 접촉하는 제 2 립(222b)의 내부 단턱(260)은 회전력을 받지 않는다. 따라서, 조정 너트(232)와 제 2 립(222b)의 내부 단턱(260)은 마찰에 의한 마모 및 그에 따른 이물 발생 및 손상 발생 등의 문제가 발생할 가능성이 현저하게 줄어든다.More specifically, when the adjusting
한편, 조정 너트(232)를 반시계방향으로 회전시키면, 고정 볼트(234)와 나사산으로 맞물린 조정 너트(232)가 상승하여 스토퍼(244)와 조정 너트(232) 사이에 제공되는 제 3 스페이서(266)의 하부(267)와 접촉한다. 그 후, 조정 너트(232)를 계속 반시계방향으로 회전시키면, 제 3 스페이서(266)와 접촉된 조정 너트(232)가 스토퍼(244)에 의해 상승하지 못하게 된다. 따라서, 조정 너트(232)와 나사산으로 맞물린 고정 볼트(234)가 하강하게 되어 립 간극(L)이 좁아져 결국 토출구(228)의 갭이 축소된다. 이 경우, 조정 너트(232)는 스토퍼(244)가 아닌 제 3 스페이서(266)와 접촉 상태를 유지하며, 조정 너트(232)와 제 3 스페이서(266)가 동시에 회전을 한다. 따라서, 종래 기술과는 달리 스토퍼(244)는 회전을 하지 않고 고정 상태를 유지하므로, 미세 조정이 요구되는 갭 조정이 용이하게 이루어진다. 또한, 조정 너트(132)가 스토퍼(244) 보다 경도가 큰 제 3 스페이서(266)와 접촉하므로, 마찰에 의한 마모 발생과 그에 따른 이물 발생 및 손상 발생 가능성이 현저하게 줄어든다.On the other hand, when the adjusting
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명의 갭 조정 장치(230)는 3개의 스페이서(262,264,266)를 사용하여, 조정 너트가 자신이 수용되는 제 2 립(222b)의 내부 단턱(260) 및 스토퍼(244)와 직접적으로 접촉하지 않도록 해줌으로써, 마찰에 의한 마모 발생 및 그에 따른 이물 발생 및 손상에 따른 고장이 방지된다. As described above, according to the embodiment of the present invention, the
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.As various modifications may be made to the constructions and methods described and illustrated herein without departing from the scope of the invention, it is intended that all matter contained in the above description or shown in the accompanying drawings be exemplary, and not intended to limit the invention. It is not. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be defined only in accordance with the following claims and their equivalents.
도 1a는 종래 기술의 PDP 또는 LCD 제조용 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.1A is a view schematically showing a coating apparatus for manufacturing a PDP or LCD of the prior art.
도 1b 및 도 1c는 상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 도액을 토출하는 슬릿 다이의 단면도를 도시한 도면이다.1B and 1C are cross-sectional views of the slit die for discharging the coating liquid used in the coating apparatus according to the prior art shown in FIG. 1A described above.
도 1d는 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 또 다른 종래 기술에 따른 도액을 토출하는 슬릿 다이의 단면도를 도시한 도면이다.1D is a cross-sectional view of a slit die for discharging a coating liquid according to another conventional technique used in a coating apparatus according to the prior art.
도 2는 본 발명에 따른 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 도시한 도면이다.2 is a view illustrating a gap adjusting device for a slit die according to the present invention and a slit die having the same.
Claims (21)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080006266A KR100927340B1 (en) | 2008-01-21 | 2008-01-21 | Improved gap adjusting device for slit die and slit die and coating device with same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080006266A KR100927340B1 (en) | 2008-01-21 | 2008-01-21 | Improved gap adjusting device for slit die and slit die and coating device with same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090080361A KR20090080361A (en) | 2009-07-24 |
KR100927340B1 true KR100927340B1 (en) | 2009-11-19 |
Family
ID=41291471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080006266A KR100927340B1 (en) | 2008-01-21 | 2008-01-21 | Improved gap adjusting device for slit die and slit die and coating device with same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100927340B1 (en) |
Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
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KR101252957B1 (en) | 2010-12-13 | 2013-04-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | Coating apparatus and method for coating using the same |
KR101250931B1 (en) * | 2010-12-20 | 2013-04-04 | 주식회사 나래나노텍 | An Improved Discharge Structure of Dispensing Nozzle Device, and A Dispensing Nozzle Device and a Coating Apparatus Having the Same |
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- 2008-01-21 KR KR1020080006266A patent/KR100927340B1/en active IP Right Grant
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KR20090080361A (en) | 2009-07-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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