JP2010267702A - 化学気相成長半導体膜形成装置および化学気相成長半導体膜形成方法 - Google Patents
化学気相成長半導体膜形成装置および化学気相成長半導体膜形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】
横型ホットウォールCVD装置の反応室25に位置する凸状発熱体17は、SiCウエハB1が載置される位置に対して、上流側に配置される。凸状発熱体17によって、混合ガスの流れに対して適度な乱流を発生させつつ、材料ガスを加熱できる。また、SiCウェハB1に対して上流側で材料ガスを加熱できる。これにより、上流側において、材料ガスの熱分解を促進できるので、反応室25におけるC/Si比を均一にできる。よって、SiCウエハB1上に形成する炭化珪素膜の不純物濃度を均一にし、局所的に高くなることを防止できる。さらに、SiCウエハB1に対して上流側でのみ凸状発熱体17により加熱を行うので、反応室25の全体の温度を上昇させない。よって、炭化珪素膜の成長レートを低下させることもない。
【選択図】 図1
Description
−横型ホットウォールCVD装置の炉部の構造−
本実施の形態に係る横型ホットウォールCVD(Chemical Vapor Deposition)装置の炉部に関する要部の斜視図を図1に示す。横型ホットウォールCVD装置は、SiCウェハ(SiC:Silicon Carbide)上への炭化珪素膜のエピタキシャル成長による生成等に、広く用いられている半導体製造装置である。
図2は、図1におけるX−Y平面に平行なP1平面での断面図である。図3は、図1におけるX−Z平面に平行なP3平面での断面図である。
本実施形態の横型ホットウォールCVD装置によると、以下の作用効果が得られる。凸状発熱体17は、SiCウエハB1の上流側に配置されている。このような位置に凸状発熱体17を配置することによって、SiCウエハB1の上流側で混合ガスの流れに対して適度な乱流を発生させ、ガスを加熱することができる。これにより、熱分解後の材料ガスの成分比であるC/Si比をSiCウエハB1の上流側、下流側で均一化できる
上記実施の形態では、凸状発熱体17は、サセプタ15のSiCウエハB1を載置する反応室25の下面からZ軸の正方向に突出するように構成したが、反応室25の上面からZ軸の負方向に突出するように構成してもよい。また、反応室25の側面から発熱体を支持するようにしてもよい。
11・・・・・石英管
13・・・・・断熱材
15・・・・・サセプタ
17・・・・・凸状発熱体
21・・・・・上部管路
23・・・・・下部管路
25・・・・・反応室
B1・・・・・SiCウエハ
Claims (6)
- 上流から下流に向かって所定のガスを流しながら、所定位置に載置された基板上に化学気相成長法により半導体膜を形成する化学気相成長半導体膜形成装置であって、
前記ガスを加熱するサセプタであって、前記基板が直接的又は間接的に載置されるサセプタと、
前記基板の載置位置より前記ガスの上流側で前記ガスの流れを乱す凸状物と、
を有する化学気相成長半導体膜形成装置。 - 請求項1記載の化学気相成長半導体膜形成装置において、
前記凸状物は、前記基板の載置位置より前記ガスの上流側に配置され、かつ、熱を発する、化学気相成長半導体膜形成装置。 - 請求項1または2記載の化学気相成長半導体膜形成装置において、
前記半導体膜は、炭化珪素膜である、化学気相成長半導体膜形成装置。 - 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の化学気相成長半導体膜形成装置において、
前記凸状物は、キノコ形状を有する、化学気相成長半導体膜形成装置。 - 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の化学気相成長半導体膜形成装置において、
前記凸状物は、前記サセプタと同一材料により構成されている、化学気相成長半導体膜形成装置。 - 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載の化学気相成長半導体膜形成装置を用いて半導体膜を形成する化学気相成長半導体膜形成方法であって、
サセプタに直接的又は間接的に載置される基板の該載置位置より、前記ガスの上流側で前記ガスの流れを乱し、かつ、前記上流側で前記ガスを加熱しながら前記半導体膜を形成する、化学気相成長半導体膜形成方法。
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