JP2010263296A

JP2010263296A - 弾性境界波装置

Info

Publication number: JP2010263296A
Application number: JP2009110756A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Aiatani; 真一相合谷; Hirohisa Fujii; 裕久藤井; Masaru Yada; 優矢田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2009-04-30
Filing date: 2009-04-30
Publication date: 2010-11-18

Abstract

【課題】フィルタ部を有する弾性境界波装置において、高次モードに起因するスプリアスを抑圧する。
【解決手段】弾性境界波装置１は、弾性境界波フィルタ部１０と、弾性境界波共振子２０とを備えている。弾性境界波フィルタ部１０は、入力端子１１と出力端子１２ａ、１２ｂとを有する。弾性境界波共振子２０は、弾性境界波フィルタ部１０に接続されている。弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされている。
【選択図】図１

Description

本発明は、弾性境界波装置に関し、詳細には、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、フィルタ部に接続されている弾性境界波共振子とを有する弾性境界波装置に関する。

近年、複数種類のバンドの送受信が可能な通信端末などに、帯域阻止フィルタなどの弾性波装置が多用されるようになってきている。弾性波装置には、現在最も広く用いられている弾性表面波装置の他に、例えば下記の特許文献１などに開示されている弾性境界波装置が知られている。弾性境界波装置は、弾性表面波装置と比べて小型化が可能であるため、大きな注目を集めている。

弾性境界波装置は、圧電基板と、圧電基板の上に形成されている第１の誘電体層と、第１の誘電体層の上に形成されている第２の誘電体層と、圧電基板と第１の誘電体層との境界に形成されているＩＤＴ電極とを備えている。第２の誘電体層は、第１の誘電体層よりも音速が速い誘電体層である。典型的には、第１の誘電体層が酸化ケイ素で形成され、第２の誘電体層が窒化珪素で形成される。

ＷＯ９８／５２２７９号公報

上述のように、弾性境界波装置は、弾性表面波装置と比べて小型化が可能である。しかしながら、フィルタ機能を有する弾性境界波装置では、フィルタ部を構成するＩＤＴ電極において発生した弾性境界波の高次モードが第１の誘電体層に閉じ込められ、これに起因してスプリアスが発生するという問題があった。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルタ部を有する弾性境界波装置において、高次モードに起因するスプリアスを抑圧することにある。

本発明に係る弾性境界波装置は、弾性境界波フィルタ部と、弾性境界波共振子とを備えている。弾性境界波フィルタ部は、入力端子と出力端子とを有する。弾性境界波共振子は、弾性境界波フィルタ部に接続されている。本発明に係る弾性境界波装置においては、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされている。

本発明に係る弾性境界波装置のある特定の局面では、弾性境界波共振子は、入力端子または出力端子と、弾性境界波フィルタ部との間に接続されている。

本発明に係る弾性境界波装置の他の特定の局面では、弾性境界波共振子は、入力端子と、弾性境界波フィルタ部との間に接続されている。

本発明に係る弾性境界波装置の別の特定の局面では、弾性境界波フィルタ部は、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部である。

本発明に係る弾性境界波装置のさらに他の特定の局面では、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数とが相互に異なる。この構成によれば、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードによってフィルタ特性が悪化することを抑制することができる。具体的には、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードに起因するスプリアスが発生することを抑制することができる。

本発明に係る弾性境界波装置のさらに別の特定の局面では、弾性境界波フィルタ部と弾性境界波共振子とのそれぞれは、圧電基板と、圧電基板の上に形成されている第１の誘電体層と、第１の誘電体層の上に形成されており、第１の誘電体層よりも音速が高い第２の誘電体層と、圧電基板と第１の誘電体層との境界に形成されているＩＤＴ電極とを有し、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数とが相互に異なるように、弾性境界波共振子と弾性境界波フィルタ部との間で、ＩＤＴ電極の波長、ＩＤＴ電極のデューティー及び第１の誘電体層の厚みのうちの少なくともひとつが異ならさられている。

本発明に係る弾性境界波装置のまた他の特定の局面では、第１の誘電体層が酸化ケイ素からなり、第２の誘電体層が窒化珪素からなる。

本発明では、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされているため、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードにより、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードに起因するスプリアスを抑圧することができる。

弾性境界波装置の略図的模式図である。弾性境界波装置のＩＤＴ電極が形成されている部分を拡大した略図的断面図である。弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされていない比較例としての弾性境界波装置の伝送特性を表すグラフである。比較例における弾性境界波共振子のインピーダンス特性を表すグラフである。比較例における弾性境界波共振子のインピーダンス特性と、弾性境界波装置の挿入損失を併記したグラフである。比較例における弾性境界波共振子の位相特性を表すグラフである。比較例における弾性境界波共振子の位相特性及び弾性境界波装置の挿入損失を併記したグラフである。実施例における弾性境界波装置の２５００ＭＨｚ付近の挿入損失と、比較例における弾性境界波装置の２５００ＭＨｚ付近の挿入損失とを併記したグラフである。実施例における弾性境界波装置の２５００ＭＨｚ付近の挿入損失及びインピーダンス特性と、比較例における弾性境界波装置の２５００ＭＨｚ付近の挿入損失及びインピーダンス特性とを併記したグラフである。実施例における弾性境界波装置の２５００ＭＨｚ付近の挿入損失及び位相特性と、比較例における弾性境界波装置の２５００ＭＨｚ付近の挿入損失及び位相特性とを併記したグラフである。変形例に係る弾性境界波装置の略図的模式図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１は、本実施形態に係る弾性境界波装置の略図的模式図である。図２は、本実施形態に係る弾性境界波装置のＩＤＴ電極が形成されている部分を拡大した略図的断面図である。なお、図１では、描画の便宜上、ＩＤＴ電極及び反射器における電極指の本数等は実際の本数よりも少なく描画している。

本実施形態の弾性境界波装置１は、ＳＨ型弾性境界波を利用した弾性境界波装置である。図１に示すように、本実施形態の弾性境界波装置１は、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０を備えている。縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０は、入力端子（平衡信号端子）１１と、第１及び第２の出力端子（平衡信号端子）１２ａ、１２ｂとを備える平衡−不平衡変換機能を備えるバランス型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部である。

縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０は、所謂３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部である。縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０は、弾性境界波伝搬方向に沿って配列されている第１〜第３のＩＤＴ電極１３〜１５と、第１〜第３のＩＤＴ電極１３〜１５が設けられた領域の弾性境界波伝搬方向の両側に配置された第１及び第２のグレーティング反射器１６，１７とを備えている。第１〜第３のＩＤＴ電極１３〜１５のうちの中央に位置する第２のＩＤＴ電極１４の一端側が入力端子１１に接続されている。一方、第２のＩＤＴ電極１４の他端側がグラウンド電極に接続されている。第２のＩＤＴ電極１４の弾性境界波伝搬方向の両側に位置する第１及び第３のＩＤＴ電極１３，１５のそれぞれの一端側は、グラウンド電極に接続されている。第１のＩＤＴ電極１３の他端側は、第１の出力端子１２ａに接続されている。一方、第３のＩＤＴ電極１５の他端側は、第２の出力端子１２ｂに接続されている。

縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０と、入力端子１１との間には、弾性境界波共振子２０が接続されている。すなわち、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０と、弾性境界波共振子２０とは、直列に接続されている。

弾性境界波共振子２０は、ＩＤＴ電極２１と、ＩＤＴ電極２１の弾性境界波伝搬方向の両側に配置されている第１及び第２のグレーティング反射器２２，２３とを備えている。ＩＤＴ電極２１の一方側が入力端子１１に接続されている。ＩＤＴ電極２１の他方側が縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０の第２のＩＤＴ電極１４の一方側に接続されている。

次に、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０及び弾性境界波共振子２０の膜構成について、図２を参照しつつ詳細に説明する。縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０及び弾性境界波共振子２０のそれぞれは、圧電基板３０を備えている。本実施形態では、圧電基板３０が、２７．５° Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ_３基板により形成されている。最も、圧電基板３０は、これに限定されず、例えば、ＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３、水晶などの適宜の圧電材料により形成することができる。

圧電基板３０の上には、第１の誘電体層３１が形成されている。第１の誘電体層３１の上には、第２の誘電体層３２が形成されている。本実施形態では、第１の誘電体層３１が酸化ケイ素により形成されており、第２の誘電体層３２が窒化珪素により形成されている。もっとも、第１及び第２の誘電体層３１，３２の形成材料は、第２の誘電体層３２の音速が、第１の誘電体層３１の音速よりも高くなる限りにおいて、特に限定されず、上記条件が満たされる範囲内で適宜選択することができる。

本実施形態では、圧電基板３０と第１の誘電体層３１との境界に、例えば、Ｔａ_２Ｏ_５などからなる下地層３３が形成されている。そして、下地層３３の上に、上述のＩＤＴ電極１３〜１５，２１及びグレーティング反射器１６，１７，２２，２３が形成されている。もっとも、本発明において、下地層は必須の構成ではない。下地層を設けず、圧電基板と第１の誘電体層との境界にＩＤＴ電極や反射器等を形成してもよい。なお、図２及び以下の説明では、説明の便宜上、ＩＤＴ電極１３〜１５，２１を、ＩＤＴ電極４０と総称している。

ＩＤＴ電極４０は、Ａｌ，Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｔｉなどの金属や、ＡｌＣｕなどのこれらの金属を主成分として含む合金等の適宜の導電材料に形成することができる。ＩＤＴ電極４０は、１層の導電層により構成されていてもよいし、複数層の導電層の積層体により構成されていてもよい。さらに、ＩＤＴ電極４０には、下地層３３や第１の誘電体層３１との密着性を向上するための密着層が設けられていてもよい。本実施形態では、具体的には、ＩＤＴ電極４０は、下地層３３の上に、Ｔｉ層４１，Ｐｔ層（第１の主電極層）４２、Ｔｉ層４３、ＡｌＣｕ層（第１の導電層）４４、Ｔｉ層４５、Ｐｔ層（第２の主電極層）４６、Ｔｉ層４７、ＡｌＣｕ層（第２の導電層）４８、Ｔｉ層４９が、圧電基板３０側からこの順番に形成された積層体により構成されている。

本実施形態では、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされている。具体的には、本実施形態では、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードの反共振周波数と、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされている。このため、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードにより、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードに起因するスプリアスを抑圧することができる。

なお、本明細書において、「弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数」とは、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードにより形成される通過帯域または阻止帯域の周波数帯のことをいう。

また、高次モードには、２次モードのみならず、３次以上のモードが含まれる。すなわち、「弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しい」とは、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の２次以上の高次モードのいずれかの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の２次以上の高次モードのいずれかの応答により形成される通過帯域または阻止帯域の周波数帯とが等しいことを意味する。

例えば、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の３次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の２次モードの応答により形成される通過帯域または阻止帯域の周波数帯とが等しくてもよい。但し、より高いモードになるほど応答が小さくなるため、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の２次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の２次モードの応答により形成される通過帯域または阻止帯域の周波数帯とが等しくされていることが好ましい。そうすることにより、高次モードスプリアスをより効果的に抑圧することができる。

また、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とは、本実施形態のように弾性境界波共振子が弾性境界波フィルタ部と直列に接続されている場合は、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの反共振周波数となる。弾性境界波共振子が入力端子または出力端子と弾性境界波フィルタ部との間の接続点と、グラウンド電位との間に接続されている場合は、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの共振周波数となる。

以下、この効果を具体例に基づいてさらに詳細に説明する。

図３は、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされていない比較例としての弾性境界波装置の伝送特性を表すグラフである。また、図４は、比較例における弾性境界波共振子のインピーダンス特性を表すグラフであり、図５は、比較例における弾性境界波共振子のインピーダンス特性と、弾性境界波装置の挿入損失を併記したグラフである。図６は、比較例における弾性境界波共振子の位相特性を表すグラフである。図７は、比較例における弾性境界波共振子の位相特性及び弾性境界波装置の挿入損失を併記したグラフである。

図３に示す例では、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードに起因するスプリアスが２５００ＭＨｚ付近に発生している。スプリアスが生じている部分の挿入損失は、１７ｄＢ程度となっている。そして、図５に示すグラフから、弾性境界波共振子の高次モードは、スプリアスの周波数である２５００ＭＨｚとは異なる２６００ＭＨｚ付近に現れていることがわかる。このことから、比較例においては、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくないことが分かる。

それに対して、本実施形態では、図９及び図１０に示すように、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされている。具体的には、本実施形態では、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードの反共振周波数と、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数、すなわち、通過帯域の周波数帯とが等しくされている。このため、図８〜図１０に示すように、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードにより、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の薄膜高次モードに起因するスプリアスを抑圧することができる。具体的には、本実施例及び比較例においては、５ｄＢ程度スプリアスが抑圧されている。

以上の結果から、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とを等しくすることにより、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードにより、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードに起因するスプリアスを抑圧できることがわかる。

なお、本実施形態において、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数と、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数とが相互に異ならしめられていることが好ましい。このようにすることによって、弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波のメインモードによってフィルタ特性が悪化することを抑制することができる。弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波のメインモードに起因するスプリアスが発生することを抑制することができる。

なお、本明細書において、「弾性境界波フィルタ部のメインモードの応答の周波数」とは、弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波のメインモードにより形成される通過帯域または阻止帯域の周波数帯のことをいう。

また、「弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数」とは、本実施形態のように、弾性境界波共振子が弾性境界波フィルタ部と直列に接続されている場合は、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードの反共振周波数となる。弾性境界波共振子が入力端子または出力端子と弾性境界波フィルタ部との間の接続点と、グラウンド電位との間に接続されている場合は、弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの共振周波数となる。

弾性境界波共振子２０と縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０とにおいて、高次モードの応答の周波数を相互に同じにすると共に、メインモードの応答の周波数を相互に異ならせる方法は、特に限定されない。メインモードの応答の周波数を相互に異ならせる方法としては、例えば、ＩＤＴ電極の波長（λ）、デューティー及び第１の誘電体層３１の厚みのうちのひとつを弾性境界波共振子２０と縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０とで異ならしめる方法が挙げられる。

なお、上記実施例及び比較例における設計パラメータは、下記の通りである。

実施例：
圧電基板３０：２７．５° Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ_３基板
ＩＤＴ電極４０：Ｔｉ層４１（１０ｎｍ）、Ｐｔ層４２（２３ｎｍ）、Ｔｉ層４３（１０ｎｍ）、ＡｌＣｕ層４４（１７５ｎｍ）、Ｔｉ層４５（１０ｎｍ）、Ｐｔ層４６（２３ｎｍ）、Ｔｉ層４７（１０ｎｍ）、ＡｌＣｕ層４８（１００ｎｍ）、Ｔｉ層４９（１０ｎｍ）
第１の誘電体層３１：厚さ５５０ｎｍの酸化ケイ素層
第２の誘電体層３２：厚さ２０００ｎｍの窒化珪素層

縦結合共振子型弾性境界波フィルタ１０：
伝搬方向：ψ＝０度
交差幅：２７λ
デューティー：０．５０
反射器１６の対数：１４．５対
反射器１６の波長：１．９１８μｍ
ＩＤＴ１３の対数：１９．０対
ＩＤＴ１３の波長：１．８９７μｍ（但し、ＩＤＴ１４と隣接する８本は波長１．８１５μｍ）
ＩＤＴ１４の対数：１９．０対
ＩＤＴ１４の波長：１．８７９μｍ（但し、ＩＤＴ１３、１５と隣接する７本ずつは、波長１．７９１μｍ）
ＩＤＴ１５の対数：１９．０対
ＩＤＴ１５の波長：１．８７９μｍ（但し、ＩＤＴ１４と隣接する８本は波長１．８１５μｍ）
反射器１７の対数：１４．５対
反射器１７の波長：１．９１８μｍ

弾性境界波共振子２１：
伝搬方向：ψ＝０度
交差幅：３０λ
デューティー：０．５０
反射器２２，２３の対数：２５対
反射器２２，２３の波長：１．９００μｍ
ＩＤＴ２１の対数：６０．０対
ＩＤＴ２１の波長：１．９００μｍ

比較例：
圧電基板：２７．５° Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ_３基板
ＩＤＴ電極４０：Ｔｉ層４１（１０ｎｍ）、Ｐｔ層４２（２３ｎｍ）、Ｔｉ層４３（１０ｎｍ）、ＡｌＣｕ層４４（１７５ｎｍ）、Ｔｉ層４５（１０ｎｍ）、Ｐｔ層４６（２３ｎｍ）、Ｔｉ層４７（１０ｎｍ）、ＡｌＣｕ層４８（１００ｎｍ）、Ｔｉ層４９（１０ｎｍ）
第１の誘電体層：厚さ５５０ｎｍの酸化ケイ素層
第２の誘電体層：厚さ２０００ｎｍの窒化珪素層

弾性境界波共振子２１：
伝搬方向：ψ＝０度
交差幅：３０λ
デューティー：０．５０
反射器１６，１７のそれぞれの対数：２５対
反射器１６，１７のそれぞれの波長：１．８４２μｍ
ＩＤＴ２１の対数：６０．０対
ＩＤＴ２１の波長：１．８４２μｍ

以下、上記実施形態の変形例について説明する。但し、以下の変形例の説明において、上記実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。

（変形例）
上記実施形態では、弾性境界波共振子が、入力端子と弾性境界波フィルタ部との間に接続されている例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、図１１に示すように、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０と出力端子１２ａ、１２ｂとの間に弾性境界波共振子２０ａ、２０ｂを設けてもよい。

また、上記実施形態では、弾性境界波共振子が弾性境界波フィルタ部に対して直列に接続されている例について説明したが、弾性境界波共振子は、入力端子または出力端子と、弾性境界波フィルタ部との間の接続点と、グラウンド電位との間に接続されていてもよい。この場合は、弾性境界波共振子２０ａ、２０ｂにおいて発生する弾性境界波の高次モードの共振周波数と、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードの周波数とが等しくされる。

また、上記実施形態では、弾性境界波フィルタ部として、所謂３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部が設けられている例について説明した。但し、本発明において、弾性境界波フィルタ部は、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部に限定されない。弾性境界波フィルタ部は、例えば、５ＩＤＴ型または７ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部であってもよい。

また、弾性境界波フィルタ部は、例えば、弾性境界波を利用したラダー型フィルタ部などの縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部以外の形態のフィルタ部であってもよい。

１…弾性境界波装置
１０…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
１１…入力端子
１２ａ…第１の出力端子
１２ｂ…第２の出力端子
１３…第１のＩＤＴ電極
１４…第２のＩＤＴ電極
１５…第３のＩＤＴ電極
１６…第１のグレーティング反射器
１７…第２のグレーティング反射器
２０、２０ａ、２０ｂ…弾性境界波共振子
２１…ＩＤＴ電極
２２…第１のグレーティング反射器
２３…第２のグレーティング反射器
３０…圧電基板
３１…第１の誘電体層
３２…第２の誘電体層
３３…下地層
４０…ＩＤＴ電極
４１、４３、４５、４７、４９…Ｔｉ層
４２…Ｐｔ層
４４…ＡｌＣｕ層
４６…Ｐｔ層
４８…ＡｌＣｕ層

Claims

入力端子と出力端子とを有する弾性境界波フィルタ部と、
前記弾性境界波フィルタ部に接続されている弾性境界波共振子とを備え、
前記弾性境界波共振子において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、前記弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しい、弾性境界波装置。
前記弾性境界波共振子は、前記入力端子または前記出力端子と、前記弾性境界波フィルタ部との間に接続されている、請求項１に記載の弾性境界波装置。
前記弾性境界波共振子は、前記入力端子と、前記弾性境界波フィルタ部との間に接続されている、請求項１または２に記載の弾性境界波装置。
前記弾性境界波フィルタ部は、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
前記弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数と、前記弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数とが相互に異なる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
前記弾性境界波フィルタ部と前記弾性境界波共振子とのそれぞれは、圧電基板と、前記圧電基板の上に形成されている第１の誘電体層と、前記第１の誘電体層の上に形成されており、前記第１の誘電体層よりも音速が高い第２の誘電体層と、前記圧電基板と前記第１の誘電体層との境界に形成されているＩＤＴ電極とを有し、
前記弾性境界波共振子において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数と、前記弾性境界波フィルタ部において発生する弾性境界波のメインモードの応答の周波数とが相互に異なるように、前記弾性境界波共振子と前記弾性境界波フィルタ部との間で、前記ＩＤＴ電極の波長、前記ＩＤＴ電極のデューティー及び前記第１の誘電体層の厚みのうちの少なくともひとつが異ならされている、請求項５に記載の弾性境界波装置。
前記第１の誘電体層が酸化ケイ素からなり、前記第２の誘電体層が窒化珪素からなる、請求項６に記載の弾性境界波装置。