JP2010263060A - 基板検出装置を備えた基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
装置の設置面積やレイアウトを変更せずに、基板サイズによって専用の基板検出装置が取り付いたロボットなどに変えることなく、異なるサイズの基板搬送容器内の基板も検出可能な基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】基板検出装置１３が基板搬送ロボット７の動作領域内の所定の位置に設置され、基板を検出するとき、基板搬送ロボット７が基板検出装置１３を保持して基板を検出し、検出が終わると基板検出装置１３を所定の位置に戻す基板搬送装置とした。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板搬送装置において基板搬送容器内の基板を検出するための基板検出装置を備えたものに関する。

半導体や液晶の製造装置、露光装置、及び基板検査装置において（以下、まとめて半導体製造装置と記載する）、特に半導体ウェハ、液晶、レチクルといった基板を搬送する際、一般的に水平多関節型の搬送ロボットが使用されている。この搬送ロボットは、昨今の半導体製造装置において、上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を筐体によって外部と隔離した、いわゆる局所クリーン化された筐体内に設置される。この筐体は半導体製造装置の前面に設置された基板搬送装置であり、フロントエンド或いはＥＦＥＭと呼ばれている（例えば、特許文献１）。
このような基板搬送装置において、基板搬送ロボットは基板搬送装置内のほぼ中央に配置される。基板搬送ロボットは、昇降機構を収容して上下方向に昇降可能なボディと、ボディ上に設けられて水平方向に回転自在に連結された複数の水平多関節アームと、アームの先端に回転自在に連結されて基板を載置するハンドとから概ね構成されている。基板搬送ロボットは、昇降機構によってボディやアームを昇降させたり、各アームを回転させたりしながらハンドを伸縮・回転させ、ハンドに搭載した基板を目的の位置へと搬送する。基板搬送装置の外部側面には、基板を収納した基板搬送容器を搭載し、その蓋を開閉するなどして、基板搬送装置内部へ基板を取り出せるようにするオープナ（ＰＯＤオープナ、ＦＯＵＰオープナ、ロードポートと呼ばれる）が１台或いは複数台設けられている。このオープナによれば、基板搬送装置外の比較的清浄でない雰囲気を装置内に侵入させることなく、基板を装置内へ取り出せるようにできる。また、基板搬送装置内の一部には、アライナと呼ばれ、基板の方向性を検知し整える（アライメントする）装置も設置される。或いは、基板を一時的に載置しておくバッファなども設置される。また、基板搬送装置の他の外部側面には、基板を処理する処理室が接続され、基板搬送装置とともに半導体製造装置を構成する。処理室では、例えばＣＶＤ、エッチング、露光などといった所定の処理が基板に対して行われる。このように、局所クリーン化された筐体内に設置される基板搬送ロボットは、オープナによって取り出し可能になった基板搬送容器内の基板を取り出し、アライナへと搬送してアライメントをさせ、アライメントが終了した基板を処理室へと搬送する。そして、処理室で処理が終わった基板を再び基板搬送容器に収納する。
このような基板搬送装置が処理室には接続されず、基板搬送装置の外部側面に上記オープナのみが複数設けられ、これら複数のオープナに搭載された複数の基板搬送容器間において、基板搬送ロボットがアライナにアライメントを行わせながら、基板を基板搬送容器間で移し変える筐体も開発されている。この筐体はソータなどと呼ばれている。

以上のように、基板搬送装置やソータに設置される基板搬送ロボットは、基板が多段に収納された基板搬送容器から基板を搬送することが多いため、基板が基板搬送容器内でどのように収容されているか、という情報を把握する必要がある。つまり、基板の有無、斜めに挿入されていないか、基板搬送容器１段に複数枚挿入されていないか、所定位置よりも飛び出していないか、などを把握した後、基板の搬送を開始する必要がある。
そこで、基板搬送装置ではウェハなどの基板を収納する基板搬送容器内の基板を検出する基板検出装置が設けられている。基板検出装置の一般的な構成とその検出方法は、図１や図２のように行なわれている。図１は基板検出装置１とそれに検出される基板の平面図であり、図２は基板検出装置が基板搬送容器５内の基板３を検出する時の側面図である。基板検出装置１は図１のように、検出しようとする基板３の周囲の一部よりも長い光軸２ｃとなるようにセンサ２を配置し、基板３の周囲の一部によってセンサ２の光軸２ｃが遮光されることで基板３を検出する。そして図２のように、基板検出装置１はオープナ４やステージなどの上に搭載された基板搬送容器５内の基板（ウェハ）３に対し、図２の（ａ）から（ｂ）のように基板検出装置１が基板搬送容器５内に進入し、図１のように基板３が基板検出装置１のセンサ２の光軸２ｃをさえぎる位置まで進入した後、図２の（ｃ）のように基板搬送容器５の上方位置から下降、あるいは下方位置から上昇しながら、上下の動作速度と光軸が遮光される時間で基板搬送容器５内の基板有り無し情報や、基板が複数の棚にまたがって斜めに収納されていないか、基板が１つの棚に複数枚収納されていないか、などを判別する。
このような基板検出装置は、例えば、上記のオープナ自身に取り付けられている場合や、基板搬送ロボット自身に取り付けられている場合などがある。具体的にはロボットのハンド部に、ハンドと背中合わせの位置に基板検出装置をあらかじめ取り付けておくものがある（例えば、特許文献２）。また、同様にハンドと背中合わせの位置に基板検出装置を取り付けるとともに、基板のサイズが異なるものを検出できるようにしたものもある（例えば、特許文献３）。

特開２００４−４４９８９号公報 特開平７−１５３８１８ 特開２００４−２０７５０７

上記で説明した基板搬送装置（ＥＦＥＭ）は、例えば具体的には図３のように構成されている。基板搬送装置は、外枠６に囲まれた内部に、基板搬送ロボット７、及び基板の角度・位置検出用のアライメント装置８が配置され、外枠６の外面には、基板搬送容器を置き、基板搬送容器の蓋を取り付や取り外しを行うオープナやステージ４などの装置が設置される。オープナやステージ４などが配置されない面に対しては、基板を処理するための基板処理室９が取り付けられている。このような装置において、オープナやステージ４に搭載される基板搬送容器５内から、基板搬送ロボット７が基板を取り出し、アライメント装置８まで基板を搬送し、アライメント装置８にて基板の位置や角度を検出し、アライメント装置８で任意の位置・角度となった基板を基板搬送ロボット７がアライメント装置８から取り出し、基板処理室９へと搬送する。このような基板搬送装置では省フットプリントの観点から、装置の設置面積が最小になるように設計される。このためロボットについても、可動範囲・最小旋回半径などは、装置を最小化する様に設計される。これに対して、特許文献２のように、ハンドと背中合わせの位置に基板検出装置を搭載した場合、ロボットの最小旋回半径が、基板検出装置を搭載していないものより大きくなるために、ロボットの設置面積が大きくなり、基板搬送装置自体の設置面積も大きくなることがある。このようなことから、従来の装置に対して、基板検出装置を持たないロボットから基板検出装置を持ったロボットへの置き換えなどは非常に困難となる。
また、従来の基板搬送装置１台で、搬送する基板のサイズが異なる基板を搬送する場合、例えば、直径３００ｍｍウェハを収納する基板搬送容器をオープナ上に置き、３００ｍｍウェハを搬送する場合と、あるときには、直径２００ｍｍウェハを収納する基板搬送容器を同じオープナ上に置き、２００ｍｍウェハを搬送する場合などがある。この場合、異なる形状・大きさの基板搬送容器が同じオープナに置かれることがあり、同じ基板検出装置で異なる形状・大きさの基板搬送容器内のウェハを検出しなければならなくなる。この場合、基板検出装置が３００ｍｍウェハ及び３００ｍｍウェハ用基板搬送容器に合わせて基板が検出できるように設計された形状であれば、２００ｍｍウェハ用の基板搬送容器内には、基板搬送容器との干渉の問題が発生して基板検出装置を２００ｍｍウェハ用基板搬送容器内に挿入できない場合がある。
また、特許文献３のように、３００ｍｍウェハ、２００ｍｍウェハを検出するための複数の透過式センサを装備して１つの基板検出装置で異なるサイズの基板を検出可能とした場合についても、例えば、更に１５０ｍｍウェハなどのサイズの異なるウェハを検出する場合などについては、センサの数が増加することや、配線が多くなるなど、基板搬送ロボットにとって配線スペースやレイアウト上の問題が発生する場合もある。更に、基板搬送容器やウェハサイズの種類が多いと、いずれかの基板搬送容器と干渉するなど、１つの基板検出装置では形状的に成立しない場合も考えられる。
また、オープナ自身に基板検出装置を取り付けるものは、オープナが複数台設置されると、その台数だけ基板検出装置が必要となってしまう。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、装置の設置面積やレイアウトを変更せずに、基板サイズによって専用の基板検出装置が取り付いたロボットなどに変えることなく、異なるサイズの基板搬送容器内の基板も検出可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、基板搬送容器に収納された基板を検出する基板検出装置と、前記基板を搬送する基板搬送ロボットと、を備えた基板搬送装置において、前記基板検出装置が前記基板搬送ロボットの動作領域内の所定の位置に設置され、前記基板を検出するとき、前記基板搬送ロボットが前記基板検出装置を保持して前記基板を検出し、前記検出が終わると前記基板検出装置を前記所定の位置に戻すことを特徴とした基板搬送装置とするものである。
また、請求項２に記載の発明は、前記基板検出装置は、異なるサイズの前記基板をそれぞれ検出可能に複数設置されるとことを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置とするものである。
また、請求項３に記載の発明は、前記基板検出装置は、前記異なるサイズの基板のうち２つ以上のサイズを検出可能に形成されることを特徴とした請求項２記載の基板搬送装置とするものである。
また、請求項４に記載の発明は、前記基板検出装置は、前記基板搬送ロボットが前記基板を保持するハンドに保持されることを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置とするものである。
また、請求項５に記載の発明は、前記基板検出装置は、前記基板によって遮光される光軸を有するセンサヘッドと、前記センサからの信号を取り込み、電気信号へ変換するアンプと、前記センサヘッドと前記アンプとを搭載するベースと、からなることを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置とするものである。
また、請求項６に記載の発明は、前記基板検出装置は、前記基板によって遮光される光軸を有するセンサヘッドと、前記センサヘッドからの信号を取り込み、電気信号へ変換するアンプと、前記アンプを搭載するベースと、からなり、前記アンプが前記ベースとは別の位置に固定されることを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置とするものである。
また、請求項７に記載の発明は、前記基板検出装置は、前記基板によって遮光される光軸を有するセンサヘッドと、前記センサヘッドからの信号を取り込み、電気信号へ変換するアンプと、前記電気信号を無線で送信する通信装置と、前記通信装置を駆動するための電源と、前記センサヘッドと前記アンプと前記通信装置と前記電源とを搭載するベースと、からなり、前記電気信号を無線で送信することを特徴とした請求項１記載の基板検出装置とするものである。
また、請求項８に記載の発明は、請求項１記載の基板搬送装置において、さらに、前記基板搬送容器を設置可能なオープナと、前記基板を所望の向きに整えるアライナと、を備えたことを特徴とする基板搬送装置とするものである。
また、請求項９に記載の発明は、請求項８記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置とするものである。

請求項１や５に記載の発明によると、オープナやステージ、あるいはロボットとは別体で基板検出装置が存在し、必要に応じてロボットが基板検出装置を取りに行き、ロボットが基板検出装置を移動させることで基板検出が出来るため、オープナやステージ、あるいはロボットに基板検出装置が必要なくなる。また、従来は基板検出装置が装備されていない装置にでも、基板検出装置を装着でき、基板検出を可能にすることが出来る。
また、請求項２あるいは３に記載の発明によると、１つの基板搬送装置で複数種類のサイズの異なる基板においても基板の検出が可能になり、従来は基板検出装置が装備されていない装置や、単独サイズの基板の検出のみ可能であった装置においても、本発明の基板検出装置を１個あるいは複数個追加することで、複数種類の異なるサイズの基板検出を可能にすることが出来る。
また、請求項４に記載の発明によると、ハンドが基板検出装置が保持されるよう構成されるので、基板搬送ロボットが基板検出装置を保持するための機構をよけいに設ける必要が無い。
また、請求項６に記載の発明によると、センサヘッドとセンサヘッドからセンサからの信号を取り込み電気信号へ変換するアンプまでのケーブルとをベースに搭載し、アンプをベースと離して配置することで、基板検出装置本体を軽量化することができ、これにより基板の検出精度が向上する。
また、請求項７に記載の発明によると、センサヘッドと、アンプと、電気信号を無線で送信する通信装置と、これらの装置を駆動するための電源をベース本体に搭載し、検出によって得られた電気信号を制御機器へ無線で送信することで、ロボットの動作時に可動するケーブルが無くなるため、ケーブル配置のためのスペースが必要なく、基板検出装置が容易に配置できることや、ケーブルの可動による断線などの恐れが無くなり、信頼性を向上することができる。
また、請求項８に記載の発明によると、半導体処理装置にウェハを搬送するウェハ搬送装置（ＥＦＥＭ）や、ある基板搬送容器内のウェハを別の基板搬送容器に移戴するウェハ移戴装置（ソータ）などに基板検出装置を装備することで、１台のＥＦＥＭやソータで、例えば３００ｍｍと２００ｍｍと１５０ｍｍなどの異なるサイズのウェハを搬送する場合でもＥＦＥＭやソータの外形寸法を従来製品から大型化することなく、設置面積を従来製品と同等の面積にできるようになる。または、ＥＦＥＭやソータの外形寸法を従来製品から変えずにウェハ検出装置を搭載できるため、基板検出装置を容易に追加できる。

基板検出装置の先端部を示す平面図 基板検出装置の検出動作を示す側面図 基板搬送装置の機器構成の一例を示す平面図 本発明の基板検出装置１３を示す正面図と平面図 本発明の第１実施例を示す基板搬送装置の内部平面図 本発明の第１実施例を示す基板搬送装置の内部正面図 本発明の基板検出装置の動作を示す平面図

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。

図４は、本発明の基板検出装置の正面図と平面図である。図４において、ベース１０上には、基板検出用のセンサ２と、その検出情報を電気信号として出力するアンプ１１が搭載される。またセンサ２は本実施例の場合、投光器２ａと受光器２ｂの２部品からなり、投光器２ａより発する光の光軸２ｃが基板３の周囲の一部によって遮光されたときの状態を受光器２ｂによって検出し、それらの検出情報をアンプ１１にて電気信号へと変換し、ケーブル１２を通して外部に電気信号を出力する。このように、本発明の基板検出装置は、従来と異なり、ベース１０と、それに搭載されたセンサ２と、場合によりアンプ１１とを搭載した構成のみになっている。また、ベース１０は、後述する基板搬送ロボット７のハンドによって保持され得るように形成されている。

図５は本発明の基板検出装置１３を装備した基板搬送装置（ＥＦＥＭ）の機器構成を表した内部平面図で、図６は図５の正面図である。ただしオープナ又はステージ４は図示していない。そして図７は、本発明の基板検出装置の動作を示した図である。
図５及び図６おいて、基板検出装置１３は基板搬送装置の外枠６内に設置される。また、外枠６内には基板搬送ロボット７や基板の位置や角度の検出を行うアライメント装置８が設置され、外枠６の外周には基板搬送容器５を搭載するオープナ又はステージ４が取り付けられ、他の面では基板を処理するための基板処理室９が繋がっている。基板検出装置１３は、基板搬送ロボット７のアームの動作範囲内に設置される。この装置構成において、基板は図２で示したような複数枚収納可能な棚を装備した基板搬送容器５内に収納され、基板搬送容器５はオープナ又はステージ４上に搭載される。そして、基板検出装置１３にて基板搬送容器５内各棚の基板の状態や各棚での基板の有無を検出する。
基板搬送ロボット７は、複数のアームが連結された水平多関節のアーム７ｂを備えている。アームの先端にはハンド７ａが設けられている。本実施例の場合、アーム７ｂを２本有する双腕ロボットになっていて、アーム７ｂのそれぞれの先端にハンド７ａが設けられている。ハンド７ａは基板を保持できるように形成されている。本実施例の場合、ハンド７ａは基板を吸着するタイプのハンドであるが、基板の周囲を把持するタイプのハンドであってもよい。ハンド７ａは、その動作範囲に設置されている基板検出装置１３のベース１０を吸着或いは把持して保持できるよう構成されている。基板検出装置１３のベース１０は、ハンド７ａに対して位置再現性よく保持できるように構成されることが望ましい。そのために、例えば、ハンド７ａに位置決め用段差を設けてそれと合うような基板検出装置１３のベース１０にすることが考えられる。
また本実施例では、基板検出装置１３は、図６の１３ａ〜１３ｃで示すように、異なる直径の基板とその異なる直径の基板のそれぞれが収納される基板搬送容器に最適な形状、大きさを有するものが複数準備される。本実施例の場合、直径約１５０ｍｍ（６インチ）、約２００ｍｍ（８インチ）、約３００ｍｍ（１２インチ）の各基板とその収納容器に対応した３種類の基板検出装置１３ａ〜１３ｃが用意されている。また、図５、６では図示していないが、基板検出装置１３のそれぞれは、例えば基板搬送容器５のように、基板検出装置を収納できる棚やステージに設置される。なお、例えば基板が約２００ｍｍ（８インチ）と約３００ｍｍ（１２インチ）など径が近い基板であれば、これらを検出する基板検出装置が共用できることもある。

以上で構成された基板搬送装置の基板検出時の動作の平面図を示すのが図７である。図７において、基板搬送装置内に置かれた基板搬送ロボット７は、例えば図７（ａ）の状態から（ｂ）の昇降・旋回動作、図７（ｃ）のアーム伸縮動作を行い、これから搬送を行なう基板３の径に最適な基板検出装置１３ａ〜１３ｃのいずれかをハンドで保持して取り出し、図７（ｄ）の旋回・アーム伸長動作によって基板検出のための所定の位置に基板検出装置１３を搬送する。
基板検出のための所定の位置に搬送された基板検出装置１３は、上記で説明したように、図２の（ａ）の位置から基板搬送ロボット７によって下降し、図２（ｂ）のように、基板搬送容器１２のウェハ最上段よりも上部の位置でウェハ検出位置まで侵入する。その後、基板搬送ロボット７の下降動作によって基板検出装置を図２（ｃ）のように下降させ、下降時にウェハの検出を行う。基板検出は基板検出装置の先端に取り付けたセンサの投光側から光を投光し、受光側ではウェハがない部分は光を受光し、ウェハがある部分では遮光されている状態変化を、アンプから外部の制御機器に電気信号を送り、制御機器は下降する位置と、受光・遮光時の位置や距離などを基板搬送ロボットの動作位置や動作速度から割り出すことで、基板搬送容器５の各棚でのウェハの状況を検出することができる。
そして、上記で説明した図７の動作を逆に行うことによって、基板搬送ロボット７は、基板検出装置をハンドから離し、基板搬送装置内の決められた場所に載置する。
以上の動作の際、基板検出装置のケーブル１２の基端側は、図示しない制御機器へと接続されているので、本実施例の場合、このケーブル１２は基板搬送ロボット７のハンドが基板検出装置を保持して動作してもこれを妨げないように弛ませてある。

このように本発明では基板検出装置を基板搬送装置内部に、基板搬送ロボットとは独立して設置している。よって、例えば基板検出装置を装備していないロボットによって構成された基板搬送装置に、従来のような基板検出装置を装備したロボットを使うと動作範囲が変化してしまい、基板搬送装置のレイアウトを変更する必要が生じていたが、本発明のように、基板検出装置を基板搬送ロボットのハンドが着脱可能に形成し、それを基板搬送装置内に装備することで、基板検出が行えるようになり、従来の基板搬送装置の設置面積を変えることなく、容易に基板検出が行えるようになる。
また、この基板検出装置を基板搬送装置内部に複数設置することで、異なる基板サイズの基板搬送容器がステージに搭載されても、その基板サイズに最適な基板検出装置を基板搬送ロボットが選んで基板検出に用いることで、基板の位置検出が可能となる。
従来は図１で示した基板検出装置が基板搬送用のロボットや基板搬送容器を設置するオープナなどの機器の構成部品として取り付けられ、これらの機器を操作することで基板検出を行っていたが、以上のように本発明は、基板検出装置が前述の機器とはまったく別の独立した基板検出装置として存在し、基板検出装置を基板搬送用のロボットを操作することによって基板検出装置を所定の位置に搬送し、検出動作を行わせるようにした。
これによって、従来では、機器の設置位置や設置面積などを変更するなど大掛かりな作業となる基板検出装置の追加が、従来からの機器の置き換えを行うことなく、容易に配置できるため、設置面積などの変更が必要なくなる。また、複数の基板検出装置を基板搬送装置内部に配置するため、異なる基板サイズの基板搬送容器が搭載されても、装置自体の外形寸法や内部の機器を変更することなく基板検出が行える。

第２の実施例としては、図４の基板検出装置において、アンプ１１をベース１０から取り外し、センサ２からアンプ１１までのケーブルを基板搬送装置内部に這わせ、アンプ１１を基板搬送装置内部の基板検出装置が設置される付近に取り付けるものである。第１の実施例では基板搬送用ロボットがセンサのアンプまで取り付けられた基板検出装置を搬送する必要があり、アンプを搭載している分、重量の面で重いものを搬送しなければならない。そのために、基板搬送用ロボットが高速で動作できなくなることや、基板検出装置やロボットアームのたわみなどが大きくなり、基板検出の際に、所定の位置に精度よく搬送できなくなるなどの場合がある。これに対して、第２の実施例ではロボットが搬送する基板検出装置を軽量にできるため、高速での動作が可能であることやロボットアームのたわみを少なくすることが可能になり、指定の位置に精度よく基板検出装置を搬送することが可能となる。

第３の実施例としては、基板検出装置において、アンプからの電気信号を無線で外部と通信できるように、基板検出装置にセンサ・通信装置・それらを駆動する電源を搭載した基板検出装置とするものである。第１、及び第２の実施例では、基板検出装置から外部に対して、通信や電源のためのケーブル１２を基板搬送装置内部に這わせなければならない。このために、基板検出装置の基板搬送装置内での配置制限が発生する。また、基板検出動作の際はケーブル１２が弛みながら移動することになることで、ケーブル１２の基板搬送装置内での配線や這い回し方法などを考慮する必要があり、ケーブル１２がロボットやオープナなどの基板搬送装置内部の機器と干渉して断線したり、ケーブル１２自身の可動によって断線したりすることなどが発生することが考えられる。これに対して第３の実施例では、基板検出装置から外部にケーブル１２を這わせる必要がなくなるために、ケーブル１２の可動部分がなくなり、基板検出装置の基板搬送装置内部でケーブルの配回しなどによる配置の制限がなくなる。更に、ケーブルの可動部分がないために、可動による断線が防止でき、信頼性が向上する。

１ 基板検出装置
２ａ センサ（投光器）
２ｂ センサ（受光器）
３ 基板
４ オープナ（ロードポート）又はステージ
５ 基板搬送容器
６ 外枠
７ 基板搬送ロボット
８ アライメント装置
９ 基板処理室
１０ ベース
１１ アンプ
１２ ケーブル
１３ 基板検出装置

Claims (9)

1. 基板搬送容器に収納された基板を検出する基板検出装置と、前記基板を搬送する基板搬送ロボットと、を備えた基板搬送装置において、
   前記基板検出装置が前記基板搬送ロボットの動作領域内の所定の位置に設置され、
   前記基板を検出するとき、前記基板搬送ロボットが前記基板検出装置を保持して前記基板を検出し、前記検出が終わると前記基板検出装置を前記所定の位置に戻すことを特徴とした基板搬送装置。
2. 前記基板検出装置は、異なるサイズの前記基板をそれぞれ検出可能に複数設置されるとことを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置。
3. 前記基板検出装置は、前記異なるサイズの基板のうち２つ以上のサイズを検出可能に形成されることを特徴とした請求項２記載の基板搬送装置。
4. 前記基板検出装置は、前記基板搬送ロボットが前記基板を保持するハンドに保持されることを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置。
5. 前記基板検出装置は、前記基板によって遮光される光軸を有するセンサヘッドと、前記センサからの信号を取り込み、電気信号へ変換するアンプと、前記センサヘッドと前記アンプとを搭載するベースと、からなることを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置。
6. 前記基板検出装置は、前記基板によって遮光される光軸を有するセンサヘッドと、前記センサヘッドからの信号を取り込み、電気信号へ変換するアンプと、前記アンプを搭載するベースと、からなり、前記アンプが前記ベースとは別の位置に固定されることを特徴とした請求項１記載の基板搬送装置。
7. 前記基板検出装置は、前記基板によって遮光される光軸を有するセンサヘッドと、前記センサヘッドからの信号を取り込み、電気信号へ変換するアンプと、前記電気信号を無線で送信する通信装置と、前記通信装置を駆動するための電源と、前記センサヘッドと前記アンプと前記通信装置と前記電源とを搭載するベースと、からなり、前記電気信号を無線で送信することを特徴とした請求項１記載の基板検出装置。
8. 請求項１記載の基板搬送装置において、さらに、前記基板搬送容器を設置可能なオープナと、前記基板を所望の向きに整えるアライナと、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
9. 請求項８記載の基板搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置。

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