JP2010255447A - 送風デバイス駆動装置および送風デバイス駆動方法 - Google Patents

送風デバイス駆動装置および送風デバイス駆動方法 Download PDF

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Abstract

【課題】圧電ブロアを共振周波数の駆動信号でもって駆動し、温度等による共振周波数の変動に対応して駆動信号の周波数を調整する。
【解決手段】圧電ブロアの圧電アクチュエータ3が振動制御電圧Vaによって駆動される。圧電アクチュエータ3が変位することによって発生した検出電圧Vdが演算増幅器56を介してコンパレータ57に供給され、振動制御電圧Vaと比較される。コンパレータ57の出力に取り出される検出電圧SVdがデジタルの検出データDdに変換され、CPU51に供給される。CPU51は、振動制御電圧Vaの周波数を変化させて検出電圧Vdが最大となる周波数と等しい周波数の振動制御電圧を生成する。
【選択図】図4

Description

この発明は、例えば燃料電池に適用可能な送風デバイス駆動装置および駆動方法に関する。
燃料電池は、電解質の違い等により様々なタイプのものに分類されるが、代表的なものに、電解質として固体高分子電解質を用いた固体高分子型燃料電池(PEFC:Polymer
Electrolyte Fuel Cell)が知られている。固体高分子型燃料電池は、低コスト化が可能で、小型化、薄型化、軽量化も容易であり、電池性能の点でも高い出力密度を有することから、電子機器の駆動電源に適している。この固体高分子型燃料電池は、水素の他にメタノールや天然ガスを改質して水素を生成させて燃料とするものも開発されている。近年では、メタノールを燃料として直接燃料電池に供給し発電を行う直接メタノール燃料電池(DMFC(Direct Methanol Fuel Cell))が開発されている。
直接メタノール型燃料電池は、ベースプレート上に電解質膜と一対の電極とを一体化した膜電極接合体(MEA(Membrane and Electrode Assembly) )と、一方の面に燃料流路、他方の面に酸化剤ガス流路を有する平板状セパレータとを交互に積層させる。燃料流路にメタノール水溶液を供給し、酸化剤ガス流路に空気を供給することにより電解質膜上で発電反応が行われる。直接メタノール燃料電池では、生成物として水と二酸化炭素が生成され、これらが排出される。
燃料電池として、複数の単位セル(燃料電池セル)を熱可塑性樹脂シート上に平面的に配し、複数の単位セルを直列に接続する構造の薄型の燃料電池ユニットが提案されている。薄型の燃料電池例えば直接メタノール燃料電池の場合、燃料としてのメタノール水溶液が燃料カートリッジから燃料電極(以下、アノード電極と称する)に供給される。酸素(空気)が外装筐体の開口を通じて空気電極(以下、カソード電極と称する)に供給される。メタノール水溶液の供給量、空気供給量、発電温度等の運転条件が設計された最適な状態に維持されることが必要である。
燃料電池への燃料の供給をポンプ等を使用する方式と、発電による生成物(水,二酸化炭素)をポンプ等の補機を使った排出する方式と、メタノール水溶液や空気等の自然拡散を利用し、補機を使わない方式が提案されている。空気の取込み、並びに冷却のための補機の一例として、圧電素子駆動タイプの送風デバイス(以下、圧電ブロアと称する)が使用される。圧電ブロアは、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術によって提供される。
下記の特許文献1には、マイクロポンプにおける圧電素子の挙動を検出することが記載されている。特許文献1では、ダイヤフラム駆動用圧電素子に対して検出用圧電素子を貼り付け、駆動用圧電素子に駆動信号を印加した時の立ち上がり波形からポンプ動作の異常を検出している。例えば、空気が入っていること等を検出している。
特開平03−225085号公報
圧電ブロアを駆動する場合、圧電アクチュエータの寸法から決定される共振周波数付近の交流を印加すると、低い電圧によって振動させることができる。しかしながら、動作中の温度変動によって、共振周波数が変化し、駆動信号の周波数が共振周波数からずれる。その結果、圧電ブロアの振幅が小さくなり、例えば燃料電池における空気の流入量が減少したり、空気き排出量が減少する。その結果、燃料電池の発電の効率が低下する。
従来では、発電による温度上昇を検出して予め用意されている換算テーブルによって、駆動信号の周波数を制御している。しかしながら、温度変化を検出してから駆動信号の周波数を制御するまでに時間遅れが発生する問題があった。さらに、温度以外の要因による共振周波数の変化に対して適切な制御を行うことができない問題があった。例えば圧電ブロアの寸法のバラツキ、または圧電ブロアの取付け精度のバラツキに起因する共振周波数のずれに対処することができない。
したがって、この発明の目的は、共振周波数のずれに適切に対処することが可能な送風デバイス駆動装置および送風デバイス駆動方法を提供することにある。
上述した課題を解決するために、この発明は、圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータに積層されたダイヤフラムと、ダイヤフラムの変位によって、圧縮および膨張されるポンプ室と、送風部の圧電アクチュエータに積層され、圧電アクチュエータの変位に応じた検出信号を出力する圧電検出部とを有する送風デバイスと、
送風デバイスに対して駆動信号を供給する駆動部と、
検出信号が供給され、駆動信号を制御する制御部とを備え、
制御部によって、駆動信号の周波数が圧電アクチュエータの共振周波数にほぼ一致するように、駆動信号の周波数が制御される送風デバイス駆動装置である。
この発明は、圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータに積層されたダイヤフラムと、ダイヤフラムの変位によって、圧縮および膨張されるポンプ室と、送風部の圧電アクチュエータに積層され、圧電アクチュエータの変位に応じた検出信号を出力する圧電検出部とを有する送風デバイスの駆動方法において、
圧電アクチュエータに対する駆動信号の周波数を圧電アクチュエータの共振周波数付近で変化させるステップと、
駆動信号の周波数を変化させた場合に、圧電アクチュエータの変位が最大となる周波数を検出信号から判定するステップと、
上記圧電アクチュエータの変位が最大となる周波数に駆動信号の周波数を設定するステップと
からなる送風デバイス駆動方法である。
この発明によれば、送風デバイスの実際の共振周波数とほぼ一致する周波数の駆動信号でもって、送風デバイスを駆動することができる。温度変化を検出するのと比較して、制御動作が遅れることを防止することができる。温度変化以外の要因による共振周波数のずれに対処することができる。
この発明の一実施の形態に使用できる圧電ブロアの一例の説明に用いる断面図である。 この発明の一実施の形態に使用できる燃料電池の説明に用いる分解斜視図である。 この発明の一実施の形態に使用できる圧電アクチュエータの説明に用いる略線図である。 この発明の一実施の形態の駆動制御部の一例の接続図である。 駆動制御部の説明に用いる波形図である。 この発明の一実施の形態における圧電ブロアの駆動制御処理の流れを示すフローチャートである。 この発明の一実施の形態における圧電ブロアの駆動制御信号の周波数と検出データのレベルとの関係を示す略線図である。
以下、この発明の実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
<1.一実施の形態>
<2.変形例>
なお、以下に説明する実施の形態は、この発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。
<1.一実施の形態>
「圧電ブロアの構成」
図1は、この発明の一実施の形態における圧電ブロア(送風デバイス)の一例の断面を示す。圧電ブロアは、MEMSの技術でもって形成される。すなわち、薄板のダイヤフラム1が形成され、ダイヤフラム1に補強板2を挟んで圧電アクチュエータ3が積層される。ダイヤフラム1の面と対向して閉空間のポンプ室4が形成される。ポンプ室4の一部に空気の通る孔が形成されている。
ポンプ室4の外側に空気流入孔6a,6bが形成されている。さらに、上面板5に空気吐出孔7が形成されている。図示しないが、空気吸入孔6a,6bおよび空気吐出孔7には、それぞれ弁が設けられている。圧電ブロアは、2mm以下の超薄型の構成とでき、消費電力を少ないものとできる。
圧電アクチュエータ3が駆動制御部からの駆動信号によって駆動され、圧電アクチュエータ3が厚み方向に振動する。図1Bに示すように、圧電アクチュエータ3に貼り付けられたダイヤフラム1が振動し、吸入孔6a,6bを通じて空気がポンプ室4内に吸入される。さらに、ダイヤフラム1が反対方向に変位すると、図1Cに示すように、ポンプ室4内に吸引された空気が吐出孔7から排出される。
吸入孔6a,6bおよび吐出孔7のそれぞれに駆動制御部からの制御信号によって開閉が制御可能な弁が設けられている。一例として、圧電ブロアが駆動された場合、空気の吸入量と排出量とが等しいものとされている。圧電ブロアは、圧電アクチュエータ3に固有の共振周波数を有する。この発明では、圧電ブロアが実際に装置に取付けられた状態での共振周波数を考慮して駆動信号の周波数が設定される。
圧電ブロアは、燃料電池が収納された筐体内の発電部の近傍に配置される。例えば筐体に孔または溝を形成し、孔または溝の近傍に圧電ブロアが配置される。発電部11は、燃料が供給されるアノード電極と、空気が供給されるカソード電極と、アノード電極およびカソード電極により挟まれる膜電極接合体と、アノード電極と積層されたアノード板状部材とを有する。圧電ブロアによって、空気の供給がなされると共に、空気が外部に排出され、放熱がなされる。発電部11のカソード電極と積層されるように、圧電ブロアを設けることも可能である。
「燃料電池の構造」
燃料電池は、アルコール、糖分、脂質、など各種の材料を燃料とする。ここでは、メタノールを燃料とするいわゆるダイレクトメタルール型燃料電池(DMFC)を例として説明する。図示せぬシャーシ上にメイン基板および燃料電池および上述した圧電ブロアが取り付けられる。メイン基上には、燃料電池制御回路、制御用のCPU(Central Processing Unit)、メモリ等の回路部品がマウントされている。シャーシに取り付けられる燃料電
池の一例を図2に示す。
燃料電池は、発電部11を有する。発電部11は、例えば6個の発電ユニットが平面状に配置され、互いに直列に接続された構成を有する。発電部11は、アノード電極およびカソード電極によって電解質膜を挟んだ構造の膜電極接合体が絶縁シート等によって互いに連結されたものである。図2に示すように、集電体および絶縁層からなるカソードプレート(カソード板状部材)12およびアノードプレート(アノード板状部材)13によって膜電極接合体14が挟まれている。発電部11から正負の電極に対応するリード15aおよび15bが導出されている。
さらに、燃料をアノード電極に供給するためのマイクロポンプ16がパッキング17を介して設けられている。マイクロポンプ16によって燃料が発電部11に供給される。カソードプレート12の集電体としては、ステンレス、アルミニウム等のパンチングメタルやメッシュが用いられる。
発電部11、パッキング17およびマイクロポンプ16が積層され、フレーム18内に収納される。さらに、フレーム19およびビスによって積層状態が固定される。フレーム19は、各コーナーに取り付け用のタブ20a,20b,20c,20dを有する。フレーム18にも同様の位置に取り付け用のタブが設けられ、積層した状態でタブ同士が重なり合うようにされる。各タブには、ビスを貫通させる孔が形成されている。さらに、マイクロポンプ16には、燃料受入部21が形成されている。
シャーシまたは筐体に対してビスによって燃料電池が取り付けられる。さらに、燃料供給用のチューブの端部がマイクロポンプ16の燃料受入部21に接続される。さらに、配線用のハーネス(図示せず)が接続される。
「圧電アクチュエータの一例」
図3Aおよび図3Bに示すように、圧電アクチュエータ3は、給電電極31、圧電素子32、共通電極33、圧電素子34および検出電極35が積層されたものである。圧電素子32および34としては、PZT等の圧電セラミックスを材料とするものを使用できる。給電電極31からリードL1が導出され、共通電極33からリードL2が導出され、検出電極35からリードL3が導出される。
図3Bに示すように、給電電極31および共通電極33の間にアクチュエータ振動制御電圧Vaが印加される。振動制御電圧Vaに応じて圧電素子32が撓むと、共通電極33および検出電極35の間に検出電圧Vdが発生する。圧電素子32および34としては、1枚の圧電素子の板から構成に限らず、2枚以上の圧電素子の板を積層した構成のものを使用できる。さらに、駆動される圧電素子を2枚に分割し、2枚の圧電素子によって変位検出用の圧電素子を挟む構成としても良い。
振動制御電圧Vaとしては、例えば圧電アクチュエータ3の共振周波数に等しい周波数の正弦波が所定時間継続する期間と、正弦波が存在しない期間とが交互に存在する波形が使用される。正弦波の存在する期間と、正弦波が存在しない期間とは、例えば同じ長さに選定されている。但し、圧電ブロアを連続的に動作させる場合には、間欠的な駆動を行う必要がない。
「圧電アクチュエータの駆動制御部」
図4に示すように、D/Aコンバータ54から振動制御信号SVaが出力される。振動制御信号SVaが出力アンプ55に供給され、出力アンプ55からの振動制御電圧Vaが圧電アクチュエータ3の圧電素子32に対して印加される。圧電素子32が振動制御電圧Vaによって駆動される。D/Aコンバータ54と、出力アンプ55とがアクチュエータ駆動回路53を構成する。
圧電アクチュエータ3から検出電圧Vdが出力される。検出電圧Vdには、振動制御電圧Vaの成分が含まれている。検出電圧Vdが演算増幅器56に供給される。演算増幅器56は、検出電圧Vdを増幅した電圧Vd’をコンパレータ57の一方の入力端子に供給する。コンパレータ57の他方の入力端子に対して出力アンプ55から振動制御電圧Vaが供給される。圧電アクチュエータ3が変位することによって発生した検出電圧Vdは、入力インピーダンスが比較的大きい演算増幅器56によって増幅される。さらに、演算増幅器56は、積分回路(ローパスフィルタ)としての機能も有し、入力を保持する。演算増幅器56から出力される検出電圧Vd’と、振動制御電圧Vaとがコンパレータ57に供給される。
コンパレータ57によって、検出電圧Vd’中の振動制御電圧Vaの成分が取り除かれる。図5Aは、振動制御電圧Vaの一例の波形である。演算増幅器56から図5Bに示すように、検出電圧Vd’が出力される。検出電圧Vd’は、振動制御電圧Vaが破線で示す検出電圧によって変調された信号である。コンパレータ57において、検出電圧Vd’から振動制御電圧Vaが減算される。その結果、図5Cに示すように、コンパレータ57の出力に検出電圧SVdが取り出される。
コンパレータ57の出力に取り出される検出電圧SVdは、圧電アクチュエータ3の変位の振幅に比例して大きくなる。検出電圧SVdがA/Dコンバータ58によってデジタルの検出データDdに変換される。圧電アクチュエータ3の変位の振幅は、振動制御電圧Vaの周波数が圧電アクチュエータ3の共振周波数と一致する場合に、最大となる。したがって、検出電圧SVdの振幅も、振動制御電圧Vaの周波数が圧電アクチュエータ3の共振周波数と一致する場合に、最大となる。
A/Dコンバータ58では、コンパレータ57から出力される検出電圧SVdが例えば8μsec程度の周期のクロック信号によってサンプリングされる。検出電圧SVdが正の場合には、入力有りと判断してサンプリング処理を続行し、検出電圧SVdが負の場合には、入力無しと判断してサンプリング処理を停止する。
検出データDdがコントローラとしてのCPU(Central Processing Unit)51のA/
D入力ポートに供給される。CPU51に対してメモリ52が接続されている。メモリ52は、振動制御電圧Vaに対応する駆動パターンデータが格納されている。駆動パターンデータとして、圧電アクチュエータ3の予め求められている共振周波数と等しい周波数の振動制御電圧と、この周波数を中心とする範囲に存在する複数の周波数の振動制御電圧とが生成される。後述する周波数調整処理によって、圧電アクチュエータ3の実際の共振周波数が検出され、検出された共振周波数の振動制御電圧が圧電アクチュエータ3に対して供給される。
CPU51によってメモリ52が制御され、CPU51が指定した駆動パターンデータDpがメモリ52から読み出される。さらに、駆動パターンデータDpがCPU51の制御によって、アクチュエータ駆動回路53のD/Aコンバータ54に対して供給される。D/Aコンバータ54によって駆動パターンデータDpがアナログの振動制御信号SVaへ変換される。振動制御信号SVaが出力アンプ55に供給され、出力アンプ55から出力される振動制御電圧Vaが圧電アクチュエータ3に供給される。
「圧電ブロアの制御」
この発明の一実施の形態においては、圧電ブロアの動作が駆動制御部のCPU51によって制御される。図6のフローチャートは、CPU51によってなされる駆動周波数の調整処理の流れを示す。最初のステップS1において、振動制御電圧の周波数の調整のためのスキャン動作が開始されるか否かが判定される。一例として、設定された時間周期でもって振動制御電圧の調整処理が行われるように設定される。さらに、燃料電池に圧電ブロアを使用する場合、燃料電池の温度を検出し、温度変化が設定された値以上になると調整処理が行われるようにしても良い。
ステップS2において、駆動パターンデータDpを変更することによって駆動周波数がシフトされる。図7に示すように、予め求められている共振周波数を中心とする周波数範囲を所定の周波数間隔で分割し、各周波数において検出データを取得し、検出データをCPU51に設けられているメモリに記憶するようになされる。
例えば周波数F5が予め求められている共振周波数とすると、50Hz間隔で周波数F1〜F9が設定される。共振周波数を予め求める場合、基準の温度例えば25°Cにおける共振周波数が測定される。各周波数の駆動パターンデータDpがメモリ52に記憶されている。分割周波数の個数、並びに周波数F1〜F9の間隔(50Hz)は、一例であって、共振周波数の変動幅等を考慮して適宜設定される。
周波数F1〜F9の中で初期値が例えば最低の周波数F1とされ、周波数F1の振動制御電圧Vaによって圧電アクチュエータ3が駆動される。初期値から周波数を変更する場合に、ステップS2において、振動制御電圧Vaの周波数がシフトされる。周波数F1の振動制御電圧Vaによって圧電アクチュエータ3を駆動した場合の検出データDdのレベルDd1がCPU51のメモリに記憶される(ステップS3)。
次に、ステップS4において、スキャンが終了したか否かが判定される。周波数がF9に到達するまで、ステップS4の判定結果が否定となり、ステップS2(駆動周波数のシフト)およびステップS3(検出データの記憶)が繰り返してなされる。周波数がF1からF2、F3、・・・と順に周波数がシフトされ、周波数F9における検出データのレベルDd9が記憶されると、ステップS4の判定結果が肯定となる。
ステップS4の判定結果が肯定となると、ステップS5において、メモリに記憶されている検出データのレベルDd1〜Dd9の中の最大値が検出される。次のステップS6において、検出された最大値に対応して振動制御電圧Vaの周波数(駆動周波数)が設定される。例えば周波数F6の場合の検出データのレベルDd6が最大値の場合には、周波数がF6が設定される。
上述した調整処理によって、圧電アクチュエータの共振周波数が温度変化、および他の要因によって、予め求められている周波数に対して変動しても、追随して駆動信号の周波数を変化させることができる。その結果、圧電ブロアを最良の条件でもって駆動することができる。燃料電池に対してこの発明を適用した場合には、空気の取込み、放熱を良好に行うことができ、効率を高くすることができる。
<2.変形例>
この発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば図5に示す駆動制御部の構成は、一例であって、他の回路構成が可能である。例えば演算増幅器56の代わりに積分回路を設けるようにしても良い。さらに、アナログ回路のコンパレータに限らず、デジタル信号に変換してから比較を行うようにしても良い。さらに、周波数初期値Fiから開始して周波数を(Fi+ΔF)および(Fi−ΔF)に順に変化させてより大きなレベルの検出データを見つけることによって、最大値を検出するようにしても良い。
1・・・ダイヤフラム
3・・・圧電アクチュエータ
4・・・ポンプ室
6a,6b・・・空気流入孔
7・・・空気吐出孔
11・・・発電部
14・・・膜電極集合体
32,34・・・圧電素子
51・・・CPU
53・・・アクチュエータ駆動回路

Claims (6)

  1. 圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに積層されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの変位によって、圧縮および膨張されるポンプ室と、前記送風部の前記圧電アクチュエータに積層され、前記圧電アクチュエータの変位に応じた検出信号を出力する圧電検出部とを有する送風デバイスと、
    前記送風デバイスに対して駆動信号を供給する駆動部と、
    前記検出信号が供給され、前記駆動信号を制御する制御部とを備え、
    前記制御部によって、前記駆動信号の周波数が前記圧電アクチュエータの共振周波数にほぼ一致するように、前記駆動信号の周波数が制御される送風デバイス駆動装置。
  2. 前記圧電検出部は、前記圧電アクチュエータの変位の振幅に応じたレベルの検出信号を発生する請求項1記載の送風デバイス駆動装置。
  3. 前記送風デバイスにより燃料電池に対する空気の吸入および吐出が補助される請求項1記載の送風デバイス駆動装置。
  4. 圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに積層されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの変位によって、圧縮および膨張されるポンプ室と、前記送風部の前記圧電アクチュエータに積層され、前記圧電アクチュエータの変位に応じた検出信号を出力する圧電検出部とを有する送風デバイスの駆動方法において、
    前記圧電アクチュエータに対する駆動信号の周波数を前記圧電アクチュエータの共振周波数付近で変化させるステップと、
    前記駆動信号の周波数を変化させた場合に、前記圧電アクチュエータの変位が最大となる周波数を前記検出信号から判定するステップと、
    上記圧電アクチュエータの変位が最大となる周波数に前記駆動信号の周波数を設定するステップと
    からなる送風デバイス駆動方法。
  5. 前記検出信号は、前記圧電アクチュエータの変位の振幅に応じたレベルの信号である請求項4記載の送風デバイス駆動方法。
  6. 前記送風デバイスにより燃料電池に対する空気の吸入および吐出を補助する請求項4記載の送風デバイス駆動方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012212053A (ja) * 2011-03-31 2012-11-01 Sony Corp レンズモジュール、撮像装置、電子機器、変位素子シート、および変位素子シートの製造方法
US20150192119A1 (en) * 2014-01-08 2015-07-09 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric blower
US9198584B2 (en) 2012-01-16 2015-12-01 Omron Healthcare Co., Ltd. Blood pressure measurement device and control method for blood pressure measurement device
WO2018066387A1 (ja) * 2016-10-03 2018-04-12 株式会社村田製作所 振動素子および振動装置
JP2019052644A (ja) * 2017-09-15 2019-04-04 研能科技股▲ふん▼有限公司 気体輸送装置
CN116364483A (zh) * 2023-06-02 2023-06-30 中国工程物理研究院电子工程研究所 一种高冲击石英微开关

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012212053A (ja) * 2011-03-31 2012-11-01 Sony Corp レンズモジュール、撮像装置、電子機器、変位素子シート、および変位素子シートの製造方法
US9198584B2 (en) 2012-01-16 2015-12-01 Omron Healthcare Co., Ltd. Blood pressure measurement device and control method for blood pressure measurement device
US20150192119A1 (en) * 2014-01-08 2015-07-09 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric blower
WO2018066387A1 (ja) * 2016-10-03 2018-04-12 株式会社村田製作所 振動素子および振動装置
JP2019052644A (ja) * 2017-09-15 2019-04-04 研能科技股▲ふん▼有限公司 気体輸送装置
CN116364483A (zh) * 2023-06-02 2023-06-30 中国工程物理研究院电子工程研究所 一种高冲击石英微开关
CN116364483B (zh) * 2023-06-02 2023-08-01 中国工程物理研究院电子工程研究所 一种高冲击石英微开关

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