JP2010251342A - 半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メサ部17内には、AlxGayIn1-x-yP(0≦x<1、0<y<1)系の材料(赤色系の材料)からなる活性層13と、面内の中央領域に未酸化領域18Bを有すると共に、未酸化領域18Bの周縁に環状の酸化領域18Aを有する電流狭窄層18とが設けられている。メサ部17の上面には、未酸化領域18Bに対応して高反射領域23Aを有すると共に、高反射領域23Aの周縁に環状の低反射領域23Bを有する横モード調整層30が設けられている。酸化領域18Bの直径Doxおよび未酸化領域18Bの直径Dhrは0.8<Dhr/Dox<1.5を満たしている。
【選択図】図1
Description
0.8<Dhr/Dox<1.5…(1)
1.構成
2.製造方法
3.作用・効果
図1は、本発明の一実施の形態に係る面発光型の半導体レーザ1の断面構成の一例を表したものである。図2(A)は、図1の半導体レーザ1の上部を拡大して表したものである。半導体レーザ1は、例えば、基板10の一面側に、下部DBR層11、下部スペーサ層12、活性層13、上部スペーサ層14、上部DBR層15およびコンタクト層16を基板10側から順に有する積層構造20を備えている。この積層構造20の上部、具体的には、下部DBR層11の一部、下部スペーサ層12、活性層13、上部スペーサ層14、上部DBR層15およびコンタクト層16には、例えば幅20μm〜50μm程度の円柱状のメサ部17が形成されている。
本実施の形態の半導体レーザ1は、例えば次のようにして製造することができる。
このような構成の半導体レーザ1では、上部電極22と下部電極25との間に所定の電圧が印加されると、電流狭窄層18における未酸化領域18Bを通して活性層13に電流が注入され、これにより電子と正孔の再結合による発光が生じる。この光は、一対の下部DBR層11および上部DBR層15により反射され、所定の波長λでレーザ発振を生じ、レーザビームとして外部に射出される。
Claims (10)
- 基板上に、第1多層膜反射鏡、第1スペーサ層、AlxGayIn1-x-yP(0≦x<1、0<y<1)系の活性層、第2スペーサ層、第2多層膜反射鏡および横モード調整層を前記基板側から順に有すると共に電流狭窄層を有する柱状の積層構造を備え、
前記電流狭窄層は、面内の中央領域に未酸化領域を有すると共に、前記未酸化領域の周縁に環状の酸化領域を有し、
前記横モード調整層は、前記未酸化領域に対応して高反射領域を有すると共に、前記高反射領域の周縁に環状の低反射領域を有し、
前記未酸化領域の直径をDoxとし、前記高反射領域の直径をDhrとすると、DoxおよびDhrは以下の関係式を満たす
半導体レーザ。
0.8<Dhr/Dox<1.5 - 前記活性層は、主にAlaGabIn1-a-bP(0≦a<1、0<b<1)を含む井戸層と、主にAlcGadIn1-c-dP(0<c<1、0<d<1)を含む障壁層とを交互に積層してなる量子井戸構造を有する
請求項1に記載の半導体レーザ。 - 前記電流狭窄層は、前記活性層から(7/4+(n/2))λ(nは0以上の整数)だけ離れた位置に形成されている
請求項1に記載の半導体レーザ。 - 前記電流狭窄層は、前記第2多層膜反射鏡内に形成されている
請求項3に記載の半導体レーザ。 - DoxおよびDhrは以下の関係を満たす
請求項1に記載の半導体レーザ。
Dhr/Dox=1 - Doxは以下の関係を満たす
請求項1に記載の半導体レーザ。
5μm≦Dox<10μm - 前記積層構造における前記第2スペーサ層側のキャビティ長が、(1+(m/2))λ(mは0以上の整数、λは発振波長)となっている
請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の半導体レーザ。 - 前記キャビティ長が、λまたは(3/2)λとなっている
請求項7に記載の半導体レーザ。 - 前記高反射領域は、膜厚が(2α−1)λ/4n1(αは1以上の整数、λは発振波長、n1は屈折率)、屈折率n1が前記第1多層膜反射鏡の表面のそれよりも低い値を有する第1調整層と、膜厚が(2β−1)λ/4n2(βは1以上の整数、n2は屈折率)、屈折率n2が前記第1調整層のそれよりも高い値を有する第2調整層とをこの順に積層した構造によって構成されており、
前記低反射領域は、膜厚が(2γ−1)λ/4n3(γは1以上の整数、n3は屈折率)、屈折率n3が前記第1調整層のそれよりも高い値を有する第3調整層によって構成されている
請求項1に記載の半導体レーザ。 - 前記第1調整層は酸化物により、前記第2調整層および第3調整層は窒化物によりそれぞれ構成されている
請求項9に記載の半導体レーザ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009089306A JP5434201B2 (ja) | 2009-03-23 | 2009-04-01 | 半導体レーザ |
US12/661,067 US8638829B2 (en) | 2009-03-23 | 2010-03-10 | Semiconductor laser |
CN2010101358294A CN101847822B (zh) | 2009-03-23 | 2010-03-16 | 半导体激光器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009070228 | 2009-03-23 | ||
JP2009070228 | 2009-03-23 | ||
JP2009089306A JP5434201B2 (ja) | 2009-03-23 | 2009-04-01 | 半導体レーザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010251342A true JP2010251342A (ja) | 2010-11-04 |
JP5434201B2 JP5434201B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=42737589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009089306A Active JP5434201B2 (ja) | 2009-03-23 | 2009-04-01 | 半導体レーザ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8638829B2 (ja) |
JP (1) | JP5434201B2 (ja) |
CN (1) | CN101847822B (ja) |
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- 2010-03-10 US US12/661,067 patent/US8638829B2/en active Active
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JP5434201B2 (ja) | 2014-03-05 |
US8638829B2 (en) | 2014-01-28 |
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CN101847822B (zh) | 2012-09-19 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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R250 | Receipt of annual fees |
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