JP2010251144A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2010251144A5
JP2010251144A5 JP2009099803A JP2009099803A JP2010251144A5 JP 2010251144 A5 JP2010251144 A5 JP 2010251144A5 JP 2009099803 A JP2009099803 A JP 2009099803A JP 2009099803 A JP2009099803 A JP 2009099803A JP 2010251144 A5 JP2010251144 A5 JP 2010251144A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
substrate
film formation
deposition
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009099803A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2010251144A (ja
JP5111427B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2009099803A priority Critical patent/JP5111427B2/ja
Priority claimed from JP2009099803A external-priority patent/JP5111427B2/ja
Publication of JP2010251144A publication Critical patent/JP2010251144A/ja
Publication of JP2010251144A5 publication Critical patent/JP2010251144A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5111427B2 publication Critical patent/JP5111427B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009099803A 2009-04-16 2009-04-16 成膜用基板および成膜方法 Expired - Fee Related JP5111427B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009099803A JP5111427B2 (ja) 2009-04-16 2009-04-16 成膜用基板および成膜方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009099803A JP5111427B2 (ja) 2009-04-16 2009-04-16 成膜用基板および成膜方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010251144A JP2010251144A (ja) 2010-11-04
JP2010251144A5 true JP2010251144A5 (ko) 2012-04-19
JP5111427B2 JP5111427B2 (ja) 2013-01-09

Family

ID=43313254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009099803A Expired - Fee Related JP5111427B2 (ja) 2009-04-16 2009-04-16 成膜用基板および成膜方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5111427B2 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5323784B2 (ja) * 2009-09-15 2013-10-23 フオン・アルデンネ・アンラーゲンテヒニク・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 微細構造を製造するための方法及び装置
EP2690682A4 (en) * 2011-03-22 2014-10-01 Oceans King Lighting Science ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND CORRESPONDING CONDUCTIVE BASE
JP5913974B2 (ja) * 2011-12-28 2016-05-11 株式会社アルバック 有機ｅｌデバイスの製造装置、及び有機ｅｌデバイスの製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5278576A (en) * 1990-10-31 1994-01-11 Eastman Kodak Company Intermediate receiver opaque support
US5851709A (en) * 1997-10-31 1998-12-22 Eastman Kodak Company Method for selective transfer of a color organic layer
JP4138282B2 (ja) * 2001-09-14 2008-08-27 シャープ株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP4071970B2 (ja) * 2002-01-25 2008-04-02 富士フイルム株式会社 パターン部材の製造方法
JP2006309995A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Sony Corp 転写用基板および表示装置の製造方法ならびに表示装置
JP5013048B2 (ja) * 2006-04-06 2012-08-29 ソニー株式会社 赤色有機発光素子およびこれを備えた表示装置
JP4797889B2 (ja) * 2006-09-01 2011-10-19 ソニー株式会社 転写方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010050087A5 (ko)
JP2008163457A5 (ja) 成膜装置
JP2009123693A5 (ja) 蒸着用基板
JP2009123692A5 (ko)
JP2009087930A5 (ko)
JP2009277651A5 (ja) 発光装置の作製方法
RU2016108814A (ru) Курительное изделие с одинарным отделенным в радиальном направлении теплопроводным элементом
JP2013220573A5 (ko)
JP2010527816A5 (ko)
JP2010015981A5 (ko)
EA201400222A1 (ru) Способ и устройство для формирования слоистой системы с низкой излучательной способностью
JP2013534721A5 (ko)
JP2011515650A5 (ko)
JP2009120946A5 (ko)
RU2018145297A (ru) Оконные модули, изготовленные с использованием керамической фритты, которая растворяет покрытия, нанесенные методом физического осаждения из паровой фазы (pvd), и/или соответствующие способы
JP2010530351A5 (ko)
EA201491638A1 (ru) Стекло, снабженное покрытием, отражающим тепловое излучение
WO2013103857A8 (en) Method and structure of optical thin film using crystallized nano-porous material
JP2010121207A5 (ko)
JP2015519472A5 (ko)
JP2011526833A5 (ko)
TW200630242A (en) Decorative pattern and its preparation
JP2009295574A5 (ja) 成膜方法、及び成膜用基板
JP2010251144A5 (ko)
CN203344391U (zh) 玻璃隔热膜