JP2010250280A - 上塗りフォトレジストと共に使用するのに好適なコーティング組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ジエン/ジエノフィル反応生成物を含む有機コーティング組成物、特に反射防止コーティング組成物が提供される。好ましい本発明の組成物は、基体から上塗りフォトレジスト層に戻る露光放射線の反射を低減させるのに有用であり、および/または平坦化、一体化もしくはビアフィル層として機能する。
【選択図】なし
Description
現在の有機反射防止コーティング組成物は多くの用途に非常に有効であるが、特定の処理要求を満たすために特定の反射防止組成物を有することもしばしば望まれる。例えば、上塗りフォトレジストが除かれた(例えば、ポジ型レジストに関しては、アルカリ水性現像剤によって除去される露光されたレジスト領域)反射防止層をプラズマエッチング剤以外の手段によって除去することが望まれうる。米国特許第6844131号および米国特許出願公開第20050181299号参照。このような試みは、さらなる処理工程および下地反射防止コーティング層のプラズマエッチング剤除去に関連するピットホール(pitfall)回避の可能性をもたらす。
より詳細には、第1の実施形態においては、本発明はジエンとジエノフィルとの反応生成物である成分(場合によっては、本明細書において「反応生成物成分」と称される)を含む組成物を提供する。好ましいジエンとジエノフィルの双方は不飽和基を有し、かつ好ましくは化合して、結合多重度の純減をもたらしている環式付加物を形成することができる。好ましいジエンは電子リッチであって、複数環の炭素環式もしくは複素芳香族基、特に、アントラセンまたはペンタセン基のような縮合環基をはじめとする炭素環式または複素芳香族基を含む。好ましいジエノフィルは、近接する(例えば、1、2または3原子以内に)電子吸引置換基を有するオレフィン部分を含む基を含み、例えば、好ましいジエノフィルは1以上のα,β−不飽和基を含む基を含む。特に好ましいジエノフィルにはイミド含有グループ、特にマレイミド、酸無水物、例えば、無水マレイン酸、およびジメチルアセチレンジカルボキシラートのような他のグループが挙げられる。
好ましい実施形態においては、本発明は、上述のようなジエンとジエノフィルとのディールスアルダー反応生成物である反応生成物成分を含む組成物を提供する。用語「ディールスアルダー(Diels Alder)反応」は、その充分に認識された意味、すなわち、例えば、「化学技術の抄録(Compendium of Chemical Technology)IUPAC勧告、第二版(1997Blackwell Science)」における「環化付加」の定義において言及される(4+2)環化付加に従って、本明細書において使用される。好ましいディールスアルダー反応生成物には、(i)イミド含有化合物、例えば、マレイミドもしくは他のジエノフィル、例えば、無水マレイン酸のような酸無水物、およびジメチルアセチレンジカルボキシラートのような他のグループと、(ii)多環式芳香族基;との反応生成物が挙げられる。特に好ましいディールスアルダー反応生成物には、(1)イミド含有化合物、例えば、マレイミドもしくは他のジエノフィル、例えば、無水マレイン酸のような酸無水物およびジメチルアセチレンジカルボキシラートのような他のグループと、(2)アントラセンまたはペンタセン基;との反応生成物が挙げられる。
概して好ましい本発明の下塗りコーティング組成物の反応生成物成分は、樹脂、例えば、ホモポリマー、並びに混合ポリマー、例えば、コポリマー(2種の異なる繰り返し単位)、ターポリマー(3種の異なる繰り返し単位)、テトラポリマー(4種の異なる繰り返し単位)、ペンタポリマー(5種の異なる繰り返し単位)および他の高次のポリマーである。
特定の実施形態においては、特に好ましい反応生成物成分は、次の特性、(1)溶解速度抑制;(2)剥離耐性;(3)所望の水性アルカリ現像剤溶解性(例えば、光酸不安定基、例えば、光酸不安定エステル(例えば、−C(=O)OC(CH3)3)もしくはアセタール部分);および(4)フォトレジスト露光放射線の望まれない反射を吸収する発色団(例えば、炭素環式アリール基、例えば、場合によって置換されているフェニル、ナフチルもしくはアントラセニル):を付与することができる、少なくとも3または4種の異なる官能基を含む樹脂である。
1.上述の1種以上の反応成分を含む組成物のコーティング層を適用する。この組成物コーティング層はマイクロエレクトロニクスウェハをはじめとする様々な基体上に適用されうる;
2.好ましくは、適用された組成物コーティング層を熱処理する。この熱処理はコーティング組成物のキャスティング溶媒を除去することができ、かつこの組成物層をフォトレジストキャスティング溶媒、例えば、乳酸エチル、プロピレングリコールメチルエーテルアセタート、2−ヘプタノンなどに実質的に不溶性にする;
3.熱でベークした下塗り組成物コーティング層上に、フォトレジスト組成物コーティング層を適用する。適用されたフォトレジスト層は、300nm未満、例えば、248nm、もしくは200nm未満、例えば、193nmの波長を有する放射線のような活性化放射線に、典型的にはフォトマスクを通して露光され、パターン形成された像をレジスト層に形成する。この露光されたフォトレジストは、潜像を向上させるかもしくは形成するために必要に応じて熱処理されうる;
4.露光されたフォトレジスト層は、次いで、水性アルカリ現像剤溶液のような現像剤溶液で処理される。現像剤溶液はレジスト層内に画定された像を、一致する領域の下塗りコーティング組成物層と共に除去することができ、すなわち、レリーフ像はフォトレジスト層および下塗りコーティング組成物層の双方を貫通するように画定される。
上述のように、本発明者は、上塗りフォトレジスト層を伴う場合に特に有用な新規の有機コーティング組成物を提供する。好ましい本発明のコーティング組成物はスピンコーティング(スピンオン組成物)によって適用されることができ、溶媒組成物として配合されうる。本発明のコーティング組成物は、上塗りフォトレジストのための反射防止組成物として特に有用である。
上述のように、第1の実施形態においては、下塗りコーティング組成物はジエンとジエノフィルとの反応生成物である、反応生成物成分を含む。別の実施形態においては、下塗りコーティング組成物はディールスアルダー反応生成物である反応生成物成分を含む。好適には、反応生成物成分は樹脂であり、例えば、ホモポリマー並びに高次のポリマー、例えば、コポリマー、ターポリマー、テトラポリマー、およびペンタポリマーなどである。
1.発色団:248nm(KrF露光)または193nm(ArF露光)での充分な吸光を有し、反射防止用途における反射制御をもたらす有機官能基。様々な置換アントラセン、ナフタレンおよびフェニル基が好ましい発色団の例である。このような発色団は次のモノマーを用いてポリマーに組み込まれうる:アントラセンメチルメタクリラート(ANTMA)、ヒドロキシスチレンモノマー(PHS)、アセトキシ−スチレンモノマー(4AS)、ヒドロキシビニルナフタレンモノマー(HVN)、および2−メチル−アクリル酸6−ヒドロキシ−ナフタレン−2−イルメチルエステル。
2.溶媒剥離耐性基:ポリマーの構成要素としての有機官能基は、KrFおよびArFタイプのレジスト配合物に一般的に使用される様々な選択された有機溶媒中でのポリマーの溶解速度を低減させる。これらには、PGMEA、乳酸エチルおよびヒドロキシイソ酪酸メチルエステルが挙げられる。溶媒剥離耐性基は相互混合することなく下塗り層に上塗りフォトレジスト層を適用するのを可能にすることができる。様々な置換アミド、ラクトン、カルボン酸、カルボン酸エステルおよび他の加水分解性基が、ポリマーベースの下塗り組成物に対して溶媒剥離耐性を提供しうる官能基の例である。このような溶媒剥離耐性向上基は、次の典型的なモノマーを用いてポリマーに組み込まれうる:マレイミド、ノルボルニルラクトンアクリラートモノマー(NLA)、ノルボルニルラクトンメタクリラートモノマー(NLM)、およびアントラセンメチルメタクリラート−マレイミド環化付加物(ANT−MI)。
3.溶解速度促進基:水性テトラメチルアンモニウムヒドロキシド溶液(0.26N)におけるポリマーの溶解の速度を促進する(増大する)ポリマーの構成要素としての有機官能基。様々な置換イミド、アミド、フェノール、スルホンアミド、フッ素化アルコール、例えば、ヘキサフルオロアルコール(例えば、−C(CF3)2)OH)、ラクトン、カルボン酸、カルボン酸エステルおよび他の加水分解性基が、好ましい溶解速度促進基の例である。このような溶解速度促進基は次のモノマーを用いてポリマーに組み込まれうる:マレイミド、ヒドロキシスチレンモノマー、アセトキシスチレンモノマー、ヒドロキシビニルナフタレンモノマー、ノルボルニルラクトンアクリラートモノマー(NLA)、ノルボルニルラクトンメタクリラートモノマー(NLM)、およびアントラセンメチルメタクリラート−マレイミド環化付加物(ANT−MI)。
4.酸不安定基:酸により触媒される脱保護反応を受けうる、ポリマーの構成要素としての有機官能基。これらの用途において、酸触媒は光酸発生剤(PAG)の手段によって提供され、PAGは上塗りフォトレジストのフォトリソグラフィック処理中の露光領域において酸を生じさせる。脱保護反応は現像剤溶液中のポリマーの溶解の速度を有意に増大させ、良好なパターン忠実度で露光領域のフォトレジストおよび下塗りコーティング組成物を除去するのを可能にする。脱保護された酸不安定基によって提供される水性現像剤溶液中での素早い溶解速度は、現像後の露光領域で観察されるあらゆる下塗りコーティング組成物残渣またはスカミングを除去するかまたは少なくとも最小限にする。酸で触媒されるtert−ブチルアクリラートエステルの脱保護反応が好ましい例である。
様々なフォトレジスト組成物、例えば、上述のようなポジ型光酸発生組成物などが本発明のコーティング組成物と共に使用されうる。本発明のコーティング組成物と共に使用されるフォトレジストは、典型的には、樹脂、および光活性成分、典型的には光酸発生剤化合物を含む。好ましくは、フォトレジスト樹脂バインダーは像形成されたレジスト組成物に水性アルカリ現像可能性を付与する官能基を有する。
1)248nmでの像形成に特に好適な化学増幅ポジ型レジストを提供できる酸不安定基を含むフェノール系樹脂。この種の特に好ましい樹脂には:i)ビニルフェノールおよびアクリル酸アルキルの重合単位を含むポリマーであって、重合されたアクリル酸アルキル単位が光酸の存在下でデブロッキング(deblocking)反応を受けうるポリマー。光酸誘起デブロッキング反応を受けうる代表的なアクリル酸アルキルには、例えば、アクリル酸t−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、アクリル酸メチルアダマンチル、メタクリル酸メチルアダマンチル、および光酸誘起反応を受けうる他の非環式アルキルおよび脂環式アクリラートが挙げられ、例えば、参照により本明細書に組み込まれる米国特許第6,042,997号および第5,492,793号におけるポリマーが挙げられる;ii)ヒドロキシまたはカルボキシ環置換基を含まない、場合によって置換されたビニルフェニル(例えば、スチレン)、ビニルフェノール、および上記ポリマーi)について記載されるデブロッキング基のようなアクリル酸アルキルの重合単位を含むポリマー、例えば、参照により本明細書に組み込まれる米国特許第6,042,997号に記載されるポリマー;iii)光酸と反応できるアセタールまたはケタール部分を含む繰り返し単位を含み、および場合によってフェニルまたはフェノール性基のような芳香族繰り返し単位を含むポリマー;このようなポリマーは参照により本明細書に組み込まれる米国特許第5,929,176号および第6,090,526号に記載されている;iv)t−ブトキシカルボニルオキシ保護(tBoc)基を含むポリマー;並びにv)少なくとも1種のポリマーが酸不安定基を含む、ポリマーブレンドが挙げられる;
2)フェニルまたは他の芳香族基を実質的にまたは完全に含まず、サブ−200nmの波長、例えば、193nmでの像形成に特に好適な化学増幅ポジ型レジストを提供できる樹脂。特に好ましいこの種の樹脂には:i)非芳香族環式オレフィン(環内二重結合)、例えば、場合によって置換されたノルボルネンの重合単位を含むポリマー、例えば、参照により本明細書に組み込まれる米国特許第5,843,624号および第6,048,664号に記載されたポリマー;ii)アクリル酸アルキル単位、例えば、アクリル酸t−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、アクリル酸メチルアダマンチル、メタクリル酸メチルアダマンチル、および他の非環式アルキルおよび脂環式アクリラートを含むポリマー;このようなポリマーは参照により全て本明細書に組み込まれる米国特許第6,057,083号;欧州特許出願公開第EP01008913A1号およびEP00930542A1号;および米国特許出願第09/143,462号、並びにiii)重合された酸無水物単位、特に重合された無水マレイン酸および/または無水イタコン酸単位を含むポリマー、例えば、参照により本明細書に組み込まれる欧州特許出願公開第EP01008913A1号および米国特許第6,048,662号に開示されるポリマーが挙げられる;
3)ヘテロ原子、特に酸素および/または硫黄を含む繰り返し単位(ただし、酸無水物は除く、すなわち、この単位はケト環原子を含まない)を含み、かつ望ましくは実質的にまたは完全に芳香族単位を含まない樹脂。好ましくは、ヘテロ脂環式単位はこの樹脂骨格に縮合されており、さらに好ましいのは、樹脂が、ノルボルネン基の重合により提供されるような縮合炭素脂環式単位、および/または無水マレイン酸もしくは無水イタコン酸の重合により提供されるような酸無水物単位を含むものである。このような樹脂は国際出願第PCT/US01/14914号および米国特許第6,306,554号に開示されている。
4)フッ素置換を含む樹脂(フルオロポリマー)、例えば、テトラフルオロエチレン、フッ素化芳香族群、例えば、フルオロ−スチレン化合物などの重合により提供されうる樹脂。このような樹脂の例は、例えば、国際出願第PCT/US99/21912号に開示されている。
本発明のコーティング組成物を上塗りするフォトレジストの好ましい任意の添加剤は、追加の塩基、特にテトラブチルアンモニウムヒドロキシド(TBAH)または乳酸テトラブチルアンモニウムであり、これは現像されたレジストレリーフ像の解像度を向上させることができる。193nmで像形成されるレジストについては、好ましい追加の塩基はヒンダードアミン、例えば、ジアザビシクロウンデセンもしくはジアザビシクロノネンである。追加の塩基は比較的少量で、たとえば、全固形分に対して約0.03〜5重量パーセントで好適に使用される。
上述のように、使用において、本発明のコーティング組成物は、スピンコーティングのような様々な方法のいずれかによって、コーティング層として基体に適用される。コーティング組成物は一般に、約0.02〜0.5μmの乾燥層厚で、好ましくは、約0.03〜100μmの乾燥層厚で基体上に適用される。基体は好適には、フォトレジストに関連する方法において使用されるあらゆる基体である。例えば、基体はケイ素、二酸化ケイ素、またはアルミニウム−酸化アルミニウムマイクロエレクトロニクスウェハであることができる。ガリウムヒ素、炭化ケイ素、セラミック、石英または銅基体も使用されうる。液晶ディスプレイまたは他のフラットパネルディスプレイ用途のための基体、例えば、ガラス基体、インジウムスズ酸化物被覆基体なども好適に使用される。光学デバイスおよび光電子デバイス(例えば、導波路)のための基体も使用されうる。
磁気攪拌子、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備えた1.0Lの3つ口丸底フラスコにマレイミド(MI;28.7g;296mmol)、9−アントラセン−メチルメタクリラート(ANTMA;74.2g;269mmol)、ヒドロキノンモノメチルエーテル(MEHQ;0.5g;4mmol)および267gのジメチルホルムアミドを添加した。この混合物を153℃、窒素ガス下で12時間加熱して還流した。
室温まで冷却した後、反応混合物を500gの酢酸エチルで希釈した。この溶液を3インチシリカゲルパッドを通して溶出させ、ろ過した。この溶液を水(3×100g)で洗浄し、MgSO4で乾燥させた。室温で減圧下で溶媒を除去した。この物質を減圧下で5時間乾燥させた。
72.2g(72%)が灰白色粉体として得られた。1H NMR(500MHz,ジオキサン−d8):δ9.30(s,1H)、7.42−7.25(m,4H)、7.22−7.11(m,4H)、6.05(s,1H)、5.60−5.45(m,3H)、4.72(s,1H)、3.24(s,2H)、1.94(s,3H)。13C NMR(125MHz,ジオキサン−d8):δ177.5、176.9、167.3、143.7、142.9、140.4、139.9、137.5、127.6、127.2、127.1、126.0、125.9、124.7、123.9、67.2、62.8、50.1、48.8、46.4、18.5。
実施例2:ANTMIホモポリマーの合成。
磁気攪拌子、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備えた0.25Lの3つ口丸底フラスコに、マレイミド/アントラセンメチルメタクリラート[4+2]ディールスアルダー環化付加物(ANTMI;10.25g;32.7mmol)、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;0.20g;0.8mmol)および41.8gのジオキサンを添加した。反応混合物を15分間窒素ガスでスパージした。
反応混合物を85℃で12時間加熱した。
室温に冷却した後、反応混合物を50gのジオキサンで希釈し、1.5Lのメタノール中に沈殿させた。真空ろ過で白色沈殿物が単離され、真空オーブン中で50℃で一晩乾燥させて、ポリ(マレイミド/アントラセンメチルメタクリラート[4+2]ディールスアルダー環化付加物)[ポリ(ANTMI)]を生じさせた。7.5g(73%)が白色粉体として得られた。GPC(THF)Mw=26100Da、Mn=5700Da、PDI:4.6。
磁気攪拌子、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備えた0.25Lの3つ口丸底フラスコに、マレイミド/アントラセンメチルメタクリラート[4+2]ディールスアルダー環化付加物(ANTMI;22.40g;60.0mmol)、9−アントラセン−メチルメタクリラート(ANTMA;4.11g;14.9mmol)、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;0.40g;1.6mmol)および54.3gのジオキサンを添加した。反応混合物を15分間窒素ガスでスパージした。
反応混合物を85℃で12時間加熱した。
室温に冷却した後、反応混合物を60gのジオキサンで希釈し、3.0Lのメタノール中に沈殿させた。真空ろ過で白色沈殿物が単離され、真空オーブン中で50℃で一晩乾燥させて、ポリ(マレイミド/アントラセンメチルメタクリラート(ANTMI)−コ−9−アントラセン−メチルメタクリラート(ANTMA)[ポリ(ANTMI)−コ−(ANTMA)]を生じさせた。
6.2g(24%)が白色粉体として得られた。GPC(THF)Mw=42000Da、Mn=6600Da、PDI:6.4。
実施例4:ANTMA/HNMA−2/TBA 50.2/33.7/16.1プレポリマーの合成。
磁気攪拌子、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備えた0.25Lの3つ口丸底フラスコに、42.2gのジオキサンを添加した。この溶媒を窒素ガスで15分間スパージした。この溶媒を85℃に加熱した。
攪拌子を備えた0.25Lのガラス瓶に、9−アントラセン−メチルメタクリラート(ANTMA;34.67g;126mmol)、2−ヒドロキシナフタレン−メチルメタクリラートモノマー(HNMA−2;20.47g;84.5mmol)、t−ブチルアクリラート(TBA;5.22g;40.7mmol)、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;1.86g;7.5mmol)および98.8gのジオキサンを添加した。この混合物を30分間室温で攪拌した。この溶液を窒素ガスで15分間スパージした。
このモノマーおよび開始剤溶液を、ペリスタルティックポンプで1.2時間にわたって2.1g/分の速度で反応フラスコに供給した。
モノマーおよび開始剤供給の完了時に、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;1.24g;5.0mmol)およびジオキサン(23.6g)の溶液を、ペリスタルティックポンプで10分間にわたって2.5g/分の速度で反応フラスコに供給した。
完了時に、反応混合物を85℃で1.5時間保持した。
室温に冷却後、反応混合物の70gの部分をメタノール0.7L中で沈殿させた。真空ろ過によって白色沈殿物を単離し、真空オーブン中で50℃で一晩乾燥させた。反応混合物の残りの部分は後述のポリマー修飾実験(実施例5および6)に利用された。
18.2g(92%)が白色粉体として得られた。GPC(THF)Mw=7000Da、Mn=4200Da、PDI:1.6。
磁気攪拌子、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備え、実施例4(上述)の残りの反応混合物を含む0.25Lの3つ口丸底フラスコに、マレイミド(MI;4.09g;42.1mmol)を添加した。この反応混合物を85℃で6時間保持した。
室温に冷却後、反応混合物の52gの部分を10gのジオキサンで希釈し、メタノール0.7L中で沈殿させた。真空ろ過によって白色沈殿物を単離し、真空オーブン中で50℃で一晩乾燥させて、ペンダントアントラセン基がANTMI[4+2]ディールスアルダー環化付加物に部分的に変換されているポリマーを得た。
反応混合物の残りの部分は後述の実施例6で利用された。
17.2g(100%)が白色粉体として得られた。GPC(THF)Mw=8700Da、Mn=5000Da、PDI:1.7。
磁気攪拌子、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備え、上記実施例4の残りの反応混合物を含む0.25Lの3つ口丸底フラスコに、マレイミド(MI;2.50g;25.7mmol)を添加した。この反応混合物を85℃で6時間保持した。
室温に冷却後、反応混合物をメタノール0.7L中で沈殿させた。真空ろ過によって白色沈殿物を単離し、真空オーブン中で50℃で一晩乾燥させて、ペンダントアントラセン基がANTMI[4+2]ディールスアルダー環化付加物に完全に変換されているポリマー22.7g(74%)を白色粉体として得た。GPC(THF)Mw=9000Da、Mn=5100Da、PDI:1.8。
実施例7:MI/ANTMA/HNMA−2/TBA 34.3/31.5/25.0/9.2テトラポリマーの合成。
機械式攪拌機、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備えた2.0Lの5つ口丸底フラスコに、215gのジオキサンを添加した。この溶媒は15分間窒素ガスでスパージされた。この溶媒を85℃に加熱した。
攪拌子を備えた2.0Lの三角フラスコにマレイミド(MI;53.10g;547mmol)、9−アントラセン−メチルメタクリラート(ANTMA;138.7g;502mmol)、2−ヒドロキシナフタレン−メチルメタクリラートモノマー(HNMA−2;96.53g;398mmol)、t−ブチルアクリラート(TBA;18.80g;147mmol)およびジオキサン(423.5g)を添加した。この混合物を室温で30分間攪拌した。この溶液を窒素ガスで15分間スパージした。
500mLの瓶に2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;11.89g;48.0mmol)、およびジオキサン(78.0g)を添加した。
このモノマー溶液を、ペリスタルティックポンプを用いて、8.5g/分の速度で1.5時間にわたって反応フラスコに供給した。この期間にわたって、ペリスタルティックポンプを用いて、1.1g/分の速度(90分間供給)で開始剤溶液も反応フラスコに供給した。
モノマーおよび開始剤供給の完了時に、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;7.93g;32.0mmol)およびジオキサン(151g)の溶液を、ペリスタルティックポンプを用いて、8.0g/分の速度で20分間にわたって反応フラスコに供給した。
完了時に、反応混合物を85℃で1.5時間維持した。
室温に冷却した後、反応混合物を15.0Lのメタノール中に沈殿させた。真空ろ過によって白色沈殿物を単離し、3.0Lのメタノールで洗浄し、50℃の真空オーブン中で一晩乾燥させた。
195.1g(64%)の標記ポリマーが白色粉体として得られた。GPC(THF)Mw=9300Da、Mn=6500Da、PDI=1.5。
機械式攪拌機、凝縮器、加熱マントルおよび温度制御装置を備えた2.0Lの5つ口丸底フラスコに218gのジオキサンを添加した。この溶媒は15分間窒素ガスでスパージされた。この溶媒を85℃に加熱した。
攪拌子を備えた2.0Lの三角フラスコにマレイミド(MI;51.39g;529mmol)、9−アントラセン−メチルメタクリラート(ANTMA;137.9g;499mmol)、2−ヒドロキシナフタレン−メチルメタクリラートモノマー(HNMA−2;103.4g;427mmol)、t−ブチルアクリラート(TBA;17.82g;139mmol)およびジオキサン(430g)を添加した。この混合物を室温で30分間攪拌した。この溶液を窒素ガスで15分間スパージした。
500mLの瓶に2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;11.89g;48.0mmol)、およびジオキサン(78.0g)を添加した。
このモノマー溶液を、ペリスタルティックポンプを用いて、7.5g/分の速度で1.5時間にわたって反応フラスコに供給した。この期間にわたって、ペリスタルティックポンプを用いて、0.9g/分の速度(90分間供給)で開始剤溶液も反応フラスコに供給した。
モノマーおよび開始剤供給の完了時に、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(Vazo登録商標52;7.93g;32.0mmol)およびジオキサン(151g)の溶液を、ペリスタルティックポンプを用いて、8.2g/分の速度で20分間にわたって反応フラスコに供給した。
完了時に、反応混合物を85℃で1.5時間維持した。
室温に冷却した後、反応混合物を15.0Lのメタノール中に沈殿させた。真空ろ過によって白色沈殿物を単離し、3.0Lのメタノールで洗浄し、50℃の真空オーブン中で一晩乾燥させた。
186.6g(60%)の標記ポリマーが白色粉体として得られた。GPC(THF)Mw=9200Da、Mn=6350Da、PDI=1.5。
次の物質を混合することによって下塗りコーティング組成物が調製される:
樹脂
上記実施例5のポリマー
光酸発生剤
トリフェニルスルホニウム塩
溶媒
乳酸エチル
この配合されたコーティング組成物は、シリコンマイクロチップウェハ上にスピンコートされ、真空ホットプレート上で210℃で、60秒間硬化され、乾燥(しかし、架橋されていない)コーティング層を提供する。
次いで、この硬化したコーティング組成物層上に、市販の193nmポジ型フォトレジストがスピンコートされる。適用されたレジスト層は真空ホットプレート上で100℃で60秒間ソフトベークされ、フォトマスクを通ったパターン化された193nm放射線に露光され、110℃で60秒間露光後ベークされ、次いで、0.26Nの水性アルカリ現像剤で現像され、フォトマスクによって画定された領域において、フォトレジスト層および下塗りコーティング組成物の双方が除去される。
次の物質を混合することによって下塗りコーティング組成物が調製される:
樹脂
上記実施例6のポリマー
光酸発生剤
トリフェニルスルホニウム塩
溶媒
乳酸エチル
この配合されたコーティング組成物は、シリコンマイクロチップウェハ上にスピンコートされ、真空ホットプレート上で210℃で、60秒間硬化され、乾燥(しかし、架橋されていない)コーティング層を提供する。
次いで、この硬化したコーティング組成物層上に、市販の193nmポジ型フォトレジストがスピンコートされる。適用されたレジスト層は真空ホットプレート上で100℃で60秒間ソフトベークされ、フォトマスクを通ったパターン化された193nm放射線に露光され、110℃で60秒間露光後ベークされ、次いで、0.26Nの水性アルカリ現像剤で現像され、フォトマスクによって画定された領域において、フォトレジスト層および下塗りコーティング組成物の双方が除去される。
次の物質を混合することによって下塗りコーティング組成物が調製される:
樹脂
上記実施例7のポリマー
光酸発生剤
トリフェニルスルホニウム塩
溶媒
乳酸エチル
この配合されたコーティング組成物は、シリコンマイクロチップウェハ上にスピンコートされ、真空ホットプレート上で210℃で、60秒間硬化され、乾燥(しかし、架橋されていない)コーティング層を提供する。
次いで、この硬化したコーティング組成物層上に、市販の193nmポジ型フォトレジストがスピンコートされる。適用されたレジスト層は真空ホットプレート上で100℃で60秒間ソフトベークされ、フォトマスクを通ったパターン化された193nm放射線に露光され、110℃で60秒間露光後ベークされ、次いで、0.26Nの水性アルカリ現像剤で現像され、フォトマスクによって画定された領域において、フォトレジスト層および下塗りコーティング組成物の双方が除去される。
次の物質を混合することによって下塗りコーティング組成物が調製される:
樹脂
上記実施例8のポリマー
光酸発生剤
トリフェニルスルホニウム塩
溶媒
乳酸エチル
この配合されたコーティング組成物は、シリコンマイクロチップウェハ上にスピンコートされ、真空ホットプレート上で210℃で、60秒間硬化され、乾燥(しかし、架橋されていない)コーティング層を提供する。
次いで、この硬化したコーティング組成物層上に、市販の193nmポジ型フォトレジストがスピンコートされる。適用されたレジスト層は真空ホットプレート上で100℃で60秒間ソフトベークされ、フォトマスクを通ったパターン化された193nm放射線に露光され、110℃で60秒間露光後ベークされ、次いで、0.26Nの水性アルカリ現像剤で現像され、フォトマスクによって画定された領域において、フォトレジスト層および下塗りコーティング組成物の双方が除去される。
次の物質を混合することによって下塗りコーティング組成物が調製される:
樹脂
上記実施例7および8からのポリマーブレンド
光酸発生剤
トリフェニルスルホニウム塩
溶媒
乳酸エチル
この配合されたコーティング組成物は、シリコンマイクロチップウェハ上にスピンコートされ、真空ホットプレート上で210℃で、60秒間硬化され、乾燥(しかし、架橋されていない)コーティング層を提供する。
次いで、この硬化したコーティング組成物層上に、市販の193nmポジ型フォトレジストがスピンコートされる。適用されたレジスト層は真空ホットプレート上で100℃で60秒間ソフトベークされ、フォトマスクを通ったパターン化された193nm放射線に露光され、110℃で60秒間露光後ベークされ、次いで、0.26Nの水性アルカリ現像剤で現像され、フォトマスクによって画定された領域において、フォトレジスト層および下塗りコーティング組成物の双方が除去される。
次の成分を混合することによってコーティング組成物が調製される:
樹脂
上記実施例7および8からのポリマーブレンド
光酸発生剤
トリフェニルスルホニウム塩
溶媒
2−ヒドロキシイソ酪酸メチル
このコーティング組成物は、シリコンウェハ基体上にスピンコートされ、215℃でベークされて溶媒を除去するが、このコーティング組成物層の架橋を生じさせない。
マレイミド、ポリヒドロキシスチレンおよび9−アントラセン−メチルメタクリラートの重合単位を含むポリマーの溶液を8”シリコンウェハ上にスピンキャストし、180℃および240℃でベークした。各物質のベークしなかったコーティングも製造した。同じポリマーを含むが光酸発生剤化合物も含む配合物も製造し、同じベーク温度(室温、180℃および240℃)で8”シリコンウェハ上にコーティングを製造した。上記処理後、全てのコーティングは小片にされて、容易にTHFに溶解され、GPCによって分子量が測定された。
PAGを有するもしくは有しないポリマー膜の重量平均分子量データは熱処理後に最小限の変化しか示さず、よって熱処理の際に架橋が起らなかったことを示した。
本発明の上記記載は単に本発明を例示するものであり、添付の特許請求の範囲において特定される本発明の意図および範囲を逸脱することなく、変更および改変がなされうることが理解される。
Claims (18)
- (a)ジエンとジエノフィルとの反応生成物を含む樹脂を含むコーティング組成物層;および
(b)前記コーティング組成物層上のフォトレジスト層;
を含むコーティングされた基体。 - (a)ディールスアルダー反応生成物を含む樹脂を含むコーティング組成物層;および
(b)前記コーティング組成物層上のフォトレジスト層;
を含むコーティングされた基体。 - フォトレジスト層の水性アルカリ現像が前記下塗りコーティング組成物層も現像する、請求項1または2に記載の基体。
- 反応成分がターポリマー、テトラポリマーまたはペンタポリマーである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基体。
- 前記コーティング組成物層が架橋されていない、請求項1〜4のいずれか1項に記載の基体。
- 前記コーティング組成物層の樹脂が、イミド含有ジエノフィルと多環式芳香族基との反応生成物を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の基体。
- 前記コーティング組成物層の樹脂が、(1)ジエノフィルと(2)アントラセンもしくはペンタセン基と;の反応生成物を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の基体。
- (a)ジエンとジエノフィルとの反応生成物を含む樹脂を含む組成物のコーティング層を基体上に適用し;
(b)前記コーティング組成物層上にフォトレジスト層を適用する;
ことを含む、フォトレジストレリーフ像を形成する方法。 - (a)ディールスアルダー反応生成物を含む樹脂を含む組成物のコーティング層を基体上に適用し;
(b)前記コーティング組成物層上にフォトレジスト層を適用する;
ことを含む、フォトレジストレリーフ像を形成する方法。 - 適用されたフォトレジスト層がパターン化放射線に露光され、次いで、水性アルカリ現像剤組成物で現像され、それにより現像剤組成物が、パターン化放射線によって前記フォトレジスト層に画定されるような像を、前記フォトレジスト層および前記下塗りコーティング組成物層の双方において選択的に除去する、請求項8または9に記載の方法。
- 上塗りフォトレジストと共に使用するための反射防止組成物であって、当該反射防止組成物が樹脂を含み、当該樹脂がディールスアルダー反応生成物を含む、反射防止組成物。
- 上塗りフォトレジストと共に使用するための反射防止組成物であって、当該反射防止組成物が樹脂を含み、当該樹脂がジエンとジエノフィルとの反応生成物を含む、反射防止組成物。
- 反射防止組成物の樹脂がイミド含有ジエノフィルと多環式芳香族基との反応生成物を含む、請求項11または12に記載の組成物。
- 反射防止組成物の樹脂が(1)イミド含有ジエノフィルと(2)アントラセンもしくはペンタセン基と;の反応生成物を含む、請求項11または12に記載の組成物。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011053652A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-03-17 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 上塗りフォトレジストと共に使用するのに好適なコーティング組成物 |
JP2015507212A (ja) * | 2011-12-15 | 2015-03-05 | AzエレクトロニックマテリアルズIp株式会社 | 現像可能な下層反射防止膜形成用組成物 |
WO2016027592A1 (ja) * | 2014-08-22 | 2016-02-25 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、及び、これを用いた電子デバイスの製造方法 |
US11940730B2 (en) | 2020-12-31 | 2024-03-26 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Photoresist compositions and pattern formation methods |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2216683B1 (en) | 2009-02-08 | 2018-11-14 | Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. | Substrates coated with an antireflective composition and a photoresist |
US8765894B2 (en) * | 2009-12-11 | 2014-07-01 | Promerus, Llc | Norbornene-type polymers having quaternary ammonium functionality |
EP2510036A2 (en) * | 2009-12-11 | 2012-10-17 | Promerus LLC | Norbornene-type polymers having quaternary ammonium functionality |
EP2472328B1 (en) * | 2010-12-31 | 2013-06-19 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Coating compositions for use with an overcoated photoresist |
EP3115400A1 (de) * | 2015-07-09 | 2017-01-11 | Basf Se | Herstellung von oberflächenfunktionalisierten polyamiden |
FR3074179B1 (fr) | 2017-11-24 | 2021-01-01 | Arkema France | Procede de controle de la planeite d'un empilement polymerique |
FR3074180B1 (fr) * | 2017-11-24 | 2021-01-01 | Arkema France | Procede de controle de la planeite d'un empilement polymerique |
EP3886143A1 (en) | 2020-03-23 | 2021-09-29 | Imec VZW | Method for filling a space in a semiconductor device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004205658A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Shin Etsu Chem Co Ltd | パターン形成方法及び下層膜形成材料 |
JP2005517972A (ja) * | 2002-01-09 | 2005-06-16 | クラリアント・インターナシヨナル・リミテッド | ポジ型光像形成性底面反射防止膜 |
JP2006511628A (ja) * | 2002-05-07 | 2006-04-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | フッ素化ポリマー |
JP2009256275A (ja) * | 2008-04-19 | 2009-11-05 | Kawasaki Kasei Chem Ltd | 9,10−エタノアントラセン骨格を有する新規なモノ(メタ)アクリレート化合物及びその製造法 |
JP2010256859A (ja) * | 2009-02-08 | 2010-11-11 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 上塗りフォトレジストと共に使用するのに好適なコーティング組成物 |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US620911A (en) | 1899-03-14 | Car-truck side frame | ||
US3123618A (en) * | 1964-03-03 | Io-dihydroanthkacene-z | ||
US4442197A (en) | 1982-01-11 | 1984-04-10 | General Electric Company | Photocurable compositions |
FR2525846A1 (fr) | 1982-04-22 | 1983-10-28 | Boga Sa | Procede et appareil de selection des points de connexion d'un repartiteur telephonique |
EP0100891A1 (de) | 1982-08-17 | 1984-02-22 | Contraves Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Koinzidenzfehlern beim Zählen von Teilchen zweier Sorten |
US4491628A (en) | 1982-08-23 | 1985-01-01 | International Business Machines Corporation | Positive- and negative-working resist compositions with acid generating photoinitiator and polymer with acid labile groups pendant from polymer backbone |
ATE37242T1 (de) | 1984-02-10 | 1988-09-15 | Ciba Geigy Ag | Verfahren zur herstellung einer schutzschicht oder einer reliefabbildung. |
US4603101A (en) | 1985-09-27 | 1986-07-29 | General Electric Company | Photoresist compositions containing t-substituted organomethyl vinylaryl ether materials |
US4968581A (en) | 1986-02-24 | 1990-11-06 | Hoechst Celanese Corporation | High resolution photoresist of imide containing polymers |
US4810613A (en) | 1987-05-22 | 1989-03-07 | Hoechst Celanese Corporation | Blocked monomer and polymers therefrom for use as photoresists |
DE3721741A1 (de) | 1987-07-01 | 1989-01-12 | Basf Ag | Strahlungsempfindliches gemisch fuer lichtempfindliche beschichtungsmaterialien |
US5128232A (en) | 1989-05-22 | 1992-07-07 | Shiply Company Inc. | Photoresist composition with copolymer binder having a major proportion of phenolic units and a minor proportion of non-aromatic cyclic alcoholic units |
EP0605089B1 (en) | 1992-11-03 | 1999-01-07 | International Business Machines Corporation | Photoresist composition |
US5344742A (en) | 1993-04-21 | 1994-09-06 | Shipley Company Inc. | Benzyl-substituted photoactive compounds and photoresist compositions comprising same |
US5409932A (en) * | 1993-12-09 | 1995-04-25 | Bayer Ag | Piperazine-substituted pyrroloanthracenes |
US5843624A (en) | 1996-03-08 | 1998-12-01 | Lucent Technologies Inc. | Energy-sensitive resist material and a process for device fabrication using an energy-sensitive resist material |
US5861231A (en) | 1996-06-11 | 1999-01-19 | Shipley Company, L.L.C. | Copolymers and photoresist compositions comprising copolymer resin binder component |
US6090526A (en) | 1996-09-13 | 2000-07-18 | Shipley Company, L.L.C. | Polymers and photoresist compositions |
WO1998013408A1 (en) * | 1996-09-28 | 1998-04-02 | Cambridge Display Technology Limited | High efficiency luminescent copolymers |
KR100220951B1 (ko) | 1996-12-20 | 1999-09-15 | 김영환 | 비닐 4-테트라히드로피라닐옥시벤잘-비닐 4-히드록시벤잘-비닐 테트라히드로피라닐에테르-비닐 아세테이트 공중합체, 비닐 4-테트라히드로피라닐옥시벤잘-비닐 테트라히드로피라닐에테르-비닐 아세테이트 공중합체 및 그들의 제조방법 |
US6057083A (en) | 1997-11-04 | 2000-05-02 | Shipley Company, L.L.C. | Polymers and photoresist compositions |
US6165674A (en) | 1998-01-15 | 2000-12-26 | Shipley Company, L.L.C. | Polymers and photoresist compositions for short wavelength imaging |
KR20000047909A (ko) | 1998-12-10 | 2000-07-25 | 마티네즈 길러모 | 이타콘산 무수물 중합체 및 이를 함유하는 포토레지스트조성물 |
US6048662A (en) | 1998-12-15 | 2000-04-11 | Bruhnke; John D. | Antireflective coatings comprising poly(oxyalkylene) colorants |
US6200728B1 (en) | 1999-02-20 | 2001-03-13 | Shipley Company, L.L.C. | Photoresist compositions comprising blends of photoacid generators |
US6048664A (en) | 1999-03-12 | 2000-04-11 | Lucent Technologies, Inc. | Energy-sensitive resist material and a process for device fabrication using an energy-sensitive resist material |
US6306554B1 (en) | 2000-05-09 | 2001-10-23 | Shipley Company, L.L.C. | Polymers containing oxygen and sulfur alicyclic units and photoresist compositions comprising same |
WO2004041760A2 (en) * | 2002-11-05 | 2004-05-21 | Honeywell International Inc. | Fluorinated polymers |
US7172849B2 (en) * | 2003-08-22 | 2007-02-06 | International Business Machines Corporation | Antireflective hardmask and uses thereof |
JP4769455B2 (ja) | 2003-12-30 | 2011-09-07 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | コーティング組成物 |
US7553543B2 (en) * | 2005-12-16 | 2009-06-30 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Composite structure having a fluoroelastomeric anti-reflective coating with non-fluorinated cross-linking |
US7771695B2 (en) * | 2006-07-21 | 2010-08-10 | International Business Machines Corporation | Complexes of carbon nanotubes and fullerenes with molecular-clips and use thereof |
KR100826104B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2008-04-29 | 제일모직주식회사 | 고 내에칭성 반사방지 하드마스크 조성물 및 이를 이용한패턴화된 재료 형상의 제조방법 |
KR100889173B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2009-03-17 | 주식회사 효성 | 유기 반사방지막 형성용 유기 공중합체, 그의 제조방법 및그를 포함하는 조성물 |
US7875408B2 (en) * | 2007-01-25 | 2011-01-25 | International Business Machines Corporation | Bleachable materials for lithography |
US7932128B2 (en) * | 2007-06-29 | 2011-04-26 | International Business Machines Corporation | Polymeric material, method of forming the polymeric material, and method of forming a thin film using the polymeric material |
EP2216683B1 (en) * | 2009-02-08 | 2018-11-14 | Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. | Substrates coated with an antireflective composition and a photoresist |
US8883407B2 (en) * | 2009-06-12 | 2014-11-11 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Coating compositions suitable for use with an overcoated photoresist |
US9921912B1 (en) | 2015-09-30 | 2018-03-20 | EMC IP Holding Company LLC | Using spare disk drives to overprovision raid groups |
-
2010
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-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005517972A (ja) * | 2002-01-09 | 2005-06-16 | クラリアント・インターナシヨナル・リミテッド | ポジ型光像形成性底面反射防止膜 |
JP2006511628A (ja) * | 2002-05-07 | 2006-04-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | フッ素化ポリマー |
JP2004205658A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Shin Etsu Chem Co Ltd | パターン形成方法及び下層膜形成材料 |
JP2009256275A (ja) * | 2008-04-19 | 2009-11-05 | Kawasaki Kasei Chem Ltd | 9,10−エタノアントラセン骨格を有する新規なモノ(メタ)アクリレート化合物及びその製造法 |
JP2010256859A (ja) * | 2009-02-08 | 2010-11-11 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 上塗りフォトレジストと共に使用するのに好適なコーティング組成物 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6013006492; A. Hatziyiannakou, C. Froussios: '"Highly Isotactic Polymethacrylates through Radical Polymerization of Methacrylate Esters of Some Or' Journal of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry 39, 2001, 1180-1186 * |
JPN7014000904; C. I. Simionescu, M. Grigorias, G. Onefrei: '"Copolymerizatione of 9-Anthrylmethyl Methacrylate with N-Phenylmaleimide"' Makromolekulare Chemie 186, 1985, 1121-1128 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011053652A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-03-17 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 上塗りフォトレジストと共に使用するのに好適なコーティング組成物 |
JP2015507212A (ja) * | 2011-12-15 | 2015-03-05 | AzエレクトロニックマテリアルズIp株式会社 | 現像可能な下層反射防止膜形成用組成物 |
TWI566050B (zh) * | 2011-12-15 | 2017-01-11 | 默克專利有限公司 | 用以形成可顯影之底部抗反射塗層的組成物 |
WO2016027592A1 (ja) * | 2014-08-22 | 2016-02-25 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、及び、これを用いた電子デバイスの製造方法 |
JPWO2016027592A1 (ja) * | 2014-08-22 | 2017-04-27 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、及び、これを用いた電子デバイスの製造方法 |
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