JP2010250185A - 粒子群充填配置用マスク及びこれを用いる情報表示用パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】情報表示用パネルにおいて表示媒体とする粒子群を所定の場所に充填する際に使用するのが好適な粒子群充填配置用マスクを提供する。
【解決手段】少なくとも光学的反射率を有し、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体３Ｗを、隔壁４で囲んで形成した複数のセル７それぞれに充填して形成される情報表示用パネルの製造に際して、前記情報表示用パネルとする部分の情報表示画面領域が少なくとも１つ設定されたマザーパネル基板上に配置されて、撒かれ落下する前記粒子群を前記セル内に充填配置する粒子群充填配置工程で用いる粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｗであって、前記粒子群をマスクするマスク部に前記粒子群を通過させる開口部が形成され、前記開口部ＭＨに臨む前記マスク部ＭＰのマスクエッジ部ＭＥが下方向に向かって狭くなるテーパー面となっている。
【選択図】図３

Description

本発明は、粒子群として構成した表示媒体を駆動させて情報を表示する情報表示用パネルを製造する際、特に表示媒体を構成する粒子群を充填するときに用いる粒子群充填用マスクに関する。更に、この粒子群充填用マスクを用いた情報表示用パネルを製造方法に関する。

情報表示装置として液晶表示装置（ＬＣＤ）が広く普及している。しかし、一般に液晶表示装置は電力消費量が大きく、視野角が狭いなどの欠点があることが知られていた。そこで、液晶表示装置に代わるものとして、少なくとも一方が透明な２枚の基板（例えばガラス基板）間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、このセル内に粒子群として構成した表示媒体を封入して、この表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルについて提案がある。

そして、例えば特許文献１には、上記のような情報表示用パネルを製造する際の粒子充填工程で、基板上の隔壁によって仕切られた複数のセル内に粒子群を充填するときにマスク（粒子群充填用マスク）を用いた粒子充填工程の開示がある。この粒子充填工程では、上方に設置したノズルから粒子群が撒かれる。マザーパネル基板には情報表示用パネルとなる部分の情報表示画面領域が複数（特許文献１の図４、５では１２個）設定されており、この各情報表示画面領域には前述したセルが多数存在している。すなわち、ここでのマザーパネル基板は、１つ以上の各情報表示用パネル対応領域のシール剤配置部にシール剤を配置し、貼り合せてパネルにする前の状態の基板である。ここで示されるマスクには、この情報表示画面領域に対応した箇所に開口部が形成してある。よって、パネル基板上の所定位置にマスクをセットして、上記のようにノズルから粒子群を撒くと、基板上のセル内に粒子群を充填できる。

特開２００５−２５８２４０公報

しかしながら、上記のように粒子群充填用マスクをマザーパネル基板上にセットし、上方から粒子群を撒いたときに所定量の粒子群が充填されないセルが発生することがあった。図９は、粒子群の充填不良が発生する様子を模式的に示した図である。この図９で示すように、一般的なマスクＭＳの開口部ＭＨに臨むマスク部ＭＰのマスクエッジ部ＭＥは垂直に立ち上がった壁状（マスク部ＭＰの端部が垂直な断面形状）となっていた。
ところが、マスクエッジ部ＭＥの形状がこのような垂直断面形状であると、粒子群が上方から撒かれて落下して充填される際、図で示す開口部ＭＨとマスク部ＭＰとの境界に位置する１列目のセルＥＢに充填されるときの障害となり、このセルＥＢに所定量の粒子群が充填されない事態が発生する不都合が確認された。上方で撒かれて落下する粒子に対して垂直断面のマスクエッジ部ＭＥが何らかの障害になっていることが予想されたが、その詳細な理由は不明であり、これについての対処が望まれた。

よって、本発明の目的は、情報表示用パネルにおいて表示媒体とする粒子群を所定の場所に充填する際に使用するのが好適な粒子群充填配置用マスクを提供することであり、また、これを用いた情報表示用パネルの製造方法を提案することである。

上記目的は、少なくとも光学的反射率を有し、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、隔壁で囲んで形成した複数のセルそれぞれに充填して形成される情報表示用パネルの製造に際して、前記情報表示用パネルとする部分の情報表示画面領域が少なくとも１つ設定されたマザーパネル基板上に配置されて、撒かれて落下する前記粒子群を前記セル内に充填配置する粒子群充填配置工程で用いる粒子群充填配置用マスクであって、前記粒子群をマスクするマスク部に前記粒子群を通過させる開口部が形成され、前記開口部に臨む前記マスク部のマスクエッジ部が下方向に向かって狭くなるテーパー面となっている粒子群充填配置用マスクにより達成できる。

また、前記マザーパネル基板に形成された１つの情報表示用パネルに対応する情報表示画面領域が分割されて、それぞれの領域に異なる種類の表示媒体が配備されて２以上の情報表示画面領域で異なる色による情報表示を可能とするエリア別カラー表示方式の情報表示用パネルの製造に用いるように形成した複数の前記粒子群充填配置用マスクであって、前記開口部は、分割された前記各情報表示画面領域に応じて、前記複数の粒子群充填配置用マスク毎に異なる位置に形成してあるものでもよい。

また、前記マスクエッジ部のテーパーの傾斜角度が３０〜４５度の範囲に設定してある、ことが望ましい。

そして、上記いずれかに記載した粒子群充填配置用マスクを、前記表示媒体とする粒子群の種類および前記情報表示画面領域の位置に合わせて準備して、前記情報表示用パネルのマザーパネル基板に形成された隔壁上に、順次に載せ換えてそれぞれの粒子群を充填する情報表示用パネルの製造方法によれば、粒子群の充填不良の無いパネルを製造できるので、歩留りの向上を図ることができる。

また、上記に記載した粒子群充填配置用マスクの開口部に臨むマスク部エッジ下端を、前記情報表示用パネルのマザーパネル基板に形成された隔壁のうち各情報表示画面領域の境界となる隔壁の位置に合わせてから前記粒子群を充填するのがより好ましい。

また、前記情報表示用パネルのマザーパネル基板に形成された隔壁のうち各情報表示画面領域の境界となる隔壁の幅を、他のセル形成専用隔壁よりも大きくした場合は、更に確実に粒子群の充填不良をなくした粒子充填を行える。

本発明によると、情報表示用パネル製造の粒子群充填配置工程に用いる粒子群充填配置用マスクのマスクエッジ部が、下方向に向かって狭くなるテーパー面状に形成してあるので、充填不良が発生し易かったマスクの開口部とマスクのマスク部との境界に位置するセルにも所定量の粒子群を充填できる。これにより、情報表示用パネルの不良発生率を低減できるので、製品性能の向上や製品歩留りの向上を図ることができる。

（ａ）、（ｂ）は本発明の粒子群充填配置用マスクを用いて製造するのが好適な帯電性粒子を表示媒体として用いた情報表示用パネルの原理的構成を説明するために示した図である。 （ａ）、（ｂ）は本発明の粒子群充填配置用マスクを用いて製造するのが好適な帯電性粒子を表示媒体として用いた情報表示用パネルの他の原理的構成を説明するために示した図である。 本発明に係る粒子群充填配置用マスクを用いて粒子を充填する様子を模式的に示した側面図で、（ａ）は黒白情報表示画面領域に黒色粒子群を充填している様子、（ｂ）は赤白情報表示画面領域に赤色粒子群を充填している様子、（ｃ）は粒子群充填配置用マスクを用いて白色粒子群を充填する様子を模式的に示した側面図である。 図３（ｃ）で示した白色粒子群充填配置用マスクの全体を示した平面図である。 （ａ）〜（ｃ）はマスクエッジ部の好適な形状を説明するために示した図である。 情報表示画面領域が設定されたマザーパネル基板と、これに使用する粒子群充填配置用マスクを示した図である。 情報表示画面領域が設定されたマザーパネル基板と、これに使用する第１の粒子群充填配置用マスク、第２の粒子群充填配置用マスク、第３の粒子群充填配置用マスクを示した図である。 情報表示画面領域を複数に分割して各表示エリアで異なる色を表示するエリア別カラー表示の情報表示用パネルの一例を説明するための図であり、（ａ）及び（ｂ）は情報表示用パネルを電子棚札として採用した場合、（ｃ）は情報表示用パネルを電子ＰＯＰとして採用した場合について示している。 粒子の充填不良が発生する様子を模式的に示した図である。

本発明に係る粒子群充填配置用マスクについての理解を容易とするため、まず、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群を表示媒体として駆動させる情報表示用パネルの一例として、帯電粒子移動方式の情報表示用パネルの基本的な構成について説明する。
前記帯電粒子移動方式の情報表示用パネルは、対向する２枚の基板間の空間に封入した帯電性粒子を含む粒子群で構成した表示媒に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示情報を書き換える時、或いは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、電界による力、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。

以下、本発明の粒子群充填配置用マスクを用いて製造するのが好適な帯電粒子移動方式の情報表示用パネルの一例を図１（ａ）、（ｂ）、図２（ａ）、（ｂ）に基づき説明する。

図１（ａ）、（ｂ）に示す例は、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成される互いに光学的反射率および帯電特性が異なる少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）付き画素電極）と透明な基板２に設けた透明電極６（共通電極）とで形成する電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色表示を、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色表示を白黒のドットでマトリックス表示することができる。このようにマトリックス状に画素が構成され、共通電極６とＴＦＴ付き画素電極５によるアクティブ駆動によりドットマトリックス表示をする。なお、図１（ａ）、（ｂ）においては、手前にある隔壁は省略している。各電極５、６は、基板１、２の内側に設ける。図１には、セルと画素（ドット）とを１対１に対応させた例を示したが、セルと画素（ドット）とを１対１に対応させなくてもよい。

また、図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成される互いに光学的反射率および帯電特性が異なる少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ストライプ電極）と透明な基板２に設けた透明電極６（ストライプ電極）とが対向し直交交差に形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色表示を、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色表示を白黒のドットでマトリックス表示している。このようにマトリックス状に画素が構成され、観察側の透明なストライプ電極６と背面側のストライプ電極５とでパッシブ駆動でドットマトリックス表示をする。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。各電極５、６は、基板１、２の内側に設ける。図１には、セルと画素（ドット）とを１対１に対応させた例を示したが、セルと画素（ドット）とを１対１に対応させなくてもよい。

なお、上記基板１、２としては、ガラス基板、樹脂シート基板、樹脂フィルム基板等の基板を用いることができる。表示面側（観察側）とする基板２は、透明基板とする。この基板２の情報表示画面領域に、所定の電圧および極性（正・負）を有する電圧を印加するための電極（図１などで説明した、共通電極またはストライプ電極５）を配設する場合には透明電極とする。図１及び図２に示した情報表示用パネルを構成する基板１の表面には、マトリックス状電極対を構成するように薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）付き画素電極もしくはストライプ電極が形成されている。この対向電極対に電圧を印加したときに、表示媒体（粒子群）に電界が付与されることによって表示媒体を構成する粒子群が移動して所望の表示を行う前述の構造が実現できる。

本発明は、図１、２で示す構造の情報表示用パネルなどの製造工程、特に表示媒体とする粒子群を上方から撒いてセル内に充填する粒子充填工程で好適に使用されるマスク（以下、粒子群充填配置用マスク、と称する）に関するものである。本発明の粒子群充填配置用マスクはマスク部と開口部との境界となるマスクエッジ部を所定形状に形成しておくことで、先に指摘した境界に位置するセル内への粒子充填不良を解消するものである。このような粒子群充填配置用マスクを用いて情報表示用パネルを製造すれば、マクス部と開口部との境界に位置するセルにおける粒子充填不良を防止できるので、結果として情報表示用パネルの製造歩留りを向上させることができる。

以下、更に図を参照して、本発明に係る粒子群充填配置用マスク、およびこれを用いた情報表示用パネルの製造方法を詳細に説明する。
なお、下記図３及び図４による説明では黒色粒子群と白色粒子群とが充填される黒白表示エリア（ＢＷ−ＡＲ）と、赤色粒子群と白色粒子群とが充填される赤白表示エリア（ＲＷ−ＡＲ）とを備えて、いわゆるエリア別カラー表示をする情報表示用パネルを製造する場合を一例として示すものである。

図３は、本発明に係る粒子群充填配置用マスクＭＳを用いて表示媒体とする粒子群を充填する様子を模式的に示した側面図で、図３（ａ）は複数の情報表示用パネルを得るための１枚のマザーパネル基板において各情報表示用パネルの黒白表示エリア（ＢＷ−ＡＲ）に黒色粒子群３Ｂａを充填している様子、図３（ｂ）は複数の情報表示用パネルを得るための１枚のマザーパネル基板において各情報表示用パネルの赤白表示エリア（ＲＷ−ＡＲ）に赤色粒子群３Ｒａを充填している様子を示している。図３（ｃ）はマザーパネル基板の１つの情報表示用パネルのセル全部に白色粒子群３Ｗａを充填している様子を示している。マザーパネル基板１上に形成された隔壁４により形成したセル７内に表示媒体とする粒子群を充填する場合を示している。そして、中央に位置する隔壁４ｃが黒白表示エリア（ＢＷ−ＡＲ）と赤白表示エリア（ＲＷ−ＡＲ）との表示エリア境界部となっている。

図３（ａ）は黒色粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｂをマザーパネル基板の隔壁上に配置して黒色粒子群と充填する様子について示した図である。基板１の黒白表示エリア（ＢＷ−ＡＲ）とされた領域内にあるセル７に黒色粒子群を充填するため、粒子を通過させる開口部ＭＨが形成されている。他の部分はマスク部ＭＰである。このマスクＭＳ−Ｂは、開口部ＭＨに臨むマスク部ＭＰの端部（マスクエッジ部ＭＥ）が下方向に向かって狭くなるテーパー面に形成してある。
このようにテーパー面に形成すると、従来のように垂直断面のマスク部のエッジが障壁となることがないので、開口部ＭＨとマスク部ＭＰとの境界に面して位置した粒子群の充填不良が発生し易かった１列分のセル（図３で７ＢＬ）にも所定量の黒色粒子群３Ｂａを充填できる。

図３（ｂ）は、赤色粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｒをマザーパネル基板の隔壁上に配置して赤色粒子群を充填する様子について示した図である。基板１の赤白表示エリア（ＲＷ−ＡＲ）とされた領域内にあるセル７に赤色粒子群を充填するため、粒子を通過させる開口部ＭＨが形成されている。他の部分はマスク部ＭＰである。このマスクＭＳ−Ｒの開口部ＭＨとマスク部ＭＰとは、図３（ａ）のマスクＭＳ−Ｂと逆の配置となっている。ただし、このマスクＭＳ−Ｒの場合も、開口部ＭＨに臨むマスク部ＭＰの端部（マスクエッジ部ＭＥ）が下方向に向かって狭くなるテーパー面に形成してある。
このように、マスクエッジ部ＭＥをテーパー面に形成すると、マスク部ＭＰのエッジが障壁となることがないので、上記と同様に開口部ＭＨとマスク部ＭＰとの境界に面して位置した、粒子群の充填不良が発生し易かった１列分のセル（図３で７ＢＬ）にも所定量の赤色粒子群３Ｒａを確実に充填できる。

図３（ｃ）は、図３（ａ）、（ｂ）で説明した黒白表示エリア（ＢＷ−ＡＲ）と赤白表示エリア（ＲＷ−ＡＲ）のそれぞれに黒色粒子３Ｂａ、赤色粒子３Ｒａを充填した後において、第３色となる白色粒子３Ｗａを全てのセルに所定量充填する場合を示している。
図３（ｃ）は、図３（ａ）、（ｂ）の場合と同様に、粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｗを用いて白色粒子群を充填する様子を模式的に示した側面図である。この白色粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｗの場合も、マスクエッジ部ＭＥが下方向に向かって狭くなるテーパー面に形成してある。よって、マスク部ＭＰのエッジが障壁なることがないので、上記と同様に開口部ＭＨとマスク部ＭＰとの境界に面して位置した、粒子群の充填不良が発生し易かった１列分のセル（図３で７ＢＬ）にも所定量の白色粒子群を充填できる。

なお、図４は図３（ｃ）で示した白色粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｗの全体を示した平面図であり、マザーパネル基板ＢＤ上に配置した様子を示している。このマザーパネル基板ＢＤには６個分の情報表示用パネルを得るため情報表示画面領域が６個形成されている。そして、６個の情報表示画面領域は２つの表示エリア（黒白表示エリアおよび赤白表示エリア）がそれぞれ形成されているが、白色粒子群は前記２つの表示エリアの双方に充填するため、白色粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｗには、情報表示画面領域に応じた大きさで６個の開口部ＭＨが形成されている。これら各開口部ＭＨとマスク部ＭＰとの四方の境界（破線ＰＬで囲んだ部分）が前述のマスクエッジ部ＭＥに相当しており、この部分が下方向に向かって傾斜したテーパー面となっている。

図５はマスクエッジ部ＭＥの好適な形状を説明するために示した図である。図５（ａ）で示すように、マスクエッジ部ＭＥに形成するテーパー面の傾斜角度θは３０〜４５度とするのが好ましい。また、図５（ｂ）、（ｃ）はマスクエッジ部ＭＥの角部（ＣＮ）について示した図であり、（ｂ）で示すように互いに直交交差するテーパー面を突き合わせるようにしてもよいし、（ｃ）で示すように直交する箇所に丸みを付けたテーパー面で接続するようにしてもよい。

図６は１２個分の情報表示用パネルに対応する情報表示画面領域ＤＰが設定されたマザーパネル基板ＢＤと、これに使用する粒子群充填配置用マスクＭＳを示した図である。ここでは、情報表示画面領域の全てのセルに黒色粒子群（黒色表示媒体）と白色粒子群（白色表示媒体）とを配置した白黒表示用の情報表示用パネル１２個を得るためのマザーパネル基板ＢＤおよび黒色粒子群充填配置用マスクＭＳ−Ｂ、白色知子群充填配置用マスクＭＳ−Ｗを示している。なお、説明が重複するので、この図６および次の図７についての説明では特にマスクエッジ部ＭＥについては言及しないが、同様に開口部ＭＨに臨むマスク部ＭＰの端部（マスクエッジ部ＭＥ）は下方向に向かって狭くなるテーパー面に形成してある。

図７は１２個分の情報表示画面領域ＤＰ（情報表示用パネル用の領域）が設定されたマザーパネル基板ＢＤと、これに使用する３種のマスク、すなわち、第１の粒子群充填配置用マスクＭＳ−１、第２の粒子群充填配置用マスクＭＳ−２、および第３の粒子群充填配置用マスクＭＳ−３を示した図である。このように３種類の粒子群充填配置用マスクＭＳを準備し、マザーパネル基板ＢＤ上の情報表示画面領域ＤＰを分割して形成する領域（表示エリア）に色が異なる粒子群を表示媒体として充填して、異なる色によって情報表示を行える（エリア別カラー表示）。
図７では第１の粒子群充填配置用マスクＭＳ−１が、マザーパネル基板ＢＤ上の黒白表示エリア（ＢＷ−ＡＲ）に黒色粒子群を充填する際に使用され、第２の粒子群充填配置用マスクＭＳ−２が、マザーパネル基板ＢＤ上の赤白表示エリア（ＲＷ−ＡＲ）に赤色粒子群を充填する際に使用され、第３の粒子群充填配置用マスクＭＳ−３が、マザーパネル基板ＢＤ上の黒白表示エリア（ＢＷ−ＡＲ）および赤白表示エリア（ＲＷ−ＡＲ）に白色粒子群を充填する際に使用される。

図６及び図７で示したようにして、粒子群充填配置用マスクＭＳを適宜に選択して使用すれば、必要な情報表示画面領域ＤＰの所定領域に配置したい粒子群を充填することができ、マスクエッジ部ＭＥが下方向に向かって狭くなるテーパー面に形成してあるので、境界に面して位置している１列分のセルにも確実に所定量の粒子群を充填できる。

以上で説明した粒子充填用のマスクＭＳ（粒子群充填配置用マスク）を、表示媒体とする粒子群の種類および情報表示画面領域の位置に合わせて準備して、情報表示用パネルのマザーパネル基板に形成された隔壁上に、順次に換えて配置してそれぞれの粒子群を充填すると、開口部ＭＨとマスク部ＭＰとの境界に面して位置している１列分のセルにも確実に所定量の粒子群を充填できる。これにより、情報表示画面領域の全セル内に不足無く粒子群を充填できるので、情報表示用パネルの性能や製造歩留りの向上を図ることができる。

ここで、再度、図３を参照すると、各粒子群充填配置用マスクＭＳのマスクエッジ部ＭＥは下方向に向かって狭くなるようにテーパー面状に形成されているので、その下端（以下、開口エッジ下端ＥＴとする）は鋭角な頂部となる。このような開口エッジ下端ＥＴは、位置が確認し易い。よって、開口エッジ下端ＥＴを基準にしてパネル基板（或いは、マザーパネル基板）に対して位置決めすることで粒子群充填配置用マスクＭＳ全体を簡易、正確に位置決めできる。すなわち、開口エッジ下端ＥＴを表示エリア（情報表示画面領域）間の境界となる隔壁４ｃの位置に合わせてから粒子群の充填を開始するようにするのが望ましい。さらに、パネル基板については、表示エリア間の境界となる隔壁４ｃの幅を他のセル形成専用隔壁よりも大きくしておくのが望ましい。これにより粒子群充填配置用マスクの位置決めが更に容易となり、開口部ＭＨとマスク部ＭＰとの境界に面して位置している１列分のセルにも確実に所定量の粒子群を充填できる。

なお、上記粒子群充填配置用マスクＭＳとしては、少なくとも外表面が導電性材料で構成されていることが好ましく、全体を導電性金属で構成したメタルマスクや、非導電性材料の外表面を導電性金属で被覆した構成のマスクを用いることができる。
非導電性材料の外表面を導電性金属で被覆した構成のマスクは、まず、非導電性材料でマスクエッジ部にテーパーを設けた構造の粒子群充填配置用マスクを作製し、メッキ技術やコーティング技術を用いて、粒子群充填配置用マスク本体の外表面を導電性材料で被覆する。導電性材料としては、アルミニウム、銅、金、銀、ニッケル、鉄、ステンレス鋼等の金属のほかそれらの金属を主成分とする合金を用いることができる。
メタルマスクとする場合には、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）やニッケル、アルミニウム、銅等の導電性を有する金属およびそれら金属を主成分とする合金を用いて、上記マスクエッジ部ＭＥにテーパーを設ける。

図８は、上記で説明した情報表示画面領域を複数に分割して各表示エリアで異なる色を表示するエリア別カラー表示の情報表示用パネル一例を説明するための図であり、（ａ）及び（ｂ）は情報表示用パネルを電子棚札として採用した場合、（ｃ）は情報表示用パネルを電子ＰＯＰとして採用した場合について示している。
図８（ａ）〜（ｃ）で示すように、複数の表示エリア（ここでは２２ＢＷ、２２ＲＷ）を設定した場合、情報表示画面領域全体の外周部分２１や表示エリア間の境界部２３で前述した粒子充填不要が発生する可能性がある。
しかし、上記のように本発明のマスクエッジ部ＭＥが下方向に向かって狭くなるテーパー面に形成されている粒子群充填配置用マスクを用いることで充填不良のないエリア群カラー表示の情報表示用パネルを製造できる。

更に、以下、本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルを構成する各部材の材料等について説明する。

パネル基板上に設ける隔壁４には、パネル基板間ギャップ確保機能を担う隔壁と、表示媒体とする粒子群がパネル基板と平行な方向に移動することを抑制する機能を担う隔壁とその両方の機能を担う隔壁とがあり、パネル基板間ギャップ確保用隔壁の幅は、２０μｍ〜１００μｍの範囲が好ましく、セル形成専用隔壁の幅は、５μｍ〜３０μｍの範囲で、できるだけ細くすることが好ましい。また、セル形成専用隔壁はパネル基板間ギャップ確保用隔壁の高さより低くしてもよく、表示媒体とする粒子群がパネル基板と平行な方向に移動することを抑制する機能を損なわない範囲とする。さらにまた、セル形成専用隔壁は双方のパネル基板の対向位置に形成し、パネル基板を貼り合わせたときに対向する構成としてもよく、この場合、対向部分を接合してもよいし接合しなくてもよい。

エリア別カラー表示方式の情報表示用パネルにおいては、各情報表示画面領域の境界となる隔壁はパネル基板間ギャップ確保機能を担う隔壁とするとともに、その幅を、他のセル形成専用隔壁の幅よりも大きくする。この隔壁の幅は情報表示画面領域全体のデザインにより自由に決められるが、隔壁を目立たせたくない場合には、２０μｍ〜１００μｍの範囲とする。

セルの形状は画素形状および画素配置に合わせた四角形（角丸付き四角形を含む）を基調とした構成や六角形を基調としたハニカム構成が好ましく、画素に対応させて配置してもよいし、画素に対応させないで配置してもよい。画素をマトリックス状に配置させた場合には、セルの開口形状は四角形や四角を基調とした多角形が好ましく、四角形の角部を取った形状である八角形や、四角形が階段状に配置された形状である階段状八角形や階段状六角形が用いられる。さらに、表示媒体を構成する粒子を移動しやすくできる点からは曲線を有するセル形状が好ましく、前記した形状の角部を丸くした角丸付きの多角形が好ましく用いられる。

基板間ギャップ確保用として設ける隔壁や、基板間ギャップ確保および異なる表示カラーを行うエリア境界に設ける隔壁およびセル形成専用の隔壁の形成材料としては、ドライフィルムレジスト材などのフォトリソ用のレジスト材が好適に用いられる。ドライフィルムレジスト材の一例として、アルフォＮＩＴ２（ニチゴーモートン社製）やＰＤＦ３００（新日鐵化学社製）を使用することができる。

形成したい隔壁部分の高さに合わせた厚みのドライフィルムレジスト材をパネル基板に積層し、所定形状のフォトマスクを用いてフォトリソ法によってパターニングする。
パネル基板間ギャップ確保用の隔壁部分の幅は、２０μｍ〜１００μｍの範囲とし、セル形成専用の隔壁部分の幅は、５μｍ〜３０μｍの範囲とし、セル形成専用の隔壁部分の幅を、パネル基板間ギャップ確保用の隔壁部分の幅よりも小さくする。

パネル基板に導電膜を設ける場合、観察側パネル基板の情報表示画面領域には透明な導電膜を設ける。この透明な導電膜の材料としては、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の透明導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン等の透明導電性高分子類が挙げられる。

情報表示画面領域外や背面側パネル基板に設ける導電膜は透明であってもよいし、透明でなくてもよい。酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン等の導電性高分子類や、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、クロム等の金属や、これらの金属を主成分とする合金が導電膜の材料として挙げられる。

導電膜の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状に形成する方法や金属箔（例えば圧延銅箔）をラミネートする方法、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布したりする方法が用いられる。パターン形成可能で導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、観察側パネル基板の情報表示画面領域に設ける導電膜の厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１〜１０μｍが好ましく、０．０５〜５μｍがより好ましい。また、情報表示画面領域外や背面側パネル基板に設ける導電膜の厚みは、導電性が確保できれば良く、０．０１〜１０μｍの範囲で、情報表示画面領域に配置されたセル内の表示媒体の駆動に適した対向電極対間ギャップを形成するように設ける。

透明導電膜として好適な金属酸化物系材料は、金属材料に比べて可とう性が小さい。これら金属酸化物系材料を導電膜として用いる場合には、透明導電膜中での断線防止のため、金属細線と併用することが好ましい。この金属細線の幅は、１μｍ〜１０μｍとすれば表示視認性の妨げとならないので好ましい。観察側パネル基板の情報表示画面領域以外では光透過性を考慮する必要がないので電気抵抗が小さく、可とう性にも優れた前記金属材料が導電膜として好適に用いられる。

本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板（ホワイトボード）等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ(Point Of Presence, Point Of Purchase advertising)、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられるほか、外部書換え手段に接続して表示書換えを行う情報表示用パネル（リライタブルペーパー）や外部電界形成手段を用いて表示書換えを行う情報表示用パネル（リライタブルペーパー）としても好適に用いられる。

本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルに用いる表示媒体は、帯電性粒子を含んだ粒子群、導電性粒子を含んだ粒子群、半導体性粒子を含んだ粒子群など、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群である。本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、外部電界形成手段を用いた駆動方式など種々のタイプの駆動方式が適用できる。

１、２ 基板
３Ｗ、３Ｂ 表示媒体（粒子群）
４ 隔壁
７ セル
ＭＳ 粒子群充填配置用マスク
ＭＨ 開口部
ＭＰ マスク部
ＭＥ マスクエッジ部
ＢＤ マザーパネル基板

Claims (6)

1. 少なくとも光学的反射率を有し、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、隔壁で囲んで形成した複数のセルそれぞれに充填して形成される情報表示用パネルの製造に際して、
   前記情報表示用パネルとする部分の情報表示画面領域が少なくとも１つ設定されたマザーパネル基板上に配置されて、撒かれて落下する前記粒子群を前記セル内に充填配置する粒子群充填配置工程で用いる粒子群充填配置用マスクであって、
   前記粒子群をマスクするマスク部に前記粒子群を通過させる開口部が形成され、前記開口部に臨む前記マスク部のマスクエッジ部が下方向に向かって狭くなるテーパー面となっている、ことを特徴とする粒子群充填配置用マスク。
2. 前記マザーパネル基板に形成された１つの情報表示用パネルに対応する情報表示画面領域が分割されて、それぞれの領域に異なる種類の表示媒体が配備されて２以上の情報表示画面領域で異なる色による情報表示を可能とするエリア別カラー表示方式の情報表示用パネルの製造に用いるように形成した複数の前記粒子群充填配置用マスクであって、
   前記開口部は、分割された前記各情報表示画面領域に応じて、前記複数の粒子群充填配置用マスク毎に異なる位置に形成してある、ことを特徴とする請求項１に記載の粒子群充填配置用マスク。
3. 前記マスクエッジ部のテーパーの傾斜角度が３０〜４５度の範囲に設定してある、ことを特徴とする請求項１または２に記載の粒子群充填配置用マスク。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載した粒子群充填配置用マスクを、前記表示媒体とする粒子群の種類および前記情報表示画面領域の位置に合わせて準備して、前記情報表示用パネルのマザーパネル基板に形成された隔壁上に、順次に換えて配置してそれぞれの粒子群を充填する、ことを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
5. 請求項１〜３のいずれかに記載した粒子群充填配置用マスクの開口部に臨むマスク部エッジ下端を、前記情報表示用パネルのマザーパネル基板に形成された隔壁のうち各情報表示画面領域の境界となる隔壁の位置に合わせてから前記粒子群を充填する、ことを特徴とすることを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
6. 前記情報表示用パネルのマザーパネル基板に形成された隔壁のうち各情報表示画面領域の境界となる隔壁の幅を、他のセル形成専用隔壁よりも大きくした、ことを特徴とする請求項５に記載の情報表示用パネルの製造方法。

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