JP2010248548A - ホローカソード型放電管 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ホローカソード型放電管100は、放電ガスを放出できる開口202Bが端面202Aに形成されたホローカソード200と、端面202Aに対向して配置され、この開口202Bの中心軸S上にスリット状の穴302Aが形成されたアノード電極302と、を備える。そして、開口202Bとスリット状の穴302Aとの間で、放電ガスによる放電が行われる。
【選択図】図1
Description
前記開口と前記スリット状の穴との間で前記放電ガスによる放電が行われるホローカソード型放電管を提供する。
前記開口と前記第1の穴との間で前記放電ガスによる放電が行われるホローカソード型放電管も提供する。
図1および図2に示すように、アノード電極板302の中央部には、微細なアノード穴302A(ここでは、長穴)が形成されている。アノード穴302Aは、少なくともホローカソード200の開口202Bの中心軸S上に配置されており、両者が中心軸Sを共通とする同軸状に配置される方が好ましい。
この状態で、ホローカソード200内を流れる放電ガスが、カソードキャップ202の開口202Bから放電空間101に放出される。続いて、ホローカソード200に、所定のマイナス電圧(例えば、−800V程度)が印加される。なお、本実施の形態ではアノードユニット300は接地されている。
(変形例1)
本実施形態(図1)のホローカソード型放電管100では、アノード電極板302にアノード穴(長穴)を形成する例を示したが、アノード穴の形状はこれに限らない。このようなアノード穴は、短軸と長軸とを有している穴であれば、他の形状の穴(例えば、矩形穴や楕円形の穴)であってもよい。
(変形例2)
本実施形態の他のホローカソード型放電管では、アノード電極板302’にアノード穴(1小円形穴、3大円形穴)を形成する例を示したが、電子の電流量確保用の円形穴の個数は3個に限らない。
(変形例3)
本実施形態(図1)のホローカソード型放電管100では、アノード電極板302にアノード穴(長穴)を形成する例を示し、本実施形態の他のホローカソード型放電管では、アノード電極板302’にアノード穴(1小円形穴、3大円形穴)を形成する例を示したが、アノード穴の構成はこれらに限らない。
(応用例)
以下、本発明の実施形態のホローカソード型放電管100の真空成膜技術への応用例について概説する。
11 通電ボルト
12 接続パイプ
13 絶縁部材
13A 絶縁部材の大径部
13B 絶縁部材の小径部
14 止めねじ(固定手段)
15 絶縁筒
16 絶縁カラー
17 エンドキャップ
18 通し穴
19 ストッパ部材
20 放電ガス配管
100 ホローカソード型放電管
101 放電空間
102 収容空間
200 ホローカソード
201 カソードパイプ
201A カソードパイプの空間
202 カソードキャップ
202A カソードキャップの前端面
202B カソードキャップの開口
203 電子放出体(インサート材)
300 アノードユニット
301 アノードケーシング
301A アノードケーシングの前端面
301B 貫通穴
302、302’ アノード電極板
302A、302B、302C アノード穴
303 アノードキャップ
303A アノードキャップの円形開口
303B アノードキャップの受部
500 イオンプレーティング装置
501 真空槽
502 反応ガス供給系
503 蒸発源
504 基板保持体
504A 基板
505 高周波電源
506 DC電源
507 真空排気系
Claims (4)
- 放電ガスを放出できる開口が端面に形成されたホローカソードと、前記端面に対向して配置され、前記開口の中心軸上にスリット状の穴が形成されたアノード電極と、を備え、
前記開口と前記スリット状の穴との間で前記放電ガスによる放電が行われるホローカソード型放電管。 - 前記スリット状の穴が、長穴または矩形穴である請求項1記載のホローカソード型放電管。
- 放電ガスを放出できる開口が端面に形成されたホローカソードと、前記端面に対向して配置され、前記開口の中心軸上に第1の穴が形成されるとともに、前記中心軸からずれた位置に、前記第1の穴よりも開口面積の大きい第2の穴が形成されたアノード電極と、を備え、
前記開口と前記第1の穴との間で前記放電ガスによる放電が行われるホローカソード型放電管。 - 前記第2の穴は、前記第1の穴の周囲に複数個、配されている請求項3記載のホローカソード型放電管。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0547338A (ja) * | 1991-08-16 | 1993-02-26 | Nissin Electric Co Ltd | イオンビーム中性化装置 |
JP2000161202A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | ホローカソード |
JP2010251014A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Shinmaywa Industries Ltd | ホローカソード型放電管 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0547338A (ja) * | 1991-08-16 | 1993-02-26 | Nissin Electric Co Ltd | イオンビーム中性化装置 |
JP2000161202A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | ホローカソード |
JP2010251014A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Shinmaywa Industries Ltd | ホローカソード型放電管 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160118231A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Cemecon Ag | Method and Device for Generating an Electrical Discharge |
US9773650B2 (en) * | 2014-10-24 | 2017-09-26 | Cemecon Ag | Method and device for generating an electrical discharge |
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