JP2010238754A - マウントノズルおよびマウント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の貫通孔を有するノズル基板と、前記貫通孔の少なくとも1個と連通する吸気孔を有し、前記複数の貫通孔のうち前記吸気孔に連通しない他の貫通孔の開口部を塞ぐようにして前記ノズル基板に当接する封止基板と、を備えたマウントノズルを提供する。
【選択図】 図2
Description
ボール吸着確認ユニット6は、カメラ等の撮影装置を備えた画像認識手段を備えており、マウントヘッド4の下面側から撮影した画像を用いて、半田ボール16の吸着漏れと余分に吸着している半田ボール16のチェックを行う。吸着漏れがあった場合、駆動装置11がマウントヘッド4を再度ボール供給ユニット5へ戻し、吸着作業を再度実施させる。また、余分な半田ボール等が付着している場合、ボール排出ボックス7へと移動し排出する。
図1に示すマウント装置では、長期間にわたっての装置ランニングコストが、比較的低く抑制することができる。
5 ボール供給ユニット
6 ボール吸着確認ユニット
7 ボール排出ボックス
8 ウエハステージ
9,10 ウエハマガジン
11 駆動装置
16 半田ボール
19 真空吸引手段
20 エアシリンダ
21 連結管
24 筐体
42 ノズル基板
44 マスク基板
Claims (7)
- 複数の貫通孔を有するノズル基板と、
前記貫通孔の少なくとも1個と連通する吸気孔を有し、前記複数の貫通孔のうち前記吸気孔に連通しない他の貫通孔の開口部を塞ぐようにして前記ノズル基板に当接する封止基板と、
を備えたマウントノズル。 - 前記ノズル基板は、導電性セラミックスを主成分とすることを特徴とする請求項1記載のマウントノズル。
- 前記ノズル基板は、導電性ジルコニアを主成分とすることを特徴とする請求項1または2記載のマウントノズル。
- 前記封止基板は、金属を主成分とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のマウントノズル。
- 前記封止基板は、前記ノズル基板の貫通孔に挿入される凸部が設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のマウントノズル。
- 前記ノズル基板は、体積固有抵抗値が105 〜109 Ω・cmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のマウントノズル。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のマウントノズルと、前記ノズル基板の一方主面の側から気体を吸引する吸引手段と、を備えることを特徴とするマウント装置。
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2009
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