JP2010234576A - Multilayer tube - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer tube for super pure water piping capable of suppressing permeation of gas from the outside of the multilayer tube and suppressing multilayer tube constituent or the like from eluting to the super pure water circulating in the multilayer tube. <P>SOLUTION: The multilayer tube for super pure water piping is made of fluorine resin, and comprises: a first resin layer contacting the super pure water; and a second resin layer made of a gas impermeable resin and provided on the outer peripheral surface of the first resin layer. This suppresses permeation of the gas from the outside and also suppress the multilayer tube constituent or the like from eluting to the super pure water circulating in the multilayer tube. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、多層管に関し、特に、超純水製造装置内の配管、超純水製造装置からユースポイントへの超純水の輸送用配管等として用いることのできる多層管に関する。   The present invention relates to a multilayer pipe, and more particularly to a multilayer pipe that can be used as a pipe in an ultrapure water production apparatus, a pipe for transporting ultrapure water from the ultrapure water production apparatus to a use point, and the like.

従来、半導体デバイス等の半導体製造工程等において、ウェハ等の有機物汚染、パーティクル汚染、重金属汚染等の除去又は自然酸化膜の除去等を目的として、硫酸と過酸化水素水との混合液、アンモニア水と過酸化水素水との混合液、塩酸と過酸化水素水との混合液、又は希フッ酸水溶液等の洗浄薬液を用いて洗浄した後、これらの洗浄薬液を洗い流すために超純水で洗浄することが多い。   Conventionally, in a semiconductor manufacturing process such as a semiconductor device, a mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide solution, ammonia water for the purpose of removing organic matter contamination such as wafers, particle contamination, heavy metal contamination, or natural oxide film After cleaning with a cleaning solution such as a mixture of hydrogen peroxide and hydrochloric acid, a mixture of hydrochloric acid and hydrogen peroxide, or a dilute hydrofluoric acid solution, wash with ultrapure water to wash away these cleaning solutions. Often done.

このような洗浄薬液を用いた洗浄工程においては、超純水洗浄が不十分であると、洗浄薬液に由来する硫酸基、硝酸基等がウェハ表面等に残り、半導体製品における不良発生の原因となってしまうことから、超純水洗浄によって洗浄薬液が完全に除去されなければならない。   In such a cleaning process using a cleaning chemical solution, if the ultrapure water cleaning is insufficient, sulfate groups, nitric acid groups, etc. derived from the cleaning chemical solution remain on the wafer surface, etc., causing defects in semiconductor products. Therefore, the cleaning chemical must be completely removed by cleaning with ultrapure water.

このような洗浄水として用いられる超純水の要求水質は年々厳しくなり、現在、最先端の電子産業分野では、不純物濃度がｐｐｔレベルの超純水が要求されるようになってきている。特に、超純水中に溶存ガス（酸素、窒素等）が存在すると、当該超純水をウェハ洗浄等に用いることで、ウェハ表面に酸化膜を形成してしまう結果となり、好ましくない。   The required quality of ultrapure water used as such washing water is becoming stricter year by year, and at present, ultrapure water having an impurity concentration of ppt level is required in the state-of-the-art electronics industry. In particular, the presence of dissolved gas (oxygen, nitrogen, etc.) in the ultrapure water is not preferable because the use of the ultrapure water for wafer cleaning or the like results in the formation of an oxide film on the wafer surface.

超純水製造装置において、水中の溶存成分を極限まで除去した超純水を製造したとしても、超純水製造装置からユースポイントに配管を通じて超純水を輸送する際における配管外部からのガスの透過を無視することはできず、超純水の水質を維持する観点から大きな問題である。   Even if ultrapure water is produced by removing ultra-pure water from the ultrapure water production equipment to the limit, even if ultrapure water is transported from the ultrapure water production equipment to the point of use, Permeation cannot be ignored, which is a big problem from the viewpoint of maintaining the quality of ultrapure water.

そこで、従来、超純水製造装置からユースポイントに超純水を輸送するための配管として、配管外部からのガスの透過を遮断すべく、ステンレス鋼等の金属材料を用いた配管等が用いられている（特許文献１参照）。   Therefore, pipes using metal materials such as stainless steel have been used as pipes for transporting ultrapure water from the ultrapure water production equipment to the point of use. (See Patent Document 1).

特許第２８６２５４６号公報Japanese Patent No. 2862546

しかしながら、上記特許文献１に記載のステンレス鋼からなる配管を用いた場合、超純水中への金属イオン（例えば、Ｃｒイオン等）の溶出を防止することができず、所望の水質を有する超純水をユースポイントに供給することができないという問題がある。   However, when the pipe made of stainless steel described in Patent Document 1 is used, elution of metal ions (for example, Cr ions) into ultrapure water cannot be prevented, and ultrapure water having a desired water quality is obtained. There is a problem that pure water cannot be supplied to the use point.

このような問題を解決するために、化学的に不活性であり、超純水への溶出性の極めて低いフッ素樹脂からなる配管を用いることも考えられるが、多くのフッ素樹脂は、ガスの透過を抑制することができないという問題がある。   In order to solve such a problem, it is conceivable to use a pipe made of a fluororesin that is chemically inert and has extremely low elution into ultrapure water. There is a problem that it cannot be suppressed.

さらに、超純水製造装置には、装置の運転管理用の水質計測器（電気抵抗率計、有機炭素計、溶存酸素計、溶存窒素計、微粒子計等）が設置されるため、これらの計器類へのサンプル配管も必要となるが、電気抵抗率計、有機炭素計、微粒子計等へのサンプル配管としては、低溶出性、低汚染性等の観点からフッ素樹脂製配管を用い、溶存酸素計、溶存窒素計等へのサンプル配管としては、配管外部からの酸素、窒素等の透過を防ぐために金属製配管等を用いる必要がある。   Furthermore, the ultrapure water production equipment is equipped with water quality measuring instruments (electric resistivity meter, organic carbon meter, dissolved oxygen meter, dissolved nitrogen meter, fine particle meter, etc.) for operation management of these devices. Sample pipes to the surface are also required, but as sample pipes for electrical resistivity meters, organic carbon meters, fine particle meters, etc., fluorine resin pipes are used from the viewpoint of low elution and low contamination, and dissolved oxygen As a sample pipe to a meter, a dissolved nitrogen meter, etc., it is necessary to use a metal pipe or the like in order to prevent permeation of oxygen, nitrogen, etc. from the outside of the pipe.

しかしながら、これらの計器類へのサンプル配管として複数材料を用いるとなると、各サンプル配管に対応した継ぎ手類をそれぞれ用意する必要があるため、超純水製造装置を構成する部品点数が大幅に増加してしまい、作業管理が煩雑となるという問題がある。   However, when multiple materials are used as sample pipes for these instruments, it is necessary to prepare joints corresponding to each sample pipe, so the number of parts constituting the ultrapure water production apparatus greatly increases. Therefore, there is a problem that work management becomes complicated.

これらの問題点に鑑みて、本発明は、多層管外部からのガスの透過を抑制するとともに、多層管内を流通する超純水に多層管構成成分等が溶出するのを抑制することのできる超純水配管用の多層管を提供することを目的とする。   In view of these problems, the present invention suppresses the permeation of gas from the outside of the multilayer tube and suppresses the elution of the components of the multilayer tube into the ultrapure water flowing through the multilayer tube. An object is to provide a multilayer pipe for pure water piping.

上記目的を達成するために、本発明は、超純水の配管用の多層管であって、フッ素樹脂からなり、超純水に接触する第１の樹脂層と、ガス不透過性樹脂からなり、前記第１の樹脂層の外周面に設けられた第２の樹脂層とを備えることを特徴とする多層管を提供する（請求項１）。   In order to achieve the above object, the present invention is a multilayer pipe for piping of ultrapure water, comprising a fluororesin, a first resin layer in contact with ultrapure water, and a gas impermeable resin. And a second resin layer provided on an outer peripheral surface of the first resin layer. A multilayer pipe is provided (claim 1).

上記発明（請求項１）によれば、多層管内を流通する超純水に接触する第１の樹脂層がフッ素樹脂からなることで、第１の樹脂層から超純水に第１の樹脂層の構成成分が溶出するのを抑制することができるとともに、第２の樹脂層がガス不透過性樹脂からなることで、多層管の外部から超純水にガスが混入するのを抑制することができ、超純水の水質を維持したまま当該超純水を輸送することができる。   According to the above invention (invention 1), the first resin layer in contact with the ultrapure water flowing through the multilayer pipe is made of fluororesin, so that the first resin layer is changed from the first resin layer to the ultrapure water. The second resin layer is made of a gas-impermeable resin, thereby preventing gas from being mixed into the ultrapure water from the outside of the multilayer tube. The ultrapure water can be transported while maintaining the quality of the ultrapure water.

上記発明（請求項１）においては、前記ガス不透過性樹脂が、エチレン−ビニルアルコール共重合体又はポリビニルアルコールであるのが好ましい（請求項２）。エチレン−ビニルアルコール共重合体又はポリビニルアルコールは、優れたガス不透過性を有するため、かかる発明（請求項２）によれば、多層管の外部から超純水にガスが混入するのをより抑制することができる。   In the said invention (invention 1), it is preferable that the said gas-impermeable resin is an ethylene-vinyl alcohol copolymer or polyvinyl alcohol (invention 2). Since ethylene-vinyl alcohol copolymer or polyvinyl alcohol has excellent gas impermeability, according to this invention (invention 2), it is possible to further suppress the mixing of gas into the ultrapure water from the outside of the multilayer tube. can do.

上記発明（請求項１，２）においては、前記第２の樹脂層の厚さが、１０〜１００μｍであるのが好ましい（請求項３）。かかる発明（請求項３）のように第２の樹脂層の厚さが上記範囲内であることで、多層管の外部から超純水にガスが混入するのを抑制しつつ、多層管の柔軟性を確保することができるため、配管作業を容易にすることができるとともに、超純水製造装置の立上げ後、運転管理状態に移行した後の設備改善、管路改造等をも容易に行うことができる。   In the said invention (invention 1, 2), it is preferable that the thickness of the said 2nd resin layer is 10-100 micrometers (invention 3). Since the thickness of the second resin layer is within the above range as in this invention (invention 3), it is possible to prevent the gas from entering the ultrapure water from the outside of the multilayer tube and Therefore, after starting up the ultrapure water production system, the equipment can be improved and the pipes can be easily remodeled. be able to.

上記発明（請求項１〜３）においては、前記フッ素樹脂が、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、エチレン−パーフルオロエチレン−プロペン共重合体及びポリテトラフルオロエチレンからなる群より選ばれる少なくとも１種であるのが好ましい（請求項４）。   In the said invention (Invention 1-3), the said fluororesin is tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, tetrafluoroethylene-ethylene copolymer, ethylene-perfluoroethylene-propene copolymer, and poly It is preferably at least one selected from the group consisting of tetrafluoroethylene (claim 4).

テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、エチレン−パーフルオロエチレン−プロペン共重合体又はポリテトラフルオロエチレンは、超純水への不溶出性に優れるため、上記発明（請求項４）によれば、第１の樹脂層から超純水への溶出をより抑制することができ、超純水の水質に影響を与えることがない。   Tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, tetrafluoroethylene-ethylene copolymer, ethylene-perfluoroethylene-propene copolymer or polytetrafluoroethylene is excellent in non-eluting property to ultrapure water, According to the said invention (invention 4), the elution from a 1st resin layer to ultrapure water can be suppressed more, and the quality of ultrapure water is not affected.

上記発明（請求項１〜４）においては、前記第２の樹脂層の外周面に、前記第２の樹脂層を保護する第３の樹脂層が設けられているのが好ましい（請求項５）。かかる発明（請求項５）によれば、第２の樹脂層を保護する第３の樹脂層が設けられていることで、長期間にわたり第２の樹脂層のガス不透過性を確保することができる。   In the said invention (invention 1-4), it is preferable that the 3rd resin layer which protects the said 2nd resin layer is provided in the outer peripheral surface of the said 2nd resin layer (invention 5). . According to this invention (invention 5), by providing the third resin layer for protecting the second resin layer, it is possible to ensure the gas impermeability of the second resin layer over a long period of time. it can.

本発明によれば、外部からのガスの透過を抑制するとともに、管内を流通する超純水への溶出をも抑制することのできる超純水配管用の管材料を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while suppressing the permeation | transmission of the gas from the outside, the pipe material for ultrapure water piping which can also suppress the elution to the ultrapure water which distribute | circulates the inside of a pipe | tube can be provided.

本発明の一実施形態に係る多層管を示す部分破断斜視図である。It is a partial fracture perspective view showing a multilayer tube concerning one embodiment of the present invention. 実施例において用いた溶存酸素濃度評価試験装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the dissolved oxygen concentration evaluation test apparatus used in the Example.

以下、本発明の超純水配管用の多層管の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る超純水製造装置用多層管を示す一部破断斜視図である。   Hereinafter, an embodiment of a multilayer pipe for ultrapure water piping according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a partially broken perspective view showing a multilayer pipe for an ultrapure water production apparatus according to this embodiment.

図１に示すように、本実施形態に係る超純水製造装置用多層管１は、径方向断面略円形状であって、超純水に接触する第１の樹脂層２と、第１の樹脂層２の外表面に設けられた第２の樹脂層３と、第２の樹脂層３の外表面に設けられた第３の樹脂層４とを備える。   As shown in FIG. 1, the multilayer pipe 1 for an ultrapure water production apparatus according to the present embodiment has a substantially circular shape in cross section in the radial direction, and includes a first resin layer 2 in contact with ultrapure water, A second resin layer 3 provided on the outer surface of the resin layer 2 and a third resin layer 4 provided on the outer surface of the second resin layer 3 are provided.

第１の樹脂層２は、多層管１を流通する超純水に直接的に接触し得るものであるため、超純水への溶出性の低い材料からなるものである。具体的には、化学的に不活性なフッ素樹脂からなるものである。   Since the first resin layer 2 can be in direct contact with the ultrapure water flowing through the multilayer tube 1, the first resin layer 2 is made of a material having a low elution property to ultrapure water. Specifically, it is made of a chemically inert fluororesin.

このようなフッ素樹脂としては、例えば、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−パーフルオロエチレン−プロペン共重合体（ＥＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン−ビニリデンフルオライド共重合体（ＴＨＶ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等が挙げられ、これらのうち、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＥＦＥＰ及びＰＴＦＥは、超純水への溶出性が特に低く、また、ある程度の柔軟性を有していることで配管作業を容易に行うことができるため好ましい。   As such a fluororesin, for example, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), polyvinylidene fluoride (PVDF), tetrafluoroethylene-hexa Fluoropropylene copolymer (FEP), ethylene-perfluoroethylene-propene copolymer (EFEP), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene-vinylidene fluoride copolymer (THV), polytetrafluoroethylene (PTFE), etc. Among them, PFA, ETFE, EFEP, and PTFE are particularly low in elution into ultrapure water, and because they have a certain degree of flexibility, piping work can be easily performed. preferable.

第１の樹脂層２の厚さ（肉厚）は、特に限定されるものではないが、０．２ｍｍ以上であるのが好ましく、０．２〜０．５ｍｍであるのが特に好ましい。当該厚さが０．２ｍｍ未満であると、多層管の製造時、輸送時、作業時等に亀裂等のキズが生じるおそれがあり、第１の樹脂層２に亀裂が生じると、多層管内を流通している超純水が第２の樹脂層３に直接触れることになり、第２の樹脂層３の構成成分が超純水中に溶出してしまうおそれがある。さらに、後述する第２の樹脂層３の材料として好適なエチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコールは、湿度（水分濃度）の上昇とともにガス透過性が増加する特性があるため、第１の樹脂層２の亀裂は、第２の樹脂層３の湿度上昇を招き、ガス透過性の増加（超純水の溶存ガス濃度の増加）を引き起こすおそれがある。   Although the thickness (wall thickness) of the 1st resin layer 2 is not specifically limited, It is preferable that it is 0.2 mm or more, and it is especially preferable that it is 0.2-0.5 mm. If the thickness is less than 0.2 mm, there is a risk of scratches such as cracks during manufacture, transportation, and work of the multilayer pipe. If cracks occur in the first resin layer 2, The circulating ultrapure water comes into direct contact with the second resin layer 3, and the constituent components of the second resin layer 3 may be eluted into the ultrapure water. Furthermore, an ethylene-vinyl alcohol copolymer, polyvinyl alcohol, which is suitable as a material for the second resin layer 3 described later, has a characteristic that gas permeability increases with an increase in humidity (moisture concentration). The crack in the layer 2 causes an increase in the humidity of the second resin layer 3 and may cause an increase in gas permeability (an increase in dissolved gas concentration of ultrapure water).

第２の樹脂層３は、多層管１の外部からのガスの透過を遮断することができ、当該多層管１内を流通する超純水へのガスの溶解を防止することのできるものとして構成される。   The second resin layer 3 is configured to be able to block the permeation of gas from the outside of the multilayer tube 1 and prevent the gas from dissolving in ultrapure water flowing through the multilayer tube 1. Is done.

このような第２の樹脂層３を構成する材料としては、例えば、２５℃での酸素透過係数が１．０×１０−１５ｃｍ３・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・Ｐａ以下のものが好ましく、特に１．０×１０−１７ｃｍ３・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・Ｐａ以下のものが好ましい。 As a material constituting the second resin layer 3, for example, an oxygen permeability coefficient at 25 ° C. of 1.0 × 10 −15 cm 3 · cm 2 / s · Pa or less is preferable, In particular, those of 1.0 × 10 −17 cm 3 · cm / cm 2 · s · Pa or less are preferable.

具体的には、第２の樹脂層３を構成する材料としては、例えば、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル等が挙げられる。   Specifically, examples of the material constituting the second resin layer 3 include an ethylene-vinyl alcohol copolymer, polyvinyl alcohol, and polyacrylonitrile.

これらのうち、エチレン−ビニルアルコール共重合体又はポリビニルアルコールを、第２の樹脂層３を構成する材料として用いるのが好ましい。エチレン−ビニルアルコール共重合体及びポリビニルアルコールは、特に優れたガス不透過性（酸素透過係数（２５℃）：１．０×１０−１７ｃｍ３・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・Ｐａ以下）を有する材料であるため、多層管１の外部から超純水中へのガスの透過・溶解を効果的に抑制することができるとともに、第２の樹脂層３の厚さ（肉厚）を薄くすることができ、多層管１の柔軟性をより確保することができる。 Among these, it is preferable to use an ethylene-vinyl alcohol copolymer or polyvinyl alcohol as a material constituting the second resin layer 3. Ethylene-vinyl alcohol copolymer and polyvinyl alcohol have particularly excellent gas impermeability (oxygen permeability (25 ° C.): 1.0 × 10 −17 cm 3 · cm 2 · s · Pa or less). Since it is a material, it is possible to effectively suppress the permeation and dissolution of gas from the outside of the multilayer tube 1 into the ultrapure water, and to reduce the thickness (wall thickness) of the second resin layer 3. The flexibility of the multilayer tube 1 can be further ensured.

第２の樹脂層３の厚さ（肉厚）は、第２の樹脂層３のガス不透過性を確保し得る厚さであれば特に限定されるものではないが、１０〜１００μｍであるのが好ましく、２０〜５０μｍであるのが特に好ましい。当該厚さが１０μｍ未満であると、十分なガス不透過性能を得ることが困難になるおそれがあり、１００μｍを超えると、多層管１の柔軟性を確保することができず、配管作業が困難になるおそれがある。   The thickness (wall thickness) of the second resin layer 3 is not particularly limited as long as the gas impermeability of the second resin layer 3 can be secured, but is 10 to 100 μm. Is preferable, and it is especially preferable that it is 20-50 micrometers. If the thickness is less than 10 μm, it may be difficult to obtain sufficient gas impermeability. If the thickness exceeds 100 μm, the flexibility of the multilayer pipe 1 cannot be ensured, and piping work is difficult. There is a risk of becoming.

第３の樹脂層４は、第２の樹脂層３の外表面に設けられ、第２の樹脂層３に対する衝撃等により第２の樹脂層３の損傷等を防止するためのものであり、これにより、第２の樹脂層３の有するガス不透過性を長期間にわたって維持することができる。   The third resin layer 4 is provided on the outer surface of the second resin layer 3 and is for preventing damage to the second resin layer 3 due to an impact on the second resin layer 3. Thus, the gas impermeability possessed by the second resin layer 3 can be maintained over a long period of time.

第３の樹脂層４を構成する材料としては、特に限定されるものではないが、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、各種エラストマー等が挙げられる。   Although it does not specifically limit as a material which comprises the 3rd resin layer 4, For example, polyolefin, such as polyethylene and a polypropylene, polyvinyl chloride, polyurethane, various elastomers, etc. are mentioned.

第３の樹脂層の厚さ（肉厚）は、第２の樹脂層３の保護層としての役割を果たすことができ、かつ多層管１の柔軟性を確保し得る厚さであれば特に限定されるものではないが、例えば、０．５〜２．０ｍｍであればよい。   The thickness (thickness) of the third resin layer is not particularly limited as long as it can serve as a protective layer for the second resin layer 3 and can ensure the flexibility of the multilayer tube 1. For example, it may be 0.5 to 2.0 mm.

なお、第３の樹脂層４の表面には、着色、印刷等が施されていてもよい。これにより、多層管１を意匠的に優れたものとすることができる。   The surface of the third resin layer 4 may be colored or printed. Thereby, the multilayer tube 1 can be made excellent in design.

上述したような構成を有する多層管１は、各層（第１の樹脂層２、第２の樹脂層３、第３の樹脂層４）を構成する樹脂を、各層の厚さが所定の厚さになるように共押出成形することにより、一体的に製造することができる。   In the multilayer tube 1 having the above-described configuration, the resin constituting each layer (the first resin layer 2, the second resin layer 3, the third resin layer 4) is made of a resin having a predetermined thickness. By co-extrusion molding so as to be, it can be manufactured integrally.

本実施形態に係る多層管１は、超純水製造装置内の配管（計器類へのサンプル配管を含む）、超純水製造装置からユースポイントに超純水を輸送するための配管、ユースポイントからの超純水返送用配管等として用いることができる。   The multilayer pipe 1 according to the present embodiment includes piping in an ultrapure water production apparatus (including sample pipes to instruments), piping for transporting ultrapure water from the ultrapure water production apparatus to a use point, and use points. It can be used as a pipe for returning ultrapure water from

本実施形態に係る多層管１は、多層管１内を流通する超純水に接触する第１の樹脂層２としてフッ素樹脂を用いることで、超純水へのイオン成分等の溶出を抑制することができるとともに、第１の樹脂層２の外周面に設けられる第２の樹脂層３としてガス不透過性樹脂を用いることで、多層管１外部からのガスの透過を防止し、当該ガスの超純水への溶解を防止することができる。これにより、多層管１内を流通する超純水の水質を維持することができ、ユースポイント等に所定の水質の超純水を供給することができる。   The multilayer tube 1 according to the present embodiment uses the fluororesin as the first resin layer 2 in contact with the ultrapure water that circulates in the multilayer tube 1, thereby suppressing elution of ion components and the like into the ultrapure water. In addition, by using a gas impermeable resin as the second resin layer 3 provided on the outer peripheral surface of the first resin layer 2, gas permeation from the outside of the multilayer tube 1 can be prevented, and the gas Dissolution in ultrapure water can be prevented. Thereby, the quality of the ultrapure water flowing through the multilayer pipe 1 can be maintained, and ultrapure water having a predetermined quality can be supplied to the use point or the like.

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。   The embodiment described above is described for facilitating understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.

上記実施形態において、多層管１は、第１の樹脂層２、第２の樹脂層３及び第３の樹脂層４からなる３層構造を有するものであるが、少なくとも第１の樹脂層２及び第２の樹脂層３を備える限り特に限定されるものではなく、第１の樹脂層２及び第２の樹脂層３のみからなるものであってもよいし、さらに他の樹脂層を備え、４層以上の構成を有するものであってもよい。他の樹脂層を備える場合、当該他の樹脂層は第１の樹脂層の外側に設けられるものである限り、第２の樹脂層の内側に設けられていてもよいし、外側に設けられていてもよい。   In the above embodiment, the multilayer tube 1 has a three-layer structure including the first resin layer 2, the second resin layer 3, and the third resin layer 4, but at least the first resin layer 2 and The second resin layer 3 is not particularly limited as long as the second resin layer 3 is provided, and may include only the first resin layer 2 and the second resin layer 3, and may further include other resin layers. You may have a structure more than a layer. When the other resin layer is provided, the other resin layer may be provided inside the second resin layer or provided outside as long as it is provided outside the first resin layer. May be.

以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明は、下記の実施例に何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited to the following Example at all.

〔実施例１〕
第１の樹脂層２としてテトラフルオロエチレン−エチレン共重合体を、第２の樹脂層３としてエチレン−ビニルアルコール共重合体（商品名：エバール，クラレ社製）を、第３の樹脂層４としてポリエチレンを使用し、多層管状ダイを使用して共押出成形した。押し出した多層チューブを水冷して、図１に示す構造を有する多層管１を作製した。なお、第１の樹脂層の厚さ（肉厚）が０．３ｍｍ、第２の樹脂層の厚さ（肉厚）が３０μｍ、第３の樹脂層の厚さ（肉厚）が０．７ｍｍ、内径が４ｍｍ、外径が６ｍｍ、長手方向長さが２０ｍとなるように多層管１を作製した。 [Example 1]
Tetrafluoroethylene-ethylene copolymer as the first resin layer 2, ethylene-vinyl alcohol copolymer (trade name: Eval, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) as the second resin layer 3, and the third resin layer 4 as Polyethylene was used and co-extruded using a multilayer tubular die. The extruded multilayer tube was water-cooled to produce a multilayer tube 1 having the structure shown in FIG. The thickness (wall thickness) of the first resin layer is 0.3 mm, the thickness (wall thickness) of the second resin layer is 30 μm, and the thickness (wall thickness) of the third resin layer is 0.7 mm. The multilayer tube 1 was prepared so that the inner diameter was 4 mm, the outer diameter was 6 mm, and the length in the longitudinal direction was 20 m.

図２に示すように、評価用チューブの超純水入口側及び超純水出口側に溶存酸素（ＤＯ）計を設けてなる、超純水中の溶存酸素濃度の評価試験装置を用いて、上述のようにして得られた多層管１（実施例１）について、超純水の多層管１通過前（入口）及び通過後（出口）の超純水中の溶存酸素（ＤＯ）濃度（μｇ／Ｌ）を測定した。
結果を表１に示す。 As shown in FIG. 2, using an evaluation test apparatus for dissolved oxygen concentration in ultrapure water, in which a dissolved oxygen (DO) meter is provided on the ultrapure water inlet side and ultrapure water outlet side of the evaluation tube, About the multilayer pipe 1 (Example 1) obtained as described above, the dissolved oxygen (DO) concentration (μg) in the ultrapure water before passing (inlet) and after passing (outlet) the multilayer pipe 1 of ultrapure water. / L) was measured.
The results are shown in Table 1.

〔比較例１，２〕
市販のＰＦＡチューブ（商品名：クリーンチューブＴＡ，ニッタ・ムアー社製，外径：６ｍｍ，内径：４ｍｍ，肉厚：１ｍｍ，長手方向長さ：２ｍ，比較例１）、及び市販のナイロンチューブ（商品名：ナイロンチューブＮ２，ニッタ・ムアー社製，外径：６ｍｍ，内径：４ｍｍ，肉厚：１ｍｍ，長手方向長さ：２ｍ，比較例２）について、実施例１と同様にして溶存酸素（ＤＯ）濃度（μｇ／Ｌ）を測定した。
結果を表１にあわせて示す。 [Comparative Examples 1 and 2]
Commercially available PFA tube (trade name: Clean tube TA, manufactured by Nitta Muhr, outer diameter: 6 mm, inner diameter: 4 mm, wall thickness: 1 mm, longitudinal length: 2 m, comparative example 1), and commercially available nylon tube ( Product name: Nylon tube N2, manufactured by Nitta Moore, outer diameter: 6 mm, inner diameter: 4 mm, wall thickness: 1 mm, longitudinal length: 2 m, Comparative Example 2) The DO) concentration (μg / L) was measured.
The results are shown in Table 1.

Figure 2010234576
Figure 2010234576

表１に示すように、ガス透過性が低いとされているナイロンチューブ（比較例２）であっても、チューブ１ｍあたり０．２５μｇ／Ｌの溶存酸素濃度の増加を避けることができず、またガス透過性の劣るＰＦＡチューブ（比較例１）では、チューブ１ｍあたり１．１μｇ／Ｌの溶存酸素濃度の増加が認められた。   As shown in Table 1, an increase in the dissolved oxygen concentration of 0.25 μg / L per 1 m of the tube cannot be avoided even with a nylon tube (Comparative Example 2) that is considered to have low gas permeability. In the PFA tube having poor gas permeability (Comparative Example 1), an increase in dissolved oxygen concentration of 1.1 μg / L per 1 m of the tube was observed.

一方、実施例１の多層管１では、２０ｍの多層管１を通過する間であっても、溶存酸素濃度の増加分は０．１μｇ／Ｌ未満と極めて低い濃度であり、多層管１の溶存酸素濃度増加速度は、０．０１μｇ／Ｌ・ｍ未満であった。このことから、実施例１の多層管１であれば、多層管１の外部からのガスの透過を効果的に抑制し得ることが確認された。   On the other hand, in the multilayer tube 1 of Example 1, even when it passes through the 20-m multilayer tube 1, the increase in dissolved oxygen concentration is an extremely low concentration of less than 0.1 μg / L. The rate of increase in oxygen concentration was less than 0.01 μg / L · m. From this, it was confirmed that the multilayer tube 1 of Example 1 can effectively suppress the permeation of gas from the outside of the multilayer tube 1.

１…多層管
２…第１の樹脂層
３…第２の樹脂層
４…第３の樹脂層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multi-layer pipe 2 ... 1st resin layer 3 ... 2nd resin layer 4 ... 3rd resin layer

Claims (5)

超純水の配管用の多層管であって、
フッ素樹脂からなり、超純水に接触する第１の樹脂層と、
ガス不透過性樹脂からなり、前記第１の樹脂層の外周面に設けられた第２の樹脂層と
を備えることを特徴とする多層管。 A multilayer pipe for ultrapure water piping,
A first resin layer made of fluororesin and in contact with ultrapure water;
A multilayer pipe comprising a second resin layer made of a gas impermeable resin and provided on an outer peripheral surface of the first resin layer. 前記ガス不透過性樹脂が、エチレン−ビニルアルコール共重合体又はポリビニルアルコールであることを特徴とする請求項１に記載の多層管。   The multilayer pipe according to claim 1, wherein the gas-impermeable resin is an ethylene-vinyl alcohol copolymer or polyvinyl alcohol. 前記第２の樹脂層の厚さが、１０〜１００μｍであることを特徴とする請求項１又は２に記載の多層管。   The multilayer pipe according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the second resin layer is 10 to 100 µm. 前記フッ素樹脂が、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、エチレン−パーフルオロエチレン−プロペン共重合体及びポリテトラフルオロエチレンからなる群より選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の多層管。   The fluororesin is at least one selected from the group consisting of a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, a tetrafluoroethylene-ethylene copolymer, an ethylene-perfluoroethylene-propene copolymer, and a polytetrafluoroethylene. The multilayer pipe according to any one of claims 1 to 3, wherein 前記第２の樹脂層の外周面に、前記第２の樹脂層を保護する第３の樹脂層が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の多層管。   The multilayer pipe according to any one of claims 1 to 4, wherein a third resin layer for protecting the second resin layer is provided on an outer peripheral surface of the second resin layer.
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