JP2010232974A - 圧電発振器 - Google Patents
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Abstract
【課題】実装稼動中においても圧電振動子のリークを検出できる圧電発振器を提供すること。
【解決手段】圧電発振器1は、圧電振動子100、発振回路10、判定部20とを含む。圧電振動子100は、圧電振動素子が気密封止されている。発振回路10は、誘電性リアクタンスとして動作する圧電振動子100に発振動作を行わせる。判定部20は、圧電振動子100に流れる電流に基づいて圧電振動子100の気密封止状態の判定を行う。
【選択図】図1
【解決手段】圧電発振器1は、圧電振動子100、発振回路10、判定部20とを含む。圧電振動子100は、圧電振動素子が気密封止されている。発振回路10は、誘電性リアクタンスとして動作する圧電振動子100に発振動作を行わせる。判定部20は、圧電振動子100に流れる電流に基づいて圧電振動子100の気密封止状態の判定を行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電発振器等に関する。
水晶などの圧電材料を使用した圧電振動子用のパッケージ(以下「パッケージ」という)は、周囲の温度・湿度変化や、微細な異物の圧電振動子素板への付着によって圧電振動子の振動が抑制されるおそれを無くすために、パッケージ内部に圧電振動素子が搭載された後に気密封止される。このため、従来から圧電振動子を収納した後にパッケージの気密封止が確実であるか否かの気密検査として、リーク検査が行われていた。
リーク検査は、リーク量に応じて2つに大別される。
例えば、10-4atm.cc/sec以上の大きなリークについては、パッケージを湯の中に沈めて内部を膨張させ、気密封止が十分でない場合に膨張した内部空気が気密封止の不完全な部分から気泡となって漏れ出るのを目視で確認する大リーク検査法があった。
また、10-4〜10-9atm.cc/secの小さなリークについては、気泡の発生には至らないような微小な穴を検査する小リーク検査法があった。小リーク検査法には、ヘリウムガスを利用したHeリーク検査法がある。Heリーク検査法は、大リーク検査が終了した後に行われ、ヘリウムガスが充填された検査容器内でパッケージを加圧して微小穴からパッケージ内にヘリウムガスを圧入し、次いで検査容器内を減圧してパッケージからリークされるヘリウムガスを測定することで、微小穴の存在を確認するものである。
しかしながら、上記従来の検査方法にあっては、大リーク検査法の場合は、目視による気泡の確認のため信頼性に欠けるという問題があり、Heリーク検査法の場合は、一旦パッケージ内をヘリウムガスによって加圧し、その後減圧しながらリークテストを行うものであるため、検査時間が掛かるという問題があった。さらに、上記両方の検査法は互いに補完し合っているために、一つのパッケージについて大リーク検査とHeリーク検査の両方を行う必要があった。そのため、検査工数が増加し、検査が煩雑になるといった問題もあった。
そこで、特許文献1に示すように、気密封止された圧電振動子のインピーダンスが、圧電振動子周辺の気圧変化に伴って変化するという電気特性を利用し、圧電振動子のインピーダンスの変化によりリーク検査する方法が提案されている。また、特許文献2に示すように、圧電振動子を内蔵したモジュールの、大気中の励振周波数とリークを促進する気体中に所定時間置いた後の励振周波数との変化によりリーク検査する方法も提案されている。
上記各特許文献に示すリーク検査法によれば、圧電振動子の出荷検査時に専用の検査装置でリークの検出可能なものは不良品として排除できる。しかし、小リークの中でも検出の難しいリークや、圧電振動子の実装稼動中に後発的に何らかの要因(過剰な衝撃や応力など)により発生したリークに対してはリークの検出ができないという問題がある。
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、圧電振動子のリークをより確実に検出できる圧電発振器を提供することができる。
(1)本発明に係る圧電発振器は、圧電振動素子が気密封止された圧電振動子と、前記圧電振動子に発振動作を行わせる発振回路と、前記圧電振動子に流れる電流に基づいて前記圧電振動子の前記気密封止状態の判定を行う判定部と、を含むことを特徴とする。
圧電振動素子は、例えば、水晶、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、四ほう酸リチウム(Li2B4O7:LBO)等の単結晶材料や、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)、ダイヤモンド薄膜等の圧電性薄膜、圧電性セラミックス材料などを用いて製造することができる。
発振回路は、圧電振動子に発振動作を行わせる。LC発振器のコイルの代わりに圧電振動子を用いた発振器を構成すると、周波数精度の高い交流信号を得ることができる。
判定部は、圧電振動子に流れる電流に基づいて圧電振動子の気密封止状態を判定する。例えば、電流の変化が所定の基準値を超えた場合には、判定結果のH/Lを切り替えるようにしてもよい。
以上のように、本発明の圧電発振器は、圧電振動素子が気密封止された圧電振動子と、圧電振動子に発振動作を行わせる発振回路と、圧電振動子に流れる電流に基づいて圧電振動子の気密状態が保たれているかの判定を行う判定部により、出荷検査時に不良品として排除できなかった圧電振動子のリークや実装稼動中の圧電振動子のリークを検出することができる。
出荷検査時に不良品として排除できなかった圧電振動子のリークとしては、例えば、小リークの中でもさらに小さいリークがある。本発明の圧電発振器は、圧電振動子に流れる電流に基づいて圧電振動子の気密封止状態を判定する判定部を含むことにより、出荷後もリーク検出をすることができる。よって、出荷検査時に不良品として排除できなかったものであっても、出荷後に不良品として排除することができる。
実装稼動中の圧電振動子のリークとしては、例えば、圧電振動子の経年劣化によるリークがある。
(2)この圧電発振器において、前記判定部は、前記電流の大きさに応じて変化する前記圧電振動子の出力電圧に基づいて前記判定を行うようにしてもよい。
(3)この圧電発振器において、前記判定部は、前記出力電圧の大きさに応じた判定電圧を出力する判定電圧生成部と、前記判定電圧に基づいて前記判定を行う電圧判定部と、を含むようにしてもよい。
(4)この圧電発振器において、前記判定電圧生成部は、前記出力電圧の交流成分を増幅して前記判定電圧を生成するようにしてもよい。
(5)この圧電発振器において、前記電圧判定部は、前記判定電圧の所定の期間における変化量に基づいて前記判定を行うようにしてもよい。
(6)この圧電発振器において、前記電圧判定部は、前記判定電圧を所定の周期でサンプルホールドする第1のサンプルホールド回路と、前記判定電圧を前記所定の周期でかつ、前記第1のサンプルホールド回路とは前記所定の期間異なるタイミングでサンプルホールドする第2のサンプルホールド回路と、前記第1のサンプルホールド回路の出力と前記第2のサンプルホールド回路の出力の差動電圧を前記変化量として出力する差動回路と、を含み、前記差動電圧と基準電圧とを比較して、比較結果に基づいて前記判定結果を出力するようにしてもよい。
(7)この圧電発振器において、前記電圧判定部は、前記判定電圧をデジタル信号である判定電圧情報に変換するA/D変換部と、前記判定電圧情報を記憶する記憶部と、前記A/D変換部の変換出力する判定電圧情報と前記記憶部に記憶された前記所定の期間前の前記判定電圧情報との前記変化量を求め、前記判定を行う判定演算部と、を含むようにしてもよい。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
図1は、圧電発振器の構成について説明するための図である。
本実施形態の圧電発振器1は、圧電振動子100、発振回路10、判定部20とを含んで構成されている。本実施例では、圧電振動子100、発振回路10、判定部20は、ワンチップで構成されている。
圧電振動子100のパッケージの例を図8の断面図により説明する。パッケージ1000に、両主面に電極110a、110bが形成された圧電振動素子120が格納されている。パッケージ1000は、上面が開口しているセラミック製のケース体170と、金属製の蓋体150とから構成されている。ケース体170と蓋体150とは、図示しないシール材を介してシーム溶接され、その内部は真空状態となっている。圧電振動素子120は、圧電振動子100のパッケージ内部の空間に伸び出した横向きの姿勢で圧電振動素子120の一面側に形成された電極110bが導電性接着剤160によって台座190の表面に形成された導電路180部分に固定されている。
このようにして構成された圧電振動子100の発振動作は、ケース体170の両側面に設けられた外部端子130、140、導電路180及び導電性接着剤160を通って圧電振動素子120の両主面に形成されている電極110a、110bに電圧が印加されることで起こる。
発振回路10は、誘電性リアクタンスとして動作する圧電振動子100に発振動作を行わせる。圧電振動子100の出力電圧Vxは、正弦波で出力される。
判定部20は、圧電振動子100に流れる電流Ixに基づいて圧電振動子100の気密封止状態の判定を行う。
判定結果は、圧電振動子100の故障(異常発振、発振停止など)の予測を行うアラーム信号として出力してもよい。
本実施形態の圧電発振器1では、判定部20は、圧電振動子100に流れる電流Ixに応じて変化する圧電振動子100の出力電圧Vxに基づいて気密封止状態の判定を行うように構成されている。
以下に本実施形態の圧電発振器1におけるリーク検出の原理をより詳細に説明する。
圧電振動子100は等価抵抗に置き換えられる。発振回路10により発振が開始すると、圧電振動子100の出力側100aからグラウンド方向へ電流Ixが流れる。この圧電振動子100に流れる電流Ixは、圧電振動子100の等価抵抗の大きさに反比例して小さくなる。
また、圧電振動子100の等価抵抗は真空中より空気中では空気抵抗の影響で1−2桁その値が大きくなることが知られている。圧電振動子100の内部は一般的には真空にされているため、リークが生じた場合は、圧電振動子100の等価抵抗が大きくなる方向に変化する。従って、本実施形態の圧電発振器1において、圧電振動子100に流れる電流Ixの変化を監視することにより圧電振動子100の気密性が保たれているか監視することができる。
なお、この圧電発振器1の出力電圧Voに基づいて判定を行うとすると、圧電発振器1の出力電圧Voは飽和しているので、圧電振動子100に流れる電流IxがμA単位で変化しても圧電発振器1の出力は変化しない。しかし、圧電振動子100に流れる電流Ixが変化すると、圧電振動子100の出力電圧Vxは変化する。
従って、判定部20は、圧電振動子100の出力電圧Vxに基づいて、圧電振動子100の気密性が保たれているかの判定をすることができる。
ここで、圧電振動子100に接続された容量素子130の容量をC1とすると、圧電振動子100の出力電圧はVx=Ix×(1/ωC1)として観察される。
よって、判定部20は、Vxの絶対値の変化から、又は、一定間隔でVxを観察し、その変化の傾斜を求めることにより小リークの度合いを求め、判定結果として出力することができる。
判定部20は、判定電圧生成部30と電圧判定部40とを含んで構成してもよい。
判定電圧生成部30は、圧電振動子100の出力電圧Vxの大きさに応じた判定電圧を出力する。
電圧判定部40は、判定電圧生成部30が出力する判定電圧に基づいて圧電振動子100の気密性が保たれているかの判定をする。
図2には、本実施形態の圧電発振器1のより具体的な構成例である。
発振回路10は、増幅器140と圧電振動子100とフィードバック抵抗150とが並列に接続され、増幅器140の出力を誘電性リアクタンスとして動作する圧電振動子100の入力とフィードバック抵抗150とに接続している。さらに、発振回路10は、容量素子110と、容量素子130とにより、コルピッツ型発振回路を構成し、発振動作を行なう。
圧電発振器1の出力は、矩形波で出力される。
判定電圧生成部30は、オペアンプ330と容量素子300とを含んで構成してもよい。容量素子300は、圧電振動子100の出力の直流成分をカットする。従って、ボルテージフォロア回路で構成されるオペアンプ330には圧電振動子100の出力電圧Vxの交流成分が入力される。よって、判定電圧生成部30は、圧電振動子100の出力電圧Vxに含まれる交流成分を抽出し、判定電圧として出力する。ここで、上記のように、圧電振動子100の出力側に入力インピーダンスが大きいオペアンプ330を接続することにより、発振回路10、圧電振動子100と、電圧判定部40との干渉を防ぐことができる。よって、電圧判定部40は、圧電振動子100の発振状態に影響を与えずにより正確に気密状態の判定を行うことができる。
電圧判定部40は、整流回路42とコンパレーター44とを含んで構成してもよい。
整流回路42は、判定電圧として出力された交流電圧を直流電圧に変換する回路である。また、整流回路42は、半波整流回路や全波整流回路の出力に含まれる脈流を平滑化する平滑回路を含んでもよい。
コンパレーター44は、整流回路42の出力と基準電圧とを比較し、比較結果を出力する。
以上のように、本実施形態の温度補償型圧電発振器1によれば、圧電振動子100に流れる電流Ixの大きさに応じて変化する圧電振動子100の出力電圧Vxの大きさに応じた判定電圧を生成し、判定電圧に基づいて、圧電振動子100の気密封止状態の判定を行い、精度の高い判定結果を出力することができる。
特に、本実施形態の圧電発振器1は、圧電振動子100に流れる電流Ixに基づいて圧電振動子100の気密封止状態の判定を行う判定部20を含むワンチップ構成となっているため、出荷後もリーク検出をすることができる。従って、出荷検査時に不良品として排除できなかった圧電振動子の小さなリークを出荷後に不良品として排除することができ、さらに、実装稼動中の圧電振動子に後発的に発生したリークを検出することができる。
図3は、本実施形態の圧電発振器1の他の構成例である。図1と同様の構成については同一符号を付してその説明を省略する。
発振回路10は、複数の増幅器140a、140b、140cと、複数の増幅器140a、140b、140cにそれぞれ並列に接続された複数のフィードバック抵抗150a、150b、150cを含んで構成してもよい。
以上のように、複数の増幅器140a、140b、140cと複数のフィードバック抵抗150a、150b、150cにより、発振回路10のゲインを高めることができる。
また、圧電振動子100の出力側100aにハイインピーダンスのオペアンプ330を用いることにより、発振回路10の発振ループに影響しないように圧電振動子100の出力電圧Vxを後述の増幅器310に入力することができる。
また、オペアンプ330の入力に抵抗320を挿入し、オペアンプ330の入力インピーダンスがより大きくすることにより、さらに発振回路10の発振動作への影響を小さくすることが出来る。
判定電圧生成部30は、オペアンプ330の出力電圧を増幅して判定電圧を生成する増幅器310を含んで構成してもよい。増幅器310は、例えば正転アンプであってもよい。
増幅器310により、圧電振動子100の出力電圧Vxの交流成分は増幅されて判定電圧として出力される。そして、電圧判定部40は、増幅されて出力された判定電圧に基づいて判定を行う。よって、増幅器310により、圧電振動子100の出力電圧Vxの変化が微小であっても、電圧判定部40が正確な判定を行うことができる。
電圧判定部40は、判定電圧の所定の期間における変化量に基づいて判定を行うようにしてもよい。
図4は、電圧判定部40の他の構成例である。図2と同様の構成については同一符号を付してその説明を省略する。
電圧判定部40は、整流回路42、第1のサンプルホールド回路45、第2のサンプルホールド回路46、タイマー47、差動回路48、コンパレーター44を含んで構成してもよい。
第1のサンプルホールド回路45は、タイマー47によって与えられる時間情報に基づき、判定電圧を所定の周期でサンプルホールドする。また、第2のサンプルホールド回路46は、タイマー47によって与えられる時間情報に基づき、判定電圧を所定の周期でかつ、第1のサンプルホールド回路45とは所定の期間異なるタイミングでサンプルホールドする。第1のサンプルホールド回路45と第2のサンプルホールド回路46がサンプルホールドするタイミングは、所定の期間異なるタイミングとなるように設定される。
差動回路48は、第1のサンプルホールド回路45の出力と第2のサンプルホールド回路46の出力の差動電圧を出力する。第1のサンプルホールド回路45と第2のサンプルホールド回路46は異なるタイミングの判定電圧を標本化し、保持するので、両者の出力の差分は、所定の期間の変化量に相当する。
コンパレーター44は、差動回路48の差動電圧と基準電圧とを比較して、差動電圧が基準電圧を上回っているかどうかを判定する。
以上のように、本実施形態の圧電発振器1によれば、所定の期間の電圧Vxの経時変化を観察し、その変化の傾斜を求めることにより、圧電振動子100の小リークの度合いを求めることができる。よって、所定の期間における変化量に基づいて圧電振動子100の異常発振、発振停止などの故障の予測をすることができる。
図5は、電圧判定部40の他の構成例である。電圧判定部40が、デジタルで電圧判定を行う場合の構成例である。図2と同様の構成については同一符号を付してその説明を省略する。
電圧判定部40は、整流回路42、A/D変換部41、記憶部43、CPU49、バッファ50を含んで構成してもよい。
A/D変換部41は、アナログ信号をデジタル信号である判定電圧情報に変換する。判定電圧はアナログ信号であり、整流回路42はこの判定電圧(アナログ信号)を整流して直流電圧を出力する。A/D変換部41は、整流回路42の出力(直流電圧)をデジタル信号に変換し、バスを介して出力する。
CPU49は、A/D変換部41によって出力された判定電圧情報を記憶部43に記憶させる処理や、記憶部43から読み出す処理を行う。
記憶部43は、RAMであってもよい。
また、CPU49は、デジタル信号である判定電圧情報に基づき、圧電振動子100の気密性が保たれているかを判定する処理を行い、判定結果を出力する。
電圧判定部40は、CPU49の出力をバッファ50を介して判定結果として出力する。
本実施形態の圧電発振器1によれば、CPU49は、A/D変換部41の変換出力する判定電圧情報と記憶部43に記憶された所定の期間前の判定電圧情報との変化量を求め、圧電振動子100の気密封止状態の判定を行う。よって、CPU49は、現在の判定電圧の判定電圧情報と、記憶部43から読み出した、例えば、1時間前の判定電圧の判定電圧情報とに基づく変化量から、前記同様の判定を行うことができる。
以上のように、本実施形態の圧電発振器1によれば、A/D変換部41とCPU49と記憶部43とにより、圧電振動子100の気密性の常時監視をすることができる。
また、記憶部43に、気密性の判定の基準電圧を記憶させておき、CPU49が記憶部43から基準電圧を読み出し、判定電圧のデジタルデータと比較して、判定結果を出力してもよい。
図6、図7は、本実施形態の圧電発振器1の他の構成例である。
図6の発振回路10は、トランジスタを用いたコルピッツ発振回路である。図2のインバーターを使った発振回路10の場合と同様の効果が得られる。
図7の発振回路10は、トランジスタを用いたオーバートーン用コルピッツ発振回路である。圧電発振子100は、基本周波数だけでなく奇数次の周波数にも共振点をもっている。オーバートーン用発振回路とは、奇数次周波数の発振出力を得る回路である。よって、オーバートーン用コルピッツ発振回路によれば、圧電振動子100を高次の共振周波数で発振させることができる。
なお、本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
1 圧電発振器、10 発振回路、20 判定部、30 判定電圧生成部、40 電圧判定部、41 A/D変換部、42 整流回路、43 記憶部、44 コンパレーター、45 第1のサンプルホールド回路、46 第2のサンプルホールド回路、47 タイマー、48 差動回路、49 CPU、50 バッファ、100 圧電振動子、110 容量素子、130 容量素子、140 増幅器、140a 増幅器、140b 増幅器、140c 増幅器、150 フィードバック抵抗、150a フィードバック抵抗、150b フィードバック抵抗、150c フィードバック抵抗、300 容量素子、310 増幅器、320 抵抗、330 オペアンプ
Claims (7)
- 圧電振動素子が気密封止された圧電振動子と、
前記圧電振動子に発振動作を行わせる発振回路と、
前記圧電振動子に流れる電流に基づいて前記圧電振動子の前記気密封止状態の判定を行う判定部と、
を含むことを特徴とする圧電発振器。 - 請求項1において、
前記判定部は、
前記電流の大きさに応じて変化する前記圧電振動子の出力電圧に基づいて前記判定を行うことを特徴とする圧電発振器。 - 請求項2において、
前記判定部は、
前記出力電圧の大きさに応じた判定電圧を出力する判定電圧生成部と、
前記判定電圧に基づいて前記判定を行う電圧判定部と、
を含むことを特徴とする圧電発振器。 - 請求項3において、
前記判定電圧生成部は、
前記出力電圧の交流成分を増幅して前記判定電圧を生成することを特徴とする圧電発振器。 - 請求項3又は4において、
前記電圧判定部は、
前記判定電圧の所定の期間における変化量に基づいて前記判定を行うことを特徴とする圧電発振器。 - 請求項5において、
前記電圧判定部は、
前記判定電圧を所定の周期でサンプルホールドする第1のサンプルホールド回路と、
前記判定電圧を前記所定の周期でかつ、前記第1のサンプルホールド回路とは前記所定の期間異なるタイミングでサンプルホールドする第2のサンプルホールド回路と、
前記第1のサンプルホールド回路の出力と前記第2のサンプルホールド回路の出力の差動電圧を前記変化量として出力する差動回路と、
を含み、
前記差動電圧と基準電圧とを比較して、比較結果に基づいて前記判定結果を出力することを特徴とする圧電発振器。 - 請求項5において、
前記電圧判定部は、
前記判定電圧をデジタル信号である判定電圧情報に変換するA/D変換部と、
前記判定電圧情報を記憶する記憶部と、
前記A/D変換部の変換出力する判定電圧情報と前記記憶部に記憶された前記所定の期間前の前記判定電圧情報との前記変化量を求め、前記判定を行う判定演算部と、
を含むことを特徴とする圧電発振器。
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