JP2010232226A - 不揮発性記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の方向に延在する下側電極130と、下側電極130の上方に位置し、第1の方向と交差する第2の方向に延在する上側電極230と、下側電極130と上側電極230との間に設けられた金属酸化物や相変化材料を用いた記憶部300と、を備える。下側電極130及び上側電極230の少なくともいずれかは、順テーパの側壁を有する第1の電極110、210と、絶縁層150、250を介して第1の電極110と実質的に同じ平面内で隣接し、逆テーパの側壁を有する第2の電極120、220と、を有する。
【選択図】図1
Description
すなわち、リソグラフィによる最小パターン線幅をFとすると、配線の幅がFで、配線間の間隔がFとなるため、一般的なクロスポイント型不揮発性記憶装置においては、1つの記憶セルの素子面積は4F2となる。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式断面図である。
図2は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式図である。
図2(a)、(b)は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する、それぞれ、模式的斜視図及び模式的透過平面図である。図1(a)は、図2のA−A’線断面図、図1(b)は、図2のB−B’線断面図である。
図1及び図2に表したように、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置10は、基板105の主面106の上に設けられた下側電極130と、下側電極130の上方に位置し、下側電極130と対向して設けられた上側電極230と、下側電極130と上側電極230の間に設けられた記憶部300と、を備えている。
また、記憶部300としては、例えば、NiOx、TiOx、CoOx、TaOx、MnOx、WOx、Al2O3、FeOx、HfOx、ZnMn2O4、ZnFe2O4、ZnCo2O4、ZnCr2O4、ZnAl2O4、CuCoO2、CuAlO2、NiWO4、NiTiO3、CoAl2O4、MnAl2O4、ZnNiTiO4、及び、PrxCa1−xMnO3などを用いることができる。
また、記憶部300には、上記の各種の金属酸化物にドーパントを添加したものを用いても良い。
図3は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
図3に表したように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置の製造方法においては、まず、並列並置された複数の帯状の第1の電極(第1の下側電極110)を形成する(ステップS110)。
図4は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の製造方法を例示する工程順の模式的断面図である。
まず、図4(a)に表したように、基板105の主面106の上に、導電膜を形成した後、リソグラフィとドライエッチングにより、第1の下側電極110を形成する。この時、第1の下側電極110の線幅はリソグラフィによって加工可能な最小の線幅とすることができる。
なお、この導電膜の形成には例えばスパッタ法を用いることができる。ただし、これに限らず、任意の方法を用いることができる。
上記の導電膜の膜厚(高さ)が薄い場合や、第1の下側電極110の幅が太い場合、すなわち、第1の下側電極110をYZ平面で切断した時の断面のアスペクト比が低い場合は、第1の下側電極110の側壁は、主面106に対して垂直に近い。しかしながら、不揮発性記憶装置の記憶密度を高めると供に配線抵抗の上昇を抑制するためには、導電膜の膜厚(高さ)は厚くされ、また、加工精度の点からも第1の下側電極110の幅は狭くなる。すなわち、第1の下側電極110の断面のアスペクト比は高くされる。この場合には、ドライエッチングによる垂直加工が困難になり、第1の下側電極110の側壁は、主面106に対して傾斜し、側壁はテーパ形状になる。
このように、第2の下側電極120及び第2の上側電極220を、スペーサ絶縁層150及びスペーサ絶縁層250を介して第1の下側電極110及び第1の上側電極210の間に埋め込むダマシンプロセスにより、自己整合的に形成することで、リソグラフィによる最小パターン線幅に対応する密度の実質的に4倍の密度で、下側電極130及び上側電極230を形成できる。これにより、不揮発性記憶装置10は、1つの記憶セルの素子面積は実質的にF2となり、4F2よりも集積度の高い不揮発性記憶装置を提供することができる。
もし、記憶部300、下側電極130及び上側電極230の全てに必要とされる線幅に対応するフォトリソグラフィを用いると、製造コストが非常に高くなる。これに対し、本実施形態においては、下側電極130及び上側電極230の形成のフォトリソグラフィの線幅の要求を緩和でき、目的とする線幅を有する不揮発性記憶装置を低コストで実現できる。
図5に表したように、本実施形態に係る不揮発性記憶装置の製造方法においては、まず、並列並置された複数の帯状の犠牲層を形成する(ステップS210)。
次に、複数の犠牲層の側面にスペーサ絶縁層150を形成する(ステップS220)。 そして、複数の犠牲層を除去する(ステップS230)。
そして、隣接する前記スペーサ絶縁層の間に導電体を充填する(ステップS240)。 これにより、スペーサ絶縁層に対して自己整合的に、例えば第1の下側電極110及び第2の下側電極120が形成できる。
図6は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性記憶装置の別の製造方法を例示する工程順の模式的断面図である。
まず、図6(a)に表したように、基板105の主面106の上に、膜の形成とリソグラフィとドライエッチングにより、犠牲層109を形成する。この時、犠牲層109の線幅はリソグラフィによって加工可能な最小の線幅とすることができる。犠牲層109には、後述するスペーサ絶縁層150に対して高い選択比を有する任意の材料を用いることができる。
これにより本実施形態に係る別の不揮発性記憶装置を形成することができる。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を例示する模式断面図である。
図7に表したように、第2の実施形態に係る不揮発性記憶装置20においては、記憶部300の幅は、第1の電極及び第2の電極の幅よりも狭い。
図8に表したように、第2の実施形態に係る不揮発性記憶装置30においては、下側電極130のスペーサ絶縁層150の幅が、第1の下側電極110及び第2の下側電極120の幅と実質的に同じである。また、上側電極230のスペーサ絶縁層250の幅が、第1の上側電極及び第2の上側電極220の幅と実質的に同じである。なお、この場合も、下側電極130及び上側電極230のそれぞれの配設ピッチは、最小パターン線幅Fとすることができる。これにより、下側電極130と記憶部300との間の合わせ精度、及び記憶部300と上側電極230との間の合わせ精度が緩和し、製造し易くなる。
105 基板
106 主面
109 犠牲層
109a 導電体
110 第1の下側電極(第1の電極)
119 第1の導電膜
120 第2の下側電極(第2の電極)
129 導電膜
130 下側電極
150 スペーサ絶縁層(絶縁層)
159 シリコン窒化膜
180 素子間分離絶縁膜
210 第1の上側電極(第1の電極)
220 第2の上側電極(第2の電極)
230 上側電極
250 スペーサ絶縁層(絶縁層)
300 記憶部
320 整流素子部
Claims (5)
- 第1の方向に延在する下側電極と、
前記下側電極の上方に位置し、前記第1の方向と交差する第2の方向に延在する上側電極と、
前記下側電極と前記上側電極との間に設けられた記憶部と、
を備え、
前記下側電極及び前記上側電極の少なくともいずれかは、順テーパの側壁を有する第1の電極と、絶縁層を介して前記第1の電極と実質的に同じ平面内で隣接し、逆テーパの側壁を有する第2の電極と、を有することを特徴とする不揮発性記憶装置。 - 前記記憶部の幅は、前記第1の電極及び前記第2の電極の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1記載の不揮発性記憶装置。
- 前記第1の電極の幅と前記第2の電極の幅とが異なり、前記第1の電極に印加される電圧と前記第2の電極に印加される電圧とが異なることを特徴とする請求項1または2に記載の不揮発性記憶装置。
- 第1の方向に延在する下側電極と、前記下側電極の上方に位置し、前記第1の方向と交差する第2の方向に延在する上側電極と、前記下側電極と前記上側電極との間に設けられた記憶部と、を有する不揮発性記憶装置の製造法であって、
前記下側電極及び前記上側電極の少なくともいずれかを製造する工程は、
並列配置された複数の帯状の第1の電極を形成する工程と、
前記複数の第1の電極の側面に絶縁層を形成する工程と、
隣接する前記絶縁層の間に導電体を充填して第2の電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする不揮発性記憶装置の製造方法。 - 第1の方向に延在する下側電極と、前記下側電極の上方に位置し、前記第1の方向と交差する第2の方向に延在する上側電極と、前記下側電極と前記上側電極との間に設けられた記憶部と、を有する不揮発性記憶装置の製造法であって、
前記下側電極及び前記上側電極の少なくともいずれかを製造する工程は、
並列配置された複数の帯状の犠牲層を形成する工程と、
前記複数の犠牲層の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記複数の犠牲層を除去する工程と、
隣接する前記絶縁層の間に導電体を充填する工程と、
を含むことを特徴とする不揮発性記憶装置の製造方法。
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