JP2010231572A - チャンバ圧力調整装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供する。
【解決手段】チャンバ22内のガスを吸引するポンプ42を備える構成とし、チャンバ22とガスポンプ42とを連通する連通管52に圧力調整ガスを導入し、ポンプ42による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ22内の圧力調整を行う。チャンバ22内にガスを供給することなく、チャンバ22内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ22内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ42による流量を一定としているため、ポンプ42の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。
【選択図】図2
【解決手段】チャンバ22内のガスを吸引するポンプ42を備える構成とし、チャンバ22とガスポンプ42とを連通する連通管52に圧力調整ガスを導入し、ポンプ42による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ22内の圧力調整を行う。チャンバ22内にガスを供給することなく、チャンバ22内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ22内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ42による流量を一定としているため、ポンプ42の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。
【選択図】図2
Description
本発明は、チャンバ内の圧力を調整するチャンバ圧力調整装置に関するものである。
従来、例えば、チャンバ内で基板の処理などを行う成膜装置では、チャンバ内の圧力制御が行われている。チャンバ内の圧力制御を行う技術として、例えば特許文献1に開示された真空圧力制御装置がある。
特許文献1に記載された真空圧力制御装置では、処理室(チャンバ)を減圧する真空ポンプの回転数を制御すると共に、ガス供給手段による流量を制御することで、処理室内の圧力制御を行っている。
しかしながら、上記従来技術では、真空ポンプの回転数を制御することで、チャンバ内の圧力を制御しており、圧力調整時間が長くなるという問題や、圧力調整精度が不十分であるという問題があった。また、ガス供給手段によってガスを供給しているため、供給されたガスによって、チャンバ内に気流が発生するおそれがあり、チャンバ内のパーティクルを巻き上げてしまうという問題があった。
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供することを目的とする。
本発明によるチャンバ圧力調整装置は、チャンバ内の圧力を調整するチャンバ圧力調整装置において、チャンバ内のガスを吸引するガス吸引手段と、圧力調整室及び前記ガス吸引手段を連通する連通管と、連通管内に圧力調整ガスを導入する圧力調整ガス導入管と、ガス吸引手段による流量を一定とし、圧力調整ガスの導入量を制御する制御手段と、を備えることを特徴としている。
このようなチャンバ圧力調整装置では、チャンバ内のガスを吸引するガス吸引手段を備え、チャンバとガス吸引手段とを連通する連通管に圧力調整ガスを導入し、ガス吸引手段による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ内の圧力調整を行う。チャンバ内にガスを供給することなく、ガス吸引手段によってチャンバ内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ内における気流の発生を抑えることができる。そのため、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、連通管内に圧力調整ガスを導入し、ガス吸引手段による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御するため、ガス吸引手段の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。
また、圧力調整が行われるチャンバを圧力調整チャンバとし、圧力調整チャンバは、開閉ゲートを介して処理チャンバに接続されており、制御手段は、処理チャンバの圧力に、圧力調整チャンバの圧力を合致させるように、圧力調整ガスの導入量を制御し、処理チャンバの圧力と圧力調整チャンバの圧力とが合致した後に、ゲートを開放して、処理チャンバと圧力調整チャンバとを連通させることが好ましい。
これにより、圧力調整チャンバの圧力と処理チャンバの圧力とが合致した後に、ゲート開放を行うため、圧力調整チャンバ及び処理チャンバ間での圧力差による気流の発生を防止し、パーティクルの巻き上げを防止することができる。
本発明のチャンバ圧力調整装置によれば、パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化を図ることができる。
本発明に係るチャンバ圧力調整装置の好適な実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、チャンバ圧力調整装置の成膜装置への適用について説明する。図1は、本発明の実施形態に係るチャンバ圧力調整装置を備えた基板処理装置を示す概略構成図である。
図1に示す基板処理装置1は、基板に対して成膜等の処理を施すためのものである。基板処理装置1は、ロードロックチャンバ21、バッファチャンバ22、成膜チャンバ23、バッファチャンバ24、ロードロックチャンバ25を備えている。これらのチャンバ21〜25は、この順に並んで配置されている。全てのチャンバ21〜25が真空容器にて構成され、チャンバ21〜25の出入口には、開閉ゲート31〜36が設けられている。基板処理装置1には、基板を搬送するための搬送装置が設けられている。基板は、搬送装置によって搬送され、チャンバ21〜25内を順次通過する。
ロードロックチャンバ21は、入口側に設けられた開閉ゲート31を開放することで、大気開放され、処理される基板が導入されるチャンバである。ロードロックチャンバ21の出口側は、開閉ゲート32を介して、バッファチャンバ22の入口側に接続されている。
バッファチャンバ22は、入口側に設けられた開閉ゲート32を開放することで、ロードロックチャンバ21と連通され、ロードロックチャンバ21を通過した基板が導入される圧力調整用チャンバである。バッファチャンバ22の出口側は、開閉ゲート33を介して、成膜チャンバ23の入口側に接続されている。
成膜チャンバ23は、入口側に設けられた開閉ゲート33を開放することで、バッファチャンバ22と連通され、バッファチャンバ22を通過した基板が導入され、基板に成膜などを施す処理チャンバである。成膜チャンバ23の出口側は、開閉ゲート34を介して、バッファチャンバ24の入口側に接続されている。
バッファチャンバ24は、入口側に設けられた開閉ゲート34を開放することで、成膜チャンバ23と連通され、成膜チャンバ23によって成膜された基板が導入される圧力調整用チャンバである。バッファチャンバ24の出口側は、開閉ゲート35を介して、ロードロックチャンバ25の入口側に接続されている。
ロードロックチャンバ25は、入口側に設けられた開閉ゲート35を開放することで、バッファチャンバ24と連通され、バッファチャンバ24を通過した基板が導入されるチャンバである。ロードロックチャンバ25の出口側には、開閉ゲート36が設けられ、開閉ゲート36を開放することで、ロードロックチャンバ25が大気開放される。
基板処理装置1は、チャンバ21〜25内の圧力を調整するチャンバ圧力調整装置を備えている。基板処理装置1では、成膜チャンバ23が最も低い圧力(例えば真空状態)に維持される。すなわち、成膜チャンバ23に隣接するバッファチャンバ22,24の圧力は、成膜チャンバ23の圧力を基準として調節され、バッファチャンバ22,24に隣接するロードロックチャンバ21,25の圧力は、バッファチャンバ22,24の圧力を基準として調節される。
各チャンバ21〜25には、圧力センサが設置されていると共に、圧力を調整するためポンプが接続されている。チャンバ圧力調整装置は、圧力センサと電気的に接続された制御部を備えている。
図2は、本発明の実施形態に係るチャンバ圧力調整装置を示す概略構成図である。図2に示すチャンバ圧力調整装置10は、成膜チャンバ23の圧力を基準として、成膜チャンバ23の前段に配置されたバッファチャンバ22の圧力を調整するものである。チャンバ圧力調整装置10は、チャンバ内の圧力制御を司る制御部11を備えている。
図2に示すように、チャンバ圧力調整装置10は、成膜チャンバ23内の圧力を検出する圧力センサ103、成膜チャンバ23内のガスを吸引するポンプ43、成膜チャンバ23とポンプ43とを接続する連通管53、ポンプ43によって吸引されたガスを系外に排出する排気管63を備えている。連通管53は、成膜チャンバ23の底部に接続されている。
また、チャンバ圧力調整装置10は、バッファチャンバ22内の圧力を検出する圧力センサ102、バッファチャンバ22内のガスを吸引するポンプ42、バッファチャンバ22とポンプ42とを接続する連通管52、ポンプ42によって吸引されたガスを系外に排出する排気管62を備えている。連通管52は、バッファチャンバ22の底部に接続されている。
ここで、チャンバ圧力調整装置10は、連通管52内に圧力調整ガスを導入する圧力調整ガス導入管72を備えている。この圧力調整ガス導入管72は、連通管52に接続され、管内に圧力調整ガスを供給するものである。なお、圧力調整ガスとしては、例えば、空気、不活性ガスなどを使用することができる。
また、圧力調整ガス導入管72には、圧力調整ガスの導入量を調節するマスフローコントローラ82、開閉弁92が設けられている。マスフローコントローラ82は、制御部11に電気的に接続され、制御部11から出力された制御信号に基づいて作動し、圧力調整ガスの導入量を調節する。
なお、図示は省略しているが、バッファチャンバ23に対しても、バッファチャンバ22と同様に、圧力センサ、連通管、ポンプ、排気管、圧力調整ガス導入管、マスフローコントローラ、開閉弁が設けられている。
また、制御部11は、開閉ゲート31〜36と電気的に接続され、開閉ゲート31〜36の開閉制御を行う。
次に、図1に示す基板処理装置1の動作について説明する。開閉ゲート31〜36は、閉鎖され、チャンバ21〜25は、密閉状態とされている。そして、チャンバ22〜24内は、所定の圧力まで減圧されている。成膜チャンバ23内は、真空状態にされている。
次に、開閉ゲート31が開放され、ロードロックチャンバ21内に基板が搬入される。開閉ゲート31が閉じられた後に、ロードロックチャンバ21に接続されたポンプによって、減圧を開始する。ロードロックチャンバ21内の圧力が、バッファチャンバ22内の圧力まで低下された後に、開閉ゲート32が開放される。
ロードロックチャンバ21内の基板は、開閉ゲート32を通過して、バッファチャンバ22内に搬入される。図2に示す開閉ゲート32が閉じられた後に、ポンプ42によって、減圧を開始する。このとき、ポンプ42の流量は、略一定とされ、圧力調整ガス導入管72から導入される圧力調整ガスの流量を制御することで、バッファチャンバ22内の減圧量を制御する。
制御部11は、マスフローコントローラ82を制御して、連通管52内に導入する圧力調整ガスの導入量を調整する。減圧量を増やす場合には、圧力調整ガスの導入量を減らし、減圧量を減らす場合には、圧力調整ガスの導入量を増やす。
制御部11は、圧力センサ102,103によって取得した圧力を比較して、バッファチャンバ22内の圧力とが成膜チャンバ23内の圧力とが合致したか否かを判定する判定手段として機能する。なお、バッファチャンバ22と成膜チャンバ23との圧力差が所定の範囲内にあるときは、合致したと判定する。例えば、開閉ゲート33を開放した際に、パーティクルを巻き上げるほどの気流が発生しない圧力差であれば、バッファチャンバ22内の圧力とが成膜チャンバ23内の圧力とが合致したと判定する。
制御部11は、バッファチャンバ22の圧力と成膜チャンバ23の圧力とが、合致した後に、開閉ゲート33を開放して、基板を成膜チャンバ23内に搬入する。このとき、チャンバ22,23の圧力差によって、パーティクルの巻き上げが起こることはない。開閉ゲート33が閉じられた後、基板に対して成膜処理が実行される。
成膜処理後、バッファチャンバ22と同様に、バッファチャンバ24の圧力制御が実行される。すなわち、バッファチャンバ22内の圧力が成膜チャンバ23内の圧力と合致した後に、開閉ゲート34が開放されて、基板がバッファチャンバ23内に搬入される。同様に、バッファチャンバ24,ロードロックチャンバ25の圧力調整を順次行う。
図3は、チャンバ圧力調整時における圧力変化の一例を示すグラフである。図3では、横軸に時間の経過を示し、縦軸にチャンバ内の圧力(Pa)を示している。図3では、「P1」は、本実施形態によるチャンバ圧力調整装置10を適用した場合のバッファチャンバ22内の圧力変化を示すものであり、「P2」は、従来の圧力調整方法を適用した場合のバッファチャンバ内の圧力変化を示すものである。
この場合、目標となる設定圧力範囲は、0.4Pa〜1.0Paである。従来の圧力調整方法を適用した場合には、時刻T1で、設定圧力範囲に減圧されるが、減圧勾配R1が急であるため、バッファチャンバ22内の圧力を設定圧力範囲に維持することが困難であった。すなわち、短時間(時刻T1〜T2、数秒)で設定圧力範囲を通過してしまうため、ポンプが安定する時刻T4で、ポンプの起動を停止し、自然に圧力が上昇するのを待っていた。
減圧勾配R1より緩やかな上昇勾配R2で、バッファチャンバ22内の圧力が上昇し、設定圧力範囲内に達した時刻T5において、開閉ゲートを開放し基板の搬送を行っていた。因みに、従来の圧力調整方法を適用した場合には、時刻T5に達するまで、例えば、20分程度かかっていた。
一方、本実施形態に係るチャンバ圧力調整装置10を使用した場合には、ポンプ42の回転数を一定とし、圧力調整ガスの導入量を制御するため、時刻T3(<T4)で、設定圧力範囲内に到達する。この時刻T3において、開閉ゲート33を開放して、基板の搬送を行うことができる。すなわち、従来の圧力調整方法と比較して短時間で、バッファチャンバ22内の圧力を設定圧力範囲内に維持することができる。
このようにチャンバ圧力調整装置10を備えた基板処理装置1では、バッファチャンバ22とポンプ42とを連通する連通管52に圧力調整ガスを導入し、ポンプ42の流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、バッファチャンバ22内の圧力調整を行っている。バッファチャンバ22内にガスを供給することなく、ポンプ42によってバッファチャンバ22内のガスを吸引する構成であるため、バッファチャンバ22内における気流の発生を抑えることができる。そのため、バッファチャンバ22内のパーティクルの巻き上げを防止することができる。
また、連通管52内に圧力調整ガスを導入し、ポンプ42による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御するため、ポンプ42の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、バッファチャンバ22内の圧力を微調整することができる。その結果、圧力調整精度の向上及び圧力調整時間の短縮を図ることができる。
また、成膜チャンバ23の圧力に、バッファチャンバ22の圧力を合致させるように、圧力調整ガスの導入量を制御し、成膜チャンバ23の圧力とバッファチャンバ22の圧力とが合致した後に、開閉ゲート33を開放して、成膜チャンバ23とバッファチャンバ22とを連通されているため、成膜チャンバ23及びバッファチャンバ22間での圧力差による気流の発生を防止し、パーティクルの巻き上げを防止することができる。
また、チャンバ圧力調整装置10を既存の装置に適用する場合にあっても、圧力調整ガス導入管72、マスフローコントローラ82などを追加するだけでよい。そのため、大きな設備変更を伴うことなく、チャンバ圧力調整装置10を採用することができる。また、ポンプの設定変更も不要である。
なお、チャンバ圧力調整装置10による圧力調整方法を適用した場合、8インチSiウエハにおいて1μm以下のパーティクル付着量を大幅に減量させることが可能である。
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態では、チャンバ圧力調整装置10の基板処理装置1への適用について説明しているが、その他のチャンバ、容器などの圧力調整に適用してもよい。
また、上記実施形態では、隣接するチャンバ間において、一方のチャンバ内の圧力に他方のチャンバ内の圧力を合致させるように、圧力調整を行っているが、隣接するチャンバ同士の圧力を合致させるように圧力制御を実施しないものでもよい。また、一つのチャンバを備える装置に対して、チャンバ圧力調整装置を適用してもよい。
また、隣接するチャンバの圧力調整を行う場合には、排気能力(ポンプ能力)の低い側のチャンバ圧力に、排気能力の高い側のチャンバ圧力を調節することが好ましい。なお、排気能力が同程度の場合には、どちらのチャンバ圧力を調整してもよい。
また、圧力調整ガスのリサイクルを可能とする構成としてもよい。ポンプ42の下流の排気管62と圧力調整ガス導入管72とを接続するリサイクル配管を設置する。このリサイクル配管に、フィルタなどを設け、フィルタを通過したガスを再利用することが好ましい。
1…基板処理装置、10…チャンバ圧力調整装置、11…制御部、22…バッファチャンバ(圧力調整チャンバ)、23…成膜チャンバ(処理チャンバ)、31〜36…開閉ゲート、52…連通管、42…ポンプ(ガス吸引手段)、72…圧力調整ガス導入管、82…マスフローコントローラ。
Claims (2)
- チャンバ内の圧力を調整するチャンバ圧力調整装置において、
前記チャンバ内のガスを吸引するガス吸引手段と、
前記圧力調整室及び前記ガス吸引手段を連通する連通管と、
前記連通管内に圧力調整ガスを導入する圧力調整ガス導入管と、
前記ガス吸引手段による流量を一定とし、前記圧力調整ガスの導入量を制御する制御手段と、を備えることを特徴とするチャンバ圧力調整装置。 - 圧力調整が行われる前記チャンバを圧力調整チャンバとし、
前記圧力調整チャンバは、開閉ゲートを介して処理チャンバに接続されており、
前記制御手段は、
前記処理チャンバの圧力に、前記圧力調整チャンバの圧力を合致させるように、前記圧力調整ガスの導入量を制御し、
前記処理チャンバの圧力と前記圧力調整チャンバの圧力とが合致した後に、前記ゲートを開放して、前記処理チャンバと前記圧力調整チャンバとを連通させることを特徴とする請求項1記載のチャンバ圧力調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009079259A JP2010231572A (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | チャンバ圧力調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009079259A JP2010231572A (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | チャンバ圧力調整装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010231572A true JP2010231572A (ja) | 2010-10-14 |
Family
ID=43047312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009079259A Pending JP2010231572A (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | チャンバ圧力調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010231572A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113416929A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀源及其调试方法、蒸镀装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008227264A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
-
2009
- 2009-03-27 JP JP2009079259A patent/JP2010231572A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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CN113416929A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀源及其调试方法、蒸镀装置 |
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