JP2010225010A - 画像処理方法、画像処理装置および画像解析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】仮閾値に基づいて撮影画像から仮ドットとして抽出し、仮ドットよりも長い第1ウインドウ画像についてヒストグラムを作成し、ヒストグラムが双峰型である場合には、2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として撮影画像からドットを抽出し、ヒストグラムが双峰型でない場合には、仮ドットの輪郭の一部を含み、かつ当該仮ドットよりも小さい第2ウインドウ画像についてのヒストグラムの作成を、双峰型ヒストグラムが得られるまで第2ウインドウ画像の位置またはサイズを変更して繰り返し、得られた双峰型ヒストグラムにおける2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として撮影画像からドットを抽出する。
【選択図】図8
Description
Nth1 仮閾値
91 ドットパターン
92 仮ドット
121 仮ドット抽出部
G1 仮重心(幾何重心)
122 仮重心演算部
51 第1ウインドウ
123 第1ヒストグラム作成部
93 ドット
124 第1ドット抽出部
52 第2ウインドウ画像
126 第2ヒストグラム作成部
127 第2ドット抽出部
Claims (6)
- マトリクス状に互いに離れて並ぶ多数のドットパターンが形成された物体表面の撮影画像を解析するための画像処理方法であって、
画像処理装置が、前記撮影画像の画素値の取り得る範囲内の値である仮閾値に基づいて、前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像を仮ドットとして抽出し、
前記画像処理装置が、抽出した複数の仮ドットのうちの少なくとも1個について幾何重心を算出し、
前記撮影画像の一部分であって、算出した幾何重心を含み、当該幾何重心をもつ仮ドットの寸法よりも幅が小さく長さが大きい帯状部を有した第1ウインドウ画像について、画素値のヒストグラムを前記画像処理装置が作成し、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが、ピーク数が2であって、ピーク間の谷の度数と2つのピークの各度数のうちの小さい方との差がピーク同士の間の度数の差よりも大きい双峰型ヒストグラムである場合には、2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして前記画像処理装置が抽出し、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが前記双峰型ヒストグラムでない場合には、前記撮影画像の一部分であって、算出した前記幾何重心から一方向にずれた位置を中心とし、当該幾何重心をもつ仮ドットの輪郭の一部を含み、かつ当該仮ドットよりも小さい第2ウインドウ画像についてのヒストグラムの作成を、双峰型ヒストグラムが得られるまで第2ウインドウ画像の位置またはサイズを変更して繰り返し、得られた双峰型ヒストグラムにおける2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして前記画像処理装置が抽出する
ことを特徴とする画像処理方法。 - 前記第1ウインドウ画像についてのヒストグラムの作成では、前記第1ウインドウ画像とサイズが同じでかつ前記第1ウインドウ画像に対して等距離ずつ位置が順にずれた複数の部分画像を第1ウインドウ画像とみなし、複数の第1ウインドウ画像についてのヒストグラムを作成する
請求項1記載の画像処理方法。 - 前記第2ウインドウ画像についてのヒストグラムの作成では、前記第2ウインドウ画像とサイズが同じでかつ前記第2ウインドウ画像に対して等距離ずつ位置が順にずれた複数の部分画像を第2ウインドウ画像とみなし、複数の第2ウインドウ画像についてのヒストグラムを作成する
請求項2記載の画像処理方法。 - マトリクス状に互いに離れて並ぶ多数のドットパターンが形成された物体表面の撮影画像を解析するための画像処理装置であって、
前記撮影画像の画素値の取り得る範囲内の値である仮閾値に基づいて、前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像を仮ドットとして抽出する仮ドット抽出部と、
抽出された複数の仮ドットのうちの少なくとも1個について幾何重心を算出する仮重心演算部と、
前記撮影画像の一部分であって、算出された幾何重心を含み、当該幾何重心をもつ仮ドットの寸法よりも幅が小さく長さが大きい帯状部を有した第1ウインドウ画像について、画素値のヒストグラムを作成する第1ヒストグラム作成部と、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが、ピーク数が2であって、ピーク間の谷の度数と2つのピークの各度数のうちの小さい方との差がピーク同士の間の度数の差よりも大きい双峰型ヒストグラムである場合において、2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして抽出する第1ドット抽出部と、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが前記双峰型ヒストグラムでない場合において、前記撮影画像の一部分であって、算出した前記幾何重心から一方向にずれた位置を中心とし、当該幾何重心をもつ仮ドットの輪郭の一部を含み、かつ当該仮ドットよりも小さい第2ウインドウ画像についてのヒストグラムの作成を、双峰型ヒストグラムが得られるまで第2ウインドウ画像の位置またはサイズを変更して繰り返す第2ヒストグラム作成部と、
前記第2ヒストグラム作成部によって得られた双峰型ヒストグラムにおける2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして抽出する第2ドット抽出部と、を備える
ことを特徴とする画像処理装置。 - マトリクス状に互いに離れて並ぶ多数のドットパターンが形成された物体表面の撮影画像を解析するための画像処理装置に備わるコンピュータのためのコンピュータプログラムであって、
前記コンピュータによって実行されたときに、
前記撮影画像の画素値の取り得る範囲内の値である仮閾値に基づいて、前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像を仮ドットとして抽出する仮ドット抽出手段と、
抽出された複数の仮ドットのうちの少なくとも1個について幾何重心を算出する重心演算手段と、
前記撮影画像の一部分であって、算出された幾何重心を含み、当該幾何重心をもつ仮ドットの寸法よりも幅が小さく長さが大きい帯状部を有した第1ウインドウ画像について、画素値のヒストグラムを作成する第1ヒストグラム作成手段と、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが、ピーク数が2であって、ピーク間の谷の度数と2つのピークの各度数のうちの小さい方との差がピーク同士の間の度数の差よりも大きい双峰型ヒストグラムである場合において、2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして抽出する第1ドット抽出手段と、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが前記双峰型ヒストグラムでない場合において、前記撮影画像の一部分であって、算出した前記幾何重心から一方向にずれた位置を中心とし、当該幾何重心をもつ仮ドットの輪郭の一部を含み、かつ当該仮ドットよりも小さい第2ウインドウ画像についてのヒストグラムの作成を、双峰型ヒストグラムが得られるまで第2ウインドウ画像の位置またはサイズを変更して繰り返す第2ヒストグラム作成手段と、
前記第2ヒストグラム作成部によって得られた双峰型ヒストグラムにおける2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして抽出する第2ドット抽出手段と、を前記コンピュータに実現させる
ことを特徴とする画像処理のためのコンピュータプログラム。 - マトリクス状に互いに離れて並ぶ多数のドットパターンが形成された物体表面の撮影画像を解析する画像解析装置であって、
前記撮影画像の画素値の取り得る範囲内の値である仮閾値に基づいて、前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像を仮ドットとして抽出する仮ドット抽出部と、
抽出された複数の仮ドットのうちの少なくとも1個について幾何重心を算出する仮重心演算部と、
前記撮影画像の一部分であって、算出された幾何重心を含み、当該幾何重心をもつ仮ドットの寸法よりも幅が小さく長さが大きい帯状部を有した第1ウインドウ画像について、画素値のヒストグラムを作成する第1ヒストグラム作成部と、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが、ピーク数が2であって、ピーク間の谷の度数と2つのピークの各度数のうちの小さい方との差がピーク同士の間の度数の差よりも大きい双峰型ヒストグラムである場合において、2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして抽出する第1ドット抽出部と、
前記第1ウインドウ画像について作成したヒストグラムが前記双峰型ヒストグラムでない場合において、前記撮影画像の一部分であって、算出した前記幾何重心から一方向にずれた位置を中心とし、当該幾何重心をもつ仮ドットの輪郭の一部を含み、かつ当該仮ドットよりも小さい第2ウインドウ画像についてのヒストグラムの作成を、双峰型ヒストグラムが得られるまで第2ウインドウ画像の位置またはサイズを変更して繰り返す第2ヒストグラム作成部と、
前記第2ヒストグラム作成部によって得られた双峰型ヒストグラムにおける2つのピークの画素値の中間の画素値を閾値として前記撮影画像から複数のドットパターンのそれぞれに対応したドット像をドットとして抽出する第2ドット抽出部と、
前記第1ドット抽出部または前記第2ドット抽出部によって抽出された複数のドットのそれぞれの幾何重心を算出する重心演算部と、
前記重心演算部によって算出された幾何重心に基づいて、隣接するドット間の距離のばらつきを算出するピッチ解析部と、
前記第1ドット抽出部または前記第2ドット抽出部によって抽出された複数のドットのそれぞれの面積を算出する面積演算部と、
前記面積演算部によって算出された面積に基づいて、ドット間の大きさのばらつきを算出するサイズ解析部と、を備える
ことを特徴とする画像解析装置。
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JP2009073211A JP5115508B2 (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 画像処理方法、画像処理装置および画像解析装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11307567A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-11-05 | Fujitsu Ltd | バンプ検査工程を有する半導体装置の製造方法 |
JP2001012923A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Toshiba Corp | パターン抽出方法、パターン抽出装置、微小異物形状測定方法、微小異物形状測定装置、ホール中央部の穴径測定方法、ホール中央部の穴径測定装置、ホール段差測定方法及びホール段差測定装置 |
JP2002006474A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-09 | Toppan Printing Co Ltd | マスクパターン画像処理方法 |
JP2005004257A (ja) * | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Sharp Corp | 画像処理装置および画像処理方法 |
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2009
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