JP7316867B2 - 半導体画像処理装置 - Google Patents
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Description
露光条件を入力する露光条件入力部と、
前記第1半導体画像の解像度を落としながら、前記露光条件を考慮に入れて特徴量を抽出する処理を行った後に、解像度を高くして、第2半導体画像を生成する生成器と、
入力された画像が前記第2半導体画像か、予め用意した第3半導体画像かを判別する判別器と、を備え、
前記生成器は、前記判別器が判別した結果に基づいて、前記判別器が前記第2半導体画像を誤って前記第3半導体画像と判別するように学習を行い、
前記判別器は、前記第2半導体画像を誤って前記第3半導体画像と判別しないように、かつ前記第3半導体画像を誤って前記第2半導体画像と判別しないように学習を行う、半導体画像処理装置が提供される。
図1は第1の実施形態による半導体画像処理装置1の概略構成を示すブロック図である。図1の半導体画像処理装置1は、画像入力部2と、露光条件入力部3と、生成器4と、判別器5と、出力部6とを備えている。
通常のGANの判別器では、入力画像の全体を対象として、複数段の畳み込み演算で真偽判断を行うのが一般的であるが、これでは細かい箇所の特徴を捉えられず、主に全体的な整合性に基づいて真偽判別を行うことになる。よって、細部の再現性は重視されず、ぼやけた生成結果になりがちである。
上述した第1及び第2の実施形態では、第1半導体画像が例えばCAD図面、第3半導体画像が例えば処理済半導体装置を実際に撮影した画像、第2半導体画像が例えば第3半導体画像を推測した画像である例を示したが、これ以外にも考えられる。
Claims (10)
- 第1半導体画像を入力する画像入力部と、
露光条件を入力する露光条件入力部と、
前記第1半導体画像の解像度を落としながら段階的に特徴量を抽出するエンコード処理、又は前記エンコード処理後に前記第1半導体画像の解像度を段階的に高くして第2半導体画像を生成するデコード処理の少なくとも一方を行っている最中に前記露光条件を入力し、前記露光条件を考慮に入れて前記特徴量を抽出して前記第2半導体画像を生成する生成器と、
入力された画像が前記第2半導体画像か、予め用意した第3半導体画像かを判別する判別器と、を備え、
前記生成器は、前記判別器が判別した結果に基づいて、前記判別器が前記第2半導体画像を誤って前記第3半導体画像と判別するように学習を行い、
前記判別器は、前記第2半導体画像を誤って前記第3半導体画像と判別しないように、かつ前記第3半導体画像を誤って前記第2半導体画像と判別しないように学習を行う、半導体画像処理装置。 - 第1半導体画像を入力する画像入力部と、
露光条件を入力する露光条件入力部と、
前記第1半導体画像の解像度を落としながら段階的に特徴量を抽出するエンコード処理、又は前記エンコード処理後に前記第1半導体画像の解像度を段階的に高くして第2半導体画像を生成するデコード処理の少なくとも一方を行っている最中に前記露光条件を入力し、前記露光条件を考慮に入れて前記特徴量を抽出して前記第2半導体画像を生成する生成器と、
前記第2半導体画像及び予め用意した第3半導体画像からそれぞれ部分画像を切り出す画像切り出し部と、
前記部分画像の切り出し位置が固定にならないように、前記切り出し位置を決定する切り出し位置決定部と、
入力された画像が前記第2半導体画像の部分画像か、前記第3半導体画像の部分画像かを判別する判別器と、を備え、
前記生成器は、前記判別器が判別した結果に基づいて、前記判別器が前記第2半導体画像の部分画像を誤って前記第3半導体画像の部分画像と判別するように学習を行い、
前記判別器は、前記第2半導体画像の部分画像を誤って前記第3半導体画像の部分画像と判別しないように、かつ前記第3半導体画像の部分画像を誤って前記第2半導体画像の部分画像と判別しないように学習を行う、半導体画像処理装置。 - 前記切り出し位置決定部は、前記切り出し位置をランダムに決定する、請求項2に記載の半導体画像処理装置。
- 前記切り出し位置決定部は、前記切り出し位置を所定量ずつずらすように決定する、請求項2に記載の半導体画像処理装置。
- 前記露光条件は、前記第1乃至第3半導体画像に対応する処理済半導体装置を製造する際に使用する露光機の露光量である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体画像処理装置。
- 前記露光条件は、前記第1乃至第3半導体画像に対応する処理済半導体装置を製造する際に使用する露光機のフォーカス条件である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体画像処理装置。
- 前記第1半導体画像は、処理済半導体装置を設計するための半導体設計画像であり、
前記第3半導体画像は、前記処理済半導体装置を撮影した半導体撮像画像であり、
前記第2半導体画像は、前記第3半導体画像を推測した半導体推測画像である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体画像処理装置。 - 前記第1半導体画像は、処理済半導体装置を撮影した半導体撮像画像であり、
前記第3半導体画像は、処理済半導体装置を設計するための半導体設計画像であり、
前記第2半導体画像は、前記第3半導体画像を推測した半導体推測画像である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体画像処理装置。 - 前記第1半導体画像は、処理済半導体装置を撮影した半導体撮像画像であり、
前記第3半導体画像は、前記第1半導体画像とは異なる手法で前記処理済半導体装置を撮影した半導体撮像画像であり、
前記第2半導体画像は、前記第3半導体画像を推測した半導体推測画像である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体画像処理装置。 - 前記半導体撮像画像は、電子顕微鏡で拡大された像の撮像画像、光学顕微鏡で拡大された像の撮像画像、又は回折像の撮像画像である、請求項7乃至9のいずれか一項に記載の半導体画像処理装置。
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